JPH06117809A - 走査型トンネル顕微鏡 - Google Patents
走査型トンネル顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06117809A JPH06117809A JP4265233A JP26523392A JPH06117809A JP H06117809 A JPH06117809 A JP H06117809A JP 4265233 A JP4265233 A JP 4265233A JP 26523392 A JP26523392 A JP 26523392A JP H06117809 A JPH06117809 A JP H06117809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bobbin
- sample
- piezo
- guide
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】２重ボビン型走査型トンネル顕微鏡の走査範囲
を広くすることを目的とする。 【構成】試料テーブルの２重化と、外側ピエゾボビン４
のＸ方向電極４ｂに鋸波電圧を印加することによって、
試料１０をＸ方向に移動することができるので、Ｘ方向
の走査範囲が広くなる。
を広くすることを目的とする。 【構成】試料テーブルの２重化と、外側ピエゾボビン４
のＸ方向電極４ｂに鋸波電圧を印加することによって、
試料１０をＸ方向に移動することができるので、Ｘ方向
の走査範囲が広くなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】１９８８年のアメリカン・インスティテ
ュ−ト・オブ・フィジックス（American Institute of
Physics ）の１８９７頁〜１９０２頁に、イリノイ大学
により、２重ボビン型ピエゾを使った走査型トンネル顕
微鏡（以下、ＳＴＭという。ＳＴＭは、Scanning Tunne
ling Microscope の略）が提唱されている。我々発明者
は、この２重ボビン型ＳＴＭを試作している。このＳＴ
Ｍは、非常にコンパクトであることと、振動や熱などの
雰囲気の影響を受けにくいなどの点で優れている。
ュ−ト・オブ・フィジックス（American Institute of
Physics ）の１８９７頁〜１９０２頁に、イリノイ大学
により、２重ボビン型ピエゾを使った走査型トンネル顕
微鏡（以下、ＳＴＭという。ＳＴＭは、Scanning Tunne
ling Microscope の略）が提唱されている。我々発明者
は、この２重ボビン型ＳＴＭを試作している。このＳＴ
Ｍは、非常にコンパクトであることと、振動や熱などの
雰囲気の影響を受けにくいなどの点で優れている。
【０００３】図１を用いて、２重ボビン型ＳＴＭの構造
を説明する。断面Ｌ字状のベ−ス１の垂直面に円板状の
アイソレ−ション２を介して、同じく円板状のマコ−ル
プレ−ト３が固定されている。このマコ−ルプレ−ト３
上に試料アプロ−チ用の外側ピエゾボビン４とＸＹスキ
ャニング用の内側ピエゾボビン５が配設されている。上
記外側ピエゾボビン４、内側ピエゾボビン５とも４分割
電極が取り付けられている。内側ピエゾボビン５には探
針６が、外側ピエゾボビン４には試料を乗せたテ−ブル
９を案内するガイド８が取付られている。
を説明する。断面Ｌ字状のベ−ス１の垂直面に円板状の
アイソレ−ション２を介して、同じく円板状のマコ−ル
プレ−ト３が固定されている。このマコ−ルプレ−ト３
上に試料アプロ−チ用の外側ピエゾボビン４とＸＹスキ
ャニング用の内側ピエゾボビン５が配設されている。上
記外側ピエゾボビン４、内側ピエゾボビン５とも４分割
電極が取り付けられている。内側ピエゾボビン５には探
針６が、外側ピエゾボビン４には試料を乗せたテ−ブル
９を案内するガイド８が取付られている。
【０００４】この２重ボビン型ＳＴＭの動作原理を簡単
に説明する。試料を乗せたテ−ブル９は、外側ピエゾボ
ビン４の４分割電極全てに同一の鋸波を入力することに
よって、試料を探針６に近づけ、トンネル電流が流れる
と同時にその接近動作を止める。次に、外側ピエゾボビ
ン４によって試料自体をＸＹ方向に動かし、内側ピエゾ
