JPH06130192A - 粒子加速器における放射光遮断装置 - Google Patents
粒子加速器における放射光遮断装置Info
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- JPH06130192A JPH06130192A JP27901692A JP27901692A JPH06130192A JP H06130192 A JPH06130192 A JP H06130192A JP 27901692 A JP27901692 A JP 27901692A JP 27901692 A JP27901692 A JP 27901692A JP H06130192 A JPH06130192 A JP H06130192A
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- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 粒子加速器における放射光遮断装置に係り、
放射光を遮断する遮蔽板の局所的な過熱の抑制を図る。 【構成】 ビームラインの対向する壁面に設けられた２
枚の遮蔽板をビームラインに進入退出させることによ
り、少なくともいずれかの遮蔽板によって、放射光を遮
断する放射光遮断装置であって、２枚の遮蔽板を、ビー
ムラインの長手方向にずれた位置に配置し、かつ、それ
ぞれの遮蔽板をビームラインに交差する軸心回りに揺動
させる揺動手段を設けており、遮蔽板を交互にビームラ
インに進入退出させることにより、遮蔽板の表面におけ
る受光点を順次移動させる。
放射光を遮断する遮蔽板の局所的な過熱の抑制を図る。 【構成】 ビームラインの対向する壁面に設けられた２
枚の遮蔽板をビームラインに進入退出させることによ
り、少なくともいずれかの遮蔽板によって、放射光を遮
断する放射光遮断装置であって、２枚の遮蔽板を、ビー
ムラインの長手方向にずれた位置に配置し、かつ、それ
ぞれの遮蔽板をビームラインに交差する軸心回りに揺動
させる揺動手段を設けており、遮蔽板を交互にビームラ
インに進入退出させることにより、遮蔽板の表面におけ
る受光点を順次移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器のビームラインに備えられる放射光の遮断装置
に関するものである。
子加速器のビームラインに備えられる放射光の遮断装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、例え
ば、超ＬＳＩ回路の製造、医療分野における診断、分子
解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、例え
ば、超ＬＳＩ回路の製造、医療分野における診断、分子
解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
【０００３】図２は、シンクロトロンの概要を示すもの
であって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子
ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速
し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して
真空ダクトからなる蓄積リング５に入射させる。蓄積リ
ング５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６により
エネルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏
向電磁石８で偏向されて蓄積リング５内を周回し続け
る。そして、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光Ｓ
が放射され、それが光取り出しラインであるビームライ
ン９を介して例えば露光装置１０に出射されて利用され
るのである。
であって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子
ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速
し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して
真空ダクトからなる蓄積リング５に入射させる。蓄積リ
ング５に入射した電子ビームは高周波加速空洞６により
エネルギを与えられながら収束電磁石７で収束され、偏
向電磁石８で偏向されて蓄積リング５内を周回し続け
る。そして、偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光Ｓ
が放射され、それが光取り出しラインであるビームライ
ン９を介して例えば露光装置１０に出射されて利用され
るのである。
【０００４】上記のビームライン９は、蓄積リング５か
らのＳＯＲ光Ｓの取り出しと遮断とを行なうのみなら
ず、蓄積リング５内の超高真空（１０-10Ｔｏｒｒ程
度）を保護する機能が要求されるものであり、そのた
め、ビームライン９には、図３に概略的に示すように、
上流側から順次、手動バルブ１１、光アブソーバ１２、
遮断バルブ１３、速断バルブ１４、マスクスリット１
５、衝撃波遅延管１６、ビームシャッタ１７、大バルブ
１８等が備えられていることが一般的である。
らのＳＯＲ光Ｓの取り出しと遮断とを行なうのみなら
ず、蓄積リング５内の超高真空（１０-10Ｔｏｒｒ程
度）を保護する機能が要求されるものであり、そのた
め、ビームライン９には、図３に概略的に示すように、
上流側から順次、手動バルブ１１、光アブソーバ１２、
遮断バルブ１３、速断バルブ１４、マスクスリット１
５、衝撃波遅延管１６、ビームシャッタ１７、大バルブ
１８等が備えられていることが一般的である。
【０００５】手動バルブ１１は、保守の際等に蓄積リン
グ５の真空を遮断するためのもの、光アブソーバ１２
は、ＳＯＲ光Ｓの出射を遮断するためのもの、マスクス
リット１５は、ＳＯＲ光Ｓの出射サイズを限定するため
のものである。また、速断バルブ１４は、ビームライン
９での急激な真空悪化が蓄積リング５に到達することを
防止するべく、例えば、数十〜数百ミリ秒程度の高速で
閉じて真空を遮断するためのもの、遮断バルブ１３は、
さらに真空を確実に遮断するためのもの、衝撃波遅延管
１６は、急速な真空悪化の際の衝撃波の伝播速度を遅ら
せてその間に上記の速断バルブ１４を閉じさせるための
ものである。さらに、ビームシャッタ１７は硬Ｘ線やγ
線の漏洩を防止するためのもの、大バルブ１８は、さら
に下流側の部分との間に真空を遮断するためのものであ
る。
グ５の真空を遮断するためのもの、光アブソーバ１２
は、ＳＯＲ光Ｓの出射を遮断するためのもの、マスクス
リット１５は、ＳＯＲ光Ｓの出射サイズを限定するため
のものである。また、速断バルブ１４は、ビームライン
９での急激な真空悪化が蓄積リング５に到達することを
防止するべく、例えば、数十〜数百ミリ秒程度の高速で
閉じて真空を遮断するためのもの、遮断バルブ１３は、
さらに真空を確実に遮断するためのもの、衝撃波遅延管
１６は、急速な真空悪化の際の衝撃波の伝播速度を遅ら
せてその間に上記の速断バルブ１４を閉じさせるための
ものである。さらに、ビームシャッタ１７は硬Ｘ線やγ
線の漏洩を防止するためのもの、大バルブ１８は、さら
に下流側の部分との間に真空を遮断するためのものであ
る。
【０００６】上記の光アブソーバ１２やマスクスリット
１５、ビームシャッタ１７は、いずれも必要に応じてＳ
ＯＲ光Ｓの全部若しくは一部を遮断するための遮断装置
であって、これらはＳＯＲ光Ｓを遮断し得る遮蔽板をビ
ームライン９中に進入させることでＳＯＲ光Ｓを遮断
し、ビームライン９から退出させることでその通過を許
容する構成となっている。図４は、遮断装置の代表的な
ものである上記の光アブソーバ１２を模式的に示したも
のであって、これは、平板状の遮蔽板２０をビームライ
ン９に直交する状態で、つまり、ビームライン９の横断
面に対して平行な状態に配置することにより、蓄積リン
グ５からビームライン９に放射されてきたＳＯＲ光Ｓを
遮断するように構成されている。
１５、ビームシャッタ１７は、いずれも必要に応じてＳ
ＯＲ光Ｓの全部若しくは一部を遮断するための遮断装置
であって、これらはＳＯＲ光Ｓを遮断し得る遮蔽板をビ
ームライン９中に進入させることでＳＯＲ光Ｓを遮断
し、ビームライン９から退出させることでその通過を許
容する構成となっている。図４は、遮断装置の代表的な
ものである上記の光アブソーバ１２を模式的に示したも
のであって、これは、平板状の遮蔽板２０をビームライ
ン９に直交する状態で、つまり、ビームライン９の横断
面に対して平行な状態に配置することにより、蓄積リン
グ５からビームライン９に放射されてきたＳＯＲ光Ｓを
遮断するように構成されている。
【０００７】なお、これら遮断装置における遮蔽板２０
は、ＳＯＲ光Ｓを遮断し得るものであることは勿論のこ
と、ＳＯＲ光Ｓを遮断した際には、ＳＯＲ光Ｓにより加
熱されて高温となるので耐熱性をも要求されるものであ
り、したがって、遮蔽板２０としては、水冷構造の銅板
もしくはブロックが採用されることが一般的である。
は、ＳＯＲ光Ｓを遮断し得るものであることは勿論のこ
と、ＳＯＲ光Ｓを遮断した際には、ＳＯＲ光Ｓにより加
熱されて高温となるので耐熱性をも要求されるものであ
り、したがって、遮蔽板２０としては、水冷構造の銅板
もしくはブロックが採用されることが一般的である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、遮蔽板２０として、水冷構造あるいは銅製のも
のを採用した場合であっても、遮蔽板２０の表面におけ
るＳＯＲ光Ｓの受光点近傍を瞬時に冷却することは困難
である。このため、該受光点近傍において、局所的な過
熱が発生し、例えば、ＳＯＲ光Ｓの出力が数ｋＷにもな
る大型の粒子加速器においては、その過熱状態は過酷な
ものであって、遮蔽板２０の劣化等の不具合が発生する
ことが考えられる。
ように、遮蔽板２０として、水冷構造あるいは銅製のも
のを採用した場合であっても、遮蔽板２０の表面におけ
るＳＯＲ光Ｓの受光点近傍を瞬時に冷却することは困難
である。このため、該受光点近傍において、局所的な過
熱が発生し、例えば、ＳＯＲ光Ｓの出力が数ｋＷにもな
る大型の粒子加速器においては、その過熱状態は過酷な
ものであって、遮蔽板２０の劣化等の不具合が発生する
ことが考えられる。
【０００９】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、放射光を遮断する遮蔽板の局所的な過熱
を抑制し得る有効な放射光遮断装置を提供することを目
的としている。
ものであって、放射光を遮断する遮蔽板の局所的な過熱
を抑制し得る有効な放射光遮断装置を提供することを目
的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、シンクロトロン等の粒子加速器における
ビームラインの途中位置に設けられ、該ビームラインの
対向する壁面から該ビームラインに対して進入退出させ
られる２枚の遮蔽板を有し、該遮蔽板の少なくともいず
れかによって、蓄積リングからビームラインに出射され
てくる放射光を遮断する放射光遮断装置であって、前記
２枚の遮蔽板が、ビームラインの長手方向にずれた位置
に配置されるとともに、それぞれの遮蔽板に、該遮蔽板
をビームラインの壁面近傍に配されかつビームラインに
交差する軸心回りに揺動させる揺動手段が設けられてい
る粒子加速器における放射光遮断装置を提案している。
に、本発明は、シンクロトロン等の粒子加速器における
ビームラインの途中位置に設けられ、該ビームラインの
対向する壁面から該ビームラインに対して進入退出させ
られる２枚の遮蔽板を有し、該遮蔽板の少なくともいず
れかによって、蓄積リングからビームラインに出射され
てくる放射光を遮断する放射光遮断装置であって、前記
２枚の遮蔽板が、ビームラインの長手方向にずれた位置
に配置されるとともに、それぞれの遮蔽板に、該遮蔽板
をビームラインの壁面近傍に配されかつビームラインに
交差する軸心回りに揺動させる揺動手段が設けられてい
る粒子加速器における放射光遮断装置を提案している。
【００１１】
【作用】本発明の放射光遮断装置によれば、蓄積リング
からビームラインに出射されてくる放射光が、２枚の遮
蔽板の少なくともいずれかによって遮蔽される。遮蔽板
は、ビームラインの長手方向にずれた位置に配置され、
揺動手段によってビームラインに交差する軸心回りに揺
動させられるので、両遮蔽板の間に隙間を形成すること
なく、その傾斜角度を変化させられることになる。これ
により、遮蔽板の表面における放射光の受光点が揺動に
伴って移動させられることになり、該遮蔽板の局所的な
過熱を防止することが可能となる。
からビームラインに出射されてくる放射光が、２枚の遮
蔽板の少なくともいずれかによって遮蔽される。遮蔽板
は、ビームラインの長手方向にずれた位置に配置され、
揺動手段によってビームラインに交差する軸心回りに揺
動させられるので、両遮蔽板の間に隙間を形成すること
なく、その傾斜角度を変化させられることになる。これ
により、遮蔽板の表面における放射光の受光点が揺動に
伴って移動させられることになり、該遮蔽板の局所的な
過熱を防止することが可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明に係る放射光遮断装置の一実施
例について、図１を参照して説明する。図１は、本実施
例の遮断装置である光アブソーバ３０（放射光遮断装
置）を模式的に示す側面図である。
例について、図１を参照して説明する。図１は、本実施
例の遮断装置である光アブソーバ３０（放射光遮断装
置）を模式的に示す側面図である。
【００１３】この光アブソーバ３０は、従来のものと同
様の水冷構造の銅製の遮蔽板３１がビームライン９に対
して進入退出自在に設けられ、その遮蔽板３１がビーム
ライン９に配置されることによって、蓄積リング５から
ビームライン９に出射されてくるＳＯＲ光（放射光）Ｓ
を遮断するものである点で図４に示す従来例の光アブソ
ーバ１２と共通している。しかし、本実施例の光アブソ
ーバ３０は、ビームライン９の対向する壁面９ａから進
入退出させられる２枚の遮蔽板３１を有している点で従
来例と相違している。
様の水冷構造の銅製の遮蔽板３１がビームライン９に対
して進入退出自在に設けられ、その遮蔽板３１がビーム
ライン９に配置されることによって、蓄積リング５から
ビームライン９に出射されてくるＳＯＲ光（放射光）Ｓ
を遮断するものである点で図４に示す従来例の光アブソ
ーバ１２と共通している。しかし、本実施例の光アブソ
ーバ３０は、ビームライン９の対向する壁面９ａから進
入退出させられる２枚の遮蔽板３１を有している点で従
来例と相違している。
【００１４】該遮蔽板３１は、それぞれ、揺動機構３２
（揺動手段）によって、ビームライン９の壁面９ａ近傍
にビームライン９に対して垂直に配置される軸心回りに
揺動させられるようになっている。該揺動機構３２は、
例えば、ビームライン９の壁面９ａ近傍に配され回動自
在に支持されるとともに、遮蔽板３１を取り付けて該遮
蔽板３１の揺動軸心となるシャフト３２ａと、該シャフ
ト３２ａに連結され該シャフト３２ａを回動させる駆動
モータ３２ｂとを具備して構成されている。
（揺動手段）によって、ビームライン９の壁面９ａ近傍
にビームライン９に対して垂直に配置される軸心回りに
揺動させられるようになっている。該揺動機構３２は、
例えば、ビームライン９の壁面９ａ近傍に配され回動自
在に支持されるとともに、遮蔽板３１を取り付けて該遮
蔽板３１の揺動軸心となるシャフト３２ａと、該シャフ
ト３２ａに連結され該シャフト３２ａを回動させる駆動
モータ３２ｂとを具備して構成されている。
【００１５】この遮蔽板３１は、また、ビームライン９
の長手方向にずれた位置に配置され、それぞれの揺動動
作によっても、相互に遮蔽板に干渉しないようになって
いる。さらに、該遮蔽板３１は、ＳＯＲ光Ｓが挿通する
ビームライン９の中央位置近傍において、遮蔽板３１の
先端部を相互にオーバラップさせることにより、ＳＯＲ
光Ｓの遮蔽洩れを発生することなく、確実に遮断するこ
とができるようになっている。
の長手方向にずれた位置に配置され、それぞれの揺動動
作によっても、相互に遮蔽板に干渉しないようになって
いる。さらに、該遮蔽板３１は、ＳＯＲ光Ｓが挿通する
ビームライン９の中央位置近傍において、遮蔽板３１の
先端部を相互にオーバラップさせることにより、ＳＯＲ
光Ｓの遮蔽洩れを発生することなく、確実に遮断するこ
とができるようになっている。
【００１６】このように構成された光アブソーバ３０に
よってＳＯＲ光Ｓを遮断するには、まず、遮蔽板３１が
ビームライン９の壁面９ａ近傍に退避状態とされ、ＳＯ
Ｒ光Ｓを挿通可能な状態から、２つの駆動モータ３２ｂ
を同時に作動させることにより、２枚の遮蔽板３１をそ
れぞれ揺動させてビームライン９内に進入させる。そし
て、２枚の遮蔽板３１がビームライン９の中央位置付近
でオーバラップさせられた状態で停止され、この位置で
ＳＯＲ光Ｓが遮断されることになる。
よってＳＯＲ光Ｓを遮断するには、まず、遮蔽板３１が
ビームライン９の壁面９ａ近傍に退避状態とされ、ＳＯ
Ｒ光Ｓを挿通可能な状態から、２つの駆動モータ３２ｂ
を同時に作動させることにより、２枚の遮蔽板３１をそ
れぞれ揺動させてビームライン９内に進入させる。そし
て、２枚の遮蔽板３１がビームライン９の中央位置付近
でオーバラップさせられた状態で停止され、この位置で
ＳＯＲ光Ｓが遮断されることになる。
【００１７】次いで、ＳＯＲ光Ｓを遮断した２枚の遮蔽
板３１は、相互に同期してビームライン９に交互に進入
退出させられる。つまり、上側の遮蔽板３１がビームラ
イン９に進入する方向（下方）に揺動させられると、こ
れとは逆に下側の遮蔽板３１がビームライン９から退出
する方向（下方）に揺動させられる（図１に実線で示す
状態）。また、上側の遮蔽板３１がビームライン９から
退出する方向（上方）に揺動させられると、下側の遮蔽
板３１がビームライン９に進入する方向（上方）に揺動
させられる（図１に鎖線で示す状態）。そして、これら
の動作を連続的に繰返すことにより、常に、いずれかの
遮蔽板３１若しくは両方の遮蔽板３１によってＳＯＲ光
Ｓが遮られることになる。
板３１は、相互に同期してビームライン９に交互に進入
退出させられる。つまり、上側の遮蔽板３１がビームラ
イン９に進入する方向（下方）に揺動させられると、こ
れとは逆に下側の遮蔽板３１がビームライン９から退出
する方向（下方）に揺動させられる（図１に実線で示す
状態）。また、上側の遮蔽板３１がビームライン９から
退出する方向（上方）に揺動させられると、下側の遮蔽
板３１がビームライン９に進入する方向（上方）に揺動
させられる（図１に鎖線で示す状態）。そして、これら
の動作を連続的に繰返すことにより、常に、いずれかの
遮蔽板３１若しくは両方の遮蔽板３１によってＳＯＲ光
Ｓが遮られることになる。
【００１８】これにより、遮蔽板３１の表面におけるＳ
ＯＲ光Ｓの受光点Ａは、その位置を順次移動させられ、
かつ、２枚の遮蔽板３１の間で受け渡される。その結
果、該ＳＯＲ光Ｓが同一の遮蔽板３１の同一箇所に長時
間に亘って照射されることが防止され、遮蔽板３１の局
所的な過熱が回避されることになる。
ＯＲ光Ｓの受光点Ａは、その位置を順次移動させられ、
かつ、２枚の遮蔽板３１の間で受け渡される。その結
果、該ＳＯＲ光Ｓが同一の遮蔽板３１の同一箇所に長時
間に亘って照射されることが防止され、遮蔽板３１の局
所的な過熱が回避されることになる。
【００１９】しかも、遮蔽板３１がＳＯＲ光Ｓに対して
傾斜状態に配置されるので、遮蔽板３１をビームライン
９の横断面に対して平行に配置する従来の場合と比較し
てＳＯＲ光Ｓの受光面積が拡大することになり、単位面
積当たりの受光量が低減して、遮蔽板３１全体の温度上
昇も抑制され、冷却装置の負荷を低減できるという利点
もあり、特に大型大出力の粒子加速器への適用に好適で
ある。
傾斜状態に配置されるので、遮蔽板３１をビームライン
９の横断面に対して平行に配置する従来の場合と比較し
てＳＯＲ光Ｓの受光面積が拡大することになり、単位面
積当たりの受光量が低減して、遮蔽板３１全体の温度上
昇も抑制され、冷却装置の負荷を低減できるという利点
もあり、特に大型大出力の粒子加速器への適用に好適で
ある。
【００２０】なお、上記実施例の光アブソーバ３０にあ
っては、揺動機構３２を、シャフト３２ａと該シャフト
３２ａを回動させる駆動モータ３２ｂとからなるものと
したが、これに代えて、他の揺動機構、例えば、モータ
によって回転させられるカムを利用すること、あるい
は、シリンダ等他のアクチュエータを使用すること等の
技術を採用することも可能である。また、本発明は光ア
ブソーバ３０のみならず、ビームシャッタ等の他の放射
光遮断装置に対しても全く同様に適用することができる
ものである。
っては、揺動機構３２を、シャフト３２ａと該シャフト
３２ａを回動させる駆動モータ３２ｂとからなるものと
したが、これに代えて、他の揺動機構、例えば、モータ
によって回転させられるカムを利用すること、あるい
は、シリンダ等他のアクチュエータを使用すること等の
技術を採用することも可能である。また、本発明は光ア
ブソーバ３０のみならず、ビームシャッタ等の他の放射
光遮断装置に対しても全く同様に適用することができる
ものである。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の放射光遮
断装置は、ビームラインの対向する壁面に設けられた２
枚の遮蔽板をビームラインに進入退出させることによ
り、少なくともいずれかの遮蔽板によって、放射光を遮
断する放射光遮断装置であって、２枚の遮蔽板が、ビー
ムラインの長手方向にずれた位置に配置され、かつ、そ
れぞれの遮蔽板をビームラインに交差する軸心回りに揺
動させる揺動手段が設けられているので、遮蔽板がビー
ムライン内に交互に進入退出するように揺動させること
により、遮蔽板の表面における受光点を２枚の遮蔽板の
間で受け渡し、あるいは、同一の遮蔽板において受光点
の位置を移動させて、遮蔽板の局所的な過熱を防止し、
遮断装置を健全な状態に維持することができるという効
果を奏する。
断装置は、ビームラインの対向する壁面に設けられた２
枚の遮蔽板をビームラインに進入退出させることによ
り、少なくともいずれかの遮蔽板によって、放射光を遮
断する放射光遮断装置であって、２枚の遮蔽板が、ビー
ムラインの長手方向にずれた位置に配置され、かつ、そ
れぞれの遮蔽板をビームラインに交差する軸心回りに揺
動させる揺動手段が設けられているので、遮蔽板がビー
ムライン内に交互に進入退出するように揺動させること
により、遮蔽板の表面における受光点を２枚の遮蔽板の
間で受け渡し、あるいは、同一の遮蔽板において受光点
の位置を移動させて、遮蔽板の局所的な過熱を防止し、
遮断装置を健全な状態に維持することができるという効
果を奏する。
【図１】本発明に係る放射光遮断装置の一実施例を模式
的に示す側面図である。
的に示す側面図である。
【図２】シンクロトロンの概要を示す図である。
【図３】ビームラインの概略構成を示す図である。
【図４】従来の遮断装置を模式的に示す平面図である。
Ｓ ＳＯＲ光（放射光） Ａ 受光点 ５ 蓄積リング ９ ビームライン ９ａ 壁面 ３０ 光アブソーバ（放射光遮断装置） ３１ 遮蔽板 ３２ 揺動機構（揺動手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 シンクロトロン等の粒子加速器における
ビームラインの途中位置に設けられ、該ビームラインの
対向する壁面から該ビームラインに対して進入退出させ
られる２枚の遮蔽板を有し、該遮蔽板の少なくともいず
れかによって、蓄積リングからビームラインに出射され
てくる放射光を遮断する放射光遮断装置であって、前記
２枚の遮蔽板が、ビームラインの長手方向にずれた位置
に配置されるとともに、それぞれの遮蔽板に、該遮蔽板
をビームラインの壁面近傍に配されかつビームラインに
交差する軸心回りに揺動させる揺動手段が設けられてい
ることを特徴とする粒子加速器における放射光遮断装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27901692A JPH06130192A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 粒子加速器における放射光遮断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27901692A JPH06130192A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 粒子加速器における放射光遮断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06130192A true JPH06130192A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17605221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27901692A Withdrawn JPH06130192A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 粒子加速器における放射光遮断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06130192A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101875035B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2018-07-06 | 김수현 | 엘리베이터의 도어 닫힘 방지장치 |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP27901692A patent/JPH06130192A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101875035B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2018-07-06 | 김수현 | 엘리베이터의 도어 닫힘 방지장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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