JPH06129801A

JPH06129801A - 測定装置

Info

Publication number: JPH06129801A
Application number: JP30054192A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kawashima; 隆川嶋; Nobuo Torii; 伸男鳥居
Original assignee: SHIZUOKA TEKKOSHO KK; Union Tool Co
Current assignee: SHIZUOKA TEKKOSHO KK; Union Tool Co
Priority date: 1992-10-13
Filing date: 1992-10-13
Publication date: 1994-05-13
Anticipated expiration: 2016-09-10
Also published as: JP3208198B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ワークの内径部の内径を高い精度でかつ簡単
な作業で測定することを可能とし、又、内径部の深さに
ついても測定することを可能にする測定装置を提供する
ことを目的とする。【構成】ワークの内径部内に挿入されワークの内径測
定を行なうとともにワークの内径部の深さを測定するタ
ッチセンサがＺ軸方向の任意の位置に位置した時点で零
セットしそこからタッチセンサがＺ軸方向に移動した場
合にはその移動距離を測定するＺ軸方向移動距離検出手
段を設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、中空状をなす
ワークの内径を測定する測定装置に係り、特に、比較的
大径のワークはもとより極小径のワーク（例えば、内径
が１mm以下のもの）に到る広範囲のワークに対して、簡
単な作業で精度良くその内径を測定することを可能と
し、かつ、ワークの内径部の深さをも測定できるように
工夫したものに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、内径研磨装置によってワークの
内径部に研磨を施した場合には、該内径部が所定寸法に
仕上げられているか否かを確認する必要がある。従来、
この種の内径の測定は様々な測定装置を使用して行って
いるが、例えば、極小径のワークの内径部については、
内径ゲージ等を使用して行なうのが一般的である。すな
わち、予め所定の外径に仕上げられている内径ゲージを
多種類用意して、それを１個ずつワークの内径部に差し
込んで、その差込み具合からワークの内径を特定するも
のである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成による
と、極小径のワークの内径の測定作業が困難であるとい
う問題があった。すなわち、ワークそれぞれに対して、
多種類の内径ゲージを差し込んでその差込み具合から内
径を特定しなければならないからである。又、その測定
精度も決して高いものではなかった。又、ワークの内径
部の深さについてもこれを高い精度で測定する手段がな
かった。

【０００４】本発明はこのような点に基づいてなされた
ものでその目的とするところは、ワーク、特に、極小径
のワークの内径部の内径を高い精度でかつ簡単な作業で
測定することを可能とし、又、内径部の深さについても
測定することを可能にする測定装置を提供することにあ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべく
本願発明による測定装置は、測定対象のワークを保持す
るワーク保持手段と、上記ワークの内径部内に挿入され
ワークの内径測定を行なうとともにワークの内径部の深
さを測定するタッチセンサと、上記ワーク保持手段とタ
ッチセンサとを軸方向（Ｚ軸方向）に相対的に移動させ
てタッチセンサをワークの内径部の所定深さ位置に位置
させるＺ軸方向移動手段と、上記ワーク保持手段とタッ
チセンサとを任意の径方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動
させるＸ軸方向移動手段と、上記ワーク保持手段とタッ
チセンサとを上記Ｘ軸方向に直交する径方向（Ｙ軸方
向）に相対的に移動させるＹ軸方向移動手段と、上記タ
ッチセンサがＺ軸方向の任意の位置に位置した時点で零
セットしそこからタッチセンサがＺ軸方向に移動した場
合にはその移動距離を測定するＺ軸方向移動距離検出手
段と、を具備したことを特徴とするものである。

【０００６】その際、Ｘ軸方向移動手段によりワーク保
持手段とタッチセンサとをＸ軸方向に相対的に移動させ
て、ワークの内径部とタッチセンサとが当接した瞬間の
移動距離をホールドして表示する手段を設け、同様に、
Ｙ軸方向移動手段によりワーク保持手段とタッチセンサ
とをＹ軸方向に相対的に移動させて、ワークの内径部と
タッチセンサとが当接した瞬間の移動距離をホールドし
て表示する手段を設けることが好ましい。

【０００７】

【作用】まず、本願発明による測定装置は、次のような
手順によりワークの内径を測定する。まず、測定対象と
なっているワークをワーク保持手段により保持する。次
に、Ｚ軸方向移動手段によってタッチセンサとワーク保
持手段とをＺ軸方向に相対的に移動させて、タッチセン
サをワークの内径部内の所定の深さ位置に位置させる。
次に、Ｘ軸方向移動手段とＹ軸方向移動手段を適宜操作
して、タッチセンサとワークとをＸ軸方向及びＹ軸方向
に相対移動させる。例えば、Ｘ軸方向移動手段によりタ
ッチセンサとワークとをＸ軸方向に相対的に移動させ
て、タッチセンサとワークの内径部とを当接させる。そ
の当接瞬間時点で零セットを行なう。次に、Ｘ軸方向移
動手段によりタッチセンサとワークとを上記とは逆向き
のＸ軸方向に相対的に移動させて、タッチセンサとワー
クの内径部とを当接させる。その当接瞬間の移動量の半
分を算出して、Ｘ軸方向移動手段によりタッチセンサと
ワークとを上記とは逆向きのＸ軸方向に、上記移動量の
半分の量だけ相対的に移動させる。これによって、タッ
チセンサはワークの軸心線上に位置することになる。

【０００８】次に、Ｙ軸方向移動手段によりタッチセン
サとワークとをＹ軸方向に相対的に移動させて、タッチ
センサとワークの内径部とを当接させる。その当接瞬間
時点で零セットを行なう。次に、Ｙ軸方向移動手段によ
りタッチセンサとワークとを上記とは逆向きのＹ軸方向
に相対的に移動させて、タッチセンサとワークの内径部
とを当接させる。その当接瞬間時の移動量に所定の加算
値を加算することによりワークの内径を算出することが
できる。尚、上記加算値とは、タッチセンサのスタイラ
ス（測定子）外径である。尚、上記測定手順はあくまで
一例であるので、他の手順により測定するようにしても
よいことは勿論であるとともに、加算値についてもタッ
チセンサの構成により異なるものとなる。

【０００９】又、本願発明による内径測定装置による
と、ワークの内径部の深さを測定することができる。そ
の手順は次のようなものである。まず、タッチセンサを
ワークの端面に当接させる。その状態で、Ｚ軸方向移動
距離検出手段を零セットする。後は、タッチセンサがＺ
軸方向に移動すればその移動距離がＺ軸方向移動距離検
出手段によって検出されることになる。よって、タッチ
センサをワークの内径部内に下降させていけばその下降
した移動距離が検出され、タッチセンサがワークの内径
部内のどの深さ位置に位置しているかを認識することが
できる。又、タッチセンサが内径部の底部に当接したと
きの移動距離より、内径部の深さを認識することができ
る。

【００１０】又、Ｘ軸方向移動手段によりワーク保持手
段とタッチセンサとをＸ軸方向に相対的に移動させて、
ワークの内径部とタッチセンサとが当接した瞬間の移動
距離をホールドして表示する手段を設け、同様に、Ｙ軸
方向移動手段によりワーク保持手段とタッチセンサとを
Ｙ軸方向に相対的に移動させて、ワークの内径部とタッ
チセンサとが当接した瞬間の移動距離をホールドして表
示する手段を設けた場合には、ワーク保持手段とタッチ
センサとを相対的に移動させ、両者が当接した後にもさ
らに移動させるようなことがあっても、移動距離を高い
精度で測定することができ、ひいては、内径測定の精度
を向上させることができる。

【００１１】

【実施例】以下、図１乃至図１４を参照して本発明の一
実施例を説明する。本実施例による内径測定装置は、図
１に示すような構成になっている。まず装置本体として
の基台１があり、この基台１上にはＸ軸方向移動手段及
びＹ軸方向移動手段としてのＸ・Ｙテーブル機構３が設
置されている。このＸ・Ｙテーブル機構３は次のような
構成になっている。Ｙ軸方向移動手段としてのＹ軸テー
ブル機構５があり、このＹ軸テーブル機構５の上にはＸ
軸移動手段としてのＸ軸テーブル機構７が設置されてい
る。上記Ｘ軸テーブル機構７上にはワーク保持手段９が
設置されていて、このワーク保持手段９によってワーク
１１を保持する。

【００１２】上記Ｙ軸テーブル機構５はネジ方式により
Ｘ軸テーブル機構７を移動させるものである。すなわ
ち、図示しないネジが配設されていて、このネジには図
示しないナットが螺合している。このナットにはＹ軸テ
ーブル１３が固定されている。そして、操作ハンドル１
５を回転操作してネジを回転させることにより、回転を
規制されているナットがＹ軸方向に移動し、それによっ
て、Ｙ軸テーブル１３ひいてはＸ軸テーブル機構７全体
がＹ軸方向に移動するものである。尚、上記操作ハンド
ル１５とネジとの間に減速機を介挿させてもよく、又、
操作ハンドル１５と減速機の間にクラッチブレーキを介
挿させてもよい。

【００１３】Ｘ軸テーブル機構７側も同様の構成になっ
ており、図示しないネジには図示しないナットが螺合し
ている。このナットにＸ軸テーブル１７が固定されてい
る。そして、操作ハンドル１９を回転操作してネジを回
転させることにより、回転を規制されているナットがＸ
軸方向に移動し、それによって、Ｘ軸テーブル１７ひい
てはワーク保持手段９がＸ軸方向に移動するものであ
る。尚、上記操作ハンドル１９とネジとの間に減速機を
介挿させてもよく、又、操作ハンドル１９と減速機の間
にクラッチブレーキを介挿させてもよい。

【００１４】基台１には柱部２１が立設されている。こ
の柱部２１の前面側にはセンサーユニット２３が上下動
可能に取付けられている。上記センサーユニット２３
は、腕部２５と、この腕部２５の先端に取付けられたタ
ッチセンサ２７と、このタッチセンサ２７の下端に着脱
可能に取付けられたスタイラス（測定子）２９等から構
成されている。上記腕部２５の内部には図示しないピニ
オンギヤが内蔵されており、このピニオンギヤが柱部２
１に取付けられたラックギヤ３１に噛合している。そし
て、操作ハンドル３３を回転操作することによりピニオ
ンギヤを回転させ、それによって、腕部２５ひいてはセ
ンサーユニット２３全体をＺ軸方向に上下動させるもの
である。尚、上記操作ハンドル３３とピニオンギヤとの
間に減速機を介挿させてもよく、又、操作ハンドル３３
と減速機の間にクラッチブレーキを介挿させてもよい。

【００１５】上記センサーユニット２３の上方位置の柱
部２１には、Ｚ軸方向移動距離検出手段としてのディジ
タルゲージ３５がＺ軸方向に移動可能に取付けられてい
る。すなわち、腕部３７があり、ディジタルゲージ３５
はこの腕部３７の先端に取付けられている。この腕部３
７内には図示しないピニオンギヤが内蔵されていて、既
に述べたラックギヤ３１に噛合している。そして、操作
ハンドル３９を回転操作することによりピニオンギヤを
回転させ、それによって、腕部３７ひいてはディジタル
ゲージ３５をＺ軸方向に上下動させるものである。上記
操作ハンドル３９とピニオンギヤとの間に減速機を介挿
させてもよい。尚、ディジタルゲージ３５は測定子４１
を備えているとともに、ダイヤル表示部４３を備えてい
る。

【００１６】上記センサーユニット２３とディジタルゲ
ージ３５は、操作部４５にリード線４７、４９を介して
接続されている。上記操作部４５の前面側には、各種の
操作部と表示部が配置されている。まず、オン・オフス
イッチ５１が配置されており、このオン・オフスイッチ
５１の下方には加算スイッチ５３が配置されている。上
記加算スイッチ５３の図中右側には加算値をセットする
加算値セット部５５が設けられている。又、図中右側に
はＸ軸方向への移動距離を表示するＸ軸方向移動距離表
示部５７、５９が上下二列に配置されているとともに、
Ｙ軸方向への移動距離を表示するＹ軸方向移動距離表示
部６１、６３が上下二列に配置されている。さらに、図
中右端には、リセットスイッチ６５と零セットスイッチ
６７が上下二列に配置されている。

【００１７】以上の構成を基にその作用を説明する。ま
ず、ワーク１１の上端面１１ａの検出から始まる内径部
の深さ測定について説明する。図２に示すように、操作
ハンドル３３を回転操作して、タッチセンサーユニット
２３を下降させて、タッチセンサ２９の先端をワーク１
１の上端面１１ａに当接させる。タッチセンサ２９がワ
ーク１１の上端面１１ａに当接すると、音（例えば、ピ
ーという音）が出力されるようになっているので、それ
によって、タッチセンサ２９がワーク１１の上端面１１
ａに当接したことを確認できる。そして、操作ハンドル
３３の回転操作を停止する。次に、図３に示すように、
操作ハンドル３９を回転操作してディジタルゲージ３５
を下降させ、その測定子４１をタッチセンサーユニット
２３のセンサ２７の上端面に当接させる。そして、さら
に操作ハンドル３９を回転操作してディジタルゲージ３
５を下降させる。それによって、図３に示すように、測
定子４１がディジタルゲージ３５の本体内に収納された
状態になっていく。この時点で零セットを行い、ダイヤ
ル表示部４３の表示を零にする。これで、ワーク１１の
上端面１１ａを検出したことになる。

【００１８】次に、Ｘ・Ｙテーブル機構３を適宜操作し
て、スタイラス２９をワーク１１の内径部の上方に位置
させる。そして、そこから、操作ハンドル３３を回転操
作して、タッチセンサーユニット２３を所定量だけ下降
させる。その様子を図４に示す。これによって、スタイ
ラス２９の先端は、ワーク１１の内径部内の所定深さ位
置に位置したことになる。尚、この作業は、ディジタル
ゲージ３５のダイヤル表示部４３の表示を監視すること
により容易にかつ高い精度で行なうことができる。そし
て、スタイラス２９の先端を、ワーク１１の内径部内の
所定深さ位置に位置させた状態で、後述する内径測定作
業を行なうことができる。そして、上記ディジタルゲー
ジ３５のダイヤル表示部４３の表示を監視しながら、操
作ハンドル３３を回転操作することにより、タッチセン
サーユニット２３を所定量だけ下降させて、任意の深さ
位置に位置させることができる。

【００１９】又、ワーク１１の内径部の深さ（Ｈ）につ
いては、スタイラス２９の先端が、図５に示すように、
内径部の底部に当接したときのダイヤル表示部４３の表
示を見ることにより容易に測定することができる。

【００２０】次に、内径測定作業について説明する。ま
ず、Ｘ・Ｙテーブル機構３を適宜操作して、ワーク１１
を適当な場所（スタイラス２９がワーク１１の内径部に
非接触の状態で入るような適当な位置）に位置させる。
次に、操作ハンドル３３を回転操作して、スタイラス２
９を下降させてワーク１１の内径部内であって所定深さ
位置に挿入する。例えば、スタイラス２９を図６に示す
ような状態でワーク１１の内径部内に挿入されたとす
る。尚、スタイラス２９の外径を（ｄ）とし、ワーク１
１の内径を（Ｄ）とする。

【００２１】上記状態でＸ・Ｙテーブル機構３を駆動し
て、ワーク１１をＸ軸方向に移動させる。ワーク１１が
Ｘ軸方向に移動して、スタイラス２９がワーク１１の内
径部に当接すると、音（例えば、ピーという音）が出力
される。それによって、Ｘ・Ｙテーブル機構３の操作を
停止する。その様子を図７に示す。スタイラス２９とワ
ーク１１の内径部はａ点で接触している。このとき、Ｘ
軸方向移動量表示部５７、５９には、それぞれ移動量が
表示される。すなわち、Ｘ軸方向移動量表示部５７に
は、スタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接した
瞬間の移動量がホールドされて表示される。一方、実際
にはスタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接した
後も、若干量の移動があり、Ｘ軸方向移動量表示部５９
には、その移動量も含んだ値が表示される。そこで、上
記作業を複数回繰り返すことにより、Ｘ軸方向移動量表
示部５７、５９の表示が一致するようになる。つまり、
スタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接した瞬間
でワーク１１のＸ軸方向への移動を停止できるようにな
る。この時点で零セットを行なう。

【００２２】次に、Ｘ・Ｙテーブル機構３を操作して、
ワーク１１を上記とは逆向きのＸ軸方向に移動させる。
そして、ワーク１１の内径部とスタイラス２９とが当接
すると、音（例えば、ピーという音）が出力される。そ
れによって、Ｘ・Ｙテーブル機構３の操作を停止する。
その様子を図８に示す。スタイラス２９とワーク１１の
内径部はｂ点で接触している。又、そのときの移動距離
（Ｌ）はＸ軸方向移動量表示部５７、５９に表示され
る。但し、Ｘ軸方向移動量表示部５７には音が出力され
た瞬間の値がホールドされて表示され、Ｘ軸方向移動量
表示部５９には、音が出力された後の僅かな移動量を含
んだ値が表示される。この場合にも、上記操作を複数回
繰り返すことにより、Ｘ軸方向移動量表示部５７、５９
の表示が一致するようになる。これをより具体的に説明
すると、ワーク１１を逆方向に移動させてスタイラス２
９より離間させる。その時点でリセットスイッチ６５を
操作して、Ｘ軸方向移動量表示部５９のホールド状態を
解除する。この状態で、再度、ワーク１１とスタイラス
２９とを当接させる作業を行う。かかる作業を複数回繰
り返すことにより、Ｘ軸方向移動量表示部５７、５９の
表示が一致するようになるものである。そして、図７に
示す状態から図８に示す状態に移行する間にスタイラス
２９とワーク１１との相対移動距離を（Ｌ）とすると、
（Ｌ／２）だけ戻ったところにワーク１１の中心線が存
在することになる。そこで、Ｘ・Ｙテーブル機構３を操
作して、ワーク１１をＸ軸方向に（Ｌ／２）だけ戻す。
その状態を図９に示す。尚、（Ｌ／２）の量の確認につ
いては、Ｘ軸方向移動量表示部５９の表示を監視してい
ればよい。

【００２３】次に、Ｘ・Ｙテーブル機構３を操作して、
ワーク１１をＹ軸方向に移動させる。ワーク１１がＹ軸
方向に移動して、スタイラス２９がワーク１１の内径部
に当接すると、音（例えば、ピーという音）が出力され
る。それによって、Ｘ・Ｙテーブル機構３の操作を停止
する。その様子を図１０に示す。スタイラス２９はｃ点
においてワーク１１の内径部に当接している。このと
き、Ｙ軸方向移動量表示部６１、６３には、それぞれ移
動量が表示される。すなわち、Ｙ軸方向移動量表示部６
１には、スタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接
した瞬間の移動量がホールドされて表示される。一方、
実際にはスタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接
した後も、若干量の移動があり、Ｙ軸方向移動量表示部
６３には、その移動量も含んだ値が表示される。そこ
で、上記作業を複数回繰り返すことにより、Ｙ軸方向移
動量表示部６１、６３の表示が一致するようになる。つ
まり、スタイラス２９とワーク１１の内径部とが当接し
た瞬間でワーク１１のＹ軸方向への移動を停止できるよ
うになる。この時点で零セットする。

【００２４】次に、Ｘ・Ｙテーブル機構３を操作して、
ワーク１１を上記とは逆向きのＹ軸方向に移動させる。
ワーク１１がＹ軸方向に移動して、スタイラス２９がワ
ーク１１の内径部に当接すると、音（例えば、ピーとい
う音）が出力される。又、そのときの移動距離（Ｍ）は
Ｙ軸方向移動量表示部６１、６３に表示される。但し、
Ｙ軸方向移動量表示部６１には音が出力された瞬間の値
がホールドされて表示され、Ｙ軸方向移動量表示部６３
には、音が出力された後の僅かな移動量を含んだ値が表
示される。この場合にも、上記操作を複数回繰り返すこ
とにより、Ｙ軸方向移動量表示部６１、６３の表示が一
致するようになる。これをより具体的に説明すると、ワ
ーク１１を逆方向に移動させてスタイラス２９より離間
させる。その時点でリセットスイッチ６５を操作して、
Ｙ軸方向移動量表示部６１のホールド状態を解除する。
この状態で、再度、ワーク１１とスタイラス２９とを当
接させる作業を行う。かかる作業を複数回繰り返すこと
により、Ｙ軸方向移動量表示部６１、６３の表示が一致
するようになるものである。その様子を図１１に示す。
スタイラス２９はｄ点においてワーク１１の内径部に当
接している。図１０に示す状態から図１１に示す状態に
移行する間にスタイラス２９とワーク１１とが相対的に
移動した距離を（Ｍ）とすると、この移動距離（Ｍ）
に、スタイラス２９の外径（ｄ）を加算した値が、ワー
ク１１の内径部の内径（Ｄ₁）ということになる。又、
図１１に示す状態から距離（Ｍ／２）だけ戻ったところ
に、ワーク１１の内径部の中心が存在することになる。
その様子を図１２に示す。

【００２５】上記段階で、ワーク１１の内径（Ｄ₁）が
測定されたことになるので、測定を完了してもよいこと
になるが、本実施例の場合にはワーク１１を再度Ｘ軸方
向に移動させてワーク１１の内径（Ｄ₂）を再度測定す
る。すなわち、Ｘ／Ｙテーブル機構３を駆動して、ワー
ク１１を再度Ｘ軸方向に移動させ（図１３に示す）、次
に、上記とは逆向きのＸ軸方向にワーク１１を移動させ
る（図１４に示す）。図１３から図１４に移行する間
に、ワーク１１とスタイラス２９が相対的に移動した距
離を（Ｎ）とすると、ワーク１１の内径部の内径
（Ｄ₂）は、移動距離（Ｎ）にスタイラス２９の外径
（ｄ）を加算した値となる。

【００２６】後は、上記測定された内径（Ｄ₁）と（Ｄ
₂）との平均を算出して内径（Ｄ）としたり、或いは、
最大値、最小値として確認することになる。又、ワーク
１１を任意角度だけ回転させて、同じ深さ位置であって
別の箇所で、同様の測定作業を行なうようにしてもよ
い。そして、それによって測定された内径（Ｄ₁’）と
（Ｄ₂’）と、上記内径（Ｄ₁）と（Ｄ₂）との平均を
算出して内径（Ｄ）としたり、或いは、最大値、最小値
として確認するものである。又、既に説明したように、
本実施例の場合には、スタイラス２９をワーク１１の内
径部の所定深さ位置に位置させることができるので、複
数の異なる深さ位置において内径（Ｄ）の測定を行なう
ことができ、それによって、内径（Ｄ）の深さ方向にお
ける分布、テーパ度等を測定することができるものであ
る。

【００２７】以上本実施例によると次のような効果を奏
することができる。まず、ワーク１１の内径の測定作業
が簡単になり、特に、内径が極小径であるワークの測定
作業が簡単になった。すなわち、Ｘ・Ｙテーブル機構３
を適宜操作して、ワーク１１をＸ軸方向或いはＹ軸方向
に移動させる作業を数回行なって所定の演算を施すだけ
で、ワーク１１の内径を測定することができるからであ
る。又、ワーク１１の内径部の深さ（Ｈ）を測定するこ
ともでき、かつ、スタイラス２９を所定深さ位置に位置
させるこもできる。よって、ワーク１１の内径部の深さ
方向における内径（Ｄ）の分布、内径部のテーパ度等を
高い精度で測定することができる。

【００２８】又、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にスタイラス２
９とワーク１１を相対的に移動させて、両者が当接した
ときの移動距離をホールドして表示するようにしている
ので、仮に、両者が当接した後さらに移動するようなこ
とがあっても、移動距離を高い精度で測定することがで
きる。それによって、内径測定の精度も高いものとな
る。

【００２９】尚、本発明は前記一実施例に限定されるも
のではない。まず、前記一実施例ではＸ・Ｙ軸テーブル
機構３の操作、スタイラス２９の上下動動作等を全てマ
ニアル操作として説明したが、これを全て自動化させて
もよい。すなわち、図６乃至図１４に示した測定工程
（これはあくまで一例）を予めプログラム化してコント
ローラに入力・記憶させておく。一方、Ｘ・Ｙ軸テーブ
ル機構３とスタイラス２９を上下動させる機構にそれぞ
れサーボモータを配置して、これらサーボモータをコン
トローラによって制御することにより、測定作業を自動
化するものである。さらに、ワーク１１の搬入・搬出を
搬入・搬出ロボットにより行なうようにし、それを含め
て自動化することも考えられる。又、前記一実施例の場
合には、スタイラス２９をＺ軸方向に移動させ、ワーク
１１をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させるようにしたが、
それに限定されるものではない。要は、スタイラス２９
とワーク１１とを、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に相対的に移動さ
せることができればよい。又、Ｚ軸方向移動距離検出手
段としては、ディジタルゲージ以外のものを使用しても
よい。

【００３０】

【発明の効果】以上詳述したように本発明による内径測
定装置によると、ワークの内径の測定作業が簡単になっ
た。すなわち、ワークをＸ軸方向或いはＹ軸方向に移動
させる作業を数回行なって所定の演算を施すだけで、ワ
ークの内径を測定することができるからである。又、ワ
ークの内径部の深さを測定することもでき、かつ、タッ
チセンサを所定深さ位置に位置させるこもできる。よっ
て、ワークの内径部の深さ方向における内径の分布、内
径部のテーパ度等を高い精度で測定することができる。
又、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にスタイラスとワークを相対
的に移動させて、両者が当接したときの移動距離をホー
ルドして表示するようにしているので、仮に、両者が当
接した後さらに移動するようなことがあっても、移動距
離を高い精度で測定することができる。それによって、
内径測定、特に、極小径のワークの内径測定のの精度も
高いものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図で内径測定装置の斜
視図である。

【図２】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
深さ測定を工程順に示す図である。

【図３】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
深さ測定を工程順に示す図である。

【図４】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
深さ測定を工程順に示す図である。

【図５】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
深さ測定を工程順に示す図である。

【図６】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
内径測定を工程順に示す図である。

【図７】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
内径測定を工程順に示す図である。

【図８】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
内径測定を工程順に示す図である。

【図９】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部の
内径測定を工程順に示す図である。

【図１０】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部
の内径測定を工程順に示す図である。

【図１１】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部
の内径測定を工程順に示す図である。

【図１２】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部
の内径測定を工程順に示す図である。

【図１３】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部
の内径測定を工程順に示す図である。

【図１４】本発明の一実施例を示す図でワークの内径部
の内径測定を工程順に示す図である。

【符号の説明】

３Ｘ・Ｙテーブル機構（Ｘ軸方向移動手段）５Ｙ軸テーブル機構（Ｙ軸方向移動手段）７Ｘ軸テーブル機構１１ワーク２７タッチセンサ２９スタイラス３５ディジタルゲージ（Ｚ軸方向移動距離検出手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象のワークを保持するワーク保持
手段と、上記ワークの内径部内に挿入されワークの内径
測定を行なうとともにワークの内径部の深さを測定する
タッチセンサと、上記ワーク保持手段とタッチセンサと
を軸方向（Ｚ軸方向）に相対的に移動させてタッチセン
サをワークの内径部の所定深さ位置に位置させるＺ軸方
向移動手段と、上記ワーク保持手段とタッチセンサとを
任意の径方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動させるＸ軸方
向移動手段と、上記ワーク保持手段とタッチセンサとを
上記Ｘ軸方向に直交する径方向（Ｙ軸方向）に相対的に
移動させるＹ軸方向移動手段と、上記タッチセンサがＺ
軸方向の任意の位置に位置した時点で零セットしそこか
らタッチセンサがＺ軸方向に移動した場合にはその移動
距離を測定するＺ軸方向移動距離検出手段と、を具備し
たことを特徴とする測定装置。
【請求項２】請求項１記載の測定装置において、Ｘ軸
方向移動手段によりワーク保持手段とタッチセンサとを
Ｘ軸方向に相対的に移動させて、ワークの内径部とタッ
チセンサとが当接したときの移動距離をホールドして表
示する手段が設けられており、同様に、Ｙ軸方向移動手
段によりワーク保持手段とタッチセンサとをＹ軸方向に
相対的に移動させて、ワークの内径部とタッチセンサと
が当接したときの移動距離をホールドして表示する手段
が設けられていることを特徴とする測定装置。