JPH06124929A - ウエ−ハのスタンピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエ−ハを貼付板に押圧するスタンピング装
置の押圧力を一定にする。 【構成】 駆動軸（４）の先部にウエ−ハ押圧部（６）
を設ける。この駆動軸（４）を、モ−タ−（８）を含む
駆動部（７）により上下動させる。上記駆動軸（４）と
ウエ−ハ押圧部（６）の接続部には、ロ−ドセル(18)が
設けられている。このロ−ドセル(18)は、ウエ−ハ押圧
部（６）の押圧力を測定し、この測定値に基づき、上記
駆動部（７）の作動を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエ−ハ等のウ
エ−ハを研磨する際、貼付板に均一に接着させるようウ
エ−ハを押圧するウエ−ハのスタンピング装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】ウエ−ハの表面をきわめて平坦に形成す
るため、ウエ−ハを接着剤を用いて貼付板に接着し、研
磨機で研磨することが行われている。この際、ウエ−ハ
を貼付板に接着するには、ウエ−ハに接着剤を塗布し若
しくは貼付板に接着剤を塗布した後、ウエ−ハを貼付板
に載置し、上面から適宜のスタンピング装置で押圧して
接着するようにしている。

【０００３】従来、知られているスタンピング装置とし
ては、下面に有弾性の押圧片を有する駆動軸にエアシリ
ンダを連結し、一気にウエ−ハを押圧している。ところ
が、エアシリンダでは、摺動部の摩耗、エア漏れ等の原
因でエアシリンダによる駆動軸の移動距離が常に正確に
一定になるとは限らないことがあった。そのような状態
になると、ウエ−ハを押圧する押圧力が変化し、貼付板
に貼付けた複数のウエ−ハの接着剤の厚さが不揃にな
り、均一な研磨処理を受けることができなくなる。その
ため、上記エアシリンダによる駆動軸の移動量を絶えず
管理していなければならない。また、押圧力やストロー
クを変える場合、従来のエアシリンダでは簡単に変更す
ることができない。

【０００４】

【発明の解決課題】本発明は、ウエ−ハの押圧力を常に
一定に保持することができ、かつ必要時には容易に押圧
力やストロークを変更することができるようにしたウエ
−ハのスタンピング装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題解決の手段】本発明によれば、ウエ−ハ押圧部を
先部に有する駆動軸を直線運動させる電気的な駆動部を
形成し、押圧時における駆動軸に作用する押圧力を測定
するロ−ドセルやモ−タ−のトルク、負荷電流等を測定
する測定器を設け、これらの測定値に基づき上記駆動部
を制御するようにしたことを特徴とするウエ−ハのスタ
ンピング装置が提供され、上記目的が達成される。

【０００６】

【作用】ウエ−ハ押圧部が貼付板に載置されたウエ−ハ
の上面に降下し、ウエ−ハを押圧すると、その押圧力は
ロ−ドセルで検知され、設定押圧力に達するまでウエ−
ハ押圧部は押圧を続ける。この押圧力は、駆動部の設定
値を変えることで容易に変更することができるし、スト
ロークを変更しても押圧力を一定に保つことができる。
また、押圧力に対応するモ−タ−のトルクや負荷電流を
予め測定しておき、所望の押圧力に対応する値を設定
し、この設定値まで駆動させることにより所定の押圧力
で押圧できる。

【０００７】

【実施例】以下実施例と共に説明する。セラミックス
板、ガラス板等で作られた貼付板（１）は、割出板
（２）の上に載置されている。該貼付板（１）の上面に
は、例えば特開昭６３−３１６４５１号に記載されてい
る如き装置により、有機溶剤やアルカリ水溶液等に溶か
した接着ワックスを薄く塗布したウエ−ハ（３）が、載
置される。

【０００８】上記ウエ−ハ（３）の上面に対向してスタ
ンピング装置が設けられている。図において、該スタン
ピング装置の駆動軸（４）の先端には、内部に加圧空気
を導入するようにした中空の有弾性パッド（５）若しく
は中実の有弾性パッド（５）を下面に具備するウエ−ハ
押圧部（６）が設けられている。なお、接着剤を塗布し
たウエ−ハを、上記ウエ−ハ押圧部（６）の下面で吸着
保持して貼付板（１）上に搬送し、貼付板に降下させた
後に押圧するようにしてもよい。この場合には、該ウエ
−ハ押圧部には、真空チャック等のチャック手段（図示
略）が形成される。

【０００９】上記駆動軸（４）を直線運動させるよう駆
動部（７）が形成されている。該駆動部（７）として
は、モ−タ−（８）を含む電気的な適宜の駆動機構に構
成することが好ましい。図においては、フレ−ム（９）
に案内杆(10)，(10)に沿って上下動するよう移動枠(11)
を設け、該移動枠(11)に駆動軸（４）の後部を連結し、
該移動枠(11)にねじ係合したねじ軸(12)をプ−リ−(1
3)，(14)、タイミングベルト(15)等の伝達機構を介して
モ−タ−（８）で回転し、上記移動枠(11)を図において
上下に移動するようにしてある。上記実施例の他、例え
ばチェ−ン機構、ベルト機構を用いたり、ラックピニオ
ン機構を用いたり、モ−タ−シリンダを直接用いたり、
その他の適宜の駆動機構に構成することができる。

