JPH06140369A - 有機物除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 供給したオゾンを有機物の酸化除去のために
有効に使用することのできる有機物除去装置を提供する
ことを目的としている。 【構成】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに付着
したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機物除
去装置であって、前記ワークの周縁部から外側に広がる
枠部（平面部）９２を有するワークホルダ９０を設けた
構成になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばＴＦＴ、半導
体等を製造する際のレジストプロセスにおいて不要とな
ったフォトレジスト等の有機物を除去する有機物除去装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の有機物除去装置としては、例え
ばＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏ
ｒ）や半導体等を製造する工程で、フォトレジスト（有
機物）が付着した基板（ワーク）に、オゾン（Ｏ₃ ）を
吹き付けることによって、上記フォトレジストを酸化除
去するものが知られている。オゾンの吹き付けは、密閉
された処理室内で行われるようになっており、オゾンに
より、フォトレジストが効率よく酸化除去できるように
なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
有機物除去装置においては、基板に直接当たらないオゾ
ンは、処理室内を循環するものの、基板の部分を通り過
ぎてしまうため、基板近くのオゾン濃度を向上する上で
はあまり役に立っておらず、供給したオゾンを有効に使
用していないという問題が判明した。

【０００４】この発明は上述した問題を解決するためな
されたもので、その目的は、供給したオゾンを有機物の
酸化除去のために有効に使用することのできる有機物除
去装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、ワークにオゾンを吹き付けて、ワーク
に付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有
機物除去装置であって、前記ワークの周縁部から外側に
広がる枠部を有するワークホルダを設けたことを特徴と
している。

【０００６】そして、上記有機物除去装置は、ワークホ
ルダを搬送する搬送手段と、この搬送手段によってワー
クホルダと共に搬送されてきたワークを加熱する加熱ヒ
ータと、この加熱ヒータで加熱されたワークにオゾンを
吹き付けるノズルとを具備していることが好ましい。

【０００７】一方、この発明は、ワークにオゾンを吹き
付けて、ワークに付着したフォトレジスト等の有機物を
酸化除去する有機物除去装置であって、ワークを搬送す
る搬送手段と、前記ワークを加熱する加熱ヒータと、こ
の加熱ヒータで加熱されたワークにオゾンを吹き付ける
ノズルとを具備し、前記加熱ヒータは、その加熱面が前
記搬送手段の搬送面に近接するように設けられているこ
とを特徴としている。

【０００８】さらに、この発明は、ワークにオゾンを吹
き付けて、ワークに付着したフォトレジスト等の有機物
を酸化除去する有機物除去装置であって、ワークを搬送
する搬送手段と、前記ワークを加熱する加熱ヒータと、
この加熱ヒータの加熱面を覆い、加熱面からの熱によっ
て高温になる熱伝達カバーと、この熱伝達カバーで加熱
されたワークにオゾンを吹き付けるノズルとを具備し、
前記熱伝達カバーは、前記搬送手段の搬送面に近接する
ように設けられていることを特徴としている。

【０００９】さらにまた、この発明は、ワークにオゾン
を吹き付けて、ワークに付着したフォトレジスト等の有
機物を酸化除去する有機物除去装置であって、ワークを
搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱する加熱ヒータ
と、この加熱ヒータの加熱面に密着するように設けられ
た熱伝達ブロックと、この熱伝達ブロックで加熱された
ワークにオゾンを吹き付けるノズルとを具備し、前記熱
伝達ブロックは、前記加熱面に密着する面と反対側の放
熱面が前記搬送手段の搬送面に近接するように設けられ
ていることを特徴としている。

【００１０】そして、上記の各有機物除去装置は、ノズ
ルからオゾンが吹き付けられているワークに紫外線を照
射する紫外線照射手段を設けることが好ましい。

【００１１】また、ワークに紫外線を照射する紫外線照
射手段を有するものにあっては、熱伝達カバーを、紫外
線照射手段から紫外線が照射される加熱ヒータの部分に
設けることが好ましい。

