JPH06129979A - 放射エネルギー分光装置 - Google Patents

放射エネルギー分光装置

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JPH06129979A
JPH06129979A JP4228589A JP22858992A JPH06129979A JP H06129979 A JPH06129979 A JP H06129979A JP 4228589 A JP4228589 A JP 4228589A JP 22858992 A JP22858992 A JP 22858992A JP H06129979 A JPH06129979 A JP H06129979A
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radiant energy
diamond
crown
angle
pavilion
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JP4228589A
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Donald W Sting
ダブリュー スティング ドナルド
John A Reffner
エー レフナー ジョン
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Adornments (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放射エネルギー分光装置の内面反射素子とし
て単一はね返りの特殊カットのダイヤモンドを使用して
分光分析精度の向上を図る。 【構成】 放射エネルギー源3と、内面反射素子として
のダイヤモンド9と、このダイヤモンドの1つの面と接
触する試料13と、放射エネルギーをダイヤモンドの方へ
と向け、前記ダイヤモンドの試料接触面から放射エネル
ギーを一度の内面反射で反射させる光学系6,7とを具
えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は単一はね返り(シングル
バウンズ)の内面反射素子(IRE) としてダイヤモンドを
利用する放射エネルギー分光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特殊な形状にカットしたダイヤモンドは
多数はね返り(マルチプルバウンス)の内面反射素子と
して用いられている。このマルチプルバウンスのダイヤ
モンドIRE は一般に台形状の側壁と、角度を付けた端壁
と、平坦な頂部及び底部壁とを有している。このような
マルチプルバウンスのダイヤモンドIRE は極めて高価で
ある。このために、本出願人の知る限りではこの特殊な
マルチプルバウンスのダイヤモンドIRE はコストの面か
らして、これまでは分光装置用としては市販されたこと
がないと思料する。又、いずれかのダイヤモンドをシン
グルバウンスのIRE として用いたり、或いはいずれかの
標準アンビルカットのダイヤモンドをシングルバウンス
のIRE として用いることも気付かれていなかった。
【0003】大抵の標準カットの形状をしているダイヤ
モンドは複数のファセットを有している。そのために、
ダイヤモンドファセットの光学的結像特性は、エネルギ
ービームを或る個所から、その個所へと集束させる目的
には極めて劣るものであると予期されている。実際上、
ファセットは可視ビームを「ばらばら」にして、可視光
が「きらめき」を出すべくスクランブルさせるようにす
るために用いられる。これは単一の内面反射を望む分光
装置に使用する目的とは明らかに相反することである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は分光装
置におけるシングルバウンスの内面反射素子として標準
のアンビルカットのダイヤモンドを用いることにある。
シングルバウンスのIREとしてのダイヤモンドは硬く、
耐薬品性で、丈夫であり、試料への圧力を高くでき、し
かも光学的透明度も高いと言う利点がある。
【0005】本発明の他の目的は放射エネルギー分光装
置のシングルバウンスIRE として特殊カットのダイヤモ
ンドを提供することにある。シングルバウンスのIRE と
してのダイヤモンドの各面の角度及び形状を所定なもの
とすることによって、そのダイヤモンドの光学的特性を
改善することができる。ファセットの数を増やし、これ