ボビン５によって探針６を試料上に走査して、試料表面
の電子雲の形状を画像形成する。
に説明する。試料を乗せたテ−ブル９は、外側ピエゾボ
ビン４の４分割電極全てに同一の鋸波を入力することに
よって、試料を探針６に近づけ、トンネル電流が流れる
と同時にその接近動作を止める。次に、外側ピエゾボビ
ン４によって試料自体をＸＹ方向に動かし、内側ピエゾ
ボビン５によって探針６を試料上に走査して、試料表面
の電子雲の形状を画像形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
２重ボビン型ＳＴＭでは走査範囲が例えば２００μｍ2
と狭かった。このため、例えば多数個ヘッドチップが連
続するビデオテ−プレコ−ダのヘッドのギャップ近傍の
観察では、隣接するヘッドチップへ探針を持っていくこ
とはできなかった。
２重ボビン型ＳＴＭでは走査範囲が例えば２００μｍ2
と狭かった。このため、例えば多数個ヘッドチップが連
続するビデオテ−プレコ−ダのヘッドのギャップ近傍の
観察では、隣接するヘッドチップへ探針を持っていくこ
とはできなかった。
【０００６】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであって、このような従来の問題点を解消す
るためになされたものであり、Ｘ方向に任意量の試料移
動が可能な、広いＸ方向走査範囲を持つ走査型トンネル
顕微鏡を提供することにある。
されたものであって、このような従来の問題点を解消す
るためになされたものであり、Ｘ方向に任意量の試料移
動が可能な、広いＸ方向走査範囲を持つ走査型トンネル
顕微鏡を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明は、ベ−スに試料移動用の外側ピエゾボビン
とＸＹスキャニング用内側ピエゾボビンが配設され、内
側ピエゾボビンには、探針が配設され、外側ピエゾボビ
ンには、試料を乗せたテ−ブルを案内するガイドが配設
された走査型トンネル顕微鏡において、外側ピエゾボビ
ンに分割電極を取り付け、さらに試料を乗せるテ−ブル
を、案内溝を有する２重構造にすることよって、Ｘ方向
に任意量の試料移動をできるようにした。また、Ｘ方向
の試料移動距離は、試料上部に配設された光学顕微鏡に
より観察できるようにした。
に、本発明は、ベ−スに試料移動用の外側ピエゾボビン
とＸＹスキャニング用内側ピエゾボビンが配設され、内
側ピエゾボビンには、探針が配設され、外側ピエゾボビ
ンには、試料を乗せたテ−ブルを案内するガイドが配設
された走査型トンネル顕微鏡において、外側ピエゾボビ
ンに分割電極を取り付け、さらに試料を乗せるテ−ブル
を、案内溝を有する２重構造にすることよって、Ｘ方向
に任意量の試料移動をできるようにした。また、Ｘ方向
の試料移動距離は、試料上部に配設された光学顕微鏡に
より観察できるようにした。
【０００８】
【作用】試料テ−ブルの２重化と、外側ピエゾボビンの
鋸波入力によるＸ方向駆動によって試料の移動ができる
ため、Ｘ方向の走査範囲を非常に大きくすることができ
る。
鋸波入力によるＸ方向駆動によって試料の移動ができる
ため、Ｘ方向の走査範囲を非常に大きくすることができ
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面を参照しながら説明する。
いて、図面を参照しながら説明する。
【００１０】図１において、Ｌ字状のベ−ス１は、軽量
で耐久性の高いジュラルミンにより構成してあり、ベ−
ス１の垂直面上に、ＰＯＭアイソレ−ション２を介し
て、絶縁材であるマコ−ルプレ−ト３がボルト等により
固定されている。そして、マコ−ルプレ−ト３上にサン
プルアプロ−チ、試料１０（図３参照）のＸ方向移動及
びＸＹスキャニングを行う外側ピエゾボビン４と、ＸＹ
スキャニングを行う内側ピエゾボビン５が配設してあ
る。内側ピエゾボビン５には、マコ−ルプレ−ト３側と
は反対側に、絶縁材であるマコ−ルを介して探針６が接
続してある。
で耐久性の高いジュラルミンにより構成してあり、ベ−
ス１の垂直面上に、ＰＯＭアイソレ−ション２を介し
て、絶縁材であるマコ−ルプレ−ト３がボルト等により
固定されている。そして、マコ−ルプレ−ト３上にサン
プルアプロ−チ、試料１０（図３参照）のＸ方向移動及
びＸＹスキャニングを行う外側ピエゾボビン４と、ＸＹ
スキャニングを行う内側ピエゾボビン５が配設してあ
る。内側ピエゾボビン５には、マコ−ルプレ−ト３側と
は反対側に、絶縁材であるマコ−ルを介して探針６が接
続してある。
【００１１】外側ピエゾボビン４にはマコ−ルプレ−ト
３側とは反対側に、絶縁材であるマコ−ルを介して、試
料ベ−ス７が接続される。試料ベ−ス７には、試料１０
を乗せた２重テ−ブル９を案内する２本の棒状のガイド
８が平行に接続してある。また、試料１０上方には２重
テ−ブル９の位置決めを観察するための顕微鏡１１が配
設されている。
３側とは反対側に、絶縁材であるマコ−ルを介して、試
料ベ−ス７が接続される。試料ベ−ス７には、試料１０
を乗せた２重テ−ブル９を案内する２本の棒状のガイド
８が平行に接続してある。また、試料１０上方には２重
テ−ブル９の位置決めを観察するための顕微鏡１１が配
設されている。
【００１２】外側ピエゾボビン４及び内側ピエゾボビン
５は、図２に示すように、いずれも内側が全面ア−ス電
極４ａ、５ａで、外側が１ｍｍの不感帯を挟んで４分割
の電極４ｂ、４ｃ、５ｂにしてある。
５は、図２に示すように、いずれも内側が全面ア−ス電
極４ａ、５ａで、外側が１ｍｍの不感帯を挟んで４分割
の電極４ｂ、４ｃ、５ｂにしてある。
【００１３】２重テ−ブル９は、図３に示すように、ガ
イド８の案内溝と鋼球を有する下テ−ブル９ａと、下テ
−ブルの案内溝と直交する案内溝を有する上テ−ブル９
ｂという２段重ねの構造をしている。
イド８の案内溝と鋼球を有する下テ−ブル９ａと、下テ
−ブルの案内溝と直交する案内溝を有する上テ−ブル９
ｂという２段重ねの構造をしている。
【００１４】次に、本発明の２重ボビン型ＳＴＭの走査
方法を説明する。まず、サンプルアプロ−チを行う際
に、試料セット用の別顕微鏡下において、予め探針６が
来る位置に位置決めをして、試料１０を２重テ−ブル９
に取り付け、該２重テ−ブル９を２重ボビン型ＳＴＭの
ガイド８に乗せてセットする。
方法を説明する。まず、サンプルアプロ−チを行う際
に、試料セット用の別顕微鏡下において、予め探針６が
来る位置に位置決めをして、試料１０を２重テ−ブル９
に取り付け、該２重テ−ブル９を２重ボビン型ＳＴＭの
ガイド８に乗せてセットする。
【００１５】次に、外側ピエゾボビン４の無通電状態か
ら、トンネル電圧をモニタ−しながら、外側ピエゾボビ
ン４の４分割電極４ｂ、４ｃ全てに同一の鋸波電圧を加
えることにより、スティックスリップを起こさせながら
試料１０を乗せた２重テ−ブル９を探針６側に引き寄せ
る。そして、試料１０を乗せた２重テ−ブル９と探針６
が限界まで接近し、試料１０表面と探針６との間にトン
ネル電流が流れると同時に、外側ピエゾボビン４の４分
割電極４ｂ、４ｃへの鋸波電圧の供給を停止させて、試
料１０を乗せた２重テ−ブル９を止める。そして、これ
と同時に内側ピエゾボビン５の４分割電極５ｂへ同一電
圧をかけて瞬時に縮ませ、探針６と試料１０の衝突を阻
止する。その後、内側ピエゾボビン５の４分割電極５ｂ
へ緩やかに電圧をかけ、再びトンネル電流が規定量流れ
たところで、内側ピエゾボビン５への印加電圧を保持す
る。この状態で走査スタンバイとなる。
ら、トンネル電圧をモニタ−しながら、外側ピエゾボビ
ン４の４分割電極４ｂ、４ｃ全てに同一の鋸波電圧を加
えることにより、スティックスリップを起こさせながら
試料１０を乗せた２重テ−ブル９を探針６側に引き寄せ
る。そして、試料１０を乗せた２重テ−ブル９と探針６
が限界まで接近し、試料１０表面と探針６との間にトン
ネル電流が流れると同時に、外側ピエゾボビン４の４分
割電極４ｂ、４ｃへの鋸波電圧の供給を停止させて、試
料１０を乗せた２重テ−ブル９を止める。そして、これ
と同時に内側ピエゾボビン５の４分割電極５ｂへ同一電
圧をかけて瞬時に縮ませ、探針６と試料１０の衝突を阻
止する。その後、内側ピエゾボビン５の４分割電極５ｂ
へ緩やかに電圧をかけ、再びトンネル電流が規定量流れ
たところで、内側ピエゾボビン５への印加電圧を保持す
る。この状態で走査スタンバイとなる。
【００１６】そこで、観察したい部分を、外側ピエゾボ
ビン４及び内側ピエゾボビン５を使ってＸＹ走査する。
走査範囲が１０μｍ2 と狭い範囲の場合は、内側ピエゾ
ボビン５のみのＸＹ走査で十分であるが、走査範囲が１
００μｍ2 と広範囲にわたる場合には、内側ピエゾボビ
ン５の動きと相対する方向に、差動で外側ピエゾボビン
４を同時駆動する。
ビン４及び内側ピエゾボビン５を使ってＸＹ走査する。
走査範囲が１０μｍ2 と狭い範囲の場合は、内側ピエゾ
ボビン５のみのＸＹ走査で十分であるが、走査範囲が１
００μｍ2 と広範囲にわたる場合には、内側ピエゾボビ
ン５の動きと相対する方向に、差動で外側ピエゾボビン
４を同時駆動する。
【００１７】以上で、一観察工程が終了するが、多数個
連続するＶＴＲヘッドチップなどの、隣接するヘッドチ
ップへの探針６の移動方法は、図４によって説明する。
図４は図１の矢視Ａ方向から見た図である。
連続するＶＴＲヘッドチップなどの、隣接するヘッドチ
ップへの探針６の移動方法は、図４によって説明する。
図４は図１の矢視Ａ方向から見た図である。
【００１８】まず、外側ピエゾボビン４の４分割電極４
ｂ、４ｃ全部に、同一の鋸波電圧をかけ、試料１０を探
針６から遠ざける。この鋸波電圧はサンプルアプロ−チ
の場合と逆相である。次に図４（ａ）の無通電状態か
ら、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、顕微鏡１１で移動
距離を観察しながら、外側ピエゾボビン４のＸ方向電極
４ｂに、それぞれ逆相の鋸波電圧をかけることにより、
スティックスリップを起こさせながら試料１０を乗せた
上テ−ブル９ｂをＸ方向に移動させる。すなわち、図４
において外側ピエゾボビン４が瞬時にＸ負方向に曲がっ
た時、上テ−ブル９ｂはスリップして動かず（図４
（ｂ））、逆に、外側ピエゾボビン４がゆっくりとＸ正
方向に曲がった時、摩擦力で下テ−ブル９ａと一緒にＸ
正方向に移動する（図４（ｃ））ので、この動作を繰り
返すことにより、上テ−ブル９ｂは徐々にＸ正方向に移
動する。そして、顕微鏡１１で観察しながら、探針６の
先端が観察したい試料部分に達した時、上記外側ピエゾ
ボビン４のＸ方向のテ−ブル移動動作を停止する。以上
で、次の観察ができる位置へ試料１０を移動したので、
前記サンプルアプロ−チの動作から始めれば、隣接部分
の表面観察ができる。このようにして、Ｘ方向の広い走
査範囲を得ることができる。
ｂ、４ｃ全部に、同一の鋸波電圧をかけ、試料１０を探
針６から遠ざける。この鋸波電圧はサンプルアプロ−チ
の場合と逆相である。次に図４（ａ）の無通電状態か
ら、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、顕微鏡１１で移動
距離を観察しながら、外側ピエゾボビン４のＸ方向電極
４ｂに、それぞれ逆相の鋸波電圧をかけることにより、
スティックスリップを起こさせながら試料１０を乗せた
上テ−ブル９ｂをＸ方向に移動させる。すなわち、図４
において外側ピエゾボビン４が瞬時にＸ負方向に曲がっ
た時、上テ−ブル９ｂはスリップして動かず（図４
（ｂ））、逆に、外側ピエゾボビン４がゆっくりとＸ正
方向に曲がった時、摩擦力で下テ−ブル９ａと一緒にＸ
正方向に移動する（図４（ｃ））ので、この動作を繰り
返すことにより、上テ−ブル９ｂは徐々にＸ正方向に移
動する。そして、顕微鏡１１で観察しながら、探針６の
先端が観察したい試料部分に達した時、上記外側ピエゾ
ボビン４のＸ方向のテ−ブル移動動作を停止する。以上
で、次の観察ができる位置へ試料１０を移動したので、
前記サンプルアプロ−チの動作から始めれば、隣接部分
の表面観察ができる。このようにして、Ｘ方向の広い走
査範囲を得ることができる。
【００１９】本出願人は、本実施例を実施した結果、従
来は８ｍｍＶＴＲヘッド試料を２重テ−ブル９に取り付
けると１個分しか表面観察できなかったが、４０μｍピ
ッチで並んだ８ｍｍＶＴＲヘッドブロックのうち７０個
分を３ｍｍ幅にわたって順次表面観察することができ
た。
来は８ｍｍＶＴＲヘッド試料を２重テ−ブル９に取り付
けると１個分しか表面観察できなかったが、４０μｍピ
ッチで並んだ８ｍｍＶＴＲヘッドブロックのうち７０個
分を３ｍｍ幅にわたって順次表面観察することができ
た。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明からも明かなように、本発明
は試料テ−ブルの２重化と、外側ピエゾボビンの鋸波入
力によるＸ方向駆動によって試料の移動ができるため、
Ｘ方向の走査範囲を非常に大きくすることができる。こ
のように、連続した磁気ヘッド表面の表面観察は、磁気
ヘッドの製造、開発、設計を行う上で非常に重要であ
り、工業的価値は非常に高い。
は試料テ−ブルの２重化と、外側ピエゾボビンの鋸波入
力によるＸ方向駆動によって試料の移動ができるため、
Ｘ方向の走査範囲を非常に大きくすることができる。こ
のように、連続した磁気ヘッド表面の表面観察は、磁気
ヘッドの製造、開発、設計を行う上で非常に重要であ
り、工業的価値は非常に高い。
【図１】本発明を適用した走査型トンネル顕微鏡の概略
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１の走査型トンネル顕微鏡のピエゾボビン部
の断面図である。
の断面図である。
【図３】図１の２重テ−ブル９の斜視図である。
【図４】スティックスリップの説明図であり、同図
（ａ）はピエゾ無通電状態、同図（ｂ）は外側ピエゾボ
ビンのＸ方向電極にのみ電圧をかけ瞬間的にＸ負方向に
曲げる状態、同図（ｃ）は外側ピエゾボビンのＸ方向電
極にのみ前記と逆相の電圧をかけゆっくりとＸ正方向に
曲げる状態を示す。
（ａ）はピエゾ無通電状態、同図（ｂ）は外側ピエゾボ
ビンのＸ方向電極にのみ電圧をかけ瞬間的にＸ負方向に
曲げる状態、同図（ｃ）は外側ピエゾボビンのＸ方向電
極にのみ前記と逆相の電圧をかけゆっくりとＸ正方向に
曲げる状態を示す。
１ ベ−ス ４ 外側ピエゾボビン ４ｂ Ｘ方向分割電極 ５ 内側ピエゾボビン ６ 探針 ８ ガイド ９ ２重テ−ブル ９ａ 上テ−ブル ９ｂ 下テ−ブル １０ 試料 １１ 顕微鏡
Claims (2)
- 【請求項１】 ベ−スに試料アプロ−チ用の外側ピエゾ
ボビンとＸＹスキャニング用の内側ピエゾボビンが配設
され、内側ピエゾボビンには、探針が、外側ピエゾボビ
ンには、試料を乗せたテ−ブルを案内するガイドが配設
された走査型トンネル顕微鏡において、 前記テ−ブルは、上下２段のテーブルよりなり、下テー
ブルには、案内溝を前記ガイド面側にガイド面と平行方
向に有し、かつ上テーブルの下テーブルと対向する側に
は、下テーブルの案内溝と直交する方向に案内溝を有
し、かつ下テーブルの上面には、その上テーブルの案内
溝を案内するガイドが配設されてなることを特徴とする
走査型トンネル顕微鏡。 - 【請求項２】 前記外側ピエゾボビンの試料に対して水
平方向の分割電極に鋸波電圧を加えることにより、主と
して上テーブルが下テーブルの上面に配設されたガイド
に沿って移動する機構を有することを特徴とする請求項
１記載の走査型トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265233A JPH06117809A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265233A JPH06117809A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117809A true JPH06117809A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17414373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265233A Pending JPH06117809A (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06117809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112684210A (zh) * | 2021-01-22 | 2021-04-20 | 中国计量大学 | 一种可重复定位的扫描探针显微镜 |
-
1992
- 1992-10-05 JP JP4265233A patent/JPH06117809A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112684210A (zh) * | 2021-01-22 | 2021-04-20 | 中国计量大学 | 一种可重复定位的扫描探针显微镜 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2052882C (en) | Cantilever type probe, scanning tunnel microscope and information processing apparatus using the same | |
| EP0518618B1 (en) | Scanning tunneling microscope with cantilever type displacement element | |
| EP0071666A1 (en) | Electric travelling support | |
| DE69218866T2 (de) | Mechanismus zum parallelen Halten einer Fläche und Apparat zur Verwendung eines solchen Mechanismus | |
| EP0381113A2 (en) | Tunnel current data storage apparatus having separate lever bodies | |
| DE69115724T2 (de) | Oberflächenmikroskop | |
| US5693997A (en) | Non-tilting plate actuator for use in a micropositioning device | |
| CN107086812A (zh) | 一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达 | |
| GB2235052A (en) | Tunnel current probe moving mechanism having parallel cantilevers | |
| JPH06117809A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 | |
| JPH04235302A (ja) | トンネル顕微鏡の探針微動機構 | |
| JPH05302806A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 | |
| CN1588558B (zh) | 一种扫描探针显微镜探针驱动装置 | |
| JPH06117808A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 | |
| JP2821511B2 (ja) | 傾き調整方法 | |
| JPH01187402A (ja) | 走査トンネル顕微鏡 | |
| JP3088576B2 (ja) | 集積化アクチュエータを備えた走査型トンネル顕微鏡および前記集積化アクチュエータを備えた情報処理装置 | |
| JP3313757B2 (ja) | 粗動微動機構 | |
| JP2711311B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡 | |
| JP2744967B2 (ja) | 微小距離移動機構 | |
| JP2565392B2 (ja) | 走査型トンネル顕微鏡の測定方法 | |
| JPH088405Y2 (ja) | 圧電素子微小位置決め機構 | |
| Горбенко et al. | COMPACT SCANNING PROBE MICROSCOPE HEAD BASED ON INERTIAL THRUSTERS USING PIEZOPACKETS | |
| JPH04205739A (ja) | カンチレバー型プローブ及びそれを用いた情報処理装置 | |
| JP3473937B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡とその走査方法 |