JPH06126642A - 研磨テープ - Google Patents
研磨テープInfo
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- JPH06126642A JPH06126642A JP30299992A JP30299992A JPH06126642A JP H06126642 A JPH06126642 A JP H06126642A JP 30299992 A JP30299992 A JP 30299992A JP 30299992 A JP30299992 A JP 30299992A JP H06126642 A JPH06126642 A JP H06126642A
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- polishing tape
- tape
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Abstract
(57)【要約】
【目的】研磨作業中あるいはクリーニング作業中に発生
する微小な研磨屑や異物が、研磨テープと被研磨体との
間で夾雑摩耗を起こすようなことがなく、品質の高い均
一な研磨仕上げやクリーニング仕上げをなし得る研磨テ
ープを提供する。 【構成】研磨テープ用基材２と該基材２に形成されてい
る研磨層３とを有し、前記研磨層３が、研磨剤粒子と短
繊維とバインダー用樹脂とにより、その表面が粗面に形
成されている研磨テープ１。
する微小な研磨屑や異物が、研磨テープと被研磨体との
間で夾雑摩耗を起こすようなことがなく、品質の高い均
一な研磨仕上げやクリーニング仕上げをなし得る研磨テ
ープを提供する。 【構成】研磨テープ用基材２と該基材２に形成されてい
る研磨層３とを有し、前記研磨層３が、研磨剤粒子と短
繊維とバインダー用樹脂とにより、その表面が粗面に形
成されている研磨テープ１。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主としてフロッピィーデ
ィスク，ハードディスク，磁気テープ等の磁気メディア
の仕上げ研磨や、磁気ヘッド，金属ロール等の仕上げ研
磨等を行なう際の研磨テープとして、あるいは、これら
の表面のゴミや異物等の除去を行なう際のクリーニング
テープとして使用される研磨テープに関する。
ィスク，ハードディスク，磁気テープ等の磁気メディア
の仕上げ研磨や、磁気ヘッド，金属ロール等の仕上げ研
磨等を行なう際の研磨テープとして、あるいは、これら
の表面のゴミや異物等の除去を行なう際のクリーニング
テープとして使用される研磨テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】精密電子部品や精密機械部品等に使用さ
れる磁気ヘッド，金属部品，磁気メディア等の表面の仕
上げ研磨を行なう際の研磨テープや、表面が精密仕上げ
されている精密部品の表面のゴミや異物等の除去を行な
うためのクリーニングテープとして、例えば、硬度の高
い無機質微粉末からなる研磨剤粒子をバインダー用樹脂
溶液中に分散させた塗工剤による研磨層を研磨テープ用
基材に形成した研磨テープが利用されている。
れる磁気ヘッド，金属部品，磁気メディア等の表面の仕
上げ研磨を行なう際の研磨テープや、表面が精密仕上げ
されている精密部品の表面のゴミや異物等の除去を行な
うためのクリーニングテープとして、例えば、硬度の高
い無機質微粉末からなる研磨剤粒子をバインダー用樹脂
溶液中に分散させた塗工剤による研磨層を研磨テープ用
基材に形成した研磨テープが利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の研磨テープ
を利用する研磨作業においては、微小な研磨屑が被研磨
体を汚染させる原因となっており、また、研磨テープと
被研磨体との間の夾雑摩耗を起こすため、品質の良好な
均一な研磨仕上げやクリーニング仕上げを行なうことが
できない等の課題を有している。
を利用する研磨作業においては、微小な研磨屑が被研磨
体を汚染させる原因となっており、また、研磨テープと
