JPH06118008A

JPH06118008A - 光情報記録媒体欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH06118008A
Application number: JP26374992A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Fujiwara; 康秀藤原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1992-10-01
Filing date: 1992-10-01
Publication date: 1994-04-28

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な回路構成でＩＤ部を除去若しくは区別
して欠陥を検出することが可能な光情報記録媒体欠陥検
査装置を提供する。【構成】ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された光情
報記録媒体面上に光スポットをスパイラル状に照射する
光照射手段と、光情報記録媒体を正規の回転方向とは逆
に回転させる回転機構と、光情報記録媒体からの反射光
量を検出する反射光量検出手段２０と、その検出された
反射光量信号からＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手
段２１と、予め設定された閾値をもとに反射光量信号を
２値化する２値化手段２２と、ＩＤ部以外の位置で反射
光量信号から欠陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段２
３とにより構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスク等の光
情報記録媒体の欠陥を検出する光情報記録媒体欠陥検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来における光情報記録媒体欠陥検査装
置の一例を図１６に基づいて説明する。光源１から出射
した光は、偏光ビームスプリッタ２を通過して対物レン
ズ３で集光されることにより光情報記録媒体としての光
ディスク４の面上に照射される。また、この光ディスク
４からの反射光は、偏光ビームスプリッタ２で反射され
た後、シリンドリカルレンズ５を介して受光素子６に導
かれる。これにより、アンプ７では反射光量の和が求め
られ再生信号（ＲＦ信号）が検出されこれによりディス
面の欠陥８が検出され、一方のアンプ９では反射光量の
差が求められフォーカスエラー信号Ｆｏが検出されこれ
によりフォーカス制御が行われる。

【０００３】この場合、光ディスク４を回転させ、欠陥
検出系１０をディスクの半径方向に移動させることによ
り、ディスク全面を走査させている。そして、そのディ
スク面に欠陥８が存在すると、反射光量は回折、散乱に
より減少するため、ＲＦ信号は図１７（ａ）に示すよう
な波形となる。このようにして検出されたＲＦ信号を演
算処理して図１７（ｂ）に示すような欠陥信号として欠
陥８を検出することができる。

【０００４】このように欠陥８を欠陥信号として取り出
している従来例としては、例えば、特開平２−２７２４
１号公報に「光ディスク欠陥検査装置」として、特開平
２−２１８９０６号公報に「光ディスク・スタンパ検査
装置」としてそれぞれ開示されているものがある。前者
の場合、ＲＦ信号を閾値による２値化した信号と、ＲＦ
信号を微分した信号との両方の信号を用いて欠陥信号を
作り出している。また、後者の場合、スタンパの検査時
に補正板を用いることにより光ディスクとスタンパの両
方を同じ欠陥検出系で測定し、これによりスタンパの欠
陥部を欠陥信号として取り出して検査を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような検査方法
は、光ディスクがグルーブ（案内溝）のみでピットがな
い場合には、そのまま欠陥検査を行うことができるが、
一般の光ディスクのように、ピットでＩＤ部が形成され
たサンプルの場合、ＩＤ部のピットにおいても欠陥と同
様にＲＦ信号が変動するため、誤検出を防ぐためＩＤ部
を除去する必要がある。図１８は、光磁気ディスク１１
（例えばＩＳＯ１３０ｍｍｃｃｓ、ＩＳＯ９０ｍｍｃｃ
ｓ等）の一例を示すものである。この場合、光磁気ディ
スク１１は、トラッキングのためのグルーブ１２とピッ
ト１３とが予め形成されており、グルーブ１２のみが形
成されディスク完成後にユーザによりデータを書込む領
域となるデータ部１４と、グルーブ１２の他にピット１
３でアドレス情報等が書き込まれたＩＤ部１５とからな
っている。このように形成された光磁気ディスク１１
（ディスク原盤、スタンパ等も含む）を光で走査した場
合に、欠陥によるＲＦ信号の変動（低下）の他に、前述
したようにＩＤ部１５でも欠陥と同様にＲＦ信号の値が
変動してしまう。このようなことから、光磁気ディスク
１１上の欠陥を検出する場合には、実際の欠陥とＩＤ部
１５のピット１３から発生する信号を区別若しくは除去
する必要がある。

