JPH06138019A - 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置 - Google Patents

静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置

Info

Publication number
JPH06138019A
JPH06138019A JP31647292A JP31647292A JPH06138019A JP H06138019 A JPH06138019 A JP H06138019A JP 31647292 A JP31647292 A JP 31647292A JP 31647292 A JP31647292 A JP 31647292A JP H06138019 A JPH06138019 A JP H06138019A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
elastic member
static friction
friction coefficient
vertical pressure
stick
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31647292A
Other languages
English (en)
Inventor
Akishige Yamada
陽滋 山田
Kenji Mita
賢志 三田
Nuio Tsuchida
縫夫 土田
Koji Imai
孝二 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP31647292A priority Critical patent/JPH06138019A/ja
Publication of JPH06138019A publication Critical patent/JPH06138019A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出対象物体の静摩擦係数を直接検出し得る
静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置を提供す
る。 【構成】 弾性部材(RM)を検出対象物体に接触さ
せ、垂直方向及び水平方向に同時に荷重を付与し、垂直
圧力検出手段(NP)によって弾性部材に対する垂直圧
力を検出すると共に、剪断力検出手段(SF)によって
弾性部材に対する剪断力を検出する。また、スティック
スリップ検出手段(SS)によって弾性部材のスティッ
クスリップを検出する。垂直圧力検出手段及び剪断力検
出手段によって検出した検出値は所定の時間間隔で記憶
手段(MM)に読み込む。而して、弾性部材にスティッ
クスリップが発生し、これをスティックスリップ検出手
段(SS)が検出すると、静摩擦係数演算手段(CF)
において、記憶手段から前回の垂直圧力検出値と前回の
剪断力検出値を取り出し、後者を前者によって除算し静
摩擦係数を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は静摩擦係数検出方法及び
静摩擦係数検出装置に関し、特に検出対象物体に接触し
作用力とすべりを検出することにより、直接、静摩擦係
数を求める静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置
に係る。
【0002】
【従来の技術】従来、ロボットハンドによって把持物体
を操る場合には、静摩擦係数μを仮定して物体に加わる
外力に応じてロボットハンドの把持力を設定することと
していた。ロボットハンドに対し適切な把持力を設定す
るには、把持物体の静摩擦係数を検出し得るようにする
ことが必要となる。このため、静摩擦係数を検出するセ
ンサの開発が急務となっており、本件発明者も静摩擦係
数センサを提案している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、従来の静摩
擦係数センサにおいては、検出対象物体の表面が平坦で
均質であること等種々の制約条件が存在していた。従っ
て、静摩擦係数センサの適用範囲が狭く、また種々の表
面形状のロボットハンド等にそのまま装着し得るという
ものでもなかった。
【0004】そこで、本発明は検出対象物体の静摩擦係
数を直接検出し得る静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数
検出装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の静摩擦係数検出方法は、検出対象物体を弾
性部材に接触させると共に、該弾性部材に対し垂直方向
及び水平方向に同時に荷重を付与し、前記弾性部材に対
する垂直圧力及び剪断力を検出し、各々の検出値を所定
の時間間隔で記憶させ、前記弾性部材のスティックスリ
ップを検出したとき前記垂直圧力及び剪断力の前回の各
々の検出値を取り出し、該前回の各々の検出値に基づき
静摩擦係数を演算することとしたものである。
【0006】また、本発明の静摩擦係数検出装置は図1
に構成の概要を示したように、検出対象物体(図示せ
ず)に接触し垂直方向及び水平方向に同時に荷重が付与
される弾性部材RMと、この弾性部材RMに対する垂直
圧力を検出する垂直圧力検出手段NPと、弾性部材RM
に対する剪断力を検出する剪断力検出手段SFと、弾性
部材RMのスティックスリップを検出するスティックス
リップ検出手段SSと、垂直圧力検出手段NPの垂直圧
力検出値及び剪断力検出手段SFの剪断力検出値を所定
の時間間隔で読み込む記憶手段MMと、スティックスリ
ップ検出手段SSが弾性部材RMのスティックスリップ
を検出したとき記憶手段MMから垂直圧力検出手段NP
の前回の垂直圧力検出値と剪断力検出手段SFの前回の
剪断力検出値を取り出し、前回の剪断力検出値を前回の
垂直圧力検出値によって除算する静摩擦係数演算手段C
Fとを備えることとしたものである。
【0007】尚、上記の静摩擦係数検出装置において
は、以下に例示するように種々の態様を構成することが
できる。 (イ)前記弾性部材として、弾性高分子材料の基板及び
該基板上に所定の間隙を隔てて配置した圧力感応部材を
備え、該圧力感応部材及び前記基板の各々に配設し、前
記圧力感応部材への検出対象物体の接触に応じて間隙が
変化する一対の電極を備え、該一対の電極間の静電容量
の変化に基づき前記圧力感応部材に対し垂直方向に加わ
る垂直圧力を検出する圧覚センサ部と、該圧覚センサ部
の外側の前記基板上に貼着した複数の歪ゲージを備え、
前記基板に対し水平方向に加わる剪断力とスティックス
リップを検出するずれ覚センサ部とから成る静摩擦係数
検出装置。 (ロ)前記基板をポリイミドフィルムとし、前記圧力感
応部をシリコンゴムとする。 (ハ)前記基板上の圧覚センサ部の周囲に溝を形成し、
該溝内の、前記圧覚センサ部を中心とし相互に直交する
対称位置に夫々一対の歪ゲージを配置する。 (ニ)前記一対の電極間の静電容量の変化を周波数の変
化に変換する容量−周波数変換手段を設けると共に、前
記相互に直交する対称位置に配設した一対の歪ゲージの
夫々を含む二組のブリッジ回路を構成する。
【0008】
【作用】上記の静摩擦係数検出方法においては、先ず検
出対象物体を弾性部材に接触させ、弾性部材に対し垂直
方向及び水平方向に同時に荷重を付与し、このときの弾
性部材に対する垂直圧力及び剪断力を検出し、各検出値
を所定の時間間隔で記憶させる。そして、弾性部材のス
ティックスリップを検出したとき垂直圧力及び剪断力の
前回の各々の検出値を取り出し、これらの検出値に基づ
き剪断力を垂直圧力によって除算して静摩擦係数を求め
る。
【0009】また、図1に示すように構成された静摩擦
係数検出装置においては、弾性部材RMが検出対象物体
(図示せず)に接触し、垂直方向及び水平方向に同時に
荷重が付与されると、垂直圧力検出手段NPによって弾
性部材RMに対する垂直圧力が検出されると共に、剪断
力検出手段SFによって弾性部材RMに対する剪断力が
検出される。また、スティックスリップ検出手段SSに
よって弾性部材RMのスティックスリップが検出され
る。上記垂直圧力検出手段NP及び剪断力検出手段SF
によって検出された検出値は所定の時間間隔で記憶手段
MMに読み込まれる。そして、弾性部材RMにスティッ
クスリップが発生し、これがスティックスリップ検出手
段SSによって検出されると、静摩擦係数演算手段CF
において、記憶手段MMから前回の垂直圧力検出値と前
回の剪断力検出値が取り出され、後者が前者によって除
算され静摩擦係数μが求められる。而して、例えば出力
装置(図示せず)を介して静摩擦係数μの値が種々の形
式で表示され得る。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図2及び図3は本発明の静摩擦係数検出装置の一
実施例に係り、図2はセンサFSの構造を示すもので、
ポリイミドフィルムを基材とするベースフィルム1に圧
覚センサ部FS1及びずれ覚センサ部FS2が構成され
ている。
【0011】先ず、圧覚センサ部FS1は円板状のポリ
イミドのベースフィルム1の表面から所定区画を囲繞す
るように側壁1aが延出し円形の容器状に形成され、こ
の側壁1aによって囲繞される部分にエアギャップ2が
形成される。尚、側壁1aは、ポリイミドフィルムの表
面にまず大まかな凸形状がエンボス加工され、次に細部
の凹形状が精密にエッチング加工されて形成される。側
壁1aによって囲繞された部分の底面には、アルミニウ
ムが蒸着され下部電極3が形成されており、これに接続
される下部配線4を取り出すべく側壁1aには切欠1c
が設けられている。尚、側壁1aは、円形に限ることな
く、方形等他の形状の容器状に形成することとしてもよ
い。
【0012】そして、側壁1aに囲繞された部分を覆う
ように上部電極5が配設されている。即ち、円形平板状
のシリコンゴムの圧力感応部材8の一方の面に対し、ア
ルミニウムが蒸着されて上部電極5が形成されており、
この上部電極5が誘電体6を介して接着剤7によって側
壁1aの上部端面に接合されている。誘電体6は、下部
電極3と上部電極5が短絡するのを防止するために設け
られるもので、本実施例においてはフェノール樹脂溶液
によって形成される。接着剤7としてはシアノアクリレ
ート接着剤(瞬間接着剤)が採用されている。尚、上部
電極5に対して電気的に接続される上部配線(図示せ
ず)及び下部配線4の何れか一方が接地される。
【0013】これに対し、ずれ覚センサ部FS2は、ベ
ースフィルム1上の側壁1aの外周に溝1bが形成さ
れ、その底面に貼着された歪ゲージ11乃至14を有す
る。即ち、図3に示すように径方向に直交する対称位置
に、夫々一対の歪ゲージ11,12及び一対の歪ゲージ
13,14が配設されており、夫々Y方向及びX方向の
変位に応じて各々の抵抗R1,R2及びR3,R4が変
化するように構成されている。
【0014】上記の圧覚センサ部FS1及びずれ覚セン
サ部FS2の各出力は電子制御装置50に入力し、ここ
で入出力処理、記憶、演算が行なわれ出力装置60に出
力される。電子制御装置50は図3に示すように構成さ
れ、シュミットトリガインバータ21,22、カウンタ
23、ブリッジ回路31,41、オペアンプ32,4
2、アンプ33,43、A/Dコンバータ34,44、
バンドパスフィルタ35,45、コンパレータ36,4
6を有し、更にマイクロプロセッサ51、メモリ52、
タイマ53、インターフェース54等を内蔵しており、
インターフェース54にカウンタ23、A/Dコンバー
タ34,44及び出力装置60が接続されている。
【0015】前述のように、圧覚センサ部FS1の出力
は容量変化となるが、容量値が数pFと微小であり回路
は低損失とする必要がある。このため、図3に示すよう
にCMOSシュミットトリガインバータ21が用いられ
ている。この回路の発振パルスの周期Tは理論的に次式
のように求められる。 T=2(logVp −logVn )CR 但し、Vp はシュミットトリガの高レベルしきい値電
圧、Vn は低レベルしきい値電圧を意味し、電源電圧を
ccとしたとき(Vp +Vn =Vcc)を充足するものと
する。尚、シュミットトリガインバータ22のバッファ
を介して出力信号が取り出され伝送される。このシュミ
ットトリガインバータ22は、後段に接続されるカウン
タ23に対しその発振周期に影響が生ずることを防止す
るために設けられるものである。而して、静電容量Cに
対するパルスの周期Tは略比例し、垂直荷重(図2中矢
印Nで示す)に対する圧覚センサ部FS1の静電容量C
の特性は図5に示すようになる。
【0016】一方、ずれ覚センサ部FS2の歪ゲージ1
1乃至14の一端は接地され、他端は図3に示すように
抵抗R5乃至R8に接続され、二組のブリッジ回路3
1,41が構成されている。これらのブリッジ回路3
1,41には電源電圧Vccが印加され、その出力はオペ
アンプ32,42を介して電圧Ex,Eyとして取り出
され、これらが夫々アンプ33,43で増幅され、A/
Dコンバータ34,44でディジタル値に変換される。
即ち、電圧Ex,Eyにより、ずれ覚センサ部FS2の
ベースフィルム1に加えられた剪断力Fのx成分及びy
成分が(Fx=k・Ex)及び(Fy=k・Ey)とし
て求められる。但し、kは実験より求めた係数である。
而して、圧力感応部材8の全面に均等に垂直荷重(N)
をかけた状態で水平方向に剪断力(図2中矢印Fで示
す)を加えたときの特性は、図6に示すようになる。
【0017】また、オペアンプ32,42は夫々バンド
パスフィルタ35,45及びコンパレータ36,46に
接続されている。ここで、ブリッジ回路31,41の出
力たるオペアンプ32,42の出力電圧は、スティック
スリップ時には図7に示すような特性となる。即ち、図
7中矢印で示した部分でスティックスリップが発生した
後、オペアンプ32,42の出力電圧にはスティックス
リップに起因する10Hz程度の周波数成分を含むよう
になる。従って、オペアンプ32,42をバンドパスフ
ィルタ35,45に接続し、10Hz近傍の周波数の出
力のみが通過し得るようにすると、この帯域の出力があ
ったときにコンパレータ36,46にてスティックスリ
ップが検出される。この場合において、例えば、圧力感
応部材8に対する荷重を増大させて行く場合にはスティ
ックスリップが発生し、予め圧力感応部材8に対し大き
な荷重を付与しスリップ状態としておき、これを徐々に
減少行く場合には、スティックスリップが停止すること
になるが、何れの場合にも「スティックスリップ検出」
として処理される。
【0018】而して、電子制御装置50においては、マ
イクロプロセッサ51で実行されるプログラムに従って
静摩擦係数を求める一連の演算処理が行なわれ、出力装
置60に出力される。このプログラムは例えば図4に示
すルーチンから成り、所定の時間間隔、即ち所定の演算
周期で繰り返し実行される。尚、図4においては、初期
化等、一般的な処理は省略している。
【0019】先ず、ステップ100においてA/Dコン
バータ34,44の出力に基づきn回目の剪断力のx成
分(Fxn )とy成分(Fyn )が演算され、メモリ5
2に読み込まれる。続いて、ステップ200において、
カウンタ23の出力に基づきn回目の垂直圧力Nn が演
算され、メモリ52に読み込まれる。次に、ステップ3
00にて、コンパレータ36,46の出力に基づきステ
ィックスリップが判定される。
【0020】ステップ300においてスティックスリッ
プが検出されなければステップ100に戻り次の(n+
1)回目の読込が行なわれるが、スティックスリップが
検出されるとステップ400に進み、前回(即ち、(n
−1)回目)の剪断力のx成分(Fx(n-1) )とy成分
(Fy(n-1) )がメモリ52から取り出され、両成分を
合成する演算が行なわれ、剪断力Fが求められる。続い
て、ステップ500に進み、前回の垂直圧力N(n-1)
垂直圧力Nとされる。そして、これらの値がステップ6
00にて除算(F/N)され、静摩擦係数μが求められ
る。尚、この演算処理の時間間隔、即ち演算周期はセン
サFSの振動の周期に対して十分短い時間に設定されて
いるので、振動によるノイズを懸念する必要はない。
【0021】而して、本実施例によれば圧力感応部材8
が検出対象部材(図示せず)に接触した状態で、圧覚セ
ンサ部FS1及びずれ覚センサ部FS2によって垂直圧
力N及び剪断力Fが検出され、電子制御装置50におい
てスティックスリップが検出されたときに各検出値に基
づき静摩擦係数μが演算される。即ち、検出対象物体の
静摩擦係数μを直接検出することができる。しかも、ベ
ースフィルム1及び圧力感応部材8は、夫々弾性部材の
ポリイミド及びシリコンゴムによって形成されているの
で、例えば装着すべきロボットハンド等の支持面が曲面
の場合でも、検出精度を損なうことなく確実に装着する
ことができる。
【0022】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で以下の効果を奏する。即ち、本発明の静摩擦係数検出
方法によれば、弾性部材に対し同時に付与される垂直圧
力及び剪断力の各々の検出値を所定の時間間隔で記憶さ
せておき、弾性部材のスティックスリップを検出したと
き垂直圧力及び剪断力の前回の各々の検出値を取り出
し、これらの検出値に基づいて静摩擦係数を演算するこ
ととしているので、検出対象物体の静摩擦係数を直接、
良好な検出精度で、検出することができる。
【0023】また、本発明の静摩擦係数検出装置におい
ては、検出対象物体に接触した弾性部材のスティックス
リップが、スティックスリップ検出手段によって検出さ
れたとき、静摩擦係数演算手段により前回の垂直圧力検
出値と剪断力検出値に基づき静摩擦係数が演算されるよ
うに構成されているので、検出対象物体の静摩擦係数を
直接検出することができ、良好な検出精度を確保するこ
とができる。しかも、弾性部材は適宜屈曲させ、その状
態で静摩擦係数を検出することができるので、装着すべ
き支持面の形状に影響されることなく適切に装着するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の静摩擦係数検出装置の概要を示すブロ
ック図である。
【図2】本発明の一実施例の静摩擦係数検出装置におけ
るセンサの縦断面図である。
【図3】本発明の一実施例の静摩擦係数検出装置の構成
を示すブロック図である。
【図4】本発明の一実施例における電子制御装置の処理
を示すフローチャートである。
【図5】本発明の一実施例における圧覚センサ部の垂直
圧力に対する静電容量特性を示すグラフである。
【図6】本発明の一実施例におけるずれ覚センサ部の剪
断力に対する出力電圧特性を示すグラフである。
【図7】本発明の一実施例におけるスティックスリップ
の発生状況を示すグラフである。
【符号の説明】
1 ベースフィルム(弾性部材) 1a 底面, 1b 溝, 1c 切欠 2 エアギャップ 3 下部電極 4 下部配線 5 上部電極 6 誘電体 7 接着剤 8 圧力感応部材(弾性部材) 11〜14 歪ゲージ 21,22 シュミットトリガインバータ 31,41 ブリッジ回路 50 電子制御装置 60 出力装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今井 孝二 愛知県名古屋市天白区中平5丁目2003番地

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検出対象物体を弾性部材に接触させると
    共に、該弾性部材に対し垂直方向及び水平方向に同時に
    荷重を付与し、前記弾性部材に対する垂直圧力及び剪断
    力を検出し、各々の検出値を所定の時間間隔で記憶さ
    せ、前記弾性部材のスティックスリップを検出したとき
    前記垂直圧力及び剪断力の前回の各々の検出値を取り出
    し、該前回の各々の検出値に基づき静摩擦係数を演算す
    る静摩擦係数検出方法。
  2. 【請求項2】 検出対象物体に接触し垂直方向及び水平
    方向に同時に荷重が付与される弾性部材と、該弾性部材
    に対する垂直圧力を検出する垂直圧力検出手段と、前記
    弾性部材に対する剪断力を検出する剪断力検出手段と、
    前記弾性部材のスティックスリップを検出するスティッ
    クスリップ検出手段と、前記垂直圧力検出手段の垂直圧
    力検出値及び前記剪断力検出手段の剪断力検出値を所定
    の時間間隔で読み込む記憶手段と、前記スティックスリ
    ップ検出手段が前記弾性部材のスティックスリップを検
    出したとき前記記憶手段から前記垂直圧力検出手段の前
    回の垂直圧力検出値と前記剪断力検出手段の前回の剪断
    力検出値を取り出し、前回の剪断力検出値を前回の垂直
    圧力検出値によって除算する静摩擦係数演算手段とを備
    えたことを特徴とする静摩擦係数検出装置。
JP31647292A 1992-10-29 1992-10-29 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置 Pending JPH06138019A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31647292A JPH06138019A (ja) 1992-10-29 1992-10-29 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31647292A JPH06138019A (ja) 1992-10-29 1992-10-29 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06138019A true JPH06138019A (ja) 1994-05-20

Family

ID=18077480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31647292A Pending JPH06138019A (ja) 1992-10-29 1992-10-29 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06138019A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1047313A (ja) * 1996-05-31 1998-02-17 Yamatake Honeywell Co Ltd スティックスリップ検出方法および検出装置
US5859357A (en) * 1995-12-25 1999-01-12 Fujitsu Limited Apparatus for measuring friction force between a magnetic head and a magnetic disk
JP2002365122A (ja) * 2001-06-06 2002-12-18 Eiji Hayashi 計量装置及びこれを備えた自動調理機並びにロボットハンド
JP2008188697A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Toyota Industries Corp ロボットハンド
KR100959958B1 (ko) * 2002-03-13 2010-05-27 다이프라 윈테스 가부시기가이샤 도막부착강도·전단강도 측정장치
CN101832901A (zh) * 2010-05-21 2010-09-15 西安交通大学 一种接触式摩擦界面粘滑特性在线检测装置
JP2017129586A (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 国立大学法人 東京大学 センサ、測定装置、及び歩行ロボット
JPWO2021066122A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08
JP2024175069A (ja) * 2020-04-14 2024-12-17 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 皮膚処置システム

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5859357A (en) * 1995-12-25 1999-01-12 Fujitsu Limited Apparatus for measuring friction force between a magnetic head and a magnetic disk
JPH1047313A (ja) * 1996-05-31 1998-02-17 Yamatake Honeywell Co Ltd スティックスリップ検出方法および検出装置
JP2002365122A (ja) * 2001-06-06 2002-12-18 Eiji Hayashi 計量装置及びこれを備えた自動調理機並びにロボットハンド
KR100959958B1 (ko) * 2002-03-13 2010-05-27 다이프라 윈테스 가부시기가이샤 도막부착강도·전단강도 측정장치
JP2008188697A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Toyota Industries Corp ロボットハンド
CN101832901A (zh) * 2010-05-21 2010-09-15 西安交通大学 一种接触式摩擦界面粘滑特性在线检测装置
JP2017129586A (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 国立大学法人 東京大学 センサ、測定装置、及び歩行ロボット
JPWO2021066122A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08
US12426981B2 (en) 2019-10-04 2025-09-30 National University Corporation Kagawa University Grip tool, grip system, slip detection device, slip detection program, and slip detection method
JP2024175069A (ja) * 2020-04-14 2024-12-17 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 皮膚処置システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3416887B2 (ja) 結合力変換器および温度センサ
JPH06138019A (ja) 静摩擦係数検出方法及び静摩擦係数検出装置
JP2004093552A (ja) 加速度検出装置
JPH0682469A (ja) 加速度計
JP2010286371A (ja) 物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法
JPH01189583A (ja) 振動子を利用した触覚センサー
JPH02297107A (ja) 指定可能なキーを備えたキーボード
JPH0582536B2 (ja)
JPH05119060A (ja) 加速度センサ
US5922954A (en) Vibration gyroscope and method for adjusting vibration-gyroscope characteristics
JPH0830716B2 (ja) 半導体加速度検出装置
JPH02256278A (ja) 半導体圧力センサ
JPS6033056A (ja) 加速度検出方法
JP3129022B2 (ja) 加速度センサ
JP3033451B2 (ja) トルク検出装置
JP3191404B2 (ja) 圧電振動子の温度検知方法
JP5626502B2 (ja) 応力検出装置
JP2003287468A (ja) 静電容量式センサ
JPH03179273A (ja) 表面電位測定装置
JPS6394128A (ja) 音又型圧電センサ
JP5765544B2 (ja) 物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法
JPH10339739A (ja) 慣性センサ
JPS58218625A (ja) 力測定装置
JPS638565A (ja) 半導体加速度検出装置
JPH10160603A (ja) 差圧検出器