被研磨体との間の夾雑摩耗を起こすため、品質の良好な
均一な研磨仕上げやクリーニング仕上げを行なうことが
できない等の課題を有している。
【０００４】これに対して本発明は、研磨作業中あるい
はクリーニング作業中に発生する微小な研磨屑や異物
が、研磨テープと被研磨体との間で夾雑摩耗を起こすよ
うなことがなく、品質の高い均一な研磨仕上げやクリー
ニング仕上げをなし得る研磨テープを提供することを目
的とする。
はクリーニング作業中に発生する微小な研磨屑や異物
が、研磨テープと被研磨体との間で夾雑摩耗を起こすよ
うなことがなく、品質の高い均一な研磨仕上げやクリー
ニング仕上げをなし得る研磨テープを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明の研磨テ
ープは、研磨テープ基材と該基材に形成されている研磨
層とを有するもので、前記研磨層が、研磨剤粒子と繊維
とバインダー用樹脂とにより、その表面が粗面に形成さ
れている研磨テープからなる。
ープは、研磨テープ基材と該基材に形成されている研磨
層とを有するもので、前記研磨層が、研磨剤粒子と繊維
とバインダー用樹脂とにより、その表面が粗面に形成さ
れている研磨テープからなる。
【０００６】請求項２の発明の研磨テープは、請求項１
の発明の構成の研磨テープにおいて、研磨層における繊
維が、チタン酸カリウム，チタン酸バリウム，マグネシ
ウムパイロボレートあるいは酸化亜鉛のウィスカーによ
る研磨テープからなる。
の発明の構成の研磨テープにおいて、研磨層における繊
維が、チタン酸カリウム，チタン酸バリウム，マグネシ
ウムパイロボレートあるいは酸化亜鉛のウィスカーによ
る研磨テープからなる。
【０００７】本発明の研磨テープにおける研磨テープ用
基材には、紙や不織布、または、機械的強度，寸法安定
性，耐熱性等において優れた性質を有する厚さ１２〜１
５０μ程度のプラスチックフィルム、例えば、ポリエチ
レンテレフタレート，ポリプロピレン，ポリカーボネー
ト，ジ−酢酸アセテート，トリ−酢酸アセテート，ポリ
エチレン，ポリブチレンテレフタレート，ポリアリレー
ト等によるプラスチックフィルムが利用される。
基材には、紙や不織布、または、機械的強度，寸法安定
性，耐熱性等において優れた性質を有する厚さ１２〜１
５０μ程度のプラスチックフィルム、例えば、ポリエチ
レンテレフタレート，ポリプロピレン，ポリカーボネー
ト，ジ−酢酸アセテート，トリ−酢酸アセテート，ポリ
エチレン，ポリブチレンテレフタレート，ポリアリレー
ト等によるプラスチックフィルムが利用される。
【０００８】特にクッション性に優れた性質を有する研
磨テープ用基材を利用する場合には、具体的には、密度
が０．６ｇ／ｃｍ3 未満、あるいは、坪量または目付量
が５〜２００ｇ／ｍ2 程度の空隙率の高い紙や不織布を
研磨テープ用基材として利用する場合には、研磨テープ
を磁気ディスク等の被研磨体の表面に押し当てる際の圧
力調整が容易になる。すなわち、研磨テープ用基材が具
備するクッション性により、研磨テープを磁気ディスク
等の被研磨体の表面に押し当てる際の圧力調整が容易に
なるため、圧力不足による研磨不十分や圧力過剰による
研磨傷の発生等の無い研磨テープになる。
磨テープ用基材を利用する場合には、具体的には、密度
が０．６ｇ／ｃｍ3 未満、あるいは、坪量または目付量
が５〜２００ｇ／ｍ2 程度の空隙率の高い紙や不織布を
研磨テープ用基材として利用する場合には、研磨テープ
を磁気ディスク等の被研磨体の表面に押し当てる際の圧
力調整が容易になる。すなわち、研磨テープ用基材が具
備するクッション性により、研磨テープを磁気ディスク
等の被研磨体の表面に押し当てる際の圧力調整が容易に
なるため、圧力不足による研磨不十分や圧力過剰による
研磨傷の発生等の無い研磨テープになる。
【０００９】なお、クッション性のある研磨テープを得
るという目的で、研磨テープ用基材として例えば紙や不
織布を利用する場合には、該研磨テープ用基材からの紙
粉や研磨層からの研磨剤粒子の脱落防止のために、研磨
層の形成に先立って、必要に応じて、ポリエステル系樹
脂，ポリエステルウレタン系樹脂，ウレタン系樹脂等に
よる下塗り処理が施される。そして、この下塗り処理
は、紙や不織布による研磨テープ用基材の繊維目（繊維
同士の間の空隙）が無くなったり、あるいは、研磨テー
プ用基材のクッション性が無くなったりすることのない
ようにするのが好ましい。
るという目的で、研磨テープ用基材として例えば紙や不
織布を利用する場合には、該研磨テープ用基材からの紙
粉や研磨層からの研磨剤粒子の脱落防止のために、研磨
層の形成に先立って、必要に応じて、ポリエステル系樹
脂，ポリエステルウレタン系樹脂，ウレタン系樹脂等に
よる下塗り処理が施される。そして、この下塗り処理
は、紙や不織布による研磨テープ用基材の繊維目（繊維
同士の間の空隙）が無くなったり、あるいは、研磨テー
プ用基材のクッション性が無くなったりすることのない
ようにするのが好ましい。
【００１０】研磨テープ用基材の表面に対して固着され
ている研磨層はその表面が粗面（マット状）に形成され
ているもので、研磨剤粒子と繊維と、さらに必要に応じ
て添加される分散剤，帯電防止剤，染料等とを、バイン
ダー用樹脂液中に混合して得られるコーティング剤を、
例えばグラアビア印刷，リバースロールコート，ロール
コート，バーコート，コンマコート，ブレードコート，
押出しコート法等により、全面にあるいは不連続をなす
ドット状，縞柄状，格子柄状等のブロック状のパターン
に塗工した後、乾燥して得られる。
ている研磨層はその表面が粗面（マット状）に形成され
ているもので、研磨剤粒子と繊維と、さらに必要に応じ
て添加される分散剤，帯電防止剤，染料等とを、バイン
ダー用樹脂液中に混合して得られるコーティング剤を、
例えばグラアビア印刷，リバースロールコート，ロール
コート，バーコート，コンマコート，ブレードコート，
押出しコート法等により、全面にあるいは不連続をなす
ドット状，縞柄状，格子柄状等のブロック状のパターン
に塗工した後、乾燥して得られる。
【００１１】なお、研磨層を形成する際のコーティング
剤中には、形成される研磨層の耐摩耗性，耐溶剤性，耐
熱性等の向上を計ると共に、研磨層と研磨テープ用基材
との間の密着性を向上させるために、イソシアネート系
の硬化剤を配合することが特に好ましい。
剤中には、形成される研磨層の耐摩耗性，耐溶剤性，耐
熱性等の向上を計ると共に、研磨層と研磨テープ用基材
との間の密着性を向上させるために、イソシアネート系
の硬化剤を配合することが特に好ましい。
【００１２】研磨剤粒子として利用される無機質微粉末
は、この種の普通の研磨テープの研磨層の形成に使用さ
れる通常の無機質微粉末、例えば、酸化アルミニュウ
ム，炭化珪素，酸化ジルコニュウム，酸化クロム，酸化
鉄，ダイヤモンド，窒化ホウ素，エメリー，酸化セリウ
ム等による無機質微粉末であり、１次粒子の平均粒径が
０．１〜６０μ程度のものが使用される。
は、この種の普通の研磨テープの研磨層の形成に使用さ
れる通常の無機質微粉末、例えば、酸化アルミニュウ
ム，炭化珪素，酸化ジルコニュウム，酸化クロム，酸化
鉄，ダイヤモンド，窒化ホウ素，エメリー，酸化セリウ
ム等による無機質微粉末であり、１次粒子の平均粒径が
０．１〜６０μ程度のものが使用される。
【００１３】研磨層の表面を粗面（マット状）にするた
めに研磨層中に添加される繊維は、例えば、チタン酸カ
リウム（Ｋ2 Ｏ・６ＴｉＯ2 ，Ｋ2 Ｔｉ6 Ｏ13，ＴｉＯ
2 ・ｎＨ2 Ｏ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、
マグネシウムパイロボレート（Ｍｇ2 Ｂ2 Ｏ5 ）、ある
いは酸化亜鉛（ＺｎＯ）によるウィスカーからなり、直
径０．１〜３μ，長さ５〜２００μ程度のものが好適で
あり、さらには、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ），炭
化珪素（ＳｉＣ），ガラス繊維等も利用される。
めに研磨層中に添加される繊維は、例えば、チタン酸カ
リウム（Ｋ2 Ｏ・６ＴｉＯ2 ，Ｋ2 Ｔｉ6 Ｏ13，ＴｉＯ
2 ・ｎＨ2 Ｏ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、