らファセットを小さくし、且つ(1990 年12月6日出願の
米国特許願第07/622,852号に記載されているような) 開
口数の高い光学系によって作られる多少球状をしている
波面にほぼ垂直となるようにすることによりダイヤモン
ドをシングルバウンスのATR 結晶として非常に有効なも
のとすることができる。
【0006】本発明のさらに他の目的は、任意タイプの
光学系又は配向系にシングルバウンスのIRE として極め
て小さなダイヤモンドを利用することにある。シングル
バウンスのIRE としての極めて小さなダイヤモンドは光
学系のひずみを減らすことができる。
【0007】放射エネルギーIRE 分光用のプローブとし
て直径が10ミクロン以下の極めて小さな試料接触面を有
するダイヤモンドを用い、その接触面が分析すべき試料
の個所を規定するようにすることができる。試料接触面
が10ミクロン以下のこのようなシングルバウンスのIRE
ダイヤモンドによって限外顕微鏡分析することができ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、放射エネルギ
ー源と;内面反射素子としてのダイヤモンドと;このダ
イヤモンドの1つの面と接触する試料と;放射エネルギ
ーをダイヤモンドの方へと向け、ダイヤモンドの前記試
料接触面から放射エネルギーを一度の内面反射で反射さ
せる光学系と;を具えている放射エネルギー分光装置に
ある。
【0009】
【実施例】先ず図1を参照するに、ここには本発明によ
る放射エネルギー分光装置を1にて総称して示してあ
る。この装置は放射エネルギー源3と、可視光源4と、
マスク5と、二次ミラー6及び一次ミラー7を含む対物
レンズ系と、9にて総称する単一はね返り(シングルバ
ウンス)のダイヤモンドIRE と、放射エネルギー検出器
10とを含むことができる。
【0010】放射エネルギー源3は非可視エネルギー、
好ましくは赤外エネルギーを分光装置の12にて総称する
光路に沿って放射する。この放射エネルギー源3によっ
て供給される放射エネルギーは試料を分析するのに用い
られ、この場合の試料は反応室内に入れてある流体13と
する。
【0011】放射エネルギー源3は可視光源4と交互に
用いることができる。慣例の切換ミラー14を2つの位置
間にて枢動させて、放射エネルギーか、可視光のいずれ
かを光路12に沿う方向に向けることができる。図1に示
す実線位置ではミラー14が放射エネルギーを分光装置に
通す。切換ミラー14を図1に示す破線位置へ枢動させる
と、このミラーは可視光を分光装置の光路に沿う方向に
向ける。この可視光を慣例の接眼レンズに通して見て、
試料13の特定な分析試験のための光学系を設定するのに
役立てることができる。
【0012】なお、分析試験は種々のマスク5又は他の
光学素子を用いて様々な試験をすることができる。図1
に示すように、入口開口15と出口開口16を有しているマ
スク5を光路12内に位置させる。図示のように、入口開
口15及び出口開口16はATR の研究をすることのできる光
学系を通る中心線から等距離の所に位置させる。マスク
5における開口の大きさを制限すれば、ほぼ半球状をし
た波面の選択された部分だけが分光装置の対物レンズ系
及びIRE 部分に入ったり、出たりする。
【0013】他の研究をするためには別のマスクを用い
ることができる。例えば入口開口15A を有している入口
マスク5Aを光路の入射部分に沿って位置させて、放射エ
ネルギーを入口開口15A に通すことができる。出口開口
16B を有している出口マスク5Bを放射エネルギー通路の
反射部分に選択的に位置させることができる。入口開口
15A 及び出口開口16B は光学系の中心線から等間隔に離
間されていないから、試料13について散乱を調べること
ができる。幅、長さ、形状及び半径位置が様々な開口を
有しているマスクの多数の組み合わせを選択的にミック
スさせ、且つ、マッチさせて多数のATR 分光写真の研究
をすることができる。マスクの代わりにレンズの如き他
の光学素子を用いることができる。
【0014】可視光を使用している時には、マスク5を
選択的に使用したり、それを全くなくしたり、又は別の
光学素子と置き換えることができる。例えばレンズ5Bを
分光装置の光路内に位置させて、解析試験又は設定した
処理手順を行うのに必要とされるような光を集束させる
ことができる。
【0015】一次ミラー7はその中心線に沿う位置に開
口20を有しており、この開口を経て放射エネルギー及び
可視光をいずれの方向にも通すことができる。対物レン
