JPH06116010A - ビスマス層状化合物の製造方法 - Google Patents
ビスマス層状化合物の製造方法Info
- Publication number
- JPH06116010A JPH06116010A JP4259957A JP25995792A JPH06116010A JP H06116010 A JPH06116010 A JP H06116010A JP 4259957 A JP4259957 A JP 4259957A JP 25995792 A JP25995792 A JP 25995792A JP H06116010 A JPH06116010 A JP H06116010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- bismuth layered
- pressing
- layered compound
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ホットプレスより簡単な方法で、ビスマス層状
化合物の分極容易軸の配向性を高める。 【構成】ビスマス層状化合物となる組成比で混合された
粉末原料から形成された成形体を一軸加圧しながら仮焼
結し、その加圧方向と直角方向から一軸加圧しながら本
焼結する。 【効果】結晶が線状となり一次元方向にも配向するた
め、分極容易軸の配向性が一層向上する。
化合物の分極容易軸の配向性を高める。 【構成】ビスマス層状化合物となる組成比で混合された
粉末原料から形成された成形体を一軸加圧しながら仮焼
結し、その加圧方向と直角方向から一軸加圧しながら本
焼結する。 【効果】結晶が線状となり一次元方向にも配向するた
め、分極容易軸の配向性が一層向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力センサ、高周波フィ
ルタなどとして利用可能な、圧電性を有するビスマス層
状化合物の製造方法に関する。
ルタなどとして利用可能な、圧電性を有するビスマス層
状化合物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電性を有するセラミックスとしては、
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、チタン酸鉛（Ｐｂ
ＴｉＯ3 ）、チタン酸ジルコン酸鉛固溶体（ＰＺＴ）、
ビスマス層状化合物（ＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15）などが知
られている。例えばＰＺＴは特に高い感度を有するた
め、圧電アクチュエータとして利用されている。またビ
スマス層状化合物は、感度はＰＺＴほど高くないが強度
が大きく、キュリー温度が５００〜８００℃と高く広い
温度範囲で使用できるため、圧力センサとしての利用が
期待されている。
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、チタン酸鉛（Ｐｂ
ＴｉＯ3 ）、チタン酸ジルコン酸鉛固溶体（ＰＺＴ）、
ビスマス層状化合物（ＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15）などが知
られている。例えばＰＺＴは特に高い感度を有するた
め、圧電アクチュエータとして利用されている。またビ
スマス層状化合物は、感度はＰＺＴほど高くないが強度
が大きく、キュリー温度が５００〜８００℃と高く広い
温度範囲で使用できるため、圧力センサとしての利用が
期待されている。
【０００３】ビスマス層状化合物からなる圧力センサな
どは、酸化ビスマス（Ｂｉ2 Ｏ3 ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2 ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ）などの原料
粉末を所定比率で混合して粉末原料を調製し、この粉末
原料から所定形状の成形体を形成した後焼結して焼結体
とし、それを分極処理して製造されている。ところでビ
スマス層状化合物は、高キュリー温度で高温特性に優れ
た圧電素子であるが、結晶異方性が大きいのに結晶がラ
ンダムに配向した状態で焼結されるため、圧電性の感度
が小さいという欠点がある。そこで、特開昭５２−８６
１９８号公報には、ホットプレスなどを用い、焼結時に
一方向に圧力を加えることにより、板状の結晶の結晶軸
を一方向に揃え、以て感度を向上させる製造方法が開示
されている。この製造方法によれば、ビスマス層状化合
物の板状結晶がプレス方向に直角な方向に配向した状態
で焼結され、分極容易軸がプレス方向に直角な方向に揃
うため、圧電性の感度が向上する。
どは、酸化ビスマス（Ｂｉ2 Ｏ3 ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2 ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ）などの原料
粉末を所定比率で混合して粉末原料を調製し、この粉末
原料から所定形状の成形体を形成した後焼結して焼結体
とし、それを分極処理して製造されている。ところでビ
スマス層状化合物は、高キュリー温度で高温特性に優れ
た圧電素子であるが、結晶異方性が大きいのに結晶がラ
ンダムに配向した状態で焼結されるため、圧電性の感度
が小さいという欠点がある。そこで、特開昭５２−８６
１９８号公報には、ホットプレスなどを用い、焼結時に
一方向に圧力を加えることにより、板状の結晶の結晶軸
を一方向に揃え、以て感度を向上させる製造方法が開示
されている。この製造方法によれば、ビスマス層状化合
物の板状結晶がプレス方向に直角な方向に配向した状態
で焼結され、分極容易軸がプレス方向に直角な方向に揃