【０００６】従来においては、そのような欠陥部とＩＤ
部１５のピット１３とを区別若しくは除去するために、
トラッキング制御を行い、図１９に示すように、ＩＤ部
１５のピット１３から発生する予め決定されたＲＦ信号
１６を検出し、データ部１４のウィンド信号１７を生成
することにより、ＩＤ部１５のピット１３との識別を行
い、これにより欠陥１８に相当する欠陥信号１９の検出
を行っている。しかしこのためには、図１６に示したよ
うな光学系の他に、トラッキング制御に必要なトラック
エラー信号を検出する手段や、トラッキングサーボを行
うための信号処理手段、収束ビームをグルーブ１２に沿
って移動させる手段、さらにはＩＤ部１５を検出するた
めのＩＤ信号のデコード手段等が必要となり、回路が複
雑化し、コスト高になる恐れがある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された光情報記録
媒体面上に光スポットをスパイラル状に照射する光照射
手段と、前記光情報記録媒体を正規の回転方向とは逆に
回転させる回転機構と、前記光情報記録媒体からの反射
光量を検出する反射光量検出手段と、その検出された反
射光量信号から前記ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出
手段と、予め設定された閾値をもとに前記反射光量信号
を２値化する２値化手段と、前記ＩＤ部以外の位置で前
記反射光量信号から欠陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出
手段とにより構成した。

【０００８】請求項２記載の発明では、ＩＤ部とデータ
部とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポッ
トをスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報
記録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量信号から前記
ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手段と、前記ＩＤ部
の位置で欠陥検出の閾値を切換える欠陥検出閾値制御手
段と、その切換えられた閾値をもとに前記反射光量信号
を２値化して欠陥を検出する２値化手段とにより構成し
た。

【０００９】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、欠陥検出閾値制御手段は、反射光量信号
の高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、その除
去された信号をＩＤ部の位置で異なる利得に増幅する利
得増幅手段とからなるようにした。

【００１０】請求項４記載の発明では、ＩＤ部とデータ
部とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポッ
トをスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報
記録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量信号の高周波
成分を除去する高周波成分除去手段と、その除去された
信号を増幅する増幅手段と、その増幅された信号を閾値
として前記反射光量信号を２値化する２値化手段と、前
記ＩＤ部の先頭位置を検出するＩＤ部検出手段と、前記
２値化された信号から前記ＩＤ部の先頭信号を除去し欠
陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段とにより構成し
た。

【００１１】請求項５記載の発明では、ＩＤ部とデータ
部とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポッ
トをスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報
記録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量の高周波成分
を除去する高周波成分除去手段と、その除去された信号
を増幅する増幅手段と、前記ＩＤ部の先頭位置を検出す
るＩＤ部検出手段と、その検出された前記ＩＤ部の先頭
位置で前記高周波成分除去手段の遮断周波数を切換える
遮断周波数切換え手段と、その増幅された信号を閾値と
して前記反射光量信号を２値化して欠陥を検出する２値
化手段とにより構成した。

【００１２】請求項６記載の発明では、請求項１，２，
４又は５記載の発明において、ＩＤ部検出手段は、ミラ
ーマークを検出するミラーマーク検出手段と、その検出
されたミラーマークから所定の幅をもつパルスを発生さ
せるパルス発生手段とからなるようにした。

【００１３】請求項７記載の発明では、請求項６記載の
発明において、ミラーマーク検出手段は、反射光量信号
の高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、その除
去された信号を増幅する増幅手段と、その増幅された信
号を閾値として反射光量信号を２値化する２値化手段と
よりなるようにした。

【００１４】請求項８記載の発明では、請求項６記載の
発明において、パルス発生手段は、光情報記録媒体の半
径位置情報若しくは光情報記録媒体の品種情報によりパ
ルス幅を可変するパルス幅制御信号生成手段を備えるよ
うにした。

【００１５】請求項９記載の発明では、請求項６記載の
発明において、パルス発生手段は、ミラーマークの長さ
を測定するミラーマーク長さ測定手段と、そのミラーマ
ークの長さによりパルス幅を可変するパルス幅可変手段
とを備えるようにした。

【００１６】請求項１０記載の発明では、請求項１，
２，４又は５記載の発明において、ＩＤ部検出手段は、
反射光量信号を２値化する２値化手段と、この２値化さ
れた反射光量信号の立下り信号から所定のパルス幅を発
生させるパルス発生手段と、検出されたミラーマークか
ら前記パルス発生手段の出力パルス終了位置までのパル
スを発生させるパルス幅決定手段とを備えるようにし
た。

【００１７】請求項１１記載の発明では、請求項２記載
の発明において、欠陥検出閾値制御手段は、光情報半径
位置情報により欠陥検出の閾値を切換える閾値切換え手
段を備えるようにした。

【００１８】

【作用】請求項１記載の発明では、従来のようなトラッ
キング制御手段やＩＤ部のデコード手段なしにＩＤ部の
検出を行うことができるため、簡単な構造で低コストな
装置を提供することが可能となる。

【００１９】請求項２記載の発明では、ＩＤ部に存在す
る欠陥をも合わせて検出することが可能となる。

【００２０】請求項３記載の発明では、トラック横断に
よるＲＦ信号の変動を除去できるのみならず、簡単な構
成で閾値切換え位置でも連続した閾値信号を生成できる
ため、従来のような欠陥の誤検出を起こすようなことを
なくすことが可能となる。

【００２１】請求項４，５記載の発明では、従来のよう
なトラッキング制御手段やＩＤ部のデコード手段なしに
ＩＤ部の検出を行うことができ、一段と簡単な構成で欠
陥検出を行うことが可能となる。

【００２２】請求項６記載の発明では、ＩＤ部の先頭を
簡単な構成で検出できるため、低コストな装置を提供す
ることが可能となる。

【００２３】請求項７記載の発明では、偏芯によるトラ
ック横断でＲＦ信号が変動しても安定してミラーマーク
の検出を行うことが可能となる。

【００２４】請求項８記載の発明では、ＭＣＡＶタイプ
のディスクや種々のディスクを検査することが可能とな
る。

【００２５】請求項９，１０記載の発明では、ＭＣＡＶ
タイプのディスクの測定を行え、また、ディスクの種類
が変わっても自動的に測定することが可能となる。

【００２６】請求項１１記載の発明では、パーシャルＲ
ＯＭタイプのディスクに対しても検査を行うことが可能
となる。

【００２７】

【実施例】本発明の第一の実施例を図１〜図７に基づい
て説明する。まず、光情報記録媒体欠陥検査装置の全体
構成の概略を図１及び図２に基づいて述べる。本装置
は、ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された光情報記録
媒体としての図示しない光ディスクの面上に光スポット
をスパイラル状に照射する図示しない光照射手段と、前
記光ディスクを正規の回転方向とは逆に回転させる図示
しない回転機構と、前記光ディスクからの反射光量を検
出する反射光量検出手段としての反射光量検出光学系２
０と、その検出された反射光量信号（以下、ＲＦ信号と
呼ぶ）から前記ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手段
としてのＩＤ部検出回路２１と、予め設定された閾値ｅ
をもとに前記ＲＦ信号を２値化する２値化手段としての
２値化回路２２と、前記ＩＤ部以外の位置で前記ＲＦ信
号から欠陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段としての
ＩＤ部除去欠陥検出回路２３と、欠陥検出記憶回路２４
とからなっている（請求項１記載の発明に対応する）。
なお、ここでいう、光ディスク、ＩＤ部、データ部と
は、前述した図１８中の光ディスク１１、ＩＤ部１５、
データ部１４に相当するものである。

【００２８】このような構成において、反射光量検出光
学系２０から出力されたＲＦ信号ａは、ＩＤ部検出回路
２１で処理されることによりＩＤ位置信号ｃが生成され
ると共に、２値化回路２２で２値化（閾値ｅ）されＲＦ
信号ｂとなる。そして、これら２つの信号ｂ，ｃはＩＤ
部除去回路２３に送られることにより、ＩＤ部以外のデ
ータ部に存在する欠陥２５が抽出され欠陥信号ｄを得
る。図２は、それら各種信号の波形を示すものである。
従って、このようなことから、ＩＤ部におけるＲＦ信号
を検出することなく、データ部のみにおける欠陥２５を
抽出することが可能となる。

【００２９】次に、本実施例の特徴であるＩＤ部検出回
路２１の内部構成を図３〜図７に基づいて説明する。ま
ず、図３は、ＩＤ部検出回路２１の第一の構成例を示す
ものである。本回路は、ミラーマークを検出するミラー
マーク検出手段としてのミラーマーク検出回路２６と、
その検出されたミラーマークから所定の幅をもつパルス
を発生させるパルス発生手段としてのパルス発生回路２
７とからなっている（請求項６記載の発明に対応す
る）。また、前記ミラーマーク検出回路２６は、ＲＦ信
号の高周波成分を除去する高周波成分除去手段としての
ローパスフィルタ（Ｌ．Ｐ．Ｆ．）２８と、その除去さ
れた信号を増幅する増幅手段としての増幅器２９と、そ
の増幅された信号を閾値としてＲＦ信号を２値化する２
値化手段としての比較器３０とからなっている（請求項
７記載の発明に対応する）。

