JPH06120366A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH06120366A JPH06120366A JP4292247A JP29224792A JPH06120366A JP H06120366 A JPH06120366 A JP H06120366A JP 4292247 A JP4292247 A JP 4292247A JP 29224792 A JP29224792 A JP 29224792A JP H06120366 A JPH06120366 A JP H06120366A
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- Japan
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- moisture
- semiconductor device
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/734—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸湿能力が高く、ダストの発生がない半導体
装置を提供すること。 【構成】 基台2の略中央に半導体素子10を搭載し、
この基台2上に上蓋3を載置して半導体素子10を上方
から包囲するもので、基台2と上蓋3との載置部分4に
吸湿用の溝5を備えた吸湿領域Sを設ける半導体装置1
である。また、この吸湿用の溝5内に水分吸湿剤6を配
置したり、この水分吸湿剤6を溝5内において封止剤4
1で覆うものでもある。
装置を提供すること。 【構成】 基台2の略中央に半導体素子10を搭載し、
この基台2上に上蓋3を載置して半導体素子10を上方
から包囲するもので、基台2と上蓋3との載置部分4に
吸湿用の溝5を備えた吸湿領域Sを設ける半導体装置1
である。また、この吸湿用の溝5内に水分吸湿剤6を配
置したり、この水分吸湿剤6を溝5内において封止剤4
1で覆うものでもある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基台と上蓋との間に半
導体素子を収納して成る中空パッケージの半導体装置に
関するものである。
導体素子を収納して成る中空パッケージの半導体装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】IC(集積回路)やCCD(Charg
e Coupled Device)等の半導体装置の
パッケージとして、セラミックスやプラスチック等を用
いた中空パッケージが用いられている。この中空パッケ
ージから成る半導体装置を図7の断面図に基づいて説明
する。すなわち、この半導体装置1は、略中央部に半導
体素子10を搭載するためのセラミックスやプラスチッ
ク等から成る基台2と、この基台2上で半導体素子10
を上方から包囲する状態で載置される上蓋3とから構成
されるもので、基台2と上蓋3との間に中空空間が設け
られ、この中空空間内に半導体素子10が配置されてい
る。
e Coupled Device)等の半導体装置の
パッケージとして、セラミックスやプラスチック等を用
いた中空パッケージが用いられている。この中空パッケ
ージから成る半導体装置を図7の断面図に基づいて説明
する。すなわち、この半導体装置1は、略中央部に半導
体素子10を搭載するためのセラミックスやプラスチッ
ク等から成る基台2と、この基台2上で半導体素子10
を上方から包囲する状態で載置される上蓋3とから構成
されるもので、基台2と上蓋3との間に中空空間が設け
られ、この中空空間内に半導体素子10が配置されてい
る。
【0003】基台2と上蓋3との載置部分4には、樹脂
シーラーや紫外線照射硬化型接着剤等から成る封止剤4
1が塗布されており、基台2と上蓋3との間の中空空間
内に配置された半導体素子10、および半導体素子10
とリードフレーム7とを配線するボンディングワイヤー
8を密封状態にしている。
シーラーや紫外線照射硬化型接着剤等から成る封止剤4
1が塗布されており、基台2と上蓋3との間の中空空間
内に配置された半導体素子10、および半導体素子10
とリードフレーム7とを配線するボンディングワイヤー
8を密封状態にしている。
【0004】IC等から成る半導体装置1の場合には、
基台2および上蓋3ともにセラミックスまたはプラスチ
ック等が用いられ、CCD等の光学系部品から成る半導
体装置1の場合には、セラミックスまたはプラスチック
等の基台2と、光の透過率の高い透明プラスチックやガ
ラス等の上蓋3が用いられている。
基台2および上蓋3ともにセラミックスまたはプラスチ
ック等が用いられ、CCD等の光学系部品から成る半導
体装置1の場合には、セラミックスまたはプラスチック
等の基台2と、光の透過率の高い透明プラスチックやガ
ラス等の上蓋3が用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな半導体装置には次のような問題がある。すなわち、
基台と上蓋との載置部分から湿気が侵入したり、載置部
分に塗布した封止剤が湿気を透過して中空空間内に入り
込み、基台や上蓋内面での結露発生につながる。特に、
CCD等の光学系部品から成る半導体装置において、こ
のような結露が発生すると、光の透過率が低下して画像
等に悪影響を及ぼしてしまう。また、中空空間内に湿気
が侵入すると、配置された半導体素子等の誤動作の原因
となる。
うな半導体装置には次のような問題がある。すなわち、
基台と上蓋との載置部分から湿気が侵入したり、載置部
分に塗布した封止剤が湿気を透過して中空空間内に入り
込み、基台や上蓋内面での結露発生につながる。特に、
CCD等の光学系部品から成る半導体装置において、こ
のような結露が発生すると、光の透過率が低下して画像
等に悪影響を及ぼしてしまう。また、中空空間内に湿気
が侵入すると、配置された半導体素子等の誤動作の原因
となる。
【0006】このため、特開昭56−144561号に
示された如く、載置部分の形状を斜めやくさび型にして
湿気の侵入経路を長くしたり、湿気を透過しにくい封止
剤を用いたり、また封止剤の厚さを極力薄くしたりする
ことが考えられているが、いずれにおいてもこの程度で
は不十分である。さらに、中空空間内に水分吸湿剤を載
置することも考えられるが、この場合、吸湿能力が向上
する反面、水分吸湿剤からのダストの発生や、水分吸湿
剤を載置する場所の問題、作業性等の問題から現実的で
ない。よって、本発明は吸湿能力が高く、ダストの発生
がない半導体装置を提供することを目的とする。
示された如く、載置部分の形状を斜めやくさび型にして
湿気の侵入経路を長くしたり、湿気を透過しにくい封止
剤を用いたり、また封止剤の厚さを極力薄くしたりする
ことが考えられているが、いずれにおいてもこの程度で
は不十分である。さらに、中空空間内に水分吸湿剤を載
置することも考えられるが、この場合、吸湿能力が向上
する反面、水分吸湿剤からのダストの発生や、水分吸湿
剤を載置する場所の問題、作業性等の問題から現実的で
ない。よって、本発明は吸湿能力が高く、ダストの発生
がない半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された半導体装置である。すなわ
ち、この半導体装置は、基台の略中央に半導体素子を搭
載し、この基台上に上蓋を載置して半導体素子を上方か
ら包囲するもので、基台と上蓋との載置部分に吸湿用の
溝を備えた吸湿領域を設けるものである。また、この吸
湿用の溝内に水分吸湿剤を配置したり、この水分吸湿剤
を溝内において封止剤で覆うものでもある。
題を解決するために成された半導体装置である。すなわ
ち、この半導体装置は、基台の略中央に半導体素子を搭
載し、この基台上に上蓋を載置して半導体素子を上方か
ら包囲するもので、基台と上蓋との載置部分に吸湿用の
溝を備えた吸湿領域を設けるものである。また、この吸
湿用の溝内に水分吸湿剤を配置したり、この水分吸湿剤
を溝内において封止剤で覆うものでもある。
【0008】
【作用】基台と上蓋との載置部分に設けられた吸湿領域
により、外部から侵入する湿気をこの吸湿領域にて遮断
することになる。特に、吸湿領域に備えた溝で湿気を保
持することになるとともに、溝内に配置した水分吸湿剤
にて、この溝内に保持される湿気を吸収することにな
る。また、水分吸湿剤を封止剤にて覆うことで、吸湿領
域における吸湿能力がより向上するとともに、水分吸湿
剤から発生するダストが封止されて溝から中空空間内に
散乱しなくなる。
により、外部から侵入する湿気をこの吸湿領域にて遮断
することになる。特に、吸湿領域に備えた溝で湿気を保
持することになるとともに、溝内に配置した水分吸湿剤
にて、この溝内に保持される湿気を吸収することにな
る。また、水分吸湿剤を封止剤にて覆うことで、吸湿領
域における吸湿能力がより向上するとともに、水分吸湿
剤から発生するダストが封止されて溝から中空空間内に
散乱しなくなる。
【0009】
【実施例】以下に、本発明の半導体装置の実施例を図に
基づいて説明する。図1は、本発明の半導体装置1を説
明する断面図である。すなわち、この半導体装置1は、
略中央に半導体素子10を搭載するためにセラミックス
またはプラスチック等から形成された基台2と、この基
台2上で半導体素子10を上方から包囲する状態に載置
された上蓋3とから構成されており、基台2と上蓋3と
の間に設けられる中空空間に半導体素子10が配置され
るものである。
基づいて説明する。図1は、本発明の半導体装置1を説
明する断面図である。すなわち、この半導体装置1は、