うため、圧電性の感度が向上する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記公報に開
示されたホットプレス法では、装置自体が高価であるば
かりでなく、一度にプレス処理できる焼結体が通常は１
個であり、生産性が低いため製造コストも高いものにな
っていた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、上記ホットプレス法より簡単な方法で、ビス
マス層状化合物の分極容易軸の配向性を高めることを目
的とする。
示されたホットプレス法では、装置自体が高価であるば
かりでなく、一度にプレス処理できる焼結体が通常は１
個であり、生産性が低いため製造コストも高いものにな
っていた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、上記ホットプレス法より簡単な方法で、ビス
マス層状化合物の分極容易軸の配向性を高めることを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第１
発明のビスマス層状化合物の製造方法は、ビスマス層状
化合物となる組成比で複数の原料を混合して粉末原料と
する混合工程と、粉末原料から成形体を形成する成形工
程と、成形体を一軸加圧しながら仮焼結して仮焼結体と
する仮焼結工程と、仮焼結体を仮焼結工程の加圧方向と
直角方向に一軸加圧しながら焼結する本焼結工程と、か
らなることを特徴とする。
発明のビスマス層状化合物の製造方法は、ビスマス層状
化合物となる組成比で複数の原料を混合して粉末原料と
する混合工程と、粉末原料から成形体を形成する成形工
程と、成形体を一軸加圧しながら仮焼結して仮焼結体と
する仮焼結工程と、仮焼結体を仮焼結工程の加圧方向と
直角方向に一軸加圧しながら焼結する本焼結工程と、か
らなることを特徴とする。
【０００６】混合工程及び成形工程は、従来の製造方法
と同様に行うことができる。またビスマス層状化合物と
しては、一般式（Ｍx Ｂｉy ）Ｔｉ4 Ｏ15で表される一
般的なものを用いることができる。ここでＭは１〜５価
の金属元素であり、Ｓｒ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｂａ，Ｒ
ａなどのアルカリ土類金属、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ，Ｃ
ｓなどのアルカリ金属あるいはＰｂなどから種々選択で
きる。また、性能を損なわない範囲でＭｎ，Ｎｉ，Ｃｒ
などの金属元素を共存させてもよい。
と同様に行うことができる。またビスマス層状化合物と
しては、一般式（Ｍx Ｂｉy ）Ｔｉ4 Ｏ15で表される一
般的なものを用いることができる。ここでＭは１〜５価
の金属元素であり、Ｓｒ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｂａ，Ｒ
ａなどのアルカリ土類金属、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ，Ｃ
ｓなどのアルカリ金属あるいはＰｂなどから種々選択で
きる。また、性能を損なわない範囲でＭｎ，Ｎｉ，Ｃｒ
などの金属元素を共存させてもよい。
【０００７】仮焼結工程は９００〜１０５０℃の温度で
行うのが望ましい。この温度が９００℃より低いと仮焼
結工程におけるビスマス層状化合物の生成が不十分とな
り、所望の効果を得にくい。一方１０５０℃より高くな
ると焼結が進み過ぎて、本焼結工程時の結晶の配向が不
十分となり所望の効果が得にくい。また、焼結が不十分
となり、本焼結体の強度などに不具合が生じる場合があ
る。
行うのが望ましい。この温度が９００℃より低いと仮焼
結工程におけるビスマス層状化合物の生成が不十分とな
り、所望の効果を得にくい。一方１０５０℃より高くな
ると焼結が進み過ぎて、本焼結工程時の結晶の配向が不
十分となり所望の効果が得にくい。また、焼結が不十分
となり、本焼結体の強度などに不具合が生じる場合があ
る。
【０００８】
【作用】ビスマス層状化合物は、その結晶構造から極め
て異方性の強い材料であり、分極容易方向が特定の方向
に限られる。また結晶の形状も板状であり、形状的にも
一方向に配向し易い。しかし通常の製造方法による成形
・焼結では、分極容易軸がランダムとなってしまい、圧
電特性の向上が望めない。
て異方性の強い材料であり、分極容易方向が特定の方向
に限られる。また結晶の形状も板状であり、形状的にも
一方向に配向し易い。しかし通常の製造方法による成形
・焼結では、分極容易軸がランダムとなってしまい、圧
電特性の向上が望めない。
【０００９】そこで本発明の製造方法では、図１に示す
ように、Ｐ1 方向から成形体を一軸加圧しながら仮焼結
する。これにより、ビスマス層状化合物の板状結晶は、
偏平面が加圧方向に対して直角方向に配向しながら成長
する。得られた仮焼結体では、図２に示すように結晶が
層状に重なり合い、一つの層内では分極容易軸１０は同
一平面内にあるものの、二次元的にはランダムな配向と
なっている。
ように、Ｐ1 方向から成形体を一軸加圧しながら仮焼結
する。これにより、ビスマス層状化合物の板状結晶は、
偏平面が加圧方向に対して直角方向に配向しながら成長
する。得られた仮焼結体では、図２に示すように結晶が
層状に重なり合い、一つの層内では分極容易軸１０は同
一平面内にあるものの、二次元的にはランダムな配向と
なっている。
【００１０】さらに本発明では、仮焼結工程の加圧方向
Ｐ1 に対して直角方向Ｐ2 から仮焼結体を加圧しなが
ら、本焼結工程を行う。これにより図２に示すように結
晶は針状結晶となり、一次元的にも配向するようにな
る。したがって本焼結体の結晶の分極容易軸の配向性が
極めて向上し、圧電特性が向上する。
Ｐ1 に対して直角方向Ｐ2 から仮焼結体を加圧しなが
ら、本焼結工程を行う。これにより図２に示すように結
晶は針状結晶となり、一次元的にも配向するようにな
る。したがって本焼結体の結晶の分極容易軸の配向性が
極めて向上し、圧電特性が向上する。
【００１１】
（１）混合工程 出発原料として、酸化ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ），
酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3 ），酸化チタン（ＴｉＯ2 ）
及び酸化マンガン（ＭｎＯ）を用い、それぞれの原料粉
末を、組成比がＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15となるように、か
つＭｎＯをＭｎ重量換算で０．１重量％含むように秤量
して、エタノールとともにポットミル中で４８時間湿式
混合した。
酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3 ），酸化チタン（ＴｉＯ2 ）
及び酸化マンガン（ＭｎＯ）を用い、それぞれの原料粉
末を、組成比がＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15となるように、か
つＭｎＯをＭｎ重量換算で０．１重量％含むように秤量
して、エタノールとともにポットミル中で４８時間湿式
混合した。
【００１２】混合粉末を脱エタノール乾燥し、８００℃
で２時間仮焼した。この仮焼粉末を再びポットミル中で
４８時間湿式混合し、脱エタノール乾燥して粉末原料と
した。 （２）成形工程 この粉末原料にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を約３
重量％加えて造粒し、それを１０ｍｍ角の立方体状キャ
ビティをもつ金型中に供給して、１ｔ／ｃｍ2の圧力で
成形した。 （３）仮焼結工程 得られた成形体を昇降温速度２００℃／ｈで加熱し、９
００℃〜１０５０℃で２時間保持して仮焼結した。また
保持温度に達した時点で１０ＭＰａの圧力を一軸方向Ｐ
1 から成形体に印加し、温度保持中その圧力印加を保持
した。 （４）本焼結工程 得られた仮焼結体１をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、
それをアルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして
炉内に配置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１
１００〜１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結
した。また保持温度に達した時点でＰ2 ＝１０ＭＰａの
圧力を、前記Ｐ1 と直角方向Ｐ2 から仮焼結体１に印加
し、温度保持中その圧力印加を保持した。 （５）分極工程 得られた本焼結体２を、図３に示すように加圧軸Ｐ1 及
びＰ2 と平行に厚さ１ｍｍの板状に切り出し、正方形形
状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼き付けて銀電極を
形成した。そして２００℃に加熱されたシリコンオイル
中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間印加してそれぞれ
分極処理を行った。
で２時間仮焼した。この仮焼粉末を再びポットミル中で
４８時間湿式混合し、脱エタノール乾燥して粉末原料と
した。 （２）成形工程 この粉末原料にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を約３
重量％加えて造粒し、それを１０ｍｍ角の立方体状キャ
ビティをもつ金型中に供給して、１ｔ／ｃｍ2の圧力で
成形した。 （３）仮焼結工程 得られた成形体を昇降温速度２００℃／ｈで加熱し、９
００℃〜１０５０℃で２時間保持して仮焼結した。また
保持温度に達した時点で１０ＭＰａの圧力を一軸方向Ｐ
1 から成形体に印加し、温度保持中その圧力印加を保持
した。 （４）本焼結工程 得られた仮焼結体１をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、
それをアルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして
炉内に配置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１
１００〜１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結
した。また保持温度に達した時点でＰ2 ＝１０ＭＰａの
圧力を、前記Ｐ1 と直角方向Ｐ2 から仮焼結体１に印加
し、温度保持中その圧力印加を保持した。 （５）分極工程 得られた本焼結体２を、図３に示すように加圧軸Ｐ1 及
びＰ2 と平行に厚さ１ｍｍの板状に切り出し、正方形形
状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼き付けて銀電極を
形成した。そして２００℃に加熱されたシリコンオイル
中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間印加してそれぞれ
分極処理を行った。
【００１３】本焼結体２では分極容易軸１０は加圧方向
Ｐ1 及びＰ2 と垂直に配向しているので、この切り取ら
れたビスマス層状化合物では分極容易軸１０は厚さ方向
に平行に配向していることとなる。 〔比較例１〕実施例と同様に形成された成形体をＺｒＯ
2 製パッド材の上に置き、それをアルミナ製容器内に収
納しアルミナ製の蓋をして炉内に配置し、昇降温速度２
００℃／ｈ、温度保持は１１００〜１３００℃で２時間
大気中で加熱保持して焼結した。仮焼結工程及び焼結中