【００１２】さらに、この発明は、ワークにオゾンを吹
き付けて、ワークに付着したフォトレジスト等の有機物
を酸化除去する有機物除去装置であって、前記ワークを
搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱する加熱ヒータ
と、この加熱ヒータで加熱されたワークにオゾンを吹き
付けるノズルとを具備してなり、前記ノズルは、前記搬
送手段の搬送方向の手前側からワークにオゾンを吹き付
ける第１のノズルと、搬送方向の向こう側からワークに
オゾンを吹き付ける第２のノズルとにより構成されてい
ることを特徴としている。

【００１３】また、上記各ノズルは、前記搬送手段の搬
送方向からワークにオゾンを吹き付ける第１のノズル
と、反搬送方向からワークにオゾンを吹き付ける第２の
ノズルとにより構成することが好ましい。

【００１４】そして、第１のノズル及び第２のノズルの
間に、ワークに紫外線を照射する紫外線照射手段を設け
ることが好ましい。

【００１５】

【作用】上記のように構成された有機物除去装置におい
て、ワークホルダを有するものは、ワークの外側に吹き
付けたオゾンがワークホルダの枠部に当たって、ワーク
の回りに滞留するようになる。このため、ワーク及びそ
の周囲でオゾンの濃度が上昇して、ワーク上の有機物が
効率良く酸化除去される。すなわち、供給したオゾンを
有機物の酸化除去のために有効に使用することができ
る。

【００１６】また、ワークを搬送する搬送手段を有する
ものにあっては、オゾンの噴出する中をワークが通過す
ることになる。この場合、ワークの先端部はオゾンが直
接噴出する中に入るまでオゾンが当たらないが、ワーク
の後端側はワークの先端部がオゾンの噴出中に入ればワ
ークに沿って流れるオゾンによって覆われることにな
る。このため、ワークの先端部は、オゾンにさらされる
時間が後端側に比べて短くなり、有機物の酸化除去不足
となる傾向がある。ところが、この発明のようにワーク
の周縁部から外側に広がる枠部を有するワークホルダを
設け、このワークホルダを搬送するようにした場合に
は、ワークホルダがオゾン噴出中に入れば、ワークがオ
ゾン噴出中に入らなくても、オゾンがワークホルダの枠
部に沿ってワークに流れてくる。このため、ワークの先
端部にも十分オゾンを当てることができ、ワーク先端部
の有機物の酸化除去不足の改善を図ることができる。す
なわち、ワーク上の有機物を均一に酸化除去することが
できる。

【００１７】一方、加熱ヒータをワークの搬送面に接近
させたものは、ワークの外側に吹き付けたオゾンが同ワ
ークを通り過ぎるが、その直後で、加熱ヒータに当たり
ワークの回りに滞留するようになる。このため、ワーク
及びその周囲でオゾン濃度が上昇して、ワーク上の有機
物が効率良く酸化除去される。すなわち、供給したオゾ
ンを有機物の酸化除去のために有効に使用することがで
きる。しかも、加熱ヒータに当たって滞留するオゾンの
中をワークが移動するので、ワークの先端部にも十分オ
ゾンを当てることができ、ワーク先端部の有機物の酸化
除去不足の改善を図ることができる。

【００１８】さらに、熱伝達カバーや熱伝達ブロックを
搬送手段の搬送面に近接させたものも、上記と同様の作
用を呈する。

【００１９】また、オゾンが吹き付けられているワーク
に紫外線を照射する紫外線照射手段を設け、紫外線が照
射される加熱ヒータの部分に熱伝達カバーを設けたもの
にあっては、熱伝達カバーのない部分でワークを十分加
熱することができる。そして、紫外線照射手段を有する
部分ではワークが高温になり過ぎるのを防止することが
できる。つまり、紫外線照射手段を有する部分では、紫
外線照射手段からの熱も加わるため、ワークが高温にな
る傾向にあるが、熱伝達カバーが加熱ヒータからの熱を
ある程度遮るので、ワークが高温になり過ぎるのを防止
することができる。

【００２０】さらに、第１のノズルと第２のノズルを設
けたものは、搬送方向からも反搬送方向からも、ワーク
にオゾンが吹き付けられることになる。そして、搬送方
向から吹き付けるオゾンは、ワークに沿ってその後端側
から先端側に向けて流れ、反搬送方向から吹き付けるオ
ゾンは、ワークに沿ってその先端側から後端側に向けて
流れる。このため、ワークの先端側も後端側も、長時
間、オゾンが当たるようになり、有機物を均一にかつ十
分に除去することができる。