【００３０】このような構成において、図４に示すよう
に、トラッキングをしない場合のＲＦ信号ａは、トラッ
クを横断することにより変動する。このＲＦ信号ａから
ミラーマーク３１を検出するために、ローパスフィルタ
２８でピットやミラーマーク３１等によるＲＦ信号ａの
変動を除去した信号を増幅器２９で増幅してミラーマー
ク閾値信号ｈを生成し、このミラーマーク閾値信号ｈを
もとに比較器３０によりＲＦ信号ａを２値化してミラー
マーク信号ｇを生成する。本実施例の場合、光ディスク
を正規の回転方向とは逆方向に回転させるため、ＩＤ部
の最後に形成されたミラーマーク３１をＩＤ部の先頭位
置として検出させることができる。そして、このように
して検出されたミラーマーク信号ｇをパルス発生回路２
７に送ることにより、ＩＤ部の長さに相当するｔ₁ のパ
ルス幅をもつＩＤ位置信号ｃを生成させることができ
る。

【００３１】図５（ａ）（ｂ）は、前記パルス発生回路
２７の構成を示すものである。まず、図５（ａ）では、
光ディスクの半径位置情報若しくは品種情報によりパル
ス幅を可変するパルス幅制御信号生成手段としてのパル
ス幅制御信号生成回路３２と、パルス発生器３３とを備
えている（請求項８記載の発明に対応する）。また、図
５（ｂ）では、ミラーマークの長さを測定するミラーマ
ーク長さ測定手段としてのカウンタ３４と、そのミラー
マークの長さによりパルス幅を可変するパルス幅可変手
段としてのパルス幅制御信号生成回路３５と、パルス発
生器３６とを備えている。

【００３２】このような構成において、図５（ａ）で
は、ＣＡＶタイプのディスク１種類だけ測定する場合に
は必要ないが、品種により異なるＩＤの長さに対応させ
るため、パルス幅制御信号生成回路３２において品種に
応じてパルス発生器３３に供給する電流を制御してパル
ス幅を変えている。そして、ミラーマーク信号ｇからパ
ルス発生器（モノマルチバイブレータ）３３でｔ₁ パル
スを発生させる。また、ＭＣＡＶディスクの場合には、
ディスク外周に向かうに従ってＩＤの長さが短くなるた
め、そのように制御する必要がある。このように図５
（ａ）では外部情報（半径、品種）でパルス幅を切り換
えていたのに対して、図５（ｂ）ではミラーマークの長
さを測定して必要なパルス幅を発生させる。第１表のよ
うに、品種毎にＩＤ部の長さは異なるが、ミラーマーク
長さとの比は常に一定なので、ミラーマークの長さをカ
ウンタ３４で測定して、これに従って発生パルス幅を制
御すれば品種に無関係に、また、ＭＣＡＶになった場合
でも必要なパルス幅を発生させることができる。

【００３３】

【表１】

【００３４】次に、図６は、ＩＤ部検出回路２１の第二
の構成例を示すものである。本回路は、反射光量信号を
２値化する２値化手段としての２値化回路３７と、この
２値化されたＲＦ信号ｂの立下り信号から所定のパルス
幅を発生させるパルス発生手段としてのパルス発生器
（モノマルチバイブレータ）３８と、立上りエッジ検出
回路３９と、検出されたミラーマークから前記パルス発
生手段の出力パルス終了位置までのパルスを発生させる
パルス幅決定手段としてのフリップフロップ回路４０
と、ミラーマーク検出回路２６と、立下りエッジ検出回
路４１とより構成されている（請求項１０記載の発明に
対応する）。

【００３５】このような構成において、ＲＦ信号ａを２
値化回路３７により２値化し、この２値化信号ｂをパル
ス発生器３８に入力する。このパルス発生回路３８のパ
ルス幅をピット間隔より広くすることにより、ピット毎
に繰返しトリガーが入力されるため、出力パルスはＩＤ
部よりわずかに広いものとなる。ミラーマーク信号ｇの
立下りエッジでフリップフロップ回路４０をリセット
し、信号の立下りでセットすることにより、必要なＩＤ
位置信号ｃを品種・ＣＡＶ／ＭＣＡＶに関係なく生成さ
せることができる。図７は、各種のタイミング信号の様
子を示すものである。

【００３６】従って、従来の欠陥検査方法がＩＤ部検出
に信号パターンをデコードすることによりＩＤ部の検出
を行い、トラッキング回路、デコード回路等が必要であ
ったのに対して、本実施例では、ミラーマークを使用し
てＩＤ部の情報を含まないＲＦ信号から欠陥信号のみの
検出を行っているので、簡単な構成の検査方法を実現す
ることが可能となり、これにより低コストな装置を提供
することができる。

【００３７】次に、本発明の第二の実施例を図８〜図１
０に基づいて説明する。なお、第一の実施例（図１参
照）と同一部分についての説明は省略し、その同一部分
については同一符号を用いる。