ズ系の二次ミラー6はその本体を通る小孔21を有してい
る。この小孔21を二次ミラー6の中心線に沿って位置さ
せて、この小孔を経て可視孔をシングルバウンスのIRE
ダイヤモンド9に通すことができる。
【0016】図1及び図2に明示するように、ダイヤモ
ンドIRE 9はテーブル23、クラウン部分24、ガードル2
5、パビリオン部分26及びキューレット27を具えてい
る。図2に示すダイヤモンド9は標準のブリリアンカッ
ト又は変更ブリリアンカットのダイヤモンドとする。テ
ーブル及びキューレットには多数の辺があり、これらの
形状はほぼ丸くなっていると見なすことができる。この
ダイヤモンド9はテーブルファセット29及びパビリオン
ファセット30を具えている。クラウン角度31は30°〜40
°の範囲内の角度、好ましくは34−1/2 °とし、パビリ
オン角度32は25°〜45°の範囲内の角度、好ましくは約
45°のパビリオン角度とする。
【0017】図1に示すように、テーブル面23を二次ミ
ラー6用の本体の頂部表面に当接させて位置させ、パビ
リオン部分26を反応室の底壁における開口によって規定
される円錐面に対して封止させ、キューレット27を試料
13に接触させて位置させる。本例では放射エネルギーが
ダイヤモンド9のクラウン部分24から入って、クラウン
部分から出る。
【0018】シングルバウンスIRE ダイヤモンド9は例
えば図7に示すように逆にして用いることもできる。図
1でダイヤモンドを反転させる場合には、キューレット
面27が二次ミラー6の本体に接触し、クラウン部分24が
反応室の底壁における入口開口によって規定されるほぼ
円錐面に対して封止され、テーブル面23が試料と接触す
るようにする。このようにすれば、放射エネルギーがダ
イヤモンド9のパビリオン部分26から入って、パビリオ
ン部分から出るようになる。いずれにしても、ダイヤモ
ンドIRE は硬くて、丈夫で、しかも試料に対して耐薬品
性であり、光学的に透明である。
【0019】なお、シングルバウンスのダイヤモンドIR
E としては図3〜図6に示すような他の標準アンビル(a
nvil) カットのダイヤモンド又は特殊カットのダイヤモ
ンドを使用することができる。例えば図3A及び図3Bには
IRE 素子として使用できる慣例のアンビルカットのドラ
ッカー(Drukker) 標準ダイヤモンド9Aを示してある。テ
ーブル23A 及びキューレット27A は一般に8角形状をし
ている。クラウン部分24A は8個のテーブルファセット
29A と8個のパビリオンファセット30A を有している。
ガードル25A の高さはブリリアン又は変更ブリリアンカ
ットのダイヤモンドのガードル25よりも高くなってい
る。クラウン角度31A は35°〜55°の範囲内の角度、好
ましくは45°とし、パビリオン角度32A は30°〜40°、
好ましくは35°の角度とする。
【0020】図4A及び図4Bに示すような特殊カットのダ
イヤモンド9Bでは、テーブル23B 及びキューレット27B
が6角形状をしている。クラウン部分24B は6個のテー
ブルファセット29B を有し、又パビリオン部分26B は6
個のパビリオンファセット30B を有している。クラウン
角度31B は35°〜55°の範囲内の角度、好ましくは45°
とし、パビリオン角度32B は30°〜40°、好ましくは35
°とする。
【0021】図4Bに示すように、キューレット27B は極
めて小さい。試料接触面として直径が10ミクロン以下の
キューレットを用いることは、限外顕微鏡分析をするの
に好適である。ダイヤモンド全体の大きさはできるだけ
小さくし、図4Bのダイヤモンドの直径の如き最大寸法は
4ミリメートル以下とするのが好適である。シングバウ
ンスのダイヤモンドIRE 9の寸法は特殊な分析をするた
めにできるだけ小さくすべきである。シングルバウンス
のダイヤモンドIRE を小さくすれば、テーブルファセッ
トか、パビリオンファセットを通過する放射エネルギー
により光学系によって生ずる像のひずみが小さくなる。
【0022】図5にはさらに別の特殊カットのシングル
バウンスダイヤモンドIRE 9Cを示してある。このような
ダイヤモンド9Cはテーブル23C 及びキューレット27C を
有している。テーブル及びキューレットは平坦とする
か、又は彎曲させることができる。例えば、テーブル23
C か、キューレット27C 又はこれら双方を形成するのに
球の截頭部分を用いることができる。
【0023】図5のダイヤモンドはクラウン部分に3つ
の異なるテーブルファセット部分35, 36及び37も有して
いる。これらクラウン部分の各面35, 36及び37は複数の
面を含むか、円錐台の一部を含むか、又は截頭球の一部
を含むようにカットすることができる。実際上、このク
ラウン部分の角度及び面はほぼ球面となるように選択す
るのが好適である。ファセットをカットする場合、各区
分のファセット数を増やして、ファセットの大きさをそ
れ相当に小さくして、球面に近づけることができる。こ
のようにすれば、各ファセットは光学系によって作られ
る多少球状をしている波面に対してほぼ垂直となる。な
お、図5に示したダイヤモンドの例は、3つの異なるク
ラウン角度を有するものであるが、これらクラウン角度
部分は用途に応じて増減することができる。
【0024】ダイヤモンドIRE 9Cはフルスト(frusto)円
錐部分、フルスト球状部分又はマルチファセット部分と
してのパビリオン部分カットを有している。ダイヤモン
ド9Cのパビリオン角度32C は30°〜40°の範囲内の角
度、好ましくは35°とする。
【0025】さらに他の特殊カットの例として、図6の
ダイヤモンド9Dは概して平坦なテーブル23D と彎曲キュ
ーレット27D を有している。このダイヤモンド9Dのクラ
ウン24D は2部分39及び40を有し、これらは彎曲させる
(例えば、フルスト円錐又はフルスト球状とする)か、
又はマルチファセット部分とすることができる。クラウ
ン部分24D は第1クラウン角度31D ′と第2クラウン角
度31D ″とを有している。このクラウン部分も好適な角
度でカットして、ほぼ球面となるように多数のファセッ
トに刻むようにする。
【0026】パビリオン部分26D は彎曲又はマルチファ
セットとなるようにカットすることができる。このパビ
リオン部分26D もパビリオン角度が異なる複数の区分を
有するようにカットすることもできる。
【0027】本発明による分光装置にはシングルバウン
スのIRE として、例えば図2及び図3に示したような標
準アンビルカットのダイヤモンドを用いるのが好適であ
る。しかし、本発明では特殊な分光又は限外顕微鏡分析
用途に必要とされるようなシングルバウンスのIRE 素子
として特殊カットのダイヤモンドを使用することも考え
ている。
【0028】例えば図2〜図6に示すダイヤモンドの1
つを利用する図1の分光装置を放射エネルギー分析モー
ドで作動させる場合、放射エネルギーはマスク5の入口
開口15を通過してから、二次ミラー6及び一次ミラー7
にて反射して、ダイヤモンド9のクラウン部分24の片側
を通過して、キューレット27にて1度だけ反射されて、
クラウン部分24に逆戻りしてから、一次ミラー7及び二
次ミラー6にて反射されてマスク5の出口開口16を通過
して検出器10へと至る。放射エネルギーは試料13(例え
ば、液相又は固相)により多少吸収される。検出器10は
反応室に入れた試料をその試料により吸収される放射エ
ネルギーに基づいて特徴づけることができる。
【0029】視検モードでは、光源4からの入射可視光
がレンズ5Bを経て屈折され、二次ミラー6の本体にあけ
た小孔21を経てダイヤモンド9のテーブル23を通過して
からキューレット27にて反射され、テーブル23及び小孔
21を通過して、レンズ5Bを屈折して通過してからオペレ
ータの目視用の慣例の接眼レンズに至る。シングルバウ
ンスのダイヤモンドIRE に対する他の応用及びこのダイ
ヤモンドIRE の他の適応も予期されることである。
【0030】例えば、図7の例のように分光装置の対物
レンズ系に屈折レンズ(1個又は複数)を含めることが
できる。図示のように、図7の装置は第1屈折レンズ43
及び第2屈折レンズ44を有している。第1屈折レンズ43
は第1の中心孔46を有し、第2屈折レンズ44は第2中心
孔47を有している。
【0031】第1レンズ43を通過する入射放射エネルギ
ーは入射光路49A 及び49B により図示のように曲げら
れ、即ち屈折され、且つ入射放射エネルギー通路50A 及
び50Bにより図示のように第2屈折レンズ44により再び
曲げられ、即ち屈折される。これらの屈折レンズ43及び
44は入射放射エネルギーを試料面51に集束させるべく選
択する。
【0032】図7に示す例では固体試料52の1つの表面
をダイヤモンド9のテーブル23に接触させる。ダイヤモ
ンドは硬く、キューレットの大きさを潜在的に小さくし
ても固体試料52にかなりの圧力をかけることができるた
め、分光分析を改善することができる。
【0033】図7に示すように、入射放射エネルギーは
ダイヤモンドのパビリオン部分26を経てテーブル23に達
する。この放射エネルギーはテーブル23にて一度だけ反
射され(シングルバウンス)てから、ダイヤモンド9の
他の半部のパビリオン部分26を通過する。次いでこの反
射された放射エネルギーは第2屈折レンズ44及び第1屈
折レンズ43を通過してから検出器10(図1)へと至る。
【0034】この場合、試料台53に載せてある固体試料
は、それにて吸収される放射エネルギーにより分析、即
ち特徴づけられる。図7のダイヤモンドは図1に示した
ダイヤモンドとは逆向にして示してある。
【0035】視検動作モードでは、図7に示す分光装置
の対物レンズ系を成す屈折レンズ43及び44における孔46
及び47にオペレータによる観察用の可視孔を通過させ
る。図7に示す対物レンズ系をマスク又は他の光学素子
と一緒に用いて選択分析試験をすることができる。本発
明は上述した例のみに限定されるものでなく、幾多の変
更を加え得ること勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】シングルバラウンスの反射素子としてダイヤモ
ンドを利用する本発明による放射エネルギー分光装置の
縦断面図である。
【図2】本発明による分光装置にIRE として用いるブリ
リアンカットのダイヤモンドを示す正面図である。
【図3】本発明による分光装置にシングルバウンスのIR
E として用いるドラッカー標準カットのダイヤモンドを
示す平面及び正面図である。
【図4】シングルバウンスのIRE として用いる特殊カッ
トのダイヤモンドを示す平面及び正面図である。
【図5】シングルバウンスのIRE として用いる他の特殊
カットのダイヤモンドを示す縦断面図である。
【図6】シングルバウンスのIRE として用いるさらに他
の特殊カットのダイヤモンドを示す縦断面図である。
【図7】屈折レンズ及びシングルバウンスのダイヤモン
ドIRE を用いる放射エネルギー分光装置の一部を示す線
図である。
【符号の説明】
1 放射エネルギー分光装置 3 放射エネルギー源 4 可視光源 5 マスク 6 二次ミラー 7 一次ミラー 9 シングルバウンスのダイヤモンドIRE 10 放射エネルギー検出器 12 光路 13 試料 14 切換ミラー 15, 16 開口
フロントページの続き (72)発明者 ドナルド ダブリュー スティング アメリカ合衆国 コネチカット州 06840 ニュー カナーン タートルバック ロ ード 358 (72)発明者 ジョン エー レフナー アメリカ合衆国 コネチカット州 06902 スタンフォード オーシャン ドライブ イースト 97

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 放射エネルギー源と;内面反射素子とし
    てのダイヤモンドと;このダイヤモンドの1つの面と接
    触する試料と;放射エネルギーをダイヤモンドの方へと
    向け、ダイヤモンドの前記試料接触面から放射エネルギ
    ーを一度の内面反射で反射させる光学系と;を具えてい
    る放射エネルギー分光装置。
  2. 【請求項2】 前記光学系を全反射のミラー装置とする
    ことを特徴とする請求項1に記載の放射エネルギー分光
    装置。
  3. 【請求項3】 前記光学系が少なくとも1つの屈折レン
    ズを含むことを特徴とする請求項1に記載の放射エネル
    ギー分光装置。
  4. 【請求項4】 前記ダイヤモンドがテーブル、クラウ
    ン、ガードル、パビリオン及びキューレットを有するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の放射エネルギー分光装
    置。
  5. 【請求項5】 前記放射エネルギーがダイヤモンドのク
    ラウンから入って、クラウンから出、ダイヤモンドのキ
    ューレットを前記試料接触面とすることを特徴とする請
    求項4に記載の放射エネルギー分光装置。
  6. 【請求項6】 前記ダイヤモンドをクラウン角度が30°
    〜40°の範囲内の角度で、しかもパビリオン角度が25°
    〜45°の範囲内の角度を有する変更ブリリアントカット
    のダイヤモンドとすることを特徴とする放射エネルギー
    分光装置。
  7. 【請求項7】 クラウン角度を約35°とし、且つパビリ
    オン角度を約45°とすることを特徴とする請求項6に記
    載の放射エネルギー分光装置。
  8. 【請求項8】 光がダイヤモンドのテーブルに入って、
    そのテーブルから出るようにして、ダイヤモンドを通し
    て試料を目視検査できるようにしたことを特徴とする請
    求項5に記載の放射エネルギー分光装置。
  9. 【請求項9】 前記ダイヤモンドのクラウンが、少なく
    とも2つの異なるクラウン角度を有する少なくとも2つ
    の異なる部分を有して、ほぼ球面となるようにしたこと
    を特徴とする請求項4に記載の放射エネルギー分光装
    置。
  10. 【請求項10】 2つのクラウン角度を用い、各クラウ
    ン部分に比較的多数の小さなファセットを用いて、これ
    らの各ファセットが分光装置の光路に対してほぼ垂直と
    なるようにしたことを特徴とする請求項9に記載の放射
    エネルギー分光装置。
  11. 【請求項11】 3つのクラウン角度を用い、各クラウ
    ン部分に比較的多数の小さなファセットを用いて、これ
    らの各ファセットが分光装置の光路に対してほぼ垂直と
    なるようにしたことを特徴とする請求項9に記載の放射
    エネルギー分光装置。
  12. 【請求項12】 前記試料接触面を彎曲させたことを特
    徴とする請求項1に記載の放射エネルギー分光装置。
  13. 【請求項13】 前記ダイヤモンドを標準のアンビルデ
    ザインのものとし、クラウンが複数のテーブルファセッ
    トを有し、これらのテーブルファセットを経て放射エネ
    ルギーがダイヤモンドに入‐出するようにしたことを特
    徴とする請求項4に記載の放射エネルギー分光装置。
  14. 【請求項14】 ダイヤモンドの最大寸法を4ミリメー
    トル以下とすることを特徴とする請求項13に記載の放射
    エネルギー分光装置。
  15. 【請求項15】 ダイヤモンドがクラウン及びパビリオ
    ンを有し、前記クラウンの少なくとも一部を彎曲させ、
    且つ前記パビリオンの少なくとも一部を円錐状としたこ
    とを特徴とする請求項1に記載の放射エネルギー分光装
    置。
  16. 【請求項16】 前記光学系が、ダイヤモンドに入る放
    射エネルギーに対する入射角又はダイヤモンドから検出
    器に達する放射エネルギーに対する反射角との双方を選
    択するためにマスクを具えていることを特徴とする請求
    項1に記載の放射エネルギー分光装置。
  17. 【請求項17】 放射エネルギーがダイヤモンドのパビ
    リオンを入‐出し、ダイヤモンドのテーブルが試料接触
    面となるようにしたことを特徴とする請求項4に記載の
    放射エネルギー分光装置。
  18. 【請求項18】 キューレットの最大寸法を限外顕微鏡
    分析用に10ミクロン以下とすることを特徴とする請求項
    1に記載の放射エネルギー分光装置。
  19. 【請求項19】 試料接触面の最大寸法を10ミクロン以
    下とすることを特徴とする請求項15に記載の放射エネル
    ギー分光装置。
JP4228589A 1991-08-27 1992-08-27 放射エネルギー分光装置 Pending JPH06129979A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/750,201 US5200609A (en) 1991-08-27 1991-08-27 Radiant energy spectroscopy system with diamond internal reflection element
US07/750201 1991-08-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06129979A true JPH06129979A (ja) 1994-05-13

Family

ID=25016929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4228589A Pending JPH06129979A (ja) 1991-08-27 1992-08-27 放射エネルギー分光装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5200609A (ja)
EP (1) EP0529999B2 (ja)
JP (1) JPH06129979A (ja)
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