JPH06138113A - ガスクロマトグラフ分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料ガスの漏洩や、酸素及び／叉は水分の混
入を防止する事が出来るガスクロマトグラフ分析装置の
提供。 【構成】 分析するべき試料ガス（Ｇ）が通過する系統
と、キャリヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマ
トグラフ分析装置（２０）において、前記２系統を密閉
ケース（２６）で包囲し、該ケース（２６）内の雰囲気
をパージガスにより置換するためのパージ機構（２８、
３０）を備えている。また、キャリヤーガスが通過する
系統から分岐系統を分岐する分岐機構（２２）と、分岐
系統を試料ガス（Ｇ）が通過する系統に接続する接続機
構（２４）とを含んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はガスの検出に関し、より
詳細には、ガスクロマトグラフ分析装置の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造プロセスにおいて
は、材料ガスとしてアルシン、ホスフィン、シラン等の
毒性ガスを使用している。これらのガスはバランスガス
と呼ばれる窒素、アルゴン、水素等で所定の濃度に希釈
されて使用されるケース、数種の材料ガスを混合させて
使用されるケースも多い。そのため、材料ガスとバラン
スの混合率の管理、確認が重要である。また、シランガ
スなどの材料ガスは酸素、水分などとの反応性が高いた
め、空気などの汚染物質の混入防止が大切である。その
ため、インライン・ガスの分析が必要となる訳である。

【０００３】しかし、その様な材料ガスを分析する検知
器は定電位電解式のセンサを用いるタイプのものが多
い。そのため、検知対象外のガスに対しても反応する事
があり、また、１００ｐｐｍ以上の濃度のガスは測定で
きない。

【０００４】これに対して、複数の化合物の分別が可能
で、且つ、高濃度のガスも分析できるというガスクロマ
トグラフィーの基本原理に着目した装置が提案されてお
り、図３、４はその様な従来のガスクロマトグラフ装置
を示している。分析すべき試料ガス（図３、４では矢印
Ｇで示されている）は供給ライン（入り口ライン）ＩＬ
より導入され、電磁弁１、試料ガス注入装置２、入り側
ジョイント３を介して試料極カラム４に供給される。そ
して、カラム４にて試料ガスは分離され、出側ジョイン
ト５を介して検出器６に送られる。検出器６では含有さ
れるガスに対応して電気的な変化を生じ、該電気的な変
化は記録計８で記録されて、ガス濃度が測定される。そ
の後、排出ラインＯＬからガスクロマトグラフ装置外へ
排出される。以上の一連の処理が、試料ガスが通過する
系統において行われる。

【０００５】キャリヤーガスが通過する系統は次の通り
である。すなわち、キャリヤーガスはキャリヤーガスボ
ンベ９を供給源とし、減圧弁１０、乾燥剤が充填された
乾燥剤容器１１を介して、三方ジョイント１２へ送られ
る。ここで、図示はされていないが、三方ジョイント１
２に至るまでの配管系には、多数の継手（ジョイント）
が設けられている。

【０００６】試料極カラム４等を通過させるキャリヤー
ガスは、三方ジョイント１２を通過し入り側ジョイント
３の方へ送られ、カラム４、出側ジョイント５、検出器
６を介して排出ラインＯＬからガスクロマトグラフ装置
外へ排出される。一方、対照極カラム１５等を通過する
キャリヤーガスは三方ジョイント１２から入り側ジョイ
ント１４、対照極カラム１５、出側ジョイント１６、検
出器６を介して、対照極カラム用の排出ラインＲＯＬか
ら排出される。図３、４において、三方ジョイント１２
の下流側で試料極カラム４を含むライン（試料極側ライ
ン）は符号ＧＬで示し、対照極側カラム１５を含むライ
ン（対照極側ライン）は符号ＲＬで示してある。なお、
図３において符号１８は恒温槽、符号１９は電源を示し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この種の材料ガスの分
析で最も注意しなければならない事は、その毒性、反応
性（空気と接触するだけで燃え出すものもある）が強い
事から、低濃度の材料ガスでも、除害措置を施さない状
態では決して放出しない事、材料ガスを配管に導入する
際に、或いは配管を取り外す際には、配管内を完全に真
空にするか或いは不活性ガスで置換し、材料ガスと空気
とは決して接触させない事、分析が行われる事により組
成の変化したガスや或いは汚染されたガスを、製造ライ
ン等の供給源には決して逆流させない事、真空ポンプで
高濃度の材料ガスを吸引すると真空ポンプが汚染されて
開放時に危険をもたらすので、残留したガスについて
は、不活性ガス注入による加圧、除外措置側への排出を
繰り返し、材料ガス濃度を十分に低下させた後に吸引し
なければならない事、を厳守しなければならない。