【００２１】

【実施例】以下、図面にしたがって本発明の有機物除去
装置の実施例について詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例として示した有機物除去装置の要部説明図、
図２は同有機物除去装置のノズルの斜視説明図、図３は
図１のIII −III 線に沿う断面説明図、図４は同有機物
除去装置の全体構成のうち特に余熱部を示す側面説明
図、図５は同有機物除去装置の全体構成のうち特に有機
物除去部を示す側面説明図、図６は本発明の第２実施例
として示した有機物除去装置の要部説明図、図７は図６
のVIII−VIII線に沿う断面説明図、図８は同有機物除去
装置の全体構成のうち特に余熱部を示す側面説明図、図
９は同有機物除去装置の全体構成のうち特に有機物除去
部を示す側面説明図、図１０は第１及び第２実施例のノ
ズルの他の例を示す斜視説明図、図１１は本発明の第３
実施例として示した有機物除去装置のワークホルダを示
す斜視説明図、図１２は同有機物除去装置の有機物除去
部を示す斜視説明図、図１３は本発明の第４実施例とし
て示した有機物除去装置の側面説明図、図１４は同有機
物除去装置の実験結果を示した説明図、図１５は本発明
の第５実施例として示した有機物除去装置の側面説明
図、図１６は図１５のＫ−Ｋ線に沿う断面説明図であ
る。

【００２２】まず、図１〜図５を参照して本発明の第１
実施例を説明する。有機物除去装置は、図４及び図５に
示すように、ワークの搬送手段としてローラコンベア１
を有している。ローラコンベア１は、ワーク供給位置Ａ
から、ワーク取出位置Ｂにかけて配置されている。ま
た、ワークとしては、この実施例では製造過程のＴＦＴ
の基板であって、不要となったフォトレジストを有する
基板を示している。フォトレジストは、有機物によって
構成されているものであり、回路等を基板上に形成する
段階で使用するものである。

【００２３】ローラコンベア１は、図３に示すように、
対向する左右１対の搬送ローラ２、２を複数有するもの
であり、各搬送ローラ２は、互いに対向する部分が縮径
され、この縮径された部分が搬送部２ａになっている。
したがって、複数の縮径部２ａの上側の部分がワークを
搬送するためのパスライン（搬送面）ＰＬ（図１、図４
及び図５参照）になっている。また、左右の搬送ローラ
２、２の側方には、後述するノズル３０から吹き出した
オゾンがワーク上から簡単に逃げないように側板３、３
が設けられている。

【００２４】さらに、左右の搬送ローラ２の間には、図
３に示すように、遠赤外線ヒータによって構成された余
熱ヒータ１０及び加熱ヒータ２０が設けられている。余
熱ヒータ１０は、図４に示すように、ワークの余熱部１
１に設けられており、加熱ヒータ２０は、図５に示すよ
うに、有機物除去部２１に設けられている。これらの余
熱ヒータ１０及び加熱ヒータ２０は、それぞれの加熱面
１０ａ、２０ａが平面状に形成されていて、これらの各
加熱面１０ａ、２０ａがパスラインＰＬの下側にあって
同パスラインＰＬに近接する位置に設けられている。ま
た、各搬送ローラ２の直下位置には、余熱部１１及び有
機物除去部２１のぞれぞれに、ワークの側縁部を熱する
側縁部余熱ヒータ１２及び側縁部加熱ヒータ２２が設け
られている。側縁部余熱ヒータ１２及び側縁部加熱ヒー
タ２２は、それぞれ余熱ヒータ１０及び加熱ヒータ２０
より温度が高く設定されていて、余熱ヒータ１０及び加
熱ヒータ２０と同様の熱量をワークの側縁部に供給する
ようになっている。

【００２５】余熱部１１には、図４に示すように、パス
ラインＰＬの上側に副処理室１３が２つ設けられてお
り、各副処理室１３には、ワークに上方からオゾンを吹
き付けるノズル３０が設けられている。一方、有機物除
去部２１には、加熱ヒータ２０の上側全体を覆うよう
に、主処理室２３が設けられており、この主処理室２３
には、上述のノズル３０が等間隔に３つ設けられている
とともに、各ノズル３０の間に低圧水銀灯（紫外線照射
手段）４０が設けられている。低圧水銀灯４０は、Ｕ字
状に屈曲された蛍光管によって構成されている。

