JPH0613511Y2 - エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器 - Google Patents
エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器Info
- Publication number
- JPH0613511Y2 JPH0613511Y2 JP1990010812U JP1081290U JPH0613511Y2 JP H0613511 Y2 JPH0613511 Y2 JP H0613511Y2 JP 1990010812 U JP1990010812 U JP 1990010812U JP 1081290 U JP1081290 U JP 1081290U JP H0613511 Y2 JPH0613511 Y2 JP H0613511Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- detection element
- energy dispersive
- cylindrical body
- analysis
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電子顕微鏡において試料に電子線を照射する
ことにより発生する特性Ｘ線を検出し、試料の分析を行
うエネルギー分散側Ｘ線分析装置に使用されるＸ線検出
器の改良に関する。
ことにより発生する特性Ｘ線を検出し、試料の分析を行
うエネルギー分散側Ｘ線分析装置に使用されるＸ線検出
器の改良に関する。
［従来の技術］ かかるエネルギー分散型Ｘ線分析装置におけるＸ線検出
素子は、半導体を検出素子としており、その特性を十分
発揮させるため検出素子は液体窒素で冷却して使用され
る。
素子は、半導体を検出素子としており、その特性を十分
発揮させるため検出素子は液体窒素で冷却して使用され
る。
そこで、従来におけるＸ線検出器としては、第４図に示
すように大気外に置かれた液体窒素を満たした冷却槽１
に連結された例えば銅の如き熱伝導製冷却棒２を電子顕
微鏡の側壁３を貫通して試料４近傍まで導入し、その先
端に例えばシリコン半導体からなるＸ線検出素子５を取
り付け、このＸ線検出素子を液体窒素温度まで冷却する
ように構成している。また、前記冷却棒２及びＸ線検出
素子５の周りは空間を保ってステンレス製の有底状筒体
６で囲繞され、また、この筒体内は真空に保たれ、輻射
熱による熱効率の低下やＸ線検出素子が汚染されるのを
防止している。さらに、この筒体の底部、つまり試料４
と対向する部分にはＸ線透過窓７が形成されている。こ
のＸ線透過窓は開口８を例えばベリリウム製の薄膜９に
より塞ぐことにより形成される。１０は真空シール用Ｏ
リングパッキングである。
すように大気外に置かれた液体窒素を満たした冷却槽１
に連結された例えば銅の如き熱伝導製冷却棒２を電子顕
微鏡の側壁３を貫通して試料４近傍まで導入し、その先
端に例えばシリコン半導体からなるＸ線検出素子５を取
り付け、このＸ線検出素子を液体窒素温度まで冷却する
ように構成している。また、前記冷却棒２及びＸ線検出
素子５の周りは空間を保ってステンレス製の有底状筒体
６で囲繞され、また、この筒体内は真空に保たれ、輻射
熱による熱効率の低下やＸ線検出素子が汚染されるのを
防止している。さらに、この筒体の底部、つまり試料４
と対向する部分にはＸ線透過窓７が形成されている。こ
のＸ線透過窓は開口８を例えばベリリウム製の薄膜９に
より塞ぐことにより形成される。１０は真空シール用Ｏ
リングパッキングである。
今、図示外の電子銃からの電子線ＥＢを試料４に照射す
ることにより発生する特性Ｘ線Ｘは、Ｘ線透過窓７を通
過してＸ線検出素子５に検出されて電気信号に変換され
る。この電気信号は図示外の増幅器を介して多チャンネ
ルの波高分析器に導入され、試料４の定性定量分析を行
うことができる。
ることにより発生する特性Ｘ線Ｘは、Ｘ線透過窓７を通
過してＸ線検出素子５に検出されて電気信号に変換され
る。この電気信号は図示外の増幅器を介して多チャンネ
ルの波高分析器に導入され、試料４の定性定量分析を行
うことができる。
［考案が解決しようとする課題］ ところで、Ｘ線検出素子５の交換や保守，点検を行う場
合には、筒体６を側壁３に対して挿脱する必要がある。
このとき、真空シール上の問題から側壁３に形成する筒
体６の挿入穴１１は、できるだけ小さく形成されてい
る。そこで、Ｘ線検出器をセットするために筒体６を挿
入穴１１に挿入する際、この筒体先端部が側壁に衝突す
るのを避けることができない。その結果、筒体内部に衝
突に基づく応力（歪み）が発生するわけであるが、この
とき筒体先端部はその全体に渡って略同一の剛性を保っ
ているため、前記応力は開口８部分に作用し、それによ
ってＸ線透過窓７を構成する薄膜９を破壊する。特に、
この薄膜は波長の非常に短い特性Ｘ線Ｘを発生する軽元
素を分析可能とすることから、その厚さを例えば０．２
５〜１μｍ程度の如く非常に薄く形成してあるため、僅
かの応力が発生しても破壊する。薄膜が破壊するとＸ線
検出器内部も衝撃や氷結により破壊されてしまうことに
なる。
合には、筒体６を側壁３に対して挿脱する必要がある。
このとき、真空シール上の問題から側壁３に形成する筒
体６の挿入穴１１は、できるだけ小さく形成されてい
る。そこで、Ｘ線検出器をセットするために筒体６を挿
入穴１１に挿入する際、この筒体先端部が側壁に衝突す
るのを避けることができない。その結果、筒体内部に衝
突に基づく応力（歪み）が発生するわけであるが、この
とき筒体先端部はその全体に渡って略同一の剛性を保っ
ているため、前記応力は開口８部分に作用し、それによ
ってＸ線透過窓７を構成する薄膜９を破壊する。特に、
この薄膜は波長の非常に短い特性Ｘ線Ｘを発生する軽元
素を分析可能とすることから、その厚さを例えば０．２
５〜１μｍ程度の如く非常に薄く形成してあるため、僅
かの応力が発生しても破壊する。薄膜が破壊するとＸ線
検出器内部も衝撃や氷結により破壊されてしまうことに
なる。
そこで、本考案はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、Ｘ線検出器の側壁への衝突に基づく薄膜の破壊を防
止することを目的とする。
り、Ｘ線検出器の側壁への衝突に基づく薄膜の破壊を防
止することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、第１の本考案のエネルギー分
散型Ｘ線分析用Ｘ線検出器は、筒体の一部を蛇腹状にし
たことを特徴とする。
散型Ｘ線分析用Ｘ線検出器は、筒体の一部を蛇腹状にし
たことを特徴とする。
また、第２の本考案のエネルギー分散型Ｘ線分析用Ｘ線
検出器は、Ｘ線透過窓を弾性部材を介して筒体に取り付
けたことを特徴とする。
検出器は、Ｘ線透過窓を弾性部材を介して筒体に取り付
けたことを特徴とする。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］ 第１図乃至第３図は夫々本考案に係るＸ線検出器の一例
を示す要部拡大断面図であり、第４図と同一番号のもの
は同一構成要素を示す。
を示す要部拡大断面図であり、第４図と同一番号のもの
は同一構成要素を示す。
第１図は、筒体６の先端近傍の外周部に蛇腹１２を形成
することにより可撓性を持たせたことを特徴とする。
することにより可撓性を持たせたことを特徴とする。
このようになせば、筒体６の先端部が側壁３の挿入穴１
１に衝突することにより発生する応力は、従来のように
開口８部分に作用することなく、可撓性を有する蛇腹１
２部に作用して吸収されるため、薄膜９が破壊されるの
を防止できる。尚、蛇腹１２は筒体６の底部（Ｘ線透過
窓７近傍）に形成しても良い。。
１に衝突することにより発生する応力は、従来のように
開口８部分に作用することなく、可撓性を有する蛇腹１
２部に作用して吸収されるため、薄膜９が破壊されるの
を防止できる。尚、蛇腹１２は筒体６の底部（Ｘ線透過
窓７近傍）に形成しても良い。。
第２図及び第３図は、Ｘ線透過窓７を円盤状の保持台１
３に形成し、この保持台を可撓性部材１４を介在させて
筒体６に保持することにより前述した衝突時に発生する
応力を可撓性部材１４で吸収させることを特徴とする。
３に形成し、この保持台を可撓性部材１４を介在させて
筒体６に保持することにより前述した衝突時に発生する
応力を可撓性部材１４で吸収させることを特徴とする。
尚、前記弾性部材１４としてはバネ材を用いたり、ある
いは保持台よりも軟らかい材料を用いたり、さらには、
厚さを薄く加工したものを使用する。
いは保持台よりも軟らかい材料を用いたり、さらには、
厚さを薄く加工したものを使用する。
［効果］ 以上詳述したように本考案によれば、筒体が側壁に衝突
することにより筒体内部に発生する応力は、従来のよう
にＸ線透過窓部に作用しなくなるため、Ｘ線検出器の挿
入時における薄膜の破壊を防止でき、取り扱いが非常に
容易になる。
することにより筒体内部に発生する応力は、従来のよう
にＸ線透過窓部に作用しなくなるため、Ｘ線検出器の挿
入時における薄膜の破壊を防止でき、取り扱いが非常に
容易になる。
第１図乃至第３図は夫々本考案に係るＸ線検出器の一例
を示す要部拡大断面図、第４図はＸ線検出器の従来例を
説明するための図である。 １：冷却槽、２：冷却棒 ３：側壁、４：試料 ５：Ｘ線検出素子、６：筒体 ７：Ｘ線透過窓、８：開口 ９：薄膜 １０：Ｏリングパッキング １１：挿入穴、１２：蛇腹 １３：保持台、１４：弾性部材
を示す要部拡大断面図、第４図はＸ線検出器の従来例を
説明するための図である。 １：冷却槽、２：冷却棒 ３：側壁、４：試料 ５：Ｘ線検出素子、６：筒体 ７：Ｘ線透過窓、８：開口 ９：薄膜 １０：Ｏリングパッキング １１：挿入穴、１２：蛇腹 １３：保持台、１４：弾性部材
Claims (2)
- 【請求項１】冷却体に取り付けられたＸ線検出素子と、
該Ｘ線検出素子及び前記冷却体を空間を保って囲繞する
ようにおかれた筒体と、該筒体の前記Ｘ線検出素子と対
向する部分に形成されたＸ線透過窓とを備えたエネルギ
ー分散型Ｘ線分析用Ｘ線検出器において、前記筒体の一
部を蛇腹状にしたことを特徴とするエネルギー分散型Ｘ
線分析用Ｘ線検出器。 - 【請求項２】冷却体に取り付けられたＸ線検出素子と、
該Ｘ線検出素子及び前記冷却体を空間を保って囲繞する
ようにおかれた筒体と、該筒体の前記Ｘ線検出素子と対
向する部分に形成されたＸ線透過窓とを備えたエネルギ
ー分散型Ｘ線分析用Ｘ線検出器において、前記Ｘ線透過
窓を弾性部材を介して前記筒体に取り付けたことを特徴
とするエネルギー分散型Ｘ線分析用Ｘ線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990010812U JPH0613511Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990010812U JPH0613511Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104885U JPH03104885U (ja) | 1991-10-30 |
| JPH0613511Y2 true JPH0613511Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31514366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990010812U Expired - Lifetime JPH0613511Y2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613511Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4306155A (en) | 1980-04-04 | 1981-12-15 | General Electric Company | Gas-filled x-ray detector with improved window |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP1990010812U patent/JPH0613511Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4306155A (en) | 1980-04-04 | 1981-12-15 | General Electric Company | Gas-filled x-ray detector with improved window |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03104885U (ja) | 1991-10-30 |
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