【０００８】しかし、図３、４に関連して説明したガス
クロマトグラフ装置を用いた場合には、キャリヤーガス
が通過する配管及びカラム（分離管）に用いられている
ジョイント部分や、試料ガスの注入口等から、試料ガス
すなわち毒性ガスが大気中に漏洩する可能性が存在す
る。

【０００９】また、キャリヤーガスが通過する配管及び
カラム（分離管）に用いられているジョイント部分や、
試料ガスの注入口等から、大気中の酸素や水分がキャリ
ヤーガス中に（微量に）混入するという問題も存在す
る。すなわち、試料ガス中に包含されるモノシランの様
な酸素や水分との反応性の高い化合物は、配管内に混入
した酸素や水分と反応してしまう。その結果、例えばモ
ノシランの場合にはＳｉＯ2 の様な化合物を生成し、生
成された化合物が配管の一部に蓄積され、やがては配管
を閉塞してしまうのである。更に、配管内で反応が起こ
る事によって、定量分析が不可能になると言う問題も生
じる。

【００１０】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、ジョイント部分や注入口からの試
料ガスの漏洩や、酸素及び／叉は水分の混入を防止する
事が出来るガスクロマトグラフ分析装置の提供を目的と
している。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のガスクロマトグ
ラフ分析装置は、分析するべき試料ガスが通過する系統
と、キャリヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマ
トグラフ分析装置において、前記２系統を密閉ケースで
包囲し、該ケース内の雰囲気をパージガスにより置換す
るためのパージ機構を備えている。

【００１２】ここで、パージガスとしては不活性ガスや
キャリヤーガス等が利用できる。そして、キャリヤーガ
スとしてはヘリウムやアルゴン等の不活性ガスを用いる
事が好ましい。

【００１３】また、本発明のガスクロマトグラフ分析装
置は、分析するべき試料ガスが通過する系統と、キャリ
ヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマトグラフ分
析装置において、キャリヤーガスが通過する系統から分
岐系統を分岐する分岐機構と、分岐系統を試料ガスが通
過する系統に接続する接続機構とを含んでいる。

【００１４】更に、本発明のガスクロマトグラフ分析装
置は、分析するべき試料ガスが通過する系統と、キャリ
ヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマトグラフ分
析装置において、前記２系統を密閉ケースで包囲し、該
ケース内の雰囲気をパージガスにより置換するためのパ
ージ機構と、キャリヤーガスが通過する系統から分岐系
統を分岐する分岐機構と、分岐系統を試料ガスが通過す
る系統に接続する接続機構とを含んでいる。

【００１５】

【作用】上記した様な構成を具備する本発明のガスクロ
マトグラフ分析装置によれば、分析するべき試料ガスが
通過する系統及びキャリヤーガスが通過する系統を密閉
ケースで包囲し、該ケース内の雰囲気をパージ機構によ
り置換する様に構成されているので、仮に、キャリヤー
ガスが通過する配管及びカラム（分離管）に用いられて
いるジョイント部分や試料ガスの注入口等から、試料ガ
スすなわち毒性ガスが漏洩したとしても、密閉ケースに
より包囲されているので大気中に拡散してしまう恐れは
無い。そして、該ケース内は不活性ガス等のパージガス
が供給され、不必要な酸素や水分をパージするように機
能している。そして、ジョイント部分や試料ガス注入口
から不活性ガスが系内に混合しても、試料ガス等と反応
する事は無いので、反応生成物による配管の閉塞の恐れ
もない。

【００１６】また、本発明のガスクロマトグラフ分析装
置では、分岐機構及び接続機構によりジョイント部分等
をほとんど経由せずにキャリヤーガスをキャリヤーガス
供給源から試料ガスの分析を行う部分に導入する事が出
来、また、試料ガスが通過する系統に導入されたキャリ
ヤーガスの分析を行う事もできる。つまり、試料ガスが
通過する系統内を流れるキャリヤーガスとキャリヤーガ
ス供給源からキャリヤーガスが通過する系統内を流れる
キャリヤーガスとが同時に分析機構に導入されるので、
分析結果から、キャリヤーガスが通過する系統における
ジョイント部分等から何等かの不純物、例えば酸素や水
分等、が混入したか否かが判定されるのである。

【００１７】ここで、分岐機構及び接続機構により試料
ガスが通過する系統内にキャリヤーガスを流すことがで
きるので、試料ガスが通過する系統内に残留した試料ガ
スをキャリヤーガスでパージすることができるのであ
る。また、試料ガスが通過する系統内を流れるキャリヤ
ーガスとキャリヤーガス供給源からキャリヤーガスが通
過する系統内を流れるキャリヤーガスとが同時に分析機
構に導入されるので、分析結果から、試料ガスが通過す
る系統内のパージが十分なされているかあるいは試料ガ
スが通過する系統内におけるジョイント部からの不純物
例えば酸素や水分等が混入したか否かが判定されるので
ある。

【００１８】この様に、本発明によれば、試料ガスがガ
スクロマトグラフ分析装置外に漏洩して外部環境を汚染
する事や、装置内に侵入した酸素や水分等と反応して配
管閉塞の原因となる化合物を生成する恐れが防止され
る。また、キャリヤーガスあるいは試料ガスを供給する
系統等に酸素や水分が侵入・混合しても、あるいは、試
料ガスを供給する系統等にパージしきれなかった試料ガ
スが残留しても、その旨を判断できる。更に、試料ガス
が系統内に残留していても、その系統内にキャリヤーガ
スを流す事により残留した試料ガスを容易にパージする
事が出来るのである。

【００１９】なお、上記パージ機構において、ケース内
部を置換してケース外に排出されたパージガスは、仮に
試料である毒性ガスを含有していたとしても、ケース内
は常時置換されて環境を汚染しないレベルまで希釈され
ているので、そのまま系外に排出しても問題は無い。し
かし、より好ましい態様として、パージされた気体中に
含有される有毒成分を処理するための機構をパージ機構
の排出系に設ければ良い。

【００２０】

【実施例】次に、図１、２を参照して本発明の実施例を
説明する。

【００２１】図１、２は本発明の１実施例を示してい
る。但し、図３、４と共通する部材には同一の符号を付
してある。図１、２に示すガスクロマトグラフ分析装置
２０は、減圧弁１０と乾燥剤容器１１との間に三方ジョ
イント２２を介装してあり、キャリヤーガスボンベ９か
らの配管は三方ジョイント２２から試料ガス供給ライン
ＩＬに介装された三方コック２４に分岐している。

【００２２】また、図１において符号２６（点線）で示
すパージケースにより配管系の大部分（特に多数の継ぎ
手或いはジョイントが配置されている乾燥剤容器１１か
ら三方ジョイント１２に亘る部分も含む）が包囲されて
いる。パージケース２６の内部には、パージガス供給口
２８から不活性ガス（パージガス）が導入される。一
方、既にパージケース２６内に存在する不活性ガスは排
出口３０から外部へ送出され、パージガスの置換が行わ
れる。なお、図１では明確に図示されていないが、排出
口３０の下流側に毒性ガス処理機構を設け、有毒成分の
漏洩が発生しても環境汚染が為されないように構成する
事が出来る。ここで、図１では不活性ガスがケース内を
常時置換しているが、不活性ガスの供給及び排出は一定
時間のみとし、通常時にはパージケース２６内に不活性
ガスが充填されているだけにしても良い。

【００２３】明確には図示されていないが、乾燥剤容器
１１から三方ジョイント１２に至る配管部分には、流量
調整のために圧力ゲージ、流量計等の機器が設けられて
いる。そして、これらの機器と配管とを接続するため
に、ジョイント部分が数多く設けられているのである。

【００２４】なお図１において、符号３２は排出ライン
ＯＬ−２に介装された電磁弁を示している。

【００２５】次に、図１、２で示す実施例の作用につい
て説明する。

【００２６】試料ガスの分析の態様は、図３、４を参照
して前述したのと同様である。この場合、三方コック２
４は試料ガスＧを試料ガス注入装置２側へ通過せしめ
る。ここで、試料ガスＧが流れる配管系を含む各種機器
はパージケース２６により完全に包囲されているので、
仮に配管系の一部から試料ガスＧが漏洩しても、分析装
置２０の外部に漏出する恐れは無い。また、パージケー
ス２６内には不活性ガス等のパージガスが充満している
ため、仮に配管系内にパージガスが侵入したとしても、
試料ガスＧ等と化学反応を起こしてＳｉＯ2 等の化合物
を生成してしまう事は無く、配管を閉塞する事もない。

【００２７】更に、図１、２の実施例によれば、配管系
に外部からの酸素や水分等が侵入した場合に、それを検
出する事が可能である。その様な検出に際しては、減圧
弁１０を出た直後のキャリヤーガスを三方ジョイント２
２で分岐して、三方コック２４、試料ガス注入装置２を
介して試料極側ラインＧＬに導入し、試料極カラム４で
分離して、検出器６で分析する。そして、分析結果を記
録計８に入力する。

【００２８】ここで、キャリヤーガス供給ボンベ９から
入り側ジョイント３に至る配管系に酸素や水分等不純物
が混入していなければ、対称極カラム１５に導入された
キャリヤーガスの分析結果（記録計８に入力済み）のク
ロマトグラム上には波形が表れない。しかし、酸素や水
分等が配管系に混入していれば、クロマトグラム上に波
形が表れるはずである。従って、図示しない判断機構に
おいて、上述の分析結果を基に、キャリヤーガス供給ボ
ンベ９から入り側ジョイント３に至る配管内に酸素や水
分、その他の不純物が混合しているか否かが判断でき
る。また、試料ガスが通過する系統内を流れるキャリヤ
ーガスとキャリヤーガス供給源からキャリヤーガスが通
過する系統内を流れるキャリヤーガスとが同時に分析機
構に導入されるので、分析結果から、試料ガスが通過す
る系統内のパージが十分なされているかあるいは試料ガ
スが通過する系統内におけるジョイント部からの不純物
例えば酸素や水分等が混入したか否かが判定されるので
ある。

【００２９】次に、図５、６を参照して、図１の実施例
と好適に組み合わせられる希釈器について説明する。

【００３０】図１で説明した実施例において、供給ライ
ンＩＬには半導体製造用のガスがそのまま送られてくる
場合もあるが、多くの場合は所定の倍率で希釈した状態
でガスクロマトグラフ分析装置２０へ供給される。その
様な、希釈した状態で分析装置２０へ試料ガスＧが供給
される態様が、図５に示されている。図５において、半
導体製造設備等の様な、分析すべきガスを大量に発生す
る原料ガス発生源が符号Ｓで示されている。そして、原
料ガス発生源Ｓから発生したガスＯＧは、元弁３８、ラ
イン３９を介して希釈器４０へ送られる。ここで、希釈
器４０側へ送られなかったガスＯＧは、パージ弁４２、
ライン４４を経て処理機構４６に供給されて、除害処理
が為される。

【００３１】希釈器４０において、後述する態様で希釈
処理が為され、試料ガスＧとして供給ラインＩＬを介し
てガスクロマトグラフ分析装置２０へ供給される。ここ
で、符号４８は計装エア源、５０は不活性ガス源、５２
は真空引き用の真空ポンプを示している。なお、試料ガ
スＧとして分析装置２０へ供給されなかったガスは、ラ
イン５４を介して処理機構４６に送られ、前述と同様に
除害処理が為される。

【００３２】分析装置２０で分析された試料ガスＧ及び
試料ガス注入装置２（図１）のパージに用いられた不要
な試料ガスＧは、排出ラインＯＬ、ＯＬ−２（図１参
照：なお、図５では１本のラインにまとめて表現してあ
る）を介して処理機構４６に送られ、除害処理が為され
る。

【００３３】次に図６を参照して、希釈器４０について
説明する。希釈を行う前の段階では、原料ガス遮断弁Ａ
Ｖ−６、ＡＶ１−Ａ、原料ガス注入流量調整弁ＰＣＶ−
１、原料ガス注入弁ＡＶ１−Ｂ、ベント弁ＡＶ−３、真
空計保護弁ＡＶ−４、真空吸引弁ＡＶ−５、不活性ガス
注入流量調整弁ＰＣＶ−２、不活性ガス注入弁ＡＶ２−
Ａ、試料ガス供給弁ＡＶ２−Ｂ、試料ガス減圧弁ＲＥＧ
−１、試料ガス供給弁ＭＶ−３は全て閉鎖している。こ
れに対して、原料ガス導入弁ＭＶ−１、不活性ガス導入
弁ＭＶ−２は常開である。なお、図６において、符号Ｃ
Ｖ−１はベント逆止弁、ＰＧ−１は原料ガス圧力表示
器、ＰＴ−１及びＰＴ−２は圧力変換器、ＰＧ−２は不
活性ガス圧力表示器、ＣＶ−２は不活性ガス逆止弁、Ｒ
ＥＧ−２は計装エア減圧弁、ＰＧ−３は計装エア圧力表
示器、ＳＬはシリンダ（図６においては例えば容量５０
０ＣＣ）、を示している。

【００３４】この状態で、真空計保護弁ＡＶ−４及び真
空吸引弁ＡＶ−５を開放し、真空ポンプ５２を作動させ
て、シリンダＳＬ内の真空吸引を行う。そして、原料ガ
ス注入弁ＡＶ１−Ｂ、原料ガス遮断弁ＡＶ１−Ａ、ＡＶ
−６、原料ガス注入流量調整弁ＰＣＶ−１を開放し、シ
リンダーＳＬ内を０．１Ｔｏｒｒまで減圧する。その
後、この段階で開放した弁のうち、真空計保護弁ＡＶ−
４以外の弁を再び閉鎖する。そして、設定圧まで原料ガ
スを注入する。

【００３５】設定圧まで原料ガスを注入する際には、原
料ガス注入弁ＡＶ１−Ｂ、原料ガス遮断弁ＡＶ１−Ａ、
ＡＶ−６を開放し、原料ガス注入流量調整弁ＰＣＶ−１
を絞りつつ原料ガスを注入する。そして、圧力変換器Ｐ
Ｔ−１の出力をチェックして、設定圧力ＰSOURCEに近づ
くと共に原料ガス注入流量調整弁ＰＣＶ−１の開度を絞
っていく。そして、設定圧力ＰSOURCEに到達した時点
で、調整弁ＰＣＶ−１、弁ＡＶ−６、ＡＶ１−Ａ、ＡＶ
１−Ｂを閉鎖する。なお、調整弁ＰＣＶ−１の開度の制
御方式は、例えばＰＩＤ制御方式による。

【００３６】次に、不活性ガスをシリンダＳＬに注入す
る。その際には、先ず、弁ＡＶ２−Ａ、調整弁ＰＣＶ−
２を開放し、圧力変換器ＰＴ−２の出力をチェックしつ
つ、調整弁ＰＣＶ−２の開度を絞っていく。ここで、調
整弁ＰＣＶ−２の開度の制御方式は、例えばＰＩＤ制御
方式による。そして、シリンダＳＬに注入された不活性
ガスが設定圧力ＰN2に達した時点で、調整弁ＰＣＶ−
２、弁ＡＶ２−Ａを閉鎖する。これにより、原料ガスは
ＰN2／ＰSOURCE倍の希釈が行われ、適正に希釈された試
料ガス（図１−５の符号Ｇ）となる。

【００３７】つぎに、供給ラインＩＬを介してガスクロ
マトグラフ分析装置２０に試料ガスＧを供給する。この
際には、弁ＡＶ２−Ｂ、ＭＶ−３は開放され、試料ガス
減圧弁ＲＥＧ−１は所定の供給圧に設定する。

【００３８】なお、希釈されないガスについては、弁Ａ
Ｖ−３、ＣＶ−１を介してライン５４に排出する。

【００３９】

【発明の効果】本発明の作用効果を以下に列挙する。

【００４０】（１） 試料ガス（毒性ガス）が漏洩した
としても、密閉ケース（パージケース）により包囲され
ているので大気中に拡散してしまう恐れは無く、環境汚
染を惹起する恐れも無い。

【００４１】（２） 密閉ケース（パージケース）内は
不活性ガス等のパージガスが供給され、不必要な酸素や
水分をパージするように機能しており、且つ、不活性ガ
スが系内に混合しても、試料ガス等と反応せず、化合物
生成による配管の閉塞の恐れもない。

【００４２】（３） ジョイント部分等をほとんど経由
せずに供給されたキャリヤーガスの分析を行う事が出来
るので、分析結果を基に、ジョイント部分等から水分や
酸素が侵入・混合しているのか否かが判定できる。ま
た、試料ガスが通過する系統内に残留した試料ガスをキ
ャリヤーガスでパージし、パージが十分なされているか
否かが判定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例を示すブロック図。

【図２】図１の構成を更に簡略化して示すブロック図。

【図３】従来のガスクロマトグラフ分析装置を示すブロ
ック図。

【図４】図３で示す従来のガスクロマトグラフ分析装置
の構成を簡略化して示すブロック図。

【図５】ガスクロマトグラフ分析装置と希釈器との接続
態様を示すブロック図。

【図６】図５で示す希釈器の詳細を説明するブロック
図。

【符号の説明】

Ｇ・・・試料ガス ＩＬ・・・供給ライン １・・・電磁弁 ２・・・試料ガス注入装置 ３・・・入り側ジョイント ４・・・試料極カラム ５・・・出側ジョイント ６・・・検出器 ８・・・記録計 ＯＬ、ＲＯＬ、ＯＬ−２・・・排出ライン ９・・・キャリヤーガスボンベ １０・・・減圧弁 １１・・・乾燥剤容器 １２、２２・・・三方ジョイント １４・・・入り側ジョイント １５・・・対照極カラム １６・・・出側ジョイント ＧＬ・・・試料極側ライン ＲＬ・・・対照極側ライン １８・・・恒温槽 １９・・・電源 ２０・・・ガスクロマトグラフ分析装置 ２４・・・三方コック ２６・・・パージケース ２８・・・パージガス供給口 ３０・・・排出口 ３２・・・電磁弁 Ｓ・・・原料ガス発生源 ＯＧ・・・原料ガス発生源から発生したガス ３８・・・元弁 ３９・・・ライン ４０・・・希釈器 ４２・・・パージ弁 ４４、５４・・・ライン ４６・・・処理機構 ４８・・・計装エア源 ５０・・・不活性ガス源 ５２・・・真空引き用の真空ポンプ ＡＶ１−Ａ、ＡＶ−６・・・原料ガス遮断弁 ＰＣＶ−１・・・原料ガス注入流量調整弁 ＡＶ１−Ｂ・・・原料ガス注入弁 ＡＶ−３・・・ベント弁 ＡＶ−４・・・真空計保護弁 ＡＶ−５・・・真空吸引弁 ＰＣＶ−２・・・不活性ガス注入流量調整弁 ＡＶ２−Ａ・・・不活性ガス注入弁 ＡＶ２−Ｂ・・・試料ガス供給弁 ＲＥＧ−１・・・試料ガス減圧弁 ＭＶ−３・・・試料ガス供給弁 ＭＶ−１・・・原料ガス導入弁 ＭＶ−２・・・不活性ガス導入弁 ＣＶ−１・・・ベント逆止弁 ＰＧ−１・・・原料ガス圧力表示器 ＰＴ−１、ＰＴ−２・・・圧力変換器 ＰＧ−２・・・不活性ガス圧力表示器 ＣＶ−２・・・不活性ガス逆止弁 ＲＥＧ−２・・・計装エア減圧弁 ＰＧ−３・・・計装エア圧力表示器 ＳＬ・・・シリンダ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分析するべき試料ガスが通過する系統
   と、キャリヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマ
   トグラフ分析装置において、前記２系統を密閉ケースで
   包囲し、該ケース内の雰囲気をパージガスにより置換す
   るためのパージ機構を備えた事を特徴とするガスクロマ
   トグラフ分析装置。
2. 【請求項２】 分析するべき試料ガスが通過する系統
   と、キャリヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマ
   トグラフ分析装置において、キャリヤーガスが通過する
   系統から分岐系統を分岐する分岐機構と、分岐系統を試
   料ガスが通過する系統に接続する接続機構とを含むこと
   を特徴とするガスクロマトグラフ分析装置。
3. 【請求項３】 分析するべき試料ガスが通過する系統
   と、キャリヤーガスが通過する系統とを含むガスクロマ
   トグラフ分析装置において、前記２系統を密閉ケースで
   包囲し、該ケース内の雰囲気をパージガスにより置換す
   るためのパージ機構と、キャリヤーガスが通過する系統
   から分岐系統を分岐する分岐機構と、分岐系統を試料ガ
   スが通過する系統に接続する接続機構とを含むことを特
   徴とするガスクロマトグラフ分析装置。