【００２６】ノズル３０は、図１〜図３に示すように、
ステンレス鋼の板状部材で箱状に形成したものであっ
て、対向する搬送ローラ２、２を跨ぐよに長く形成さ
れ、底面３１がパスラインＰＬの上側にあってワークに
近接する位置に設けられている。そして、一側面３２に
は、底面３１に沿うように長い長孔状の吹き出し口３２
ａが形成されている。この吹き出し口３２ａの回りに
は、冷却パイプ５０が設けられている。冷却パイプ５０
は、ステンレス鋼で形成されたものであり、冷却媒体と
して水が流れるようになっている。なお、冷却媒体とし
ては、水に限らず空気等であってもよいことはいうまで
もない。

【００２７】また、ノズル３０には、その長手方向の一
端部に設けられた開口部３３を介ししてオゾンが供給さ
れるようになっている。オゾンは、図示しないオゾナイ
ザによって生成されノズル３０に供給されるようになっ
ている。さらに、ノズル３０の一端部にはブラケット３
４が設けられており、このブラケット３４にはノズル３
０を有機物除去装置のフレーム本体に固定するためのボ
ルト３５が設けられている。そして、ノズル３０は、ボ
ルト３５を中心にして所定の角度に傾けて固定すること
が可能になっており、吹き出し口３２ａの向きがワーク
対して種々の角度に設定できるようになっている。通
常、吹き出し口３２ａの向きは、吹き出したオゾンが低
圧水銀灯４０直下のワークに当たるように設定されてい
る。

【００２８】低圧水銀灯４０は、対向する搬送ローラ
２、２を跨がるように長く形成され、かつ、ワークの上
側にあって同ワークに近接する位置に設けられている。
この低圧水銀灯４０は、主に２５４ｎｍ波長の紫外線を
放射するようになっており、ノズル３０から噴出したオ
ゾンを分解して、ワークの表面部分で酸素原子（Ｏ）を
生成するようになっている。また、反射板４１によっ
て、紫外線が効率良くワークに照射されるようになって
いる。このように構成した低圧水銀灯４０及び上記ノズ
ル３０は、互いに近接させて設けることがワーク上で酸
素原子を生成する上で好ましい。しかも、加熱するライ
ンが長い場合には、ローラコンベア１の搬送終了端部側
に低圧水銀灯４０やノズル３０を集中させて設けること
が所定の温度に安定させた状態で処理する上で好まし
い。

【００２９】上記の構成された有機物除去装置において
は、ワークの温度が余熱ヒータ１０によって徐々に上昇
し、加熱ヒータ２０の間で一定の温度になる。そして、
フォトレジストは、その一部が余熱段階の副処理室１３
内でオゾン及び酸素原子によって酸化除去され、さらに
主処理室２３でその全てが酸化除去される。副処理室１
３及び主処理室２３内でノズル３０から噴出するオゾン
は、ワークに当たって、同ワークに沿って流れる。そし
て、ワークの移動にともなって、ワークとワークとの間
にオゾンが流れるようなる。しかし、余熱ヒータ１０や
加熱ヒータ２０が、ワークのパスラインＰＬに接近して
設けられているので、パスラインＰＬから下側に流れ去
ってしまうことがなく、次に搬送されてくるワークのフ
ォトレジストの酸化除去に役立つようになる。また、側
板３が設けられていることも、オゾンをパスラインＰＬ
上に滞留させる上で役立つ。

【００３０】そして、副処理室１３においても、また主
処理室２３においても、余熱ヒータ１０あるいは加熱ヒ
ータ２０からの放射熱によって、各ヒータ１０、２０に
近いノズル３０の吹き出し口３２ａの回りが熱せられる
ことになる。しかし、冷却パイプ５０によって、吹き出
し口３２ａの回りが冷却されるので、同吹き出し口３２
ａの回りの温度が上昇することがなく、全体としてノズ
ル３０の温度上昇が避けられる。すなわち、ノズル３０
内で、熱によってオゾンが分解し、酸素原子が生成され
ることがない。このため、オゾナイザから供給されたオ
ゾンがノズル３０からそのