JPH061297B2 - 顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡

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JPH061297B2
JPH061297B2 JP61048737A JP4873786A JPH061297B2 JP H061297 B2 JPH061297 B2 JP H061297B2 JP 61048737 A JP61048737 A JP 61048737A JP 4873786 A JP4873786 A JP 4873786A JP H061297 B2 JPH061297 B2 JP H061297B2
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/20—Light-tight connections for movable optical elements
    • G02B7/24—Pivoted connections
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes

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  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、対物レンズによつて投影された被検物体の第
１の中間像を再び、しかも観察者に関して正しい、かつ
方向照準されて接眼レンズ像面において結像する光学系
を有する顕微鏡に関する。このような顕微鏡は特に、半
導体工業においてウエフア、マスクなどの検査のために
使用される。
従来の技術 像を転向する光学系を有するすでに公知の顕微鏡鏡筒は
比較的大きな構造長さを有しておりかつ複数の光学部材
を含んでいる。たとえばドイツ連邦共和国実用新案登録
第７９３１４２７号明細書により公知の顕微鏡は、像の
転向が中間鏡筒内に配置された光学系によつて行なわれ
る。しかしこの中間鏡筒は、観察者に向かう方向で比較
的広く構成されており、かつ像を記録するための付加装
置を取付けることができない。
特別な測光器を有する公知の顕微鏡においては、光路が
凹面鏡を介して案内されており、この凹面鏡は中間像平
面に配置されていてかつその後方に配置された測光器の
ための測定絞りを有している。このような形式の測光器
付顕微鏡がアメリカ合衆国特許第３８２７８１１号明細
書及びドイツ連邦共和国特許出願公開第3213145号明細
書に記載されている。しかしこのような公知の顕微鏡
は、正しい、方向照準された像を形成することができな
い。しかもほとんど邪魔にならない個所に、要するに鏡
筒の背面に付加装置を取付けることが困難である。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第2015839号明細書によ
り公知であるステレオ顕微鏡においては、構造長さの短
縮のために鏡筒内で光路が垂直平面で屈折されている。
しかしこの公知の顕微鏡は、比較的多数の反斜面により
比較的高価になる。さらにこの顕微鏡は、鏡筒内に中間
結像を形成せず、それ故に普通の顕微鏡には使用できな
い。
発明の課題 本発明の課題は、正しい像を形成し、かつ像を記録する
ための付加装置を取付けることができ、しかもこのばあ
いコンパクトに構成されかつ光学部材の数を最小限にす
ることができるような顕微鏡の鏡筒を提供することであ
る。
課題を解決するための手段 前述の課題を解決するために講じた手段は、対物レンズ
と第１の中間像との間の観察光路が直線的に、かつほぼ
垂直に延びており、前記第１の中間像の近くに転向凹面
鏡が配置されており、該凹面鏡が光路を、像平面の近く
の平面鏡に向かう方向で鋭角を成して反射させるように
なつており、さらに前記像平面に双眼接眼レンズ鏡筒が
取付けられており、さらに凹面鏡と平面鏡との間に中間
結像光学系が配置されていることにある。
発明の効果 本発明による鏡筒は、光路を屈折させる２つの反斜面し
か有していない。第１の凹面状の反射鏡がペツバル曲率
の補正にプラスに作用するので、中間結像の光学系を比
較的安価に構成することができる。さらに鏡の正の焦点
距離によつて、中間結像の光学系へのひとみの適合が行
なわれる。さらに、屈折された光路の観察者から離れる
側の部分内において、像を記録するための付加装置への
光路の反射のための付加的な分光器が配置されており、
前記の像記録のための付加装置はたとえば鏡筒の背面側
においてコンパクトな構造を損わないように形成されて
いる。
実施態様 本発明の有利な実施態様によれば、平面鏡が水平軸を中
心に回動可能である。このことによつて使用者は、変化
可能な観察角もしくは観察高さの個人的な適合が得られ
る。
実施例 図面において概略的に示された鏡筒３は平らな下縁４を
有しており、この下縁で以て鏡筒は反射光式顕微鏡の支
えに載着されている。この反射光式顕微鏡のうち、転換
器２及びこれに固定された対物レンズ１が破線で示され
ている。
鏡筒３が鏡筒レンズ１１を有しており、該鏡筒レンズは
鏡筒の上方端部における平面に被検物体２０の第１の中
間像１７を生ぜしめるために役立つ。この中間像１７の
ための平面に凹面鏡７が配置されており、この凹面鏡に
よつて光路が下方へ第２の平面鏡８に向かつて鋭角に反
射される。平面鏡８が前側の像平面２１の近くに接けら
れており、像平面２１に双眼接眼レンズ鏡筒５が取付け
られる。図面において双眼接眼レンズ鏡筒５が９０度だ
け回動された位置で示されている。使用位置では接眼レ
ンズ接続部２８ａ，２８ｂが並列に位置しており、該接
眼レンズ接続部に接眼レンズが嵌込まれている。
双眼接眼レンズ鏡筒５が固定されている鏡筒３の部分１
０が軸線９を中心にして旋回可能でありかつ接眼レンズ
の高さ調節を可能にする。双眼接眼レンズ鏡筒を旋回さ
せるさいに、平面鏡８は周知の形式で双眼鏡筒旋回角の
半分だけ一緒に回動される。このために必要な減速ギヤ
装置はここでは説明しない。
凹面鏡７と平面鏡８との間に、三枚重ねの結像光学系１
２が配置されている。この光学系１２を介して被検物体
２０が、双眼接眼レンズ鏡筒５の接眼レンズ接続部２８
ａ，２８ｂにおける平面２７ａ，２７ｂにおいてさらに
結像される。ここで生じる像は、方向−及び高低照準さ
れている。
鏡筒レンズ１１の下側に鏡１３もしくは分光器が設けら
れており、この鏡は図示の位置において対物レンズ１か
ら出発する光が補助レンズ１４に向かう方向で分割反射
される。補助レンズ１４の後方に別の旋回鏡１５が設け
られている。旋回鏡１５は鏡１３から来る光を選択的
に、第１の像面１９の方向に透過させるか、あるいは第
２の像面２２の方向に反射させる。後者の反射させるば
あいには、別の補助レンズ１６が被検物体２０を、像面
２２に取付けられたカメラ６の写真像平面１８において
結像する。
鏡１３と補助レンズ１４とは一緒に、図示された両位置
の間で移動可能であり、従つて双眼接眼レンズ鏡筒５を
介する被検物体２０の視覚観察と、像面１９又は２２に
おい固定された付加装置におけるたとえば写真による記
録とを可能にすることができる。もちろん光１３は部分
的に光を透過させることもでき、このことによつて被検
物体の視覚観察と写真撮影とを同時に行なうことができ
る。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明による顕微鏡の原理を示す概略図である。 １…対物レンズ、２…転換器、３…鏡筒、４…下縁、５
…双眼接眼レンズ鏡筒、６…カメラ７…凹面鏡、８…平
面鏡、９…軸線、１０…部分、１１…鏡筒レンズ、１２
…結像光学系、１３…鏡、１４…補助レンズ、１５…旋
回鏡、６…補助レンズ、１７…中間像平面、１８…写真
像平面、１９…像面、２０…被検物体、２１…像平面、
２２…像面、２７ａ・２７ｂ…平面、２８ａ・２８…接
眼レンズ接続部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】対物レンズによつて投影された被検物体の
    第１の中間像を再び、しかも観察者に関して正しい、か
    つ方向照準されて接眼レンズ像面において結像する光学
    系を有する顕微鏡において、対物レンズ（１）と第１の
    中間像（１７）との間の観察光路が直線的に、かつほぼ
    垂直に延びており、前記第１の中間像（１７）の近くに
    転向凹面鏡（７）が配置されており、該凹面鏡が光路
    を、像平面（２１）の近くの平面鏡（８）に向かう方向
    で鋭角（α）を成して反射させるようになつており、さ
    らに前記像平面に双眼接眼レンズ鏡筒（５）が取付けら
    れており、さらに凹面鏡（７）と平面鏡（８）との間に
    中間結像光学系（１２）が配置されていることを特徴と
    する顕微鏡。
  2. 【請求項２】平面鏡（８）が水平軸（９）を中心に回動
    可能である特許請求の範囲第１項記載の顕微鏡。
  3. 【請求項３】対物レンズ（１）と凹面鏡（７）との間に
    おいて光路に、切換え可能な鏡（１３）もしくは分光器
    が配置されている特許請求の範囲第１項記載の顕微鏡。
  4. 【請求項４】切換え可能な鏡（１３）と凹面鏡（７）と
    の間に、第１の中間像（１７）を生ぜしめるための鏡筒
    レンズ（１１）が配置されている特許請求の範囲第３項
    記載の顕微鏡。
JP61048737A 1985-03-08 1986-03-07 顕微鏡 Expired - Fee Related JPH061297B2 (ja)

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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2596926B2 (ja) * 1987-02-16 1997-04-02 オリンパス光学工業株式会社 手術用顕微鏡のアダプター
US4818084A (en) * 1987-06-05 1989-04-04 Wentz Iii John B Single eyepiece binocular microscope
AU6894491A (en) * 1989-11-27 1991-06-26 Olin Corporation Method and apparatus for providing backup process control
JP3353356B2 (ja) * 1992-12-10 2002-12-03 株式会社ニコン 顕微鏡用鏡筒
US5561555A (en) * 1994-01-11 1996-10-01 Leica Inc. Microscope subassembly apparatus
DE19513870C2 (de) * 1995-04-12 2001-05-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Binokularmikroskop
JPH0949971A (ja) * 1995-08-08 1997-02-18 Nikon Corp 顕微鏡
DE19624166C1 (de) * 1996-06-18 1997-10-02 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskop mit schwenkbarem Okulartubus
JP4161280B2 (ja) * 1996-11-15 2008-10-08 株式会社ニコン 顕微鏡用角度可変鏡筒
DE10144062B4 (de) * 2001-09-07 2010-05-27 Leica Microsystems Ag Mikroskop mit einer Beleuchtungseinspiegelung
DE10300455A1 (de) * 2003-01-07 2004-07-15 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Tubus zur Adaption an ein Mikroskop
DE10314772A1 (de) * 2003-03-31 2004-10-14 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Justieren eines optischen Spiegels
US7423807B2 (en) * 2003-07-17 2008-09-09 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Ophthalmoscopic stereomicroscope with correction component
DE10354010A1 (de) * 2003-11-14 2005-06-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Trinokulartubus für Stereomikroskope
DE102005003437B4 (de) * 2004-02-11 2016-06-02 Carl Zeiss Meditec Ag Operationsmikroskop mit einer drehbaren Strahlschalteinrichtung für einen binokularen Beobachtungsstrahlengang
DE102004006937B4 (de) 2004-02-12 2017-03-30 Leica Microsystems Cms Gmbh Tubus für ein Mikroskop
DE102004026093B4 (de) 2004-05-25 2006-04-13 Leica Microsystems Cms Gmbh System und Verfahren zur Bildaufnahme und Bilddarstellung von Präparaten
DE102004048101B4 (de) 2004-09-30 2018-04-05 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Einstellbarer Mikroskoptubus
US8339447B2 (en) * 2004-10-21 2012-12-25 Truevision Systems, Inc. Stereoscopic electronic microscope workstation
US20070188603A1 (en) * 2005-10-21 2007-08-16 Riederer Thomas P Stereoscopic display cart and system
US8358330B2 (en) * 2005-10-21 2013-01-22 True Vision Systems, Inc. Stereoscopic electronic microscope workstation
DE102008009914B4 (de) * 2008-02-19 2016-12-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Tubuseinheit für Mikroskope
US9168173B2 (en) * 2008-04-04 2015-10-27 Truevision Systems, Inc. Apparatus and methods for performing enhanced visually directed procedures under low ambient light conditions
US10117721B2 (en) 2008-10-10 2018-11-06 Truevision Systems, Inc. Real-time surgical reference guides and methods for surgical applications
US9226798B2 (en) 2008-10-10 2016-01-05 Truevision Systems, Inc. Real-time surgical reference indicium apparatus and methods for surgical applications
US8077386B2 (en) 2008-10-22 2011-12-13 Microbrightfield, Inc. Movable objective lens assembly for an optical microscope and optical microscopes having such an assembly
US9173717B2 (en) 2009-02-20 2015-11-03 Truevision Systems, Inc. Real-time surgical reference indicium apparatus and methods for intraocular lens implantation
US8784443B2 (en) 2009-10-20 2014-07-22 Truevision Systems, Inc. Real-time surgical reference indicium apparatus and methods for astigmatism correction
US20110213342A1 (en) * 2010-02-26 2011-09-01 Ashok Burton Tripathi Real-time Virtual Indicium Apparatus and Methods for Guiding an Implant into an Eye
EP2891137B1 (en) 2012-08-30 2020-05-27 Alcon Inc. Imaging system and methods displaying a fused multidimensional reconstructed image
WO2015108846A1 (en) 2014-01-14 2015-07-23 Applied Scientific Instrumentation, Inc. Light sheet generator
US11083537B2 (en) 2017-04-24 2021-08-10 Alcon Inc. Stereoscopic camera with fluorescence visualization
US10299880B2 (en) 2017-04-24 2019-05-28 Truevision Systems, Inc. Stereoscopic visualization camera and platform
US10917543B2 (en) 2017-04-24 2021-02-09 Alcon Inc. Stereoscopic visualization camera and integrated robotics platform
DE102017124545B3 (de) 2017-10-20 2019-01-24 Carl Zeiss Meditec Ag Mikroskop
DE102017124548B3 (de) 2017-10-20 2018-07-26 Carl Zeiss Meditec Ag Mikroskop mit einer OCT-Einrichtung und einer Wellenfrontmesseinrichtung
CN107966800B (zh) * 2017-11-20 2020-12-15 天津津航技术物理研究所 一种手术显微镜用助手镜光学系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2307951A (en) * 1940-06-11 1943-01-12 Prec Grinding Ltd Optical instrument for observing, comparing, or measuring angles
GB713171A (en) * 1951-02-26 1954-08-04 Cooke Troughton & Simms Ltd Improvements in microscopy
DE1020810B (de) * 1955-09-03 1957-12-12 Studiengesellschaft Zur Foerde Mikroskop
GB911827A (en) * 1959-10-21 1962-11-28 Cooke Troughton And Simms Ltd Improvements in or relating to microscopes
US3827811A (en) * 1972-03-15 1974-08-06 Nippon Kogaku Kk Optical measuring device employing a diaphragm with reflecting surfaces
US4221459A (en) * 1978-08-07 1980-09-09 Fisher William E Erect image telescope optical system
SE440413B (sv) * 1978-11-28 1985-07-29 Zeiss Carl Fa Anordning vid mikroskop
DE3203142A1 (de) * 1982-01-30 1983-08-04 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Universeller binokulartubus fuer mikroskope
DE3213145A1 (de) * 1982-04-08 1983-10-20 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Mikroskopphotometer
DE3305650A1 (de) * 1983-02-18 1984-08-23 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Mikroskoptubus

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Publication number Publication date
JPS61275713A (ja) 1986-12-05
GB8605102D0 (en) 1986-04-09
US4691997A (en) 1987-09-08
GB2172409A (en) 1986-09-17
GB2172409B (en) 1988-10-05
DE3508306A1 (de) 1986-09-11
DE3508306C2 (ja) 1987-07-23
FR2578659A1 (fr) 1986-09-12

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