略中央に半導体素子10を搭載するためにセラミックス
またはプラスチック等から形成された基台2と、この基
台2上で半導体素子10を上方から包囲する状態に載置
された上蓋3とから構成されており、基台2と上蓋3と
の間に設けられる中空空間に半導体素子10が配置され
るものである。
【0010】基台2と上蓋3との載置部分4には、樹脂
シーラーや紫外線照射硬化型接着剤等から成る封止剤4
1が塗布されており、中空空間内を密封状態にしてい
る。すなわち、この中空空間内に配置された半導体素子
10、およびこの半導体素子10とリードフレーム7と
を配線するボンディングワイヤー8とがこの中空空間内
で封止状態となっている。
シーラーや紫外線照射硬化型接着剤等から成る封止剤4
1が塗布されており、中空空間内を密封状態にしてい
る。すなわち、この中空空間内に配置された半導体素子
10、およびこの半導体素子10とリードフレーム7と
を配線するボンディングワイヤー8とがこの中空空間内
で封止状態となっている。
【0011】さらに、この基台2と上蓋3との載置部分
4には、溝5を備えた吸湿領域Sが設けられている。例
えば、載置部分4の基台2側に溝5が設けられ、この上
に上蓋3が載置されている。また、必要に応じて上蓋3
に溝5と嵌合するような凸部を設けてもよい。このよう
に載置部分4に吸湿領域Sを設けることで、外部から中
空空間内に侵入しようとする湿気を保持することにな
り、中空空間内に配置された半導体素子10を湿気から
保護することができる。
4には、溝5を備えた吸湿領域Sが設けられている。例
えば、載置部分4の基台2側に溝5が設けられ、この上
に上蓋3が載置されている。また、必要に応じて上蓋3
に溝5と嵌合するような凸部を設けてもよい。このよう
に載置部分4に吸湿領域Sを設けることで、外部から中
空空間内に侵入しようとする湿気を保持することにな
り、中空空間内に配置された半導体素子10を湿気から
保護することができる。
【0012】また、この溝5内に水分吸湿剤6を配置し
てもよく、吸湿領域Sで保持した湿気をこの水分吸湿剤
6にて吸収することになる。水分吸湿剤6としては、ダ
ストの発生がなく成形性の良いシート状のものが望まし
く、溝5からはみ出ないような形状にして配置すればよ
い。さらに、溝5内に配置された水分吸湿剤6を封止剤
41にて覆う状態にしてもよい。このようにすれば、水
分吸湿剤6を溝5内に確実に配置できるとともに、吸湿
領域Sにおける水分の吸湿をこの封止剤41と水分吸湿
剤6との両方で行うことができるため吸湿能力が向上す
る。しかも、水分吸湿剤6から発生するダストが溝5内
に封止されて中空空間内に散乱しなくなる。
てもよく、吸湿領域Sで保持した湿気をこの水分吸湿剤
6にて吸収することになる。水分吸湿剤6としては、ダ
ストの発生がなく成形性の良いシート状のものが望まし
く、溝5からはみ出ないような形状にして配置すればよ
い。さらに、溝5内に配置された水分吸湿剤6を封止剤
41にて覆う状態にしてもよい。このようにすれば、水
分吸湿剤6を溝5内に確実に配置できるとともに、吸湿
領域Sにおける水分の吸湿をこの封止剤41と水分吸湿
剤6との両方で行うことができるため吸湿能力が向上す
る。しかも、水分吸湿剤6から発生するダストが溝5内
に封止されて中空空間内に散乱しなくなる。
【0013】次に、本発明の半導体装置1の他の例を図
2〜図6の断面図に基づいて説明する。先ず、図2に示
す半導体装置1は、載置部分4に設けられた吸湿領域S
の溝5を中空として、この中に水分吸湿剤6を配置した
ものである。このため、載置部分4のうち基台2の上蓋
3との接触部分にのみ封止剤41が塗布された状態とな
っている。外部からの湿気が載置部分4から侵入した場
合には、この湿気が中空の溝5内に溜まり、水分吸湿剤
6にて吸収されることになる。このような半導体装置1
では、吸湿効果を発揮しつつ封止剤41を基台2と上蓋
3との接続に必要な量のみにすることができるため、特
に半導体装置1を大量生産する場合において大幅なコス
トダウンを図ることができる。
2〜図6の断面図に基づいて説明する。先ず、図2に示
す半導体装置1は、載置部分4に設けられた吸湿領域S
の溝5を中空として、この中に水分吸湿剤6を配置した
ものである。このため、載置部分4のうち基台2の上蓋
3との接触部分にのみ封止剤41が塗布された状態とな
っている。外部からの湿気が載置部分4から侵入した場
合には、この湿気が中空の溝5内に溜まり、水分吸湿剤
6にて吸収されることになる。このような半導体装置1
では、吸湿効果を発揮しつつ封止剤41を基台2と上蓋
3との接続に必要な量のみにすることができるため、特
に半導体装置1を大量生産する場合において大幅なコス
トダウンを図ることができる。
【0014】また、図3に示す半導体装置1は、吸湿領
域Sの溝5が基台2側と上蓋3側に渡って設けられたも
のである。これにより、溝5の容積が増加して大きな水
分吸湿剤6を配置することができるため、吸湿能力が増
加することになる。また、さらに吸湿能力を増加させた
い場合には、この溝5内に封止剤41を充填するように
すればよい。
域Sの溝5が基台2側と上蓋3側に渡って設けられたも
のである。これにより、溝5の容積が増加して大きな水
分吸湿剤6を配置することができるため、吸湿能力が増
加することになる。また、さらに吸湿能力を増加させた
い場合には、この溝5内に封止剤41を充填するように
すればよい。
【0015】次に、図4に示す半導体装置1は、吸湿領
域Sの溝5を上蓋3側に設け、この溝5内に水分吸湿剤
6を配置したものである。基台2の材質としてセラミッ
クス等の硬質材料を用いた場合には、基台2側に溝5を
形成するのが困難な場合があり、CCD等の光学系部品
から成る半導体装置1では、上蓋3として透明プラスチ
ックを用いる場合があるため、溝5を上蓋3側に形成し
た方が容易である。この場合、予め封止剤41にて水分
吸湿剤6を溝5内に埋め込んでおけば、基台2と上蓋3
との取り付けが行いやすくなる。
域Sの溝5を上蓋3側に設け、この溝5内に水分吸湿剤
6を配置したものである。基台2の材質としてセラミッ
クス等の硬質材料を用いた場合には、基台2側に溝5を
形成するのが困難な場合があり、CCD等の光学系部品
から成る半導体装置1では、上蓋3として透明プラスチ
ックを用いる場合があるため、溝5を上蓋3側に形成し
た方が容易である。この場合、予め封止剤41にて水分
吸湿剤6を溝5内に埋め込んでおけば、基台2と上蓋3
との取り付けが行いやすくなる。
【0016】また、図5と図6に示す半導体装置1は、
他のパッケージ形状に適応したものである。図5に示す
半導体装置1は、リードフレーム7が基台2内に埋設さ
れて側面から導出したパッケージ形状であり、また図6
に示す半導体装置1は、リード7aが基台2の下面から
下方に向けて導出したパッケージ形状である。いずれの
場合であっても、基台2と上蓋3との載置部分4に溝5
を備えた吸湿領域Sが設けられており、この溝5内に水
分吸湿剤6が配置されている。これらのパッケージ形状
の半導体装置1では、基台2の材質として主にプラスチ
ックが用いられており、基台2の形成時に使用する金型
内にリードフレーム7またはリード7aを配置して一体
的に形成している。この際、金型に溝5と対応した形状
を設けておけば、基台2の形成と同時に溝5を形成する
ことができることになる。
他のパッケージ形状に適応したものである。図5に示す
半導体装置1は、リードフレーム7が基台2内に埋設さ
れて側面から導出したパッケージ形状であり、また図6
に示す半導体装置1は、リード7aが基台2の下面から
下方に向けて導出したパッケージ形状である。いずれの
場合であっても、基台2と上蓋3との載置部分4に溝5
を備えた吸湿領域Sが設けられており、この溝5内に水
分吸湿剤6が配置されている。これらのパッケージ形状
の半導体装置1では、基台2の材質として主にプラスチ
ックが用いられており、基台2の形成時に使用する金型
内にリードフレーム7またはリード7aを配置して一体
的に形成している。この際、金型に溝5と対応した形状
を設けておけば、基台2の形成と同時に溝5を形成する
ことができることになる。
【0017】なお、これらの実施例において、吸湿領域
Sを載置部分4の一部分に設けてもよいが、基台2と上
蓋3との間に設けられる中空空間を囲む状態に溝5を形
成して吸湿領域Sを設けるのが望ましく、吸湿能力を最
も高めることができる。また、本実施例では基台2と上
蓋3との接続を封止剤41を用いて行ったが、本発明は
これに限定されず、例えば超音波溶着やレーザ溶接を用
いて接続してもよい。
Sを載置部分4の一部分に設けてもよいが、基台2と上
蓋3との間に設けられる中空空間を囲む状態に溝5を形
成して吸湿領域Sを設けるのが望ましく、吸湿能力を最
も高めることができる。また、本実施例では基台2と上
蓋3との接続を封止剤41を用いて行ったが、本発明は
これに限定されず、例えば超音波溶着やレーザ溶接を用
いて接続してもよい。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置によれば次のような効果がある。すなわち、基台と上
蓋との載置部分に吸湿領域が設けられているため、外部
から中空空間内に湿気が侵入しない。このため、湿気に
よる半導体素子の誤動作を低減できるとともに、湿気に
よる基台や上蓋内面への結露がないため、特にCCD等
の光学系部品から成る半導体装置においては、光の透過
率が低下することがなく、良好な画像を得ることができ
る。また、水分吸湿剤を溝内に配置することで、水分吸
湿剤から発生するダストが中空空間内に散乱しないた
め、半導体素子にダストが付着することがないととも
に、水分吸湿剤を用いた場合における半導体装置の組立
作業性が向上することになる。したがって、吸湿能力が
高く、しかもダストの発生がない半導体装置を容易に提
供することが可能となる。特に、基台と上蓋の材質とし
てプラスチックを使用して大量生産を図る半導体装置に
おいて本発明は有効なものとなる。
置によれば次のような効果がある。すなわち、基台と上
蓋との載置部分に吸湿領域が設けられているため、外部
から中空空間内に湿気が侵入しない。このため、湿気に
よる半導体素子の誤動作を低減できるとともに、湿気に
よる基台や上蓋内面への結露がないため、特にCCD等
の光学系部品から成る半導体装置においては、光の透過
率が低下することがなく、良好な画像を得ることができ
る。また、水分吸湿剤を溝内に配置することで、水分吸
湿剤から発生するダストが中空空間内に散乱しないた
め、半導体素子にダストが付着することがないととも
に、水分吸湿剤を用いた場合における半導体装置の組立
作業性が向上することになる。したがって、吸湿能力が
高く、しかもダストの発生がない半導体装置を容易に提
供することが可能となる。特に、基台と上蓋の材質とし
てプラスチックを使用して大量生産を図る半導体装置に
おいて本発明は有効なものとなる。
【図1】本発明の半導体装置を説明する断面図である。
【図2】本発明の他の実施例を説明する断面図(その
1)である。
1)である。
【図3】本発明の他の実施例を説明する断面図(その
2)である。
2)である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する断面図(その
3)である。
3)である。
【図5】本発明の他の実施例を説明する断面図(その
4)である。
4)である。
【図6】本発明の他の実施例を説明する断面図(その
5)である。
5)である。
【図7】半導体装置の従来例を説明する断面図である。
1 半導体装置 2 基台 3 上蓋 4 載置部分 5 溝 6 水分吸湿剤 7 リードフレーム 8 ボンディングワイヤー 10 半導体素子 41 封止剤 S 吸湿領域
Claims (3)
- 【請求項1】 略中央に半導体素子が搭載される基台
と、 前記基台上で前記半導体素子を上方から包囲する状態で
載置される上蓋とから成る半導体装置において、 前記基台と前記上蓋との載置部分に吸湿用の溝を備えた
吸湿領域が設けられていることを特徴とする半導体装
置。 - 【請求項2】 前記吸湿用の溝内に水分吸湿剤が配置さ
れていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】 前記吸湿用の溝内に配置された水分吸湿
剤が封止剤にて覆われていることを特徴とする請求項2
記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29224792A JP3513168B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29224792A JP3513168B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 半導体装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001181257A Division JP2002043450A (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120366A true JPH06120366A (ja) | 1994-04-28 |
| JP3513168B2 JP3513168B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=17779357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29224792A Expired - Fee Related JP3513168B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3513168B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5898571A (en) * | 1997-04-28 | 1999-04-27 | Lsi Logic Corporation | Apparatus and method for clip-on attachment of heat sinks to encapsulated semiconductor packages |
| US5977622A (en) * | 1997-04-25 | 1999-11-02 | Lsi Logic Corporation | Stiffener with slots for clip-on heat sink attachment |
| US6011304A (en) * | 1997-05-05 | 2000-01-04 | Lsi Logic Corporation | Stiffener ring attachment with holes and removable snap-in heat sink or heat spreader/lid |
| JP2008078668A (ja) * | 2007-09-28 | 2008-04-03 | Kyocera Corp | 固体撮像素子収納用パッケージ及び撮像装置 |
| JP2009290023A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置 |
| WO2015079811A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 株式会社日立エルジーデータストレージ | 映像出力装置の封止構造 |
| CN107408536A (zh) * | 2015-03-11 | 2017-11-28 | 田中贵金属工业株式会社 | 电子零件密封用帽盖 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161736A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nec Corp | 半導体装置用パッケージ |
| JPH0485859A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-18 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 気密封止パッケージおよび接合部材 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP29224792A patent/JP3513168B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161736A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nec Corp | 半導体装置用パッケージ |
| JPH0485859A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-18 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 気密封止パッケージおよび接合部材 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5977622A (en) * | 1997-04-25 | 1999-11-02 | Lsi Logic Corporation | Stiffener with slots for clip-on heat sink attachment |
| US5898571A (en) * | 1997-04-28 | 1999-04-27 | Lsi Logic Corporation | Apparatus and method for clip-on attachment of heat sinks to encapsulated semiconductor packages |
| US6011304A (en) * | 1997-05-05 | 2000-01-04 | Lsi Logic Corporation | Stiffener ring attachment with holes and removable snap-in heat sink or heat spreader/lid |
| JP2008078668A (ja) * | 2007-09-28 | 2008-04-03 | Kyocera Corp | 固体撮像素子収納用パッケージ及び撮像装置 |
| JP2009290023A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置 |
| WO2015079811A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 株式会社日立エルジーデータストレージ | 映像出力装置の封止構造 |
| CN107408536A (zh) * | 2015-03-11 | 2017-11-28 | 田中贵金属工业株式会社 | 电子零件密封用帽盖 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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