【００１０】上記モ−タ−（８）は、ＡＣサ−ボモ−タ
−，ＤＣサ−ボモ−タ−等のサ−ボモ−タ−を用いると
よく該モ−タ−の回転を制御するためエンコ−ダ−(16)
及び制御部(17)が設けられている。該制御部(17)等は公
知の適宜の構成にすればよい。

【００１１】上記駆動部（７）により上記駆動軸（４）
を運動させ、上記ウエ−ハ押圧部（６）でウエ−ハ
（３）を押圧した際の押圧力を測定するようロ−ドセル
(18)が設けられている。該ロ−ドセル(18)は、図におい
ては、駆動軸（４）とウエ−ハ押圧部（６）を抜け止め
状態で接続しこの接続部の駆動軸（４）の先端とウエ−
ハ押圧部の間に設けてあるが、上記駆動軸（４）の中間
部、駆動軸（４）と移動枠(11)の連結部、ねじ軸(12)の
軸受部その他の適宜の押圧力が作用する部位に設けるこ
とができる。

【００１２】而して、上記ロ−ドセル(18)は、上記制御
部(17)に接続され、該ロ−ドセル(18)の測定値に基づき
上記駆動部（７）を制御するようにしてある。すなわ
ち、設定部(19)において、予め所定の押圧力を設定して
おき、上記ロ−ドセル(18)からの測定値と比較し、設定
押圧力に達するまで上記モ−タ−（８）を回転するよう
制御部(17)で制御している。上記設定値を変えれば、押
圧力は変更することができ、また、上記駆動軸（４）の
ストロークを変更しても、押圧力を一定に保つことがで
きる。

【００１３】図に示す装置においては、１つのウエ−ハ
押圧部（６）をフレ−ム（９）に設けてあるが、該フレ
−ムに、例えば６インチ用、８インチ用というように複
数のウエ−ハ押圧部（６）・・・を設けておくこともで
きる。この場合には、それぞれのウエ−ハ押圧部に対応
してそれぞれモ−タ−を設けてもよいし、１つのモ−タ
−を途中に適宜のクラッチ機構等を介して複数のウエ−
ハ押圧部の駆動軸に連結し、選択的に駆動するようにし
てもよい。また、複数のウエ−ハ押圧部のうち、使用す
べきウエ−ハ押圧部が貼付板に載置されたウエ−ハの中
心部に対向するように上記フレ−ム（９）は、Ｘ軸，Ｙ
軸方向に水平移動できるように構成される（図示略）。

【００１４】また、上記モ−タ−（８）のトルク若しく
は負荷電流を測定する測定器(20)を設けて上記駆動部
（７）を制御することもできる。この場合、ウエ−ハ
（３）を押圧した際の押圧力に対応するトルク若しくは
負荷電流の変化を予め測定しておき、設定押圧力に対応
するトルク若しくは負荷電流の値を上記設定部(19)に設
定し、実際に測定器(20)によって測定された値と設定値
を比較し、設定値に到達するまで上記モ−タ−（８）を
回転するようにすればよい。

【００１５】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、ウエ−
ハ押圧部は所定の押圧力に達するまで移動され、複数の
ウエ−ハを常に均一な押圧力で貼付板に接着することが
できるので、その後の研磨処理において各ウエ−ハを均
一な平坦度に研磨することができ、また接着剤等の相違
により押圧力を変更したい場合やウエ−ハ押圧部のスト
ロークを変更したい場合も容易に変化させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。

【符号の説明】

１ 貼付板 ３ ウエ−ハ ４ 駆動軸 ６ ウエ−ハ押圧部 ７ 駆動部 ８ モ−タ− ９ フレ−ム 18 ロ−ドセル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動軸の先部にウエ−ハ押圧部を設け、
   貼付板上に載置したウエ−ハを押圧するよう上記駆動軸
   を直線運動させる駆動部を有し、押圧時における上記駆
   動軸に作用する押圧力を測定するようロ−ドセルを設
   け、該ロ−ドセルの測定値に基づき上記駆動部を制御す
   るようにしたことを特徴とするウエ−ハのスタンピング
   装置。
2. 【請求項２】 上記駆動部はモ−タ−を含み、上記ロ−
   ドセルの測定値に基づき該モ−タ−の回転を制御するよ
   うにしたことを特徴とする請求項１に記載のウエ−ハの
   スタンピング装置
3. 【請求項３】 駆動軸の先部にウエ−ハ押圧部を設け、
   該駆動軸をモ−タ−を含む駆動部で直線運動し、ウエ−
   ハを押圧した際の該モ−タ−のトルク若しくは負荷電流
   を測定する測定器を設け、該測定器の測定値に基づき上
   記駆動部を制御するようにしたことを特徴とするウエ−
   ハのスタンピング装置。