JPH06132595A - 第2次高調波光発生装置 - Google Patents
第2次高調波光発生装置Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- MUGCNFLYZXKVQB-FHNDMYTFSA-N (2s)-2-amino-5-(diaminomethylideneamino)pentanoic acid;phosphoric acid;hydrate Chemical compound O.OP(O)(O)=O.OC(=O)[C@@H](N)CCCN=C(N)N MUGCNFLYZXKVQB-FHNDMYTFSA-N 0.000 description 2
- XTTIQGSLJBWVIV-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-nitroaniline Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=CC=C1N XTTIQGSLJBWVIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 3-nitroaniline Chemical compound NC1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DQFBYFPFKXHELB-UHFFFAOYSA-N Chalcone Natural products C=1C=CC=CC=1C(=O)C=CC1=CC=CC=C1 DQFBYFPFKXHELB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000005513 chalcones Nutrition 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- DQFBYFPFKXHELB-VAWYXSNFSA-N trans-chalcone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 DQFBYFPFKXHELB-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 2
- YCZZNGRKFVBLDL-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-methoxyphenyl)methylidene]propanedinitrile Chemical compound COC1=CC=CC=C1C=C(C#N)C#N YCZZNGRKFVBLDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEKPNMQQSPHKBP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-6-nitrobenzoic anhydride Chemical compound CC1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1C(=O)OC(=O)C1=C(C)C=CC=C1[N+]([O-])=O YEKPNMQQSPHKBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULPBJGVRVXWECP-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1-(4-nitrophenyl)pyrazole Chemical compound N1=C(C)C=C(C)N1C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 ULPBJGVRVXWECP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- NXIHUWPAXYATMI-UHFFFAOYSA-N n-(methoxymethyl)-4-nitroaniline Chemical compound COCNC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 NXIHUWPAXYATMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
ブルー光の発生が可能な第2次高調波光発生装置を提供
すること。 【構成】 片端面にミラー構造2およびその対向面に無
反射構造3を形成してなる光源1と、非線形光学材料か
らなりドメイン反転型構造5を有し、かつ、その光発振
面にミラー構造6およびその対向面に無反射構造10を
形成してなる部材4とを具備し、上記光源1と部材4の
ミラー構造2,6間で共振器構造7を形成してなり、望
ましくは該光源1が、半導体レーザまたは/および半導
体レーザ励起固体レーザである。 【効果】 部品点数を減らし装置を小型化でき、製造が
容易で低コストのグリーン光やブルー光の発生が可能な
第2次高調波発生装置を提供できる。
Description
たグリーン光やブルー光の発生が可能な第2次高調波光
発生装置に関する。
理等の光エレクトロニクスの発展に伴い、非線形光学効
果を利用した各種の機能性光学材料が要求されるように
なってきた。これらの分野で用いられる光源は、通常出
力数10〜100 mW(変換効率数%以上)の赤外ないし近
