JPH06131700A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JPH06131700A
JPH06131700A JP4281562A JP28156292A JPH06131700A JP H06131700 A JPH06131700 A JP H06131700A JP 4281562 A JP4281562 A JP 4281562A JP 28156292 A JP28156292 A JP 28156292A JP H06131700 A JPH06131700 A JP H06131700A
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JP
Japan
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recording medium
optical recording
group
reflective layer
amorphous
Prior art date
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Pending
Application number
JP4281562A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Nagao
博幸 長尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
Mitsubishi Plastics Industries Ltd
Mitsubishi Chemical Industries Ltd
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Publication date
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 腐蝕、亀裂、剥離等が生じない、反射層の耐
久性が向上した光記録媒体を提供することにある。 【構成】 Au,Ag,Cu,Alからなる第1グルー
プ、Mg,W,Pd,Ti,Zr,V,Nb,Ta,C
r,Moからなる第2グループ、B,Si,S,P,C
からなる第3グループの各グループに含まれる少なくと
も一つの元素から構成される非晶質の反射層を備えたこ
とを特徴とする光記録媒体、および高反射率を有する第
1の元素群、酸化被膜を形成する第2の元素群、前記第
1の元素群と前記第2の元素群とから構成される合金を
非晶質とする第3の元素群の各元素群に含まれる少なく
とも一つの元素から構成される非晶質の反射層を備えた
ことを特徴とする光記録媒体。 【効果】 本発明の光記録媒体は長期信頼性に優れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は非晶質の反射層を備えた
光記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光記録媒体としては、例えば図1
に示すような構造のものが知られている。図1におい
て、1は透光性を有するドーナツ板状の基板である。こ
の基板1の上には有機系色素等からなる光吸収層2が形
成されている。光吸収層2は、基板1を透過して照射さ
れたレーザ光を吸収して発熱し、溶融,蒸発,昇華,変
形または変性し、該光吸収層2や基板1の表面にピット
を形成する作用を有する層である。この光吸収層2の上
には、金,銀,銅等の結晶質の反射層3が形成されてい
る。反射層3の厚さは、通常500〜2000Å程度で
ある。さらに、この反射層3の上には、反射層3等を保
護するための保護層4が形成されている。
【0003】上記光記録媒体は既存のコンパクトディス
クに用いられるプレーヤにより再生できることが望まれ
ている。このため、反射層の反射率は65%以上である
ことが実用上要求されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記金,銀,銅等から
なる結晶質の反射層を用いた従来の光記録媒体は、長期
間使用していると、反射層3が基板1から剥離したり、
あるいは、反射層3に腐蝕が発生する。また、レーザー
で記録した際に発生する数百℃の熱によって、記録部の
反射層3に亀裂や剥離が生じ易い。このため、信号読み
取りの指標であるエラーレートが増加し、ジッターが著
しく悪化するという問題があった。
【0005】本発明の目的は腐食、亀裂、剥離等が生じ
ない、反射層の耐久性が向上した光記録媒体を提供する
ことにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、Au,
Ag,Cu,Alからなる第1グループ、Mg,W,P
d,Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Moからなる
第2グループ、B,Si,S,P,Cからなる第3グル
ープの各グループに含まれる少なくとも一つの元素から
構成される非晶質の反射層を備えたことを特徴とする光
記録媒体である。
【0007】また本発明の要旨は、高反射率を有する第
1の元素群、酸化被膜を形成する第2の元素群、前記第
1の元素群と前記第2の元素群とから構成される合金を
非晶質とする第3の元素群の各元素群に含まれる少なく
とも一つの元素から構成される非晶質の反射層を備えた
ことを特徴とする光記録媒体である。
【0008】上記各グループまたは各金属群を用いて、
高周波マグネトロンスパッタ法、DCマグネトロンスパ
ッタ法、イオンプレーティング法、クラスターイオンビ
ーム法等により基板上に5〜500nmの反射層を形成
する。
【0009】この時、形成される反射層を非晶質となる
ような条件を選択する。例えば、前記反射層の積層方法
を、窒素ガスの流量が1〜500sccmである窒素雰
囲気中で行う。あるいは、基板を十分に冷却して低温に
保った状態でその上に速い堆積速度で成膜する。さらに
は、非晶質となりやすい合金組成を選択するなどの条件
である。
【0010】さらに、Fe,Ni,Coから選ばれた少
なくとも1種の元素を含む第4の金属元素や、Ge,
Y,As,Be,Sn,Bi,Sc,Hf,Sb,S
e,Mn,Tc等から選ばれた少なくとも1種の元素を
含む第5の金属元素を、添加することによって腐食、亀
裂、剥離等を改良した非晶質の反射層を得ることができ
る。
【0011】
【作用】本発明の作用については明らかではないが、以
下のように推測される。
【0012】Au,Ag,Cu,Alからなる第1グル
ープは高反射率を有する金属であり、追記型記録媒体に
入射された光を反射する性質を持つ。Mg,W,Pd,
Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,Moからなる第2
グループは酸化被膜を形成する性質を持つ。B,Si,
S,P,Cからなる第3グループは第1グループおよび
第2グループからなる合金を非晶質の合金にしやすい性
質を持つ。
【0013】酸化被膜は化学的に安定であり反射層の腐
蝕を防止する。さらに、非晶質の合金は結晶金属の特性
である結晶粒界、転移、積層欠陥を含まないため、結晶
合金に対して耐蝕性に優れている。また、非晶質の合金
は内部応力も少ないため、密着性が向上し、剥離しにく
い。
【0014】
【実施例】以下、実施例を説明するが、本発明はこれに
限定されるものではない。
【0015】本発明に係る光記録媒体は、図1に示した
光記録媒体と基本的に同一構造を有しているので、実施
例の説明に図1を利用することする。
【0016】(実施例1)ポリカーボネート製の基板1
上に、シアニン系有機色素をスピンコート法により塗布
し、記録層(光吸収層2)とした。さらに、99.99
%Agターゲット上に、Cr−Co−B−P−Wの焼結
チップを置いた複合ターゲットを用いて、窒素流量が1
00sccmである窒素雰囲気中で、スパッタ法により
膜厚150nmの非晶質の反射層3を形成した。前記非
晶質の反射層3の上に紫外線硬化性樹脂をスピンコート
し、これに紫外線を照射して硬化させ、厚さ約8μmの
保護層4を形成した。
【0017】上記方法によって得られた光記録媒体を、
85℃、85%RH雰囲気中に200時間投入したとこ
ろ、反射層3の剥離等の外観上異常は認められなかっ
た。
【0018】また、波長780nmの半導体レーザーを
線速1.2m/sec、記録パワー6.0mWで照射
し、EFM信号を得られた光記録媒体に記録した。そし
て、前記光記録媒体を市販のCDプレーヤ(Aurex
XR−V73,再生光の波長780nm)で再生し
て、エラーレート、ジッターを測定したところ、その値
は1cps、20nsecであり、良好な再生信号を得
ることができた。
【0019】また、スライドガラス基板上の非晶質の反
射層3を、60℃の10wt%NaCl水溶液に5時間
浸漬し、780nmの半導体レーザーで反射率の変化を
測定したところ、浸漬前と浸漬後で変化はなかった。
【0020】(実施例2)実施例1と同様にして記録層
(光吸収層2)を形成した基板1上に、Au−Ti−B
−Si−Niの焼結ターゲットを用いて、窒素流量が2
00sccmである窒素雰囲気中で、高周波マグネトロ
ンスパッタ法により膜厚100nmの非晶質の反射層3
を有する光記録媒体を製造した。
【0021】これを、実施例1と同様な方法で反射層3
の外観異常、エラーレート、ジッターの測定、反射率の
変化の測定を行ったところ、異常はみとめられなかっ
た。
【0022】(実施例3)実施例1と同様にして記録層
(光吸収層2)を形成した基板1上に、Ag−Mg−W
−B−Siの焼結ターゲットを用いて、窒素流量が30
sccmである窒素雰囲気中で、イオンビーム法により
膜厚200nmの非晶質の反射層3を形成した。
【0023】これを、実施例1と同様な方法で反射層3
の外観異常、エラーレート、ジッターの測定、反射率の
変化の測定を行ったところ、異常はみとめられなかっ
た。
【0024】(実施例4)実施例1と同様にして記録層
(光吸収層2)を形成した基板1上に、Ag−Cu−C
r−B−Wの焼結ターゲットを用いて、窒素流量が30
0sccmである窒素雰囲気中で、イオンビーム法によ
り膜厚100nmの非晶質の反射層3を形成した。
【0025】これを、実施例1と同様な方法で反射層3
の外観異常、エラーレート、ジッターの測定、反射率の
変化の測定を行ったところ、異常はみとめられなかっ
た。
【0026】(実施例5)実施例1と同様にして記録層
(光吸収層2)を形成した基板1上に、Ag−Mg−W
−Si−Sの合金ターゲットを用いて、窒素流量が50
sccmである窒素雰囲気中で、スパッタ法により膜厚
100nmの非晶質の反射層3を形成した。
【0027】これを、実施例1と同様な方法で反射層3
の外観異常、エラーレート、ジッターの測定、反射率の
変化の測定を行ったところ、異常はみとめられなかっ
た。
【0028】尚、実施例1〜5に示した以外の、第2お
よび第3のグループの元素を用いても、実施例1〜5と
同様の結果が得られている。
【0029】(比較例1)ポリカーボネート製ディスク
基板1上に、シアニン系有機色素をスピンコート法によ
り塗布し、記録層(光吸収層2)とした。さらに、9
9.99%Agターゲット用いたスパッタリング法によ
り膜厚150nmの反射層3を形成した。前記非晶質の
反射層3の上に紫外線硬化性樹脂をスピンコートし、こ
れに紫外線を照射して硬化させ、厚さ約8μmの保護層
4を形成した。
【0030】上記方法によって得られた光記録媒体を、
85℃、85%RH、雰囲気中に200時間投入したと
ころ、外観上ピンホールの発生が多数認められた。
【0031】また、波長780nmの半導体レーザーを
線速1.2m/sec、記録パワー6.0mWで照射
し、EFM信号を得られた光記録媒体に記録した。そし
て、前記光記録媒体を市販のCDプレーヤ(Aurex
XR−V73,再生光の波長780nm)で再生し
て、エラーレート、ジッターを測定したところ、その値
は200cps、30nsecであり、ノイズの多い不
良な再生信号が得られた。
【0032】一方、上記のスパッタリング時、チャンバ
ー内にスライドガラスを投入して反射層を形成し、反射
層の構造をX線回折法により測定したところ結晶構造を
示した。
【0033】以上示したように本発明の光記録媒体の非
晶質の反射層は、高反射率を有するAu,Ag,Cu,
Alからなる元素群、酸化被膜を形成することができる
Mg,W,Pd,Ti,Zr,V,Nb,Ta,Cr,
Moからなる元素群、前記二つの元素群から構成される
合金を非晶質とすることができるB,Si,S,P,C
からなる元素群の各元素群に含まれる少なくとも一つの
元素から構成されるので、腐蝕、亀裂、剥離等が生じる
ことがなく、耐久性が向上している。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光記録媒
体は耐久性が向上し、長期信頼性に優れたものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】光記録媒体の構造の一例を示す一部を切欠いた
概略斜視図である。
【符号の説明】
1 基板 2 光吸収層 3 反射層 4 保護層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Au,Ag,Cu,Alからなる第1グ
    ループ、Mg,W,Pd,Ti,Zr,V,Nb,T
    a,Cr,Moからなる第2グループ、B,Si,S,
    P,Cからなる第3グループの各グループに含まれる少
    なくとも一つの元素から構成される非晶質の反射層を備
    えたことを特徴とする光記録媒体。
  2. 【請求項2】 高反射率を有する第1の元素群、酸化被
    膜を形成する第2の元素群、前記第1の元素群と前記第
    2の元素群とから構成される合金を非晶質とする第3の
    元素群の各元素群に含まれる少なくとも一つの元素から
    構成される非晶質の反射層を備えたことを特徴とする光
    記録媒体。
JP4281562A 1992-10-20 1992-10-20 光記録媒体 Pending JPH06131700A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001008145A1 (en) * 1999-07-22 2001-02-01 Sony Corporation Optical recording medium, optical recording method, optical reproducing method, optical recording device, optical reproducing device, and optical recording/reproducing device

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WO2001008145A1 (en) * 1999-07-22 2001-02-01 Sony Corporation Optical recording medium, optical recording method, optical reproducing method, optical recording device, optical reproducing device, and optical recording/reproducing device
US6788635B1 (en) 1999-07-22 2004-09-07 Sony Corporation Optical recording medium, optical recording method, optical reproducing method, optical recording device, optical reproducing device, and optical recording/reproducing device

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