の加圧は行わなかった。そして焼結体を厚さ１ｍｍとな
るまで研磨し、それについて実施例と同様に分極工程を
行った。 〔比較例２〕比較例１の方法において、保持温度に達し
た時点で１０ＭＰａの圧力を成形体に印加し、温度保持
中その圧力印加を保持した。そして得られた焼結体を加
圧方向と平行に厚さ１ｍｍの板状に切り出し、それにつ
いて実施例と同様に分極工程を行った。 （評価）得られたそれぞれの素子について、それぞれ圧
電性の感度を測定した。結果を表１に示す。ここで圧電
性の感度とは、図４に示すように、試料に力Ｆを加えた
場合に発生する電荷の量をＥとしたときに、単位力当た
りの電荷（Ｅ／Ｆ，単位ｐＣ／Ｎ）をいう。
Ｐ1 及びＰ2 と垂直に配向しているので、この切り取ら
れたビスマス層状化合物では分極容易軸１０は厚さ方向
に平行に配向していることとなる。 〔比較例１〕実施例と同様に形成された成形体をＺｒＯ
2 製パッド材の上に置き、それをアルミナ製容器内に収
納しアルミナ製の蓋をして炉内に配置し、昇降温速度２
００℃／ｈ、温度保持は１１００〜１３００℃で２時間
大気中で加熱保持して焼結した。仮焼結工程及び焼結中
の加圧は行わなかった。そして焼結体を厚さ１ｍｍとな
るまで研磨し、それについて実施例と同様に分極工程を
行った。 〔比較例２〕比較例１の方法において、保持温度に達し
た時点で１０ＭＰａの圧力を成形体に印加し、温度保持
中その圧力印加を保持した。そして得られた焼結体を加
圧方向と平行に厚さ１ｍｍの板状に切り出し、それにつ
いて実施例と同様に分極工程を行った。 （評価）得られたそれぞれの素子について、それぞれ圧
電性の感度を測定した。結果を表１に示す。ここで圧電
性の感度とは、図４に示すように、試料に力Ｆを加えた
場合に発生する電荷の量をＥとしたときに、単位力当た
りの電荷（Ｅ／Ｆ，単位ｐＣ／Ｎ）をいう。
【００１４】
【表１】 表１より、本発明の製造方法により得られた圧電素子
は、従来の製造方法である比較例で得られたものに比べ
て感度が６０〜１００％も向上している。これは、仮焼
結時及び本焼結時にそれぞれ異なる方向に圧力を印加し
て焼結したことによる効果であることが明らかである。
は、従来の製造方法である比較例で得られたものに比べ
て感度が６０〜１００％も向上している。これは、仮焼
結時及び本焼結時にそれぞれ異なる方向に圧力を印加し
て焼結したことによる効果であることが明らかである。
【００１５】
【発明の効果】すなわち本発明の製造方法によれば、ホ
ットプレス法と同様に分極容易軸が一方向に配向したビ
スマス層状化合物を容易に製造することができる。そし
て２回の焼結工程で一軸加圧するだけでよいので、一度
に多数の成形体を処理することができ、生産性に優れて
いるため、ホットプレス法に比べて生産コストを低減す
ることができる。
ットプレス法と同様に分極容易軸が一方向に配向したビ
スマス層状化合物を容易に製造することができる。そし
て２回の焼結工程で一軸加圧するだけでよいので、一度
に多数の成形体を処理することができ、生産性に優れて
いるため、ホットプレス法に比べて生産コストを低減す
ることができる。
【００１６】そして本発明により製造されたビスマス層
状化合物は、完全に一方向に分極容易軸が配向している
ので、他の方向からの振動モードを受けず、高精度なフ
ィルタ、高精度な加速度センサなどとして利用すること
ができる。
状化合物は、完全に一方向に分極容易軸が配向している
ので、他の方向からの振動モードを受けず、高精度なフ
ィルタ、高精度な加速度センサなどとして利用すること
ができる。
【図１】本発明の実施例で得られた仮焼結体の説明図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例で得られた本焼結体の説明図で
ある。
ある。
【図３】本発明の実施例における本焼結体からの試験片
の切り出し位置を示す説明図である。
の切り出し位置を示す説明図である。
【図４】力と電荷出力の関係を示し、圧電性の感度の定
義を示す説明図である。
義を示す説明図である。
【符号の説明】 １：仮焼結体 ２：本焼結体 １０：
分極容易軸
分極容易軸
Claims (1)
- 【請求項１】 ビスマス層状化合物となる組成比で複数
の原料を混合して粉末原料とする混合工程と、 該粉末原料から成形体を形成する成形工程と、 該成形体を一軸加圧しながら仮焼結して仮焼結体とする
仮焼結工程と、 該仮焼結体を該仮焼結工程の加圧方向と直角方向に一軸
加圧しながら焼結する本焼結工程と、からなることを特
徴とするビスマス層状化合物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04259957A JP3080277B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04259957A JP3080277B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06116010A true JPH06116010A (ja) | 1994-04-26 |
| JP3080277B2 JP3080277B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=17341274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04259957A Expired - Fee Related JP3080277B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3080277B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6700303B2 (en) | 1999-08-16 | 2004-03-02 | Murata Manufacturing Co. Ltd | Piezoelectric element |