マグネシウムパイロボレート（Ｍｇ2 Ｂ2 Ｏ5 ）、ある
いは酸化亜鉛（ＺｎＯ）によるウィスカーからなり、直
径０．１〜３μ，長さ５〜２００μ程度のものが好適で
あり、さらには、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ），炭
化珪素（ＳｉＣ），ガラス繊維等も利用される。
【００１４】研磨テープ用基材の表面に対して研磨剤成
分及び繊維を固着させる際のバインダー用樹脂には、例
えば、ポリウレタン樹脂，アクリル樹脂，エチレン−酢
酸ビニル共重合体樹脂，ポリエステル樹脂，ポリエステ
ルウレタン樹脂，塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹
脂，ブチラール樹脂，ポリアミド樹脂，エポキシ樹脂，
硝化綿，塩化ゴム等による単独樹脂または２種以上の混
合樹脂が使用される。
分及び繊維を固着させる際のバインダー用樹脂には、例
えば、ポリウレタン樹脂，アクリル樹脂，エチレン−酢
酸ビニル共重合体樹脂，ポリエステル樹脂，ポリエステ
ルウレタン樹脂，塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹
脂，ブチラール樹脂，ポリアミド樹脂，エポキシ樹脂，
硝化綿，塩化ゴム等による単独樹脂または２種以上の混
合樹脂が使用される。
【００１５】研磨剤粒子たる無機質微粉末は、通常、バ
インダー用樹脂１００重量部に対して５０〜１４００重
量部程度の割合で使用される。
インダー用樹脂１００重量部に対して５０〜１４００重
量部程度の割合で使用される。
【００１６】また、研磨層の表面を粗面にするために利
用する繊維は、バインダー用樹脂１００重量部に対して
３０〜５００重量部程度の割合で使用されるが、バイン
ダー用樹脂１００重量部に対して研磨剤粒子たる無機質
微粉末と繊維との合計が１４００重量部までの範囲内で
利用されることが好ましい。
用する繊維は、バインダー用樹脂１００重量部に対して
３０〜５００重量部程度の割合で使用されるが、バイン
ダー用樹脂１００重量部に対して研磨剤粒子たる無機質
微粉末と繊維との合計が１４００重量部までの範囲内で
利用されることが好ましい。
【００１７】研磨層を形成するためのコーティング剤に
おける溶剤には、バインダー用樹脂の種類に応じて、例
えば、トルエン，キシレン，メチルエチルケトン，メチ
ルイソブチルケトン，アノン，イソプロピルアルコー
ル，酢酸エチル，酢酸ブチル，エタノール等からなる単
独溶剤あるいはこれらの２種以上の混合溶剤等が使用さ
れ、コーティング方式に相応しい粘度の塗工剤に調製さ
れる。
おける溶剤には、バインダー用樹脂の種類に応じて、例
えば、トルエン，キシレン，メチルエチルケトン，メチ
ルイソブチルケトン，アノン，イソプロピルアルコー
ル，酢酸エチル，酢酸ブチル，エタノール等からなる単
独溶剤あるいはこれらの２種以上の混合溶剤等が使用さ
れ、コーティング方式に相応しい粘度の塗工剤に調製さ
れる。
【００１８】研磨テープ用基材として繊維製基材を利用
する場合には、繊維製基材の表面に対するコーティング
剤の適用に際して、このコーティング剤が繊維同士の間
の空隙を閉塞することのないように、すなわち、コーテ
ィング剤の塗工量と圧力とを調節し、一般的には、塗工
層からなる研磨層の厚さを３〜１００μ程度にするのが
好ましい。
する場合には、繊維製基材の表面に対するコーティング
剤の適用に際して、このコーティング剤が繊維同士の間
の空隙を閉塞することのないように、すなわち、コーテ
ィング剤の塗工量と圧力とを調節し、一般的には、塗工
層からなる研磨層の厚さを３〜１００μ程度にするのが
好ましい。
【００１９】研磨テープ用基材の表面に研磨層を形成す
る工程においては、コーティング剤の塗工工程に続いて
必要に応じてエージング処理が施される。
る工程においては、コーティング剤の塗工工程に続いて
必要に応じてエージング処理が施される。
【００２０】
【作用】本発明は、研磨テープ用基材と該基材に形成さ
れている研磨層とを有する研磨テープからなり、前記研
磨層が、研磨剤粒子と繊維とバインダー用樹脂とによ
り、その表面が粗面に形成されているもので、研磨層中
における繊維によって空隙の多いマット状をなすものに
なる。
れている研磨層とを有する研磨テープからなり、前記研
磨層が、研磨剤粒子と繊維とバインダー用樹脂とによ
り、その表面が粗面に形成されているもので、研磨層中
における繊維によって空隙の多いマット状をなすものに
なる。
【００２１】したがって、本発明の研磨テープを利用す
る研磨仕上げやクリーニング仕上げにおいては、研磨作
業中あるいはクリーニング作業中に発生する微小な研磨
屑や異物が、研磨層の表面の空隙によて捕集されるた
め、研磨テープと被研磨体との間で夾雑摩耗を起こすよ
うなことがなく、品質の高い均一な研磨仕上げやクリー
ニング仕上げをなし得る。
る研磨仕上げやクリーニング仕上げにおいては、研磨作
業中あるいはクリーニング作業中に発生する微小な研磨
屑や異物が、研磨層の表面の空隙によて捕集されるた
め、研磨テープと被研磨体との間で夾雑摩耗を起こすよ
うなことがなく、品質の高い均一な研磨仕上げやクリー
ニング仕上げをなし得る。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の研磨テープの具体的な構成を
製造実施例を以って説明する。
製造実施例を以って説明する。
【００２３】実施例１ 「コーティング剤の製造」下記組成物による研磨剤分散
樹脂液［Ａ］に対してキシリレンジジイソシアナート
を、前記研磨剤分散樹脂液［Ａ］中の線状飽和ポリエス
テル樹脂の水酸基（−ＯＨ）と添加するキシリレンジジ
イソシアナートのイソシアナート基（−ＮＣＯ）との関
係が（−ＮＣＯ／−ＯＨ）＝５（当量比）に相当する量
で添加し、続いて、研磨剤分散樹脂液［Ａ］中の溶剤と
同一の溶剤によって希釈し、粘度８０ｃｐｓのコーティ
ング剤［ａ］を得た。
樹脂液［Ａ］に対してキシリレンジジイソシアナート
を、前記研磨剤分散樹脂液［Ａ］中の線状飽和ポリエス
テル樹脂の水酸基（−ＯＨ）と添加するキシリレンジジ
イソシアナートのイソシアナート基（−ＮＣＯ）との関
係が（−ＮＣＯ／−ＯＨ）＝５（当量比）に相当する量
で添加し、続いて、研磨剤分散樹脂液［Ａ］中の溶剤と
同一の溶剤によって希釈し、粘度８０ｃｐｓのコーティ
ング剤［ａ］を得た。
【００２４】 研磨剤分散樹脂液［Ａ］ (1)線状飽和ポリエステル樹脂 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５７重量部 (2)緑色炭化珪素研磨剤（粒度：＃８０００）・・・・・・・・２００重量部 (3)チタン酸カリウム繊維・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５０重量部 (4)アクリル系レベリング剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２重量部 (5)溶剤（トルエン）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３０重量部
【００２５】「研磨テープの製造」［図１］において、
密度０．４ｇ／ｃｍ3 ，坪量３０ｇ／ｍ2 の抄造紙によ
る研磨テープ用基材２の表面に、前記塗工剤［ａ］を５
ｇ（固形成分）／ｍ2 の割合にリバースロールコート法
によって均一に塗工し、４０℃で５日間のエージング処
理に付すことによって研磨層３を形成し、符号１で表示
される本発明の実施例品である研磨テープを得た。
密度０．４ｇ／ｃｍ3 ，坪量３０ｇ／ｍ2 の抄造紙によ
る研磨テープ用基材２の表面に、前記塗工剤［ａ］を５
ｇ（固形成分）／ｍ2 の割合にリバースロールコート法
によって均一に塗工し、４０℃で５日間のエージング処
理に付すことによって研磨層３を形成し、符号１で表示
される本発明の実施例品である研磨テープを得た。
【００２６】得られた研磨テープ１の研磨剤成分が固着
されている側すなわち研磨層３側を、３０００倍，１０
００倍，５００倍及び１００倍の電子顕微鏡写真で観察
したところ、研磨テープ用基材２をなす抄造紙の表面の
繊維同士の間の空隙のうちの約７割が、研磨剤成分によ
って埋没されることなく、研磨テープ１の表面の繊維同
士の間の空隙として維持されており、かつ、研磨層３中
にも該層中におけるチタン酸カリウム繊維による凹部が
形成されていることが確認でき、研磨層３の表面が粗面
に形成されていた。
されている側すなわち研磨層３側を、３０００倍，１０
００倍，５００倍及び１００倍の電子顕微鏡写真で観察
したところ、研磨テープ用基材２をなす抄造紙の表面の
繊維同士の間の空隙のうちの約７割が、研磨剤成分によ
って埋没されることなく、研磨テープ１の表面の繊維同
士の間の空隙として維持されており、かつ、研磨層３中
にも該層中におけるチタン酸カリウム繊維による凹部が
形成されていることが確認でき、研磨層３の表面が粗面
に形成されていた。
【００２７】実施例２ 前記実施例１で利用したものと同一の塗工剤［ａ］を利
用し、厚さ２５μのポリエステル樹脂フィルムからなる
研磨テープ用基材の表面に、リバースロールコーター法
により、塗工剤［ａ］を３ｇ（固形成分）／ｍ2 の割合
に均一に塗工し、４０℃で５日間のエージング処理に付
すことにより、本発明の研磨テープの別の実施例品を得
た。
用し、厚さ２５μのポリエステル樹脂フィルムからなる
研磨テープ用基材の表面に、リバースロールコーター法
により、塗工剤［ａ］を３ｇ（固形成分）／ｍ2 の割合
に均一に塗工し、４０℃で５日間のエージング処理に付
すことにより、本発明の研磨テープの別の実施例品を得
た。
【００２８】得られた研磨テープの研磨剤成分が固着さ
れている側を、３０００倍，１０００倍，５００倍及び
１００倍の電子顕微鏡写真で観察したところ、研磨層中
にチタン酸カリウム繊維による凹部が形成されているこ
とが確認でき、研磨層の表面が粗面に形成されていた。
れている側を、３０００倍，１０００倍，５００倍及び
１００倍の電子顕微鏡写真で観察したところ、研磨層中
にチタン酸カリウム繊維による凹部が形成されているこ
とが確認でき、研磨層の表面が粗面に形成されていた。
【００２９】比較例１ 前述の実施例１における研磨剤分散樹脂液［Ａ］中から
チタン酸カリウム繊維を除去した研磨剤分散樹脂液
［Ｂ］を用意し、該研磨剤分散樹脂液［Ｂ］に対してキ
シリレンジジイソシアナートを、前記研磨剤分散樹脂液
［Ｂ］中の線状飽和ポリエステル樹脂の水酸基（−Ｏ
Ｈ）と添加するキシリレンジジイソシアナートのイソシ
アナート基（−ＮＣＯ）との関係が（−ＮＣＯ／−Ｏ
Ｈ）＝５（当量比）に相当する量で添加し、続いて、研
磨剤分散樹脂液［Ｂ］中の溶剤と同一の溶剤によって希
釈し、粘度８０ｃｐｓのコーティング剤［ｂ］を得た。
チタン酸カリウム繊維を除去した研磨剤分散樹脂液
［Ｂ］を用意し、該研磨剤分散樹脂液［Ｂ］に対してキ
シリレンジジイソシアナートを、前記研磨剤分散樹脂液
［Ｂ］中の線状飽和ポリエステル樹脂の水酸基（−Ｏ
Ｈ）と添加するキシリレンジジイソシアナートのイソシ
アナート基（−ＮＣＯ）との関係が（−ＮＣＯ／−Ｏ
Ｈ）＝５（当量比）に相当する量で添加し、続いて、研
磨剤分散樹脂液［Ｂ］中の溶剤と同一の溶剤によって希
釈し、粘度８０ｃｐｓのコーティング剤［ｂ］を得た。
【００３０】次いで、厚さ２５μのポリエステル樹脂フ
ィルムからなる研磨テープ用基材の表面に、リバースロ
ールコーター法により、塗工剤［ｂ］を３ｇ（固形成
分）／ｍ2 の割合に均一に塗工し、４０℃で５日間のエ
ージング処理に付すことにより、比較のための研磨テー
プを得た。
ィルムからなる研磨テープ用基材の表面に、リバースロ
ールコーター法により、塗工剤［ｂ］を３ｇ（固形成
分）／ｍ2 の割合に均一に塗工し、４０℃で５日間のエ
ージング処理に付すことにより、比較のための研磨テー
プを得た。
【００３１】［実験］実施例１〜実施例２および比較例
で得られた各研磨テープを利用し、８ミリ用塗布型メタ
ルテープの表面研磨仕上げを行なった。
で得られた各研磨テープを利用し、８ミリ用塗布型メタ
ルテープの表面研磨仕上げを行なった。
【００３２】８ミリ用塗布型メタルテープの研磨処理で
得られたドロップアウト減少率（％）と、被研磨体に発
生したスクラッチ傷の発生度合の５段階評価を［表１］
に示す。なお、スクラッチ傷の発生度合の５段階評価
は、スクラッチ傷の発生の少ない方から順次Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄ，Ｅによって示す。
得られたドロップアウト減少率（％）と、被研磨体に発
生したスクラッチ傷の発生度合の５段階評価を［表１］
に示す。なお、スクラッチ傷の発生度合の５段階評価
は、スクラッチ傷の発生の少ない方から順次Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄ，Ｅによって示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】本発明の研磨テープを利用する研磨作業
やクリーニング作業においては、微小な研磨屑や異物が
研磨テープの表面に付着するようなことがないため、研
磨作業やクリーニング作業によって、被研磨体あるいは
クリーニング処理に付される物体の表面を傷付けるよう
なことがなく、適切で均一な研磨仕上げやクリーニング
仕上げを行なえる。
やクリーニング作業においては、微小な研磨屑や異物が
研磨テープの表面に付着するようなことがないため、研
磨作業やクリーニング作業によって、被研磨体あるいは
クリーニング処理に付される物体の表面を傷付けるよう
なことがなく、適切で均一な研磨仕上げやクリーニング
仕上げを行なえる。
【図１】本発明の研磨テープの１実施例品の拡大模型断
面図である。
面図である。
１：研磨テープ ２：研磨テープ用基材 ３：研磨層
Claims (2)
- 【請求項１】 研磨テープ用基材と該基材に形成され
ている研磨層とを有する研磨テープにおいて、前記研磨
層が、研磨剤粒子と繊維とバインダー用樹脂とにより、
その表面が粗面に形成されていることを特徴とする研磨
テープ。 - 【請求項２】 研磨層における繊維が、チタン酸カリ
ウム，チタン酸バリウム，マグネシウムパイロボレート
あるいは酸化亜鉛のウィスカーからなる請求項１記載の
研磨テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30299992A JPH06126642A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 研磨テープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30299992A JPH06126642A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 研磨テープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06126642A true JPH06126642A (ja) | 1994-05-10 |
Family
ID=17915723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30299992A Pending JPH06126642A (ja) | 1992-10-15 | 1992-10-15 | 研磨テープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06126642A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100581614B1 (ko) * | 2004-12-23 | 2006-05-23 | 주식회사 썬텍인더스트리 | 정밀연마용 클리닝 테이프 |
-
1992
- 1992-10-15 JP JP30299992A patent/JPH06126642A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100581614B1 (ko) * | 2004-12-23 | 2006-05-23 | 주식회사 썬텍인더스트리 | 정밀연마용 클리닝 테이프 |
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