JPH061372B2

JPH061372B2 - 基板の収納ケース、及び該収納ケースの装着装置

Info

Publication number: JPH061372B2
Application number: JP10393084A
Authority: JP
Inventors: 浩満岩田
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1984-05-23
Filing date: 1984-05-23
Publication date: 1994-01-05
Anticipated expiration: 2009-01-05
Also published as: JPS60247915A

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明はＩＣやＬＳＩ等の半導体素子を製造するために
使われるフォトマスクやレチクルを収納するケースに関
する。

（発明の背景）フォトマスクやレチクル（以下、マスク基板と総称す
る）は半導体素子のリソグラフィ工程において、ゴミや
ホコリ等が付着していないことが必須の条件である。こ
のため、マスク基板の保管や保守（洗浄）にあっては細
心の注意が必要である。近年、半導体素子の最小線幅は
１μｍ程度に微細化するのに伴って、マスク基板を直接
人手によって扱うことが敬遠され、リソグラフィ用の露
光装置や保守用の洗浄装置等では無人でマスク基板を搬
送するようになってきた。特にマスク基板は１枚ごとに
専用のケースに密閉状態で収納され、そのケースを露光
装置や洗浄装置に装着することで、自動的に内部のマス
ク基板を取り出す装置が使われている。このような収納
ケースとその搬送装置の一例は特開昭５７−３９５３７
号公報、又は特開昭５８−９５８１２号公報に開示され
ている。この種のケースはマスク基板を水平に収納する
とともに、マスク基板の挿脱に際しては、マスク基板を
水平に進退させるような位置に扉部材（前扉）が設けら
れている。このケースは前扉側を装置の奥に向けて、複
数個を段積みするように装着して使用する。

ところでマスク基板をケースに収納する前に、ケースは
酸性、又はアルカリ性の洗浄液で洗われ、ケース内部に
付着したゴミや、ホコリ、あるいは油分等を取り除く。
このためケースの材質としては耐酸性、耐アルカリ性の
合成樹脂、例えばポリアセタールや、ポリサルフォン等
が使用されている。これらの合成樹脂は不透明であり、
装置に複数個が装着された状態では、どのケースにマス
ク基板が収納されているのか確認できなかった。また、
単に保管のために多数のケースを用意した場合でも同様
であり、使い勝手が悪かったという欠点があった。

（発明の目的）本発明は上記欠点を解決し、使い勝手のよい収納ケース
を得ることを目的とする。さらに本発明は、収納ケース
の設置環境が暗くても、複数の収納ケースのどれにマス
ク基板が存在するのかを素早く確認できる収納ケースの
装着装置を得ることを目的とする。

（発明の概略）本発明は、マスク等の基板(4)を、その表面とほぼ平行
に挿脱する位置に開閉自在な扉部材(1a)を有し、該扉部
材の閉成によって前記基板をほぼ密閉状態で収納するケ
ース(1)において、収納された基板の端面と対向した扉
部材以外のケースの側壁部に形成された切欠き部と、基
板の表面と対向した開閉自在なケースの蓋部(1b)とで構
成された開口部と、ケースをほぼ密閉するように開口部
に設けられる透明部材(3)と、開口部近傍に設けられ、
透明部材を着脱自在に保持する保持部材(1d、1e)とを設
け、蓋部(1b)の閉成によって蓋部(一b)と透明部材の端
面(3′)とが密着するように、保持部材(1d、1e)に装着さ
れた透明部材の端面(3′)を、側壁部の蓋部側の端面
(1′)と同一面内に配置することを技術的要点としてい
る。

また本発明は、マスク等の基板(4)を、その表面とほぼ
平行に挿脱する位置に開閉自在な扉部材(1a)を有し、こ
の扉部材の閉成によって基板をほぼ密閉状態で収納する
ケース(1)において、収納された基板の端面と対向する
ケースの第１の側壁部に第１の透明窓(3)を設け、この
第１の透明窓と対向した基板の端面に光が入射するよう
に、第１の側壁部と直交するケースの第２の側壁部に第
２の透明窓(6)を設けることを技術的要点としている。

さらに、本願の特定発明と関連した収納ケースの装着装
置では、上述の第１の透明窓(3)、及び第２の透明窓(6)
とを有する収納ケースを保持したときに第２の透明窓と
対向するように配置され、第２の透明窓を介して第１の
透明窓と対向した基板の端面に照射される照明光(l)を
発生する光源(7)を設けることを技術的要点としてい
る。

（実施例）第１図は複数のケース１をケース装着機構（ライブラリ
ー）２に積み重ねるように装着した状態を示す斜視図で
ある。ケース１には特開昭５８−９５８１２号公報に開
示されているように、前扉１ａが設けられている。この
前扉１ａは不図示の搬送装置によって矢印Ａのようには
ね上げられ、収納されたマスク基板は水平に取り出され
る。またケース１には上蓋１ｂがヒンジ１ｃによって開
閉自在に設けられている。上蓋１ｂのヒンジ１ｃと反対
側の先端部には前扉１ａが開閉自在に設けられている。
さて、ライブラリー２には、前扉１ａが装置の奥に向か
うようにケース１が装着されるので、本実施例では前扉
１ａと反対側の背面に透明板３による窓を設ける。第２
図はケース１の背面を拡大して示す平面図であり、第３
図は窓部の拡大斜視図である。アクリル樹脂等による透
明板３は背面に形成された切欠き全面を覆うような大き
さに定められ、その両端はコの字形のアングル１ｄに挾
持され、下端は突出したストッパ１ｅに支えられてい
る。このような状態でケース１内にマスク基板４が収納
されていると、第２図に示したように、マスク基板４の
端面が透明板３を介して観察できる。第３図は上蓋１ｂ
を開いた状態を示し、このとき透明板３は第４図に示す
ように上方にスライドさせることによって容易に取りは
ずせる。また透明板３をアングル１ｄとストッパ１ｅに
よるポケットに装着した状態では、透明板３の上端面
３′とケース１の背面の壁の上端面１′とがほぼ同一面
になるように定められている。そして上蓋１ｂが閉成し
た状態では、上蓋１ｂが上端面１′、３′をともに覆う
ように、ヒンジ１ｃの位置が定められている。従って上
蓋１ｂを閉成することによって、透明板３の脱落が防止
されるとともに、ケース１内に外部からゴミやホコリ等
が進入することがなく、マスク基板４は密閉状態で収納
される。また、ケース１を洗浄する場合は透明板３を取
りはずし、そのまま酸、又はアルカリによって洗浄でき
る。

以上、本実施例によれば透明板３によって窓を形成する
ようにしたので、ゴミやホコリがケース１内に入ること
がなく、しかもその窓はケース１の背面にあるので、多
数のケースをライブラリー２に装着した状態であって
も、マスク基板の収納の有無が一目で確認できるという
利点がある。また、透明板３は価格的にはアクリル樹脂
による板材が好適であるが、ガラス板にしてもよい。こ
の場合はケース１の洗浄のときに、そのガラス板をポケ
ットから取りはずさなくてもよい。さらに、ケース１の
背面全部を透明部材で構成するようにしてもよい。この
ようにすると、窓の横幅が広がることによって、内部か
ら見やすくなるという利点がある。

次に本発明の他の実施例を第５図、第６図に基づいて説
明する。第５図はケース１の窓部の拡大斜視図である。
透明板３はケース１の背面に設けられるが、ここではガ
ラス板をケース１の枠体に固着（接着）してあるものと
する。また背面と直交する側面で、背面に近い部分には
採光用の窓を構成するガラス板６が固着される。この採
光窓から入った光は主にマスク基板４の透明板３と対向
する端面を照明する。そして、このケース１をライブラ
リー２に装着したとき、第６図に示すようにライブラリ
ー２に設けられた光源（赤色ＬＥＤ等）７が採光窓のガ
ラス板６と対向する。この光源７は複数のケース１のそ
れぞれの採光窓を照明するように、ケース１の装着位置
に応じて複数個設ける。この場合光源７は、ケース１が
装着されたとき、そのケースに対応した光源のみが連動
して点灯するように構成するとよい。さて、光源７から
の光ｌは採光窓のガラス板６を透過して、マスク基板４
の端面４ａを照明する。一般にマスク基板４の端面は荒
削り（すりガラス）仕上げされているので、光ｌは端面
４ａで乱反射する。このため、透明板３を介してケース
１内部を見ると、その端面４ａが輝いて観察でき、視認
性がさらに向上する。尚、光源７の光ｌの色（波長）
は、装置の設置環境下において、最もわかりやすいもの
にするとよい。ただし、露光装置にこの種のケース１と
ライブラリー２を付ける場合は、感光基板（フォトレジ
ストを塗ったウェハ等）を感光させない波長の光源が望
ましい。

以上、本実施例によれば、環境が暗い場合でも、どのケ
ースにマスク基板が存在するのかがただちに確認でき
る。

以上、本発明の２つの実施例において、透明板３はケー
ス１の前扉１ａの反対側（背面）に設けるようにした
が、ケース１のライブラリー２への装着状態によって
は、ケース１の側面（第５図の採光窓がある面）に設け
てもよい。また、耐酸性、耐アルカリ性の透明な材料を
選び、その材料でケース１の全体を形成加工してもよ
い。

（発明の効果）以上本発明によればケースの一部を透明にしたので、露
光装置や洗浄装置にケースを装着した状態でマスク基板
の収納の有無の確認がただちにできるという効果が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例によるケースとライブラリーの
概略的な構成を示す斜視図、第２図はケースの背面を示
す平面図、第３図、第４図は透明板を含むケース背面の
部分拡大斜視図、第５図は他の実施例によるケースを示
す斜視図、第６図は第５図のケースの使用例を示す平面
図である。（主要部分の符号の説明）１…ケース、１ａ…前扉、１ｂ…上蓋、１ｄ…アング
ル、１ｅ…ストッパ、２…ライブラリー、３…透明板、
４…マスク基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マスク等の基板を、その表面とほぼ平行に
挿脱する位置に開閉自在な扉部材を有し、該扉部材の閉
成によって前記基板をほぼ密閉状態で収納するケースに
おいて、前記収納された基板の端面と対向した前記扉部材以外の
前記ケースの側壁部に形成された切欠き部と、前記基板
の表面と対向した開閉自在な前記ケースの蓋部とで構成
された開口部と；前記ケースをほぼ密閉するように前記開口部に設けられ
る透明部材と；前記開口部近傍に設けられ、前記透明部材を着脱自在に
保持する保持部材とを有し、前記蓋部の閉成によって前記蓋部と前記透明部材の端面
とが密着するように、前記保持部材に装着された該透明
部材の端面を、前記側壁部の前記蓋部側の端面と同一面
内に配置したことを特徴とする基板の収納ケース。
【請求項２】前記切欠き部は、前記密閉状態で前記扉部
材と対向する前記ケースの側壁部に設けられたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の収納ケース。
【請求項３】マスク等の基板を、その表面とほぼ平行に
挿脱する位置に開閉自在な扉部材を有し、該扉部材の閉
成によって前記基板をほぼ密閉状態で収納するケースに
おいて、前記収納された基板の端面と対向する前記ケースの第１
の側壁部に設けられた第１の透明窓と；該第１の透明窓と対向した基板の端面に光が入射するよ
うに、前記第１の側壁部と直交する前記ケースの第２の
側壁部に設けられた第２の透明窓とを有することを特徴
とする基板の収納ケース。
【請求項４】マスク等の基板をほぼ密閉状態で収納する
ケースの複数を、所定間隔で積み重ねる如く着脱自在に
保持する装着装置において、前記収納された基板の端面と対向する前記ケースの側壁
部に設けられた第１の透明窓と；該第１の透明窓と対向した基板の端面に光が入射するよ
うに、前記ケースの側壁部に設けられた第２の透明窓
と；前記ケースを保持したときに前記第２の透明窓と対向す
るように配置され、前記第２の透明窓を介して前記第１
の透明窓と対向した基板の端面に照射される照明光を発
生する光源とを有することを特徴とする収納ケースの装
着装置。
【請求項５】前記光源は、前記ケースの装着に連動して
点灯することを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
装置。