| JP2005332660A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Nissan Motor Co Ltd | 燃料電池用セパレータの製造方法 |
| JP2006083016A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Science Univ Of Tokyo | 強誘電体材料の製造方法（放電プラズマ焼結による一軸配向性強誘電体セラミックスの合成） |
| JP2010251766A (ja) * | 2001-11-15 | 2010-11-04 | Fujifilm Dimatix Inc | 定向圧電膜を備えたインクジェット印刷モジュール |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP04259957A patent/JP3080277B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6700303B2 (en) | 1999-08-16 | 2004-03-02 | Murata Manufacturing Co. Ltd | Piezoelectric element |
| JP2010251766A (ja) * | 2001-11-15 | 2010-11-04 | Fujifilm Dimatix Inc | 定向圧電膜を備えたインクジェット印刷モジュール |
| JP2005332660A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Nissan Motor Co Ltd | 燃料電池用セパレータの製造方法 |
| JP2006083016A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Science Univ Of Tokyo | 強誘電体材料の製造方法（放電プラズマ焼結による一軸配向性強誘電体セラミックスの合成） |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3080277B2 (ja) | 2000-08-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004115293A (ja) | 圧電セラミックス | |
| CN104844202B (zh) | 一种锰锑酸铅掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷 | |
| JP2003026473A (ja) | セラミックの製造方法 | |
| EP2269965B1 (en) | Piezoelectric ceramic and piezoelectric ceramic composition | |
| JP2942535B1 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP2002308672A (ja) | 圧電セラミックの製造方法、圧電セラミック、および圧電セラミック素子 | |
| JP3020493B1 (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP2001220226A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP3032761B1 (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP3080277B2 (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| JP4569062B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| US3640866A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JPH06116024A (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| JP2006315909A (ja) | 圧電セラミックス | |
| US3546120A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JP2000264733A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP2871326B2 (ja) | ビスマス層状化合物焼結体の製造方法 | |
| JP3061224B2 (ja) | ビスマス層状化合物の分極方法 | |
| JP3981221B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH06107448A (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| JPH0741363A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3075447B2 (ja) | ビスマス層状化合物−圧電高分子複合体 | |
| JP3830345B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP3075448B2 (ja) | ビスマス層状化合物−圧電高分子複合体の製造方法 | |
| JP3156383B2 (ja) | ビスマス層状化合物焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |