JPH06132709A - 導波管／ストリップ線路変換器 - Google Patents
導波管／ストリップ線路変換器Info
- Publication number
- JPH06132709A JPH06132709A JP28129092A JP28129092A JPH06132709A JP H06132709 A JPH06132709 A JP H06132709A JP 28129092 A JP28129092 A JP 28129092A JP 28129092 A JP28129092 A JP 28129092A JP H06132709 A JPH06132709 A JP H06132709A
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- JP
- Japan
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- waveguide
- probe
- rectangular waveguide
- line
- band
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- Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 導波管／ストリップ線路変換器において、同
軸線路を削除してコストの低減を図ると共に、同軸線路
の接続部で発生する反射等による損失を排除し、広帯域
化を図ることを目的とする。 【構成】 一端に電磁波導入用の開口６を設け、他端に
終端面３を設けた方形導波管１と、方形導波管１の側面
に垂直に配置した誘電体基板２と、同誘電体基板２に形
成したマイクロストリップ線路５とからなり、同マイク
ロストリップ線路５の信号導体を延長して略帯び状に形
成して方形導波管１内に突出させ帯び状プローブ４と
し、同帯び状プローブ４の幅方向を方形導波管１の中心
軸方向に合わせ、同帯び状プローブ４の長手方向の向き
が方形導波管１の中心軸に向かうように配置したもので
ある。
軸線路を削除してコストの低減を図ると共に、同軸線路
の接続部で発生する反射等による損失を排除し、広帯域
化を図ることを目的とする。 【構成】 一端に電磁波導入用の開口６を設け、他端に
終端面３を設けた方形導波管１と、方形導波管１の側面
に垂直に配置した誘電体基板２と、同誘電体基板２に形
成したマイクロストリップ線路５とからなり、同マイク
ロストリップ線路５の信号導体を延長して略帯び状に形
成して方形導波管１内に突出させ帯び状プローブ４と
し、同帯び状プローブ４の幅方向を方形導波管１の中心
軸方向に合わせ、同帯び状プローブ４の長手方向の向き
が方形導波管１の中心軸に向かうように配置したもので
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波回路に用い
られる導波管回路及びマイクロストリップ線路間の変換
器に関する。
られる導波管回路及びマイクロストリップ線路間の変換
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の導波管／ストリップ線路変換器に
おいては、図４に示すように、一端に電磁波導入用の開
口６を設け、他端に終端面３を設けた方形導波管１に対
して、方形導波管１の上部側面から垂直にプローブ１６
を内部に挿入し、方形導波管１の上部に設けた誘電体板
１５の表面に設けられたストリップ線路１８とプローブ
１６との間を同軸線路１７を介して接続し、方形導波管
１内に導入された電磁波をプローブ１６に結合させて、
同プローブ１６で電気信号に変換して同軸線路１７を介
してストリップ線路１８に伝え、同ストリップ線路１８
で信号処理回路に入力するようにしていた。
おいては、図４に示すように、一端に電磁波導入用の開
口６を設け、他端に終端面３を設けた方形導波管１に対
して、方形導波管１の上部側面から垂直にプローブ１６
を内部に挿入し、方形導波管１の上部に設けた誘電体板
１５の表面に設けられたストリップ線路１８とプローブ
１６との間を同軸線路１７を介して接続し、方形導波管
１内に導入された電磁波をプローブ１６に結合させて、
同プローブ１６で電気信号に変換して同軸線路１７を介
してストリップ線路１８に伝え、同ストリップ線路１８
で信号処理回路に入力するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、プローブ１６
とストリップ線路１８の間を同軸線路１７を介在させて
接続しているため、プローブ１６とプローブ１６を取り
付けている方形導波管１内の取付状態によって構成され
るインピーダンスと同軸線路１７とのインピーダンスと
の不整合、及び同軸線路１７とストリップ線路１８間の
インピーダンスの不整合等により接続部で反射が起こ
り、信号の伝送損失が発生するといった問題点があり、
また、プローブ１６に結合させることができる電磁波の
周波数帯域が狭いといった問題点があった。本発明は、
ストリップ線路の信号導体を延長して略帯び状に形成し
てプローブとし、同プローブに直接電磁波を結合させる
ことにより、同軸線路を削除してコストの低減を図ると
共に、同軸線路の接続部で発生する反射等による損失を
排除し、導波管／ストリップ線路変換器を広帯域化する
ことを目的とする。
とストリップ線路１８の間を同軸線路１７を介在させて
接続しているため、プローブ１６とプローブ１６を取り
付けている方形導波管１内の取付状態によって構成され
るインピーダンスと同軸線路１７とのインピーダンスと
の不整合、及び同軸線路１７とストリップ線路１８間の
インピーダンスの不整合等により接続部で反射が起こ
り、信号の伝送損失が発生するといった問題点があり、
また、プローブ１６に結合させることができる電磁波の
周波数帯域が狭いといった問題点があった。本発明は、
ストリップ線路の信号導体を延長して略帯び状に形成し
てプローブとし、同プローブに直接電磁波を結合させる
ことにより、同軸線路を削除してコストの低減を図ると
共に、同軸線路の接続部で発生する反射等による損失を
排除し、導波管／ストリップ線路変換器を広帯域化する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】図１に示すように、一端
に電磁波導入用の開口６を設け、他端に終端面３を設け
た導波管（同図においては、方形導波管１）と、方形導
波管１の側面に垂直に配置した誘電体基板２と、同誘電
体基板２に形成したマイクロストリップ線路５とからな
り、同マイクロストリップ線路５の信号導体を延長して
略帯び状に形成して方形導波管１内に突出させ帯び状プ
ローブ４とし、同帯び状プローブ４の幅方向を方形導波
管１の管軸（中心軸）方向に合わせ、同帯び状プローブ
４の長手方向の向きが方形導波管１の管軸（中心軸）に
向かうように配置したものである。
に電磁波導入用の開口６を設け、他端に終端面３を設け
た導波管（同図においては、方形導波管１）と、方形導
波管１の側面に垂直に配置した誘電体基板２と、同誘電
体基板２に形成したマイクロストリップ線路５とからな
り、同マイクロストリップ線路５の信号導体を延長して
略帯び状に形成して方形導波管１内に突出させ帯び状プ
ローブ４とし、同帯び状プローブ４の幅方向を方形導波
管１の管軸（中心軸）方向に合わせ、同帯び状プローブ
４の長手方向の向きが方形導波管１の管軸（中心軸）に
向かうように配置したものである。
【０００５】
【作用】本発明は上記した構成により、導波管回路をス
トリップ線路に変換するようにしており、電磁波を結合
させるプローブを帯び状プローブ４として幅を広くして
あり、広くした幅の一端から終端面３迄の距離をｌａと
し、他端から終端面３迄の距離をｌｂとし、ｌａ及びｌ
ｂの値を、ｌａ＝λａ／４、ｌｂ＝λｂ／４とすれば、
同帯び状プローブ４にλａ〜λｂ迄の波長を有する電磁
波を効率的に結合させることができるため、導波管／ス
トリップ線路変換器で変換する電磁波の周波数帯域を広
帯域化することができ、また、マイクロストリップ線路
５の信号導体を延長して略帯び状プローブ４とし、同略
帯び状プローブ４に直接電磁波を結合させるようにして
いるため、従来例のように独立したプローブや、同軸線
路の使用が不要となり、相互の接続部で発生する損失を
排除することができ、コストの低減を図ることができ
る。
トリップ線路に変換するようにしており、電磁波を結合
させるプローブを帯び状プローブ４として幅を広くして
あり、広くした幅の一端から終端面３迄の距離をｌａと
し、他端から終端面３迄の距離をｌｂとし、ｌａ及びｌ
ｂの値を、ｌａ＝λａ／４、ｌｂ＝λｂ／４とすれば、
同帯び状プローブ４にλａ〜λｂ迄の波長を有する電磁
波を効率的に結合させることができるため、導波管／ス
トリップ線路変換器で変換する電磁波の周波数帯域を広
帯域化することができ、また、マイクロストリップ線路
５の信号導体を延長して略帯び状プローブ４とし、同略
帯び状プローブ４に直接電磁波を結合させるようにして
いるため、従来例のように独立したプローブや、同軸線
路の使用が不要となり、相互の接続部で発生する損失を
排除することができ、コストの低減を図ることができ
る。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す、導波管／
ストリップ線路変換器の一部切り欠き斜視図であり、図
２は、図１の正面図である。１は方形導波管であり、一
端を導波管接続用のフランジ７とし、他端を方形導波管
１内に導入した電磁波を反射させる終端面３としてお
り、フランジ７面に水平方向を長辺とし、垂直方向を短
辺とした開口６を設けている。２は誘電体基板であり、
同誘電体基板２上にマイクロストリップ線路５を形成し
て、同マイクロストリップ線路５で信号処理回路に信号
を入力できるようにしている。誘電体基板２は導波管１
の上部側面に対して垂直に配置し、マイクロストリップ
線路５の信号導体４を延長して略帯び状に形成して方形
導波管１内に突出させ帯び状プローブ４とし、同帯び状
プローブ４の幅方向を同導波管１の管軸（中心軸）方向
に合わせ、図２に示すように、開口６から見た帯び状プ
ローブ４の取付位置が開口６の管軸（中心軸）を通るよ
うに配置している。
ストリップ線路変換器の一部切り欠き斜視図であり、図
２は、図１の正面図である。１は方形導波管であり、一
端を導波管接続用のフランジ７とし、他端を方形導波管
１内に導入した電磁波を反射させる終端面３としてお
り、フランジ７面に水平方向を長辺とし、垂直方向を短
辺とした開口６を設けている。２は誘電体基板であり、
同誘電体基板２上にマイクロストリップ線路５を形成し
て、同マイクロストリップ線路５で信号処理回路に信号
を入力できるようにしている。誘電体基板２は導波管１
の上部側面に対して垂直に配置し、マイクロストリップ
線路５の信号導体４を延長して略帯び状に形成して方形
導波管１内に突出させ帯び状プローブ４とし、同帯び状
プローブ４の幅方向を同導波管１の管軸（中心軸）方向
に合わせ、図２に示すように、開口６から見た帯び状プ
ローブ４の取付位置が開口６の管軸（中心軸）を通るよ
うに配置している。
【０００７】例えば、開口６を介してＴＥ１０モードの
電磁波が導波管１に導入されたとする。ＴＥ１０モード
の電磁波は垂直方向に電界の向きを有する電磁波であ
り、開口６からみた電界分布は中央が強く、周辺部が弱
くなる電界分布となっており、帯び状プローブ４の取付
位置を開口６の中央部に位置するようにしているため、
電磁波を帯び状プローブ４に結合させることができ、ま
た、帯び状プローブ４の取付位置を終端面３から約１／
４波長の位置に配置すれば、帯び状プローブ４に電磁波
を効率良く結合させることができる。帯び状プローブ４
では電磁波を電気信号に変換して、マイクロストリップ
線路５を介して、信号処理回路に電気信号を入力し、信
号処理を行うようにしている。
電磁波が導波管１に導入されたとする。ＴＥ１０モード
の電磁波は垂直方向に電界の向きを有する電磁波であ
り、開口６からみた電界分布は中央が強く、周辺部が弱
くなる電界分布となっており、帯び状プローブ４の取付
位置を開口６の中央部に位置するようにしているため、
電磁波を帯び状プローブ４に結合させることができ、ま
た、帯び状プローブ４の取付位置を終端面３から約１／
４波長の位置に配置すれば、帯び状プローブ４に電磁波
を効率良く結合させることができる。帯び状プローブ４
では電磁波を電気信号に変換して、マイクロストリップ
線路５を介して、信号処理回路に電気信号を入力し、信
号処理を行うようにしている。
【０００８】帯び状プローブ４は、幅を広くしてあり、
広くした幅の一端から終端面３迄の距離をｌａとし、他
端から終端面３迄の距離をｌｂとし、ｌａ及びｌｂの値
を、ｌａ＝λａ／４、ｌｂ＝λｂ／４とすれば、同帯び
状プローブ４にλａ〜λｂ迄の波長を有する電磁波を効
率的に結合させることができるため、導波管／ストリッ
プ線路変換器で変換する電磁波の周波数帯域を広帯域化
することができる。なお、ｌａ及びｌｂの値は、ｌａ＝
λａ×ｎ／４、ｌｂ＝λｂ×ｎ／４とし、ｎの値を奇数
倍になるように設定しても良い。また、帯び状プローブ
４の幅は、希望する周波数帯域が得られるように選択し
て決定するが、λａ／４の値をこえないようにすること
が望ましい。導波管１内への帯び状プローブ４の挿入す
る深さＮは、効率良く電磁波を結合させることができる
ように調整して決定する。
広くした幅の一端から終端面３迄の距離をｌａとし、他
端から終端面３迄の距離をｌｂとし、ｌａ及びｌｂの値
を、ｌａ＝λａ／４、ｌｂ＝λｂ／４とすれば、同帯び
状プローブ４にλａ〜λｂ迄の波長を有する電磁波を効
率的に結合させることができるため、導波管／ストリッ
プ線路変換器で変換する電磁波の周波数帯域を広帯域化
することができる。なお、ｌａ及びｌｂの値は、ｌａ＝
λａ×ｎ／４、ｌｂ＝λｂ×ｎ／４とし、ｎの値を奇数
倍になるように設定しても良い。また、帯び状プローブ
４の幅は、希望する周波数帯域が得られるように選択し
て決定するが、λａ／４の値をこえないようにすること
が望ましい。導波管１内への帯び状プローブ４の挿入す
る深さＮは、効率良く電磁波を結合させることができる
ように調整して決定する。
【０００９】図３は、本発明のその他の実施例を示す、
導波管／ストリップ線路変換器の一部切り欠き斜視図で
あり、図中、図１で示したものと同一のものは同一の記
号で示している。図１に示す実施例との相違点は、方形
導波管１を使用する代わりに、円形導波管８を使用する
ようにした点である。図１の実施例と同様に、円形導波
管８内に突出させた帯び状プローブ４の幅方向を円形導
波管８の中心軸（管軸）方向に合わせ、開口９から見た
帯び状プローブ４の取付位置が開口９の中心を通るよう
に配置し、終端面１０からの距離がｌａ及びｌｂになる
ように、帯び状プローブ４を配置している。
導波管／ストリップ線路変換器の一部切り欠き斜視図で
あり、図中、図１で示したものと同一のものは同一の記
号で示している。図１に示す実施例との相違点は、方形
導波管１を使用する代わりに、円形導波管８を使用する
ようにした点である。図１の実施例と同様に、円形導波
管８内に突出させた帯び状プローブ４の幅方向を円形導
波管８の中心軸（管軸）方向に合わせ、開口９から見た
帯び状プローブ４の取付位置が開口９の中心を通るよう
に配置し、終端面１０からの距離がｌａ及びｌｂになる
ように、帯び状プローブ４を配置している。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マイクロストリップ線路５の信号導体を延長して略帯び
状プローブ４とし、同略帯び状プローブ４に直接電磁波
を結合させるようにしているため、従来例のように独立
したプローブや、同軸線路の使用が不要となり、接続部
で発生する損失を排除してコストの低減を図ることがで
き、またプローブを帯び状に形成しているため、変換す
る電磁波の周波数帯域を広帯域化することができ、導波
管／ストリップ線路変換器の性能向上に寄与するところ
が大きい。
マイクロストリップ線路５の信号導体を延長して略帯び
状プローブ４とし、同略帯び状プローブ４に直接電磁波
を結合させるようにしているため、従来例のように独立
したプローブや、同軸線路の使用が不要となり、接続部
で発生する損失を排除してコストの低減を図ることがで
き、またプローブを帯び状に形成しているため、変換す
る電磁波の周波数帯域を広帯域化することができ、導波
管／ストリップ線路変換器の性能向上に寄与するところ
が大きい。
【図１】本発明の一実施例を示す、導波管／ストリップ
線路変換器の一部切り欠き斜視図である。
線路変換器の一部切り欠き斜視図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】本発明のその他の実施例を示す、導波管／スト
リップ線路変換器の一部切り欠き斜視図である。
リップ線路変換器の一部切り欠き斜視図である。
【図４】従来例を示す、導波管／ストリップ線路変換器
の一部切り欠き斜視図である。
の一部切り欠き斜視図である。
１ 方形導波管 ２ 誘電体板 ３ 終端面 ４ 帯び状プローブ ５ マイクロストリップ線路 ６ 開口 ７ フランジ ８ 円形導波管 ９ 開口 １０ 終端面 １４ 切欠き線 １５ 誘電体板 １６ プローブ １７ 同軸線路 １８ ストリップ線路
Claims (3)
- 【請求項１】 一端に電磁波導入用の開口を設け、他端
に終端面を設けた導波管と、同導波管の側面に垂直に配
置した誘電体基板と、同誘電体基板に形成したマイクロ
ストリップ線路とからなり、同マイクロストリップ線路
の信号導体を延長して略帯び状に形成して前記導波管内
に突出させ帯び状プローブとし、同帯び状プローブの幅
方向を同導波管の管軸方向にあわせ、同帯び状プローブ
の長手方向の向きが同導波管の管軸に向かうように配置
したことを特徴とする導波管／ストリップ線路変換器。 - 【請求項２】 前記導波管が方形導波管からなる請求項
１記載の導波管／ストリップ線路変換器。 - 【請求項３】 前記導波管が円形導波管からなる請求項
１記載の導波管／ストリップ線路変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28129092A JPH06132709A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 導波管／ストリップ線路変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28129092A JPH06132709A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 導波管／ストリップ線路変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06132709A true JPH06132709A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17637008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28129092A Pending JPH06132709A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 導波管／ストリップ線路変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06132709A (ja) |
Cited By (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7304488B2 (en) | 2002-05-23 | 2007-12-04 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for high-frequency testing of a device under test |
| US7321233B2 (en) | 1995-04-14 | 2008-01-22 | Cascade Microtech, Inc. | System for evaluating probing networks |
| US7330041B2 (en) | 2004-06-14 | 2008-02-12 | Cascade Microtech, Inc. | Localizing a temperature of a device for testing |
| US7348787B2 (en) | 1992-06-11 | 2008-03-25 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
| US7352168B2 (en) | 2000-09-05 | 2008-04-01 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7362115B2 (en) | 2003-12-24 | 2008-04-22 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
| US7368925B2 (en) | 2002-01-25 | 2008-05-06 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with two platens |
| US7368927B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-05-06 | Cascade Microtech, Inc. | Probe head having a membrane suspended probe |
| US7403028B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
| US7403025B2 (en) | 2000-02-25 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7417446B2 (en) | 2002-11-13 | 2008-08-26 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US7436170B2 (en) | 1997-06-06 | 2008-10-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having multiple enclosures |
| US7443186B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-10-28 | Cascade Microtech, Inc. | On-wafer test structures for differential signals |
| US7449899B2 (en) | 2005-06-08 | 2008-11-11 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for high frequency signals |
| US7456646B2 (en) | 2000-12-04 | 2008-11-25 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe |
| US7468609B2 (en) | 2003-05-06 | 2008-12-23 | Cascade Microtech, Inc. | Switched suspended conductor and connection |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7492147B2 (en) | 1992-06-11 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having a skirting component |
| US7498828B2 (en) | 2002-11-25 | 2009-03-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
| US7498829B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-03-03 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7504823B2 (en) | 2004-06-07 | 2009-03-17 | Cascade Microtech, Inc. | Thermal optical chuck |
| US7504842B2 (en) | 1997-05-28 | 2009-03-17 | Cascade Microtech, Inc. | Probe holder for testing of a test device |
| US7533462B2 (en) | 1999-06-04 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Method of constructing a membrane probe |
| US7541821B2 (en) | 1996-08-08 | 2009-06-02 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
| US7550984B2 (en) | 2002-11-08 | 2009-06-23 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low noise characteristics |
| US7554322B2 (en) | 2000-09-05 | 2009-06-30 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| US7609077B2 (en) | 2006-06-09 | 2009-10-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probe with integral balun |
| US7616017B2 (en) | 1999-06-30 | 2009-11-10 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
| US7619419B2 (en) | 2005-06-13 | 2009-11-17 | Cascade Microtech, Inc. | Wideband active-passive differential signal probe |
| US7639003B2 (en) | 2002-12-13 | 2009-12-29 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
| US9429638B2 (en) | 2008-11-21 | 2016-08-30 | Cascade Microtech, Inc. | Method of replacing an existing contact of a wafer probing assembly |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP28129092A patent/JPH06132709A/ja active Pending
Cited By (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7348787B2 (en) | 1992-06-11 | 2008-03-25 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
| US7595632B2 (en) | 1992-06-11 | 2009-09-29 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
| US7589518B2 (en) | 1992-06-11 | 2009-09-15 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having a skirting component |
| US7492147B2 (en) | 1992-06-11 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having a skirting component |
| US7321233B2 (en) | 1995-04-14 | 2008-01-22 | Cascade Microtech, Inc. | System for evaluating probing networks |
| US7541821B2 (en) | 1996-08-08 | 2009-06-02 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
| US7504842B2 (en) | 1997-05-28 | 2009-03-17 | Cascade Microtech, Inc. | Probe holder for testing of a test device |
| US7436170B2 (en) | 1997-06-06 | 2008-10-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having multiple enclosures |
| US7626379B2 (en) | 1997-06-06 | 2009-12-01 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having multiple enclosures |
| US7533462B2 (en) | 1999-06-04 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Method of constructing a membrane probe |
| US7616017B2 (en) | 1999-06-30 | 2009-11-10 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
| US7403025B2 (en) | 2000-02-25 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7554322B2 (en) | 2000-09-05 | 2009-06-30 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| US7352168B2 (en) | 2000-09-05 | 2008-04-01 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7423419B2 (en) | 2000-09-05 | 2008-09-09 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7518358B2 (en) | 2000-09-05 | 2009-04-14 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7514915B2 (en) | 2000-09-05 | 2009-04-07 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7501810B2 (en) | 2000-09-05 | 2009-03-10 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7456646B2 (en) | 2000-12-04 | 2008-11-25 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe |
| US7495461B2 (en) | 2000-12-04 | 2009-02-24 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe |
| US7492175B2 (en) | 2001-08-21 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7368925B2 (en) | 2002-01-25 | 2008-05-06 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with two platens |
| US7304488B2 (en) | 2002-05-23 | 2007-12-04 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for high-frequency testing of a device under test |
| US7518387B2 (en) | 2002-05-23 | 2009-04-14 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7489149B2 (en) | 2002-05-23 | 2009-02-10 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7436194B2 (en) | 2002-05-23 | 2008-10-14 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe with low contact resistance for testing a device under test |
| US7482823B2 (en) | 2002-05-23 | 2009-01-27 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7550984B2 (en) | 2002-11-08 | 2009-06-23 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low noise characteristics |
| US7417446B2 (en) | 2002-11-13 | 2008-08-26 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| US7453276B2 (en) | 2002-11-13 | 2008-11-18 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| US7498828B2 (en) | 2002-11-25 | 2009-03-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
| US7639003B2 (en) | 2002-12-13 | 2009-12-29 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
| US7468609B2 (en) | 2003-05-06 | 2008-12-23 | Cascade Microtech, Inc. | Switched suspended conductor and connection |
| US7501842B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-03-10 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7876115B2 (en) | 2003-05-23 | 2011-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7498829B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-03-03 | Cascade Microtech, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7362115B2 (en) | 2003-12-24 | 2008-04-22 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
| US7504823B2 (en) | 2004-06-07 | 2009-03-17 | Cascade Microtech, Inc. | Thermal optical chuck |
| US7330041B2 (en) | 2004-06-14 | 2008-02-12 | Cascade Microtech, Inc. | Localizing a temperature of a device for testing |
| US7514944B2 (en) | 2004-07-07 | 2009-04-07 | Cascade Microtech, Inc. | Probe head having a membrane suspended probe |
| US7368927B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-05-06 | Cascade Microtech, Inc. | Probe head having a membrane suspended probe |
| US8013623B2 (en) | 2004-09-13 | 2011-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US7449899B2 (en) | 2005-06-08 | 2008-11-11 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for high frequency signals |
| US7619419B2 (en) | 2005-06-13 | 2009-11-17 | Cascade Microtech, Inc. | Wideband active-passive differential signal probe |
| US7609077B2 (en) | 2006-06-09 | 2009-10-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probe with integral balun |
| US7443186B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-10-28 | Cascade Microtech, Inc. | On-wafer test structures for differential signals |
| US7403028B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
| US9429638B2 (en) | 2008-11-21 | 2016-08-30 | Cascade Microtech, Inc. | Method of replacing an existing contact of a wafer probing assembly |
| US10267848B2 (en) | 2008-11-21 | 2019-04-23 | Formfactor Beaverton, Inc. | Method of electrically contacting a bond pad of a device under test with a probe |
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