赤外領域の半導体レーザである。光メモリ,ディスプレ
ー関係では特にグリーン光やブルー光が必要とされてお
り、LiNbO3 ,KNbO3,KTP等の非線形光学効果の
大きい無機材料を用いた波長変換用デバイスの研究が世
界中で精力的に進められている。
ー光を発生する装置として、例えば図3で示す装置が知
られている(Appl.Phys.Lett.59(5),29 July 1991 p.51
0 〜512 参照)。この装置の構造は、オプティカルフィ
ードバック方式による発振器波長の安定化を計るもので
あり、導波路形の周期的分極反転構造14bに2倍高調
波を発生させる周期構造とブラッグ反射による基本部構
造を反射させるための周期構造との2つの構造をもたせ
ている。このような構造を有するLiNbO3 製基板14a
を用い、劈開面およびその対向面に反射防止構造12を
設けたInP/InGaAsP レーザダイオード(LD)11によ
り発振された基本波を、光ファイバ15で上記基板14
aの導波路16に導く構成として入射すると、上記周期
的分極反転構造14bを有するLiNbO3 製基板14aの
うちのdistributed Bragg reflector (DBR)の作用
によって、該基本波の一部はこの基板14aからのフィ
ードバック波によって発振器に戻ることで発振周波数が
固定される。そしてこの固定された波長に丁度2倍の高
調波発生が起きるように上記周期的分極反転構造14b
が作製されているので、安定した2倍高調波19を得る
ことができるというものである。
形の周期的分極反転構造14bを有しているため、発振
器からの装置への導入にファイバを用いて結合する必要
があり、調整がかなり面倒であり、また、結合時の損失
が大きい。さらに、光ファイバ等の付属部品を必要と
し、製造工程が複雑でコストが高くつき、実用化には問
題がある。本発明は上記問題を解消して、簡単な構造で
安価に製造できてグリーン光やブルー光の発生が可能な
第2次高調波光発生装置を提供することを目的とすもの
である。
果、周期的分極反転構造を有する非線形光学材料からな
る部材として、従来の導波路形に替えてバルク形を用
い、光源と上記部材とを共振器構造内に置く構成とする
ことによって、前記問題が解消できることを見出し、本
発明を完成した。即ち、本発明の第2次高調波光発生装
置は、片端面にミラー構造およびその対向面に無反射構
造を形成してなる光源と、非線形光学材料からなりドメ
イン反転型構造を有し、かつ、その光発振面にミラー構
造およびその対向面に無反射構造を形成してなる部材と
を具備し、上記光源と部材のミラー構造間で共振器構造
を形成してなり、望ましくは該光源1が、半導体レーザ
または/および半導体レーザ励起固体レーザである。
発振される発振波(レーザ)は、光源(半導体レーザ)
に設けたミラー構造によって光電界を増長できるように
なる。このように、内部共振器構造を持つため必要とす
る非線形光学材料長は、前記公知の方式に比べ1/3〜
1/5で済み、結果として位相整合角許容度が3〜5倍
広くなり、しかもバルク型であるから、容易に発振器の
波長を高効率に2倍高調波発生ができるように角度調整
できる。さらに、前記従来の導波路形部材の導波路に発
振波を導くためのレンズや光ファイバーのような光学的
接続部材を不要にでき、装置を簡単な構成にすることが
できる。したがって、簡単な構成の装置で、グリーン光
やブルー光の第2次高調波光を発生させることができる
ようになる。
波発生装置を図面に基づきより詳細に説明する。図1
は、本発明の第2次高調波光発生装置の基本構造を示す
模式図である。同図において、第2次高調波光発生装置
は、光源1と非線形光学材料からなる部材4とで構成さ
れる。光源1には、その端面にミラー構造2を形成する
とともに、その対向面に無反射構造3を形成している。
また、部材4の片端面には周期的分極反転構造5を形成
するとともに、その光発振面にミラー構造6を形成して
いる。また、部材4の他端面10には、基本波光に対し
無反射構造を形成している。本発明の装置は、上記光源
1と部材4とを同軸上に配設し、上記光源1のミラー構
造2と部材4のミラー構造6とで共振器7を形成してい
る。
ード,横モード共に単一の半導体レーザが必要である。
出力数100mW以上の半導体レーザでは、発振空間パ
ターンが悪い、即ち上下と左右の方向でビームの発散角
が異なり、一点に集光しにくく使いにくい問題点があ
る。また、エネルギーを蓄積できず、Qスイッチがかけ
られないため高出力が出せず、高出力のグリーン光やブ
ルー光を得る場合には、高出力半導体レーザ励起の固体
レーザ1を用いる必要がある。この場合、固体レーザ1
としては、縦モード,横モード共に単一モードのものを
必要とする。
場合は、金コーティング等により、高反射率(反射率9
9.9%)とする。一方、1が固体レーザの場合は、励
起用の半導体レーザが透過し、固体レーザの発振波に対
して高反射率になるよう、誘電体多層膜コーティングを
施す。
基本波長のλ/4厚さにつける方法やVコート方式によ
る無反射構造とする。
料から作製されるもので、この非線形光学材料として
は、無機又は有機の各種非線形光学材料が結晶基板とし
て使用される。この無機非線形光学材料を例示すると、
LN(LiNbO3 ),LT(LiTaO3 ),KNbO3 ,BN
N(Ba2 NaNb5 O15),KTP(KTiOPO4 ),KT
A(KTiOAsO4 ),BBO(β−BaB2 O4 ),LB
O(LiB3 O7 )等が、有機非線形光学材料としては、
mNA(メタニトロアニリン),MNA(2-メチル-4-
ニトロアニリン),カルコン(4-ブロモ-4'-メトキシ
カルコン),DIVA(ジシアノビニル アニソー
ル),DMNP〔3,5-ジメチル-1-(4-ニトロフェニル)
ピラゾール〕,MMNA(N-メトキシメチル-4- ニトロ
アニリン),MNBA(4'- ニトロベンジリデン-3- ア
セタミノ-4- メトキシアニリン)等の低分子有機材料,
LAP(L−アルギニン フォスフェート モノハイド
レート),ポールドポリマ等が挙げられる。
造5とは、媒質のコヒーレント長毎に結晶反転を繰り返
す構造をいい、この構造を形成することにより入射され
る基本波を擬似的に位相整合を図り、高効率波長変換を
行なうものである。具体的にはドメイン反転構造,Segm
ented waveguide structure 等を意味する。
転構造5を形成した部材4の構造の一例を示す斜視図で
あり、図中4aは基板、4bは反転層である。ドメイン
反転構造5は、複数の反転層4bからなる。反転層4b
は常套手段により形成され、例えばLN(LiNbO3 )の
場合、通常電子ビーム描画やTiイオンを拡散し、加熱処
理することにより形成される。上記ドメイン反転構造5
は、図2に示すように、基板4aの一方の面(例えば−
Z面)から反対の面(例えば+Z面)にまで貫通するよ
うに形成したバルク形と、図3に示す導波路形とがある
が、本発明では、バルク形の部材を用いることを特徴と
する。この理由は、導波路形のものでは、一旦周期構造
を作製すると、その周期は変化させることができないた
め、高効率波長変換を行うためには、発振器の波長をそ
の周期に合わせる工夫(フィードバックシステム)が必
要となり、さらにファイバやレンズ等を用い微細な光軸
調節を行わなければならないという問題が生じるためで
ある。
b相互間の距離)は、使用する光源の発振波長により異
なるが、特に赤外〜赤色を波長変換する場合、4〜2μ
m又はこの奇数倍とすればよい。
は、基本波に対し高反射率(99.9%以上),2倍高
調波光に対しては、出力を取り出すため、低反射率(1
0%以下)となるよう誘電体多層膜コーティングをす
る。位相整合時に、部材4の角度を微調整し、傾けても
共振器が狂わないように、ミラー構造6には曲率を持た
せることが好ましい。具体的には、曲率半径10mm〜
20mmとする。
光発生装置によると、高反射率のミラー2と6から構成
される共振器内でレーザ1により基本波光を発振させ
る。この基本波光は、フィネスの高い共振器構成により
高い電界8を作り、これにより同時に共振器内に存在す
るドメイン反転構造5で高効率波長変換がなされ、第2
次高調波9が発生する。1には縦および横モード共に単
一発振する半導体レーザ、または、半導体レーザ励起固
体レーザを用いる。発振波長に対し高効率波長変換を行
うため、5の角度を微調整して変え、最適角度に合わせ
る。このことにより、ミラー6は殆ど狂うことなく、共
振器の光軸がずれることはない。
体レーザを用いたが、本発明では、上記半導体レーザに
半導体レーザ励起固体レーザ(以下、単に「固体レー
ザ」ともいう。)を併用することができる。即ち、固体
レーザによれば、単一横モードで発振させることが容易
となり、また蛍光寿命の長い固体レーザを用いることに
よりエネルギー蓄積ができ高出力が出せる。さらに発振
スペクトルを安定に制御でき、固体材料の選択により波
長可変性を持たせることができる。
れず、例えば、Nd:YAG,Nd:YVO4 ,Nd:LO
S,Nd:CGA,NPP,LNP,KNP,NYAB等
が好適に使用される。特に吸収係数の大きい材料は、単
一縦モードを発振しやすく、従って発振スペクトルを十
分狭くすることができ望ましい。
ーを用いるものであるが、共振器内における基本波の損
失が変換効率を大きく左右するので、損失の小さい材料
を選ぶ必要がある。
上説明したように構成されているので、以下のような効
果を奏する。 共振器構造を用いるため必要非線形光学材料長は、図
3のような非線形光学材料をレーザが一回だけ通過する
通常の方法に対し1/3〜1/5ですむ。したがって、
位相整合角度の調整が、3〜5倍容易になる。 2倍高調波発生は、バルク型ドメイン反転構造5の角
度調整により行い、フィードバック系を用いない。した
がって、装置の部品点数が削減できるとともに、小型化
が達成できる。また、装置が簡単な構成となるので、容
易に製造ができるようになり、コストを低減できる。 光発振面にミラー構造を形成したバルク形ドメイン反
転構造を形成した部材を用いるので、従来の導波路形の
部材を用いる装置で必要とされる光ファイバのような光
学的接続部材や外部ミラーを不要にできる。 従来、技術的に困難とされていたグリーン光やブルー
光の発振が可能な第2次高調波発生装置が、容易にかつ
安価に提供できる。
す模式断面図である。
示す斜視図である。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 片端面にミラー構造およびその対向面に
無反射構造を形成してなる光源と、非線形光学材料から
なりドメイン反転型構造を有し、かつ、その光発振面に
ミラー構造およびその対向面に無反射構造を形成してな
る部材とを具備し、上記光源と部材のミラー構造間で共
振器構造を形成してなる第2次高調波光発生装置。 - 【請求項2】 該光源が半導体レーザまたは/および半
導体レーザ励起固体レーザであることを特徴とする請求
項1記載の第2次高調波光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27899792A JP3300429B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 第2次高調波光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27899792A JP3300429B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 第2次高調波光発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06132595A true JPH06132595A (ja) | 1994-05-13 |
| JP3300429B2 JP3300429B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=17604966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27899792A Expired - Lifetime JP3300429B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 第2次高調波光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300429B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| EP1798991A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-20 | Seiko Epson Corporation | Laser light source device and projector including said device |
| JP2009046882A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Hamamatsu Photonics Kk | メタンハイドレート採掘方法およびメタンハイドレート採掘装置 |
| WO2010122899A1 (ja) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | 株式会社Qdレーザ | レーザシステム |
| WO2011114907A1 (ja) | 2010-03-18 | 2011-09-22 | 株式会社Qdレーザ | レーザシステム |
| US8896911B2 (en) | 2008-09-19 | 2014-11-25 | Qd Laser, Inc. | Laser system |
| US10989985B2 (en) | 2019-06-07 | 2021-04-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Wavelength converter |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7561612B2 (en) | 2006-09-28 | 2009-07-14 | Seiko Epson Corporation | Laser source device, image display device equipped with the laser source device, and monitor device |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP27899792A patent/JP3300429B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| KR100893451B1 (ko) * | 2005-12-13 | 2009-04-17 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 광원 장치 및 광원 장치를 구비한 프로젝터 |
| US7796672B2 (en) | 2005-12-13 | 2010-09-14 | Seiko Epson Corporation | Light source device and projector including light source device |
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| US10989985B2 (en) | 2019-06-07 | 2021-04-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Wavelength converter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3300429B2 (ja) | 2002-07-08 |
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|
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|
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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