【００３８】図８の本装置において、ＩＤ部検出回路２
１の後段には、ＩＤ部の位置で欠陥検出の閾値を切換え
る欠陥検出閾値制御手段としての欠陥検出閾値制御回路
４２と、その切換えられた閾値をもとにＲＦ信号を２値
化して欠陥を検出する２値化手段としての２値化回路２
２とが設けられている（請求項２記載の発明に対応す
る）。前記欠陥検出閾値制御回路４２は、図１０（ａ）
に示すように、ＲＦ信号の高周波成分を除去する高周波
成分除去手段としてのローパスフィルタ４３と、その除
去された信号をＩＤ部の位置で異なる利得に増幅する利
得増幅手段としての利得増幅回路４４からなっている
（請求項３記載の発明に対応する）。また、この欠陥検
出閾値制御回路４２の後段には、光ディスクの半径位置
情報により欠陥検出の閾値を切換える閾値切換え手段と
しての可変利得増幅器４５が接続されている（請求項１
１記載の発明に対応する）。

【００３９】このような構成において、動作原理につい
て説明する。ＩＤ部検出回路２１は前述した第一の実施
例と同様にミラーマーク信号ｇを使用して、ＩＤ位置信
号ｃを生成することができる。このＩＤ位置信号ｃを欠
陥検出閾値制御回路４２に送る。この欠陥検出閾値制御
回路４２では、ＩＤ部とデータ部の２つの閾値電圧を用
意してアナログＳＷで切り換えてもよいが、ここでは切
換え時に一瞬信号が途切れ誤検出を防ぐための機構が必
要になるため、連続的に切り換えられる構造とした。す
なわち、ローパスフィルタ４３で発生した電圧を可変利
得増幅器４４でＩＤ位置信号ｃのタイミングでＩＤ部と
データ部の２つの閾値をもつ閾値電圧ｅを発生させる。
また、閾値電圧ｅをさらに可変利得増幅器４５に送りデ
ィスク半径位置で切換えることにより、データ部に予め
ピットで情報が書き込まれたＲＯＭ部をディスク内に合
わせもつ、パーシャルＲＯＭを測定できるようになる。
なお、図９は、各種タイミング信号の波形を示すもので
ある。従って、従来の欠陥検査方法がＩＤ部を除去して
いたのに対して、本実施例では、ＩＤ部とデータ部の閾
値を変えて欠陥検査を行うことができる。

【００４０】次に、本発明の第三の実施例を図１１〜図
１５に基づいて説明する。なお、第一，第二の実施例
（図１，図４参照）と同一部分についての説明は省略
し、その同一部分については同一符号を用いる。

【００４１】本装置は、図１１に示すように、欠陥検出
閾値信号生成回路４６と、ＩＤ部の先頭位置を検出する
ＩＤ部検出手段としてのＩＤ部先頭位置検出回路４７と
を備えている。この場合、図１３に示すように、前記欠
陥検出閾値信号生成回路４６は、ＲＦ信号の高周波成分
を除去する高周波成分除去手段としてのローパスフィル
タ４８と、その除去された信号を増幅する増幅手段とし
ての増幅器４９とよりなっている。ＩＤ部の先頭位置を
検出する前記ＩＤ部先頭位置検出回路４７は、ミラーマ
ーク検出回路２６と、パルス発生器５０とからなってい
る（請求項４記載の発明に対応する）。

【００４２】また、図１５は、図１３の回路の変形例を
示すものであり、欠陥検出閾値信号生成回路４６とＩＤ
部先頭位置検出回路４７との後段には、検出されたＩＤ
部の先頭位置でローパスフィルタ４８ａ，４８ｂの遮断
周波数を切換える遮断周波数切換え手段としての信号切
換え回路５１が設けられている（請求項５記載の発明に
対応する）。

【００４３】このような構成において、動作原理につい
て説明する。図１２は図１１の回路の各部での信号波形
を示すものであり、図１４は図１３，１５の各部での信
号波形を示すものである。ＲＦ信号ａをローパスフィル
タ４８ａに通過させた場合、その遮断周波数を２００μ
ｍ相当にすると、図１４（ｃ）のｊ信号のようになり、
また、その遮断周波数を２０μｍ相当にすると、図１４
（ｂ）のｋ信号のようになる。ｊ，ｋ信号を増幅器４９
を通過させた後のｌ，ｍ信号でもとのＲＦ信号を２値化
して欠陥信号とすると、図１４（ａ）のｌ信号ではＩＤ
部の先頭を欠陥として誤検出するが、２００μｍ以下の
欠陥はすべて検出することができる。しかし、ｍ信号で
はＩＤ部の誤検出はなくなるが、５０μｍ以上の欠陥は
検出できなくなる。

【００４４】そこで、このようなことから、図１３の回
路では、ミラーマーク信号ｃからパルス発生回路（モノ
マルチバイブレータ等を用いる）５０でＩＤ部の先頭を
示すパルスのＩＤ部先頭信号ｆを発生させ、ｌ信号では
誤検出したＩＤ部の先頭を除去することにより欠陥信号
ｄを検出することができる。また、図１５の回路では、
ＩＤ部先頭信号ｆを信号切換え回路５１に送ることによ
り、ｌ，ｍ信号を切換えて閾値電圧ｅを２値化回路２２
に送りＩＤ部の先頭だけｍ信号で２値化し、それ以外は
ｌ信号で２値化することにより欠陥信号ｄを検出するこ
とができる。

【００４５】上述したように、欠陥検出の閾値電圧ｅを
ＲＦ信号ａに略追従させて急激にＲＦ信号の変動する欠
陥２５だけを検出し、そのような欠陥２５と同様に急激
にＲＦ信号が変動するＩＤ部の先頭（実際はＩＤ部の最
後の領域であるが、逆回転させることにより、先頭位置
となる）を誤検出した場合には、その部分をＩＤ部先頭
信号ｆで除去することにより、ＩＤ部を含まない欠陥信
号ｄを得ることができる。

【００４６】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、ＩＤ部とデータ
部とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポッ
トをスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報
記録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量信号から前記
ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手段と、予め設定さ
れた閾値をもとに前記反射光量信号を２値化する２値化
手段と、前記ＩＤ部以外の位置で前記反射光量信号から
欠陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段とにより構成し
たので、従来のようなトラッキング制御手段やＩＤ部の
デコード手段なしにＩＤ部の検出を行うことが可能とな
り、これにより簡単な構造で低コストな装置を提供する
ことができるものである。

【００４７】請求項２記載の発明は、ＩＤ部とデータ部
とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポット
をスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報記
録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量信号から前記
ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手段と、前記ＩＤ部
の位置で欠陥検出の閾値を切換える欠陥検出閾値制御手
段と、その切換えられた閾値をもとに前記反射光量信号
を２値化して欠陥を検出する２値化手段とにより構成し
たので、ＩＤ部に存在する欠陥をも合わせて検出するこ
とができるものである。

【００４８】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、欠陥検出閾値制御手段は、反射光量信号の
高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、その除去
された信号をＩＤ部の位置で異なる利得に増幅する利得
増幅手段とからなるようにしたので、トラック横断によ
るＲＦ信号の変動を除去できるのみならず、簡単な構成
で閾値切換え位置でも連続した閾値信号が生成可能なた
め、従来のような欠陥の誤検出を起こすようなことをな
くすことができるものである。

【００４９】請求項４記載の発明は、ＩＤ部とデータ部
とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポット
をスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報記
録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量信号の高周波
成分を除去する高周波成分除去手段と、その除去された
信号を増幅する増幅手段と、その増幅された信号を閾値
として前記反射光量信号を２値化する２値化手段と、前
記ＩＤ部の先頭位置を検出するＩＤ部検出手段と、前記
２値化された信号から前記ＩＤ部の先頭信号を除去し欠
陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段とにより構成した
ので、従来のようなトラッキング制御手段やＩＤ部のデ
コード手段なしにＩＤ部の検出を行うことができ、一段
と簡単な構成で欠陥検出を行うことができるものであ
る。

【００５０】請求項５記載の発明は、ＩＤ部とデータ部
とが交互に形成された光情報記録媒体面上に光スポット
をスパイラル状に照射する光照射手段と、前記光情報記
録媒体を正規の回転方向とは逆に回転させる回転機構
と、前記光情報記録媒体からの反射光量を検出する反射
光量検出手段と、その検出された反射光量の高周波成分
を除去する高周波成分除去手段と、その除去された信号
を増幅する増幅手段と、前記ＩＤ部の先頭位置を検出す
るＩＤ部検出手段と、その検出された前記ＩＤ部の先頭
位置で前記高周波成分除去手段の遮断周波数を切換える
遮断周波数切換え手段と、その増幅された信号を閾値と
して前記反射光量信号を２値化して欠陥を検出する２値
化手段とにより構成したので、請求項４記載の発明と同
様な効果を得ることができるものである。

【００５１】請求項６記載の発明は、請求項１，２，４
又は５記載の発明において、ＩＤ部検出手段は、ミラー
マークを検出するミラーマーク検出手段と、その検出さ
れたミラーマークから所定の幅をもつパルスを発生させ
るパルス発生手段とからなるようにしたので、ＩＤ部の
先頭位置を簡単な構成で検出でき、これにより低コスト
な装置を提供することができるものである。

【００５２】請求項７記載の発明は、請求項６記載の発
明において、ミラーマーク検出手段は、反射光量信号の
高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、除去され
た信号を増幅する増幅手段と、その増幅された信号を閾
値として反射光量信号を２値化する２値化手段とよりな
るようにしたので、偏芯によるトラック横断でＲＦ信号
が変動しても安定してミラーマークの検出を行うことが
できるものである。

【００５３】請求項８記載の発明は、請求項６記載の発
明において、パルス発生手段は、光情報記録媒体の半径
位置情報若しくは光情報記録媒体の品種情報によりパル
ス幅を可変するパルス幅制御信号生成手段を備えるよう
にしたので、ＭＣＡＶタイプのディスクや種々のディス
クを検査することができるものである。

【００５４】請求項９記載の発明は、請求項６記載の発
明において、パルス発生手段は、ミラーマークの長さを
測定するミラーマーク長さ測定手段と、そのミラーマー
クの長さによりパルス幅を可変するパルス幅可変手段と
を備えるようにしたので、ＭＣＡＶタイプのディスクの
測定を行うことができ、また、ディスクの種類が変わっ
ても自動的に測定することができるものである。

【００５５】請求項１０記載の発明は、請求項１，２，
４又は５記載の発明において、ＩＤ部検出手段は、反射
光量信号を２値化する２値化手段と、この２値化された
反射光量信号の立下り信号から所定のパルス幅を発生さ
せるパルス発生手段と、検出されたミラーマークから前
記パルス発生手段の出力パルス終了位置までのパルスを
発生させるパルス幅決定手段とを備えるようにしたの
で、請求項９記載の発明と同様な効果を得ることができ
るものである。

【００５６】請求項１１記載の発明は、請求項２記載の
発明において、欠陥検出閾値制御手段は、光情報半径位
置情報により欠陥検出の閾値を切換える閾値切換え手段
を備えるようにしたので、パーシャルＲＯＭタイプのデ
ィスクに対しても検査を行うことができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例である光情報記録媒体欠
陥検査装置の構成を示すブロック図である。

【図２】各種の信号波形を示すタイミングチャートであ
る。

【図３】ＩＤ部検出手段の構成を示すブロック図であ
る。

【図４】各種の信号波形を示すタイミングチャートであ
る。

【図５】パルス発生回路の構成を示すブロック図であ
る。

【図６】他のＩＤ部検出手段の構成を示すブロック図で
ある。

【図７】各種の信号波形を示すタイミングチャートであ
る。

【図８】本発明の第二の実施例である光情報記録媒体欠
陥検査装置の構成を示すブロック図である。

【図９】各種の信号波形を示すタイミングチャートであ
る。

【図１０】欠陥検出閾値制御手段の構成を示すブロック
図である。

【図１１】本発明の第三の実施例である光情報記録媒体
欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。

【図１２】各種の信号波形を示すタイミングチャートで
ある。

【図１３】光情報記録媒体欠陥検査装置の第一の具体例
を示すブロック図である。

【図１４】各種の信号波形を示すタイミングチャートで
ある。

【図１５】光情報記録媒体欠陥検査装置の第二の具体例
を示すブロック図である。

【図１６】従来の光情報記録媒体欠陥検査装置例を示す
構成図である。

【図１７】各種の信号波形を示すタイミングチャートで
ある。

【図１８】光情報記録媒体の表面形状を示す構成図であ
る。

【図１９】各種の信号波形を示すタイミングチャートで
ある。

【符号の説明】

２０反射光量検出手段２１ＩＤ部検出手段２２２値化手段２３ＩＤ部除去欠陥検出手段２５欠陥２６ミラーマーク検出手段２７パルス発生手段２８高周波成分除去手段２９増幅手段３０２値化手段３２パルス幅制御信号生成手段３４ミラーマーク長さ測定手段３５パルス幅可変手段３７２値化手段３８パルス発生手段４０パルス幅決定手段４２欠陥検出閾値制御手段４３高周波成分除去手段４４利得増幅手段４５閾値切換え手段４７ＩＤ部検出手段４８高周波成分除去手段４９増幅手段５１遮断周波数切換え手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入力情報データ部（以下、ＩＤ部と呼
ぶ）とデータ部とが交互に形成された光情報記録媒体面
上に光スポットをスパイラル状に照射する光照射手段
と、前記光情報記録媒体を正規の回転方向とは逆に回転
させる回転機構と、前記光情報記録媒体からの反射光量
を検出する反射光量検出手段と、その検出された反射光
量信号から前記ＩＤ部の位置を検出するＩＤ部検出手段
と、予め設定された閾値をもとに前記反射光量信号を２
値化する２値化手段と、前記ＩＤ部以外の位置で前記反
射光量信号から欠陥を検出するＩＤ部除去欠陥検出手段
とよりなることを特徴とする光情報記録媒体欠陥検査装
置。
【請求項２】ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された
光情報記録媒体面上に光スポットをスパイラル状に照射
する光照射手段と、前記光情報記録媒体を正規の回転方
向とは逆に回転させる回転機構と、前記光情報記録媒体
からの反射光量を検出する反射光量検出手段と、その検
出された反射光量信号から前記ＩＤ部の位置を検出する
ＩＤ部検出手段と、前記ＩＤ部の位置で欠陥検出の閾値
を切換える欠陥検出閾値制御手段と、その切換えられた
閾値をもとに前記反射光量信号を２値化して欠陥を検出
する２値化手段とよりなることを特徴とする光情報記録
媒体欠陥検査装置。
【請求項３】欠陥検出閾値制御手段は、反射光量信号
の高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、その除
去された信号をＩＤ部の位置で異なる利得に増幅する利
得増幅手段とからなることを特徴とする請求項２記載の
光情報記録媒体欠陥検査装置。
【請求項４】ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された
光情報記録媒体面上に光スポットをスパイラル状に照射
する光照射手段と、前記光情報記録媒体を正規の回転方
向とは逆に回転させる回転機構と、前記光情報記録媒体
からの反射光量を検出する反射光量検出手段と、その検
出された反射光量信号の高周波成分を除去する高周波成
分除去手段と、その除去された信号を増幅する増幅手段
と、その増幅された信号を閾値として前記反射光量信号
を２値化する２値化手段と、前記ＩＤ部の先頭位置を検
出するＩＤ部検出手段と、前記２値化された信号から前
記ＩＤ部の先頭信号を除去し欠陥を検出するＩＤ部除去
欠陥検出手段とよりなることを特徴とする光情報記録媒
体欠陥検査装置。
【請求項５】ＩＤ部とデータ部とが交互に形成された
光情報記録媒体面上に光スポットをスパイラル状に照射
する光照射手段と、前記光情報記録媒体を正規の回転方
向とは逆に回転させる回転機構と、前記光情報記録媒体
からの反射光量を検出する反射光量検出手段と、その検
出された反射光量の高周波成分を除去する高周波成分除
去手段と、その除去された信号を増幅する増幅手段と、
前記ＩＤ部の先頭位置を検出するＩＤ部検出手段と、そ
の検出された前記ＩＤ部の先頭位置で前記高周波成分除
去手段の遮断周波数を切換える遮断周波数切換え手段
と、その増幅された信号を閾値として前記反射光量信号
を２値化して欠陥を検出する２値化手段とよりなること
を特徴とする光情報記録媒体欠陥検査装置。
【請求項６】ＩＤ部検出手段は、ミラーマークを検出
するミラーマーク検出手段と、その検出されたミラーマ
ークから所定の幅をもつパルスを発生させるパルス発生
手段とからなることを特徴とする請求項１，２，４又は
５記載の光情報記録媒体欠陥検査装置。
【請求項７】ミラーマーク検出手段は、反射光量信号
の高周波成分を除去する高周波成分除去手段と、その除
去された信号を増幅する増幅手段と、その増幅された信
号を閾値として反射光量信号を２値化する２値化手段と
よりなることを特徴とする請求項６記載の光情報記録媒
体欠陥検査装置。
【請求項８】パルス発生手段は、光情報記録媒体の半
径位置情報若しくは光情報記録媒体の品種情報によりパ
ルス幅を可変するパルス幅制御信号生成手段を備えてい
ることを特徴とする請求項６記載の光情報記録媒体欠陥
検査装置。
【請求項９】パルス発生手段は、ミラーマークの長さ
を測定するミラーマーク長さ測定手段と、そのミラーマ
ークの長さによりパルス幅を可変するパルス幅可変手段
とを備えていることを特徴とする請求項６記載の光情報
記録媒体欠陥検査装置。
【請求項１０】ＩＤ部検出手段は、反射光量信号を２
値化する２値化手段と、この２値化された反射光量信号
の立下り信号から所定のパルス幅を発生させるパルス発
生手段と、検出されたミラーマークから前記パルス発生
手段の出力パルス終了位置までのパルスを発生させるパ
ルス幅決定手段とを備えたことを特徴とする請求項１，
２，４又は５記載の光情報記録媒体欠陥検査装置。
【請求項１１】欠陥検出閾値制御手段は、光情報記録
媒体の半径位置情報により欠陥検出の閾値を切換える閾
値切換え手段を備えていることを特徴とする請求項２記
載の光情報記録媒体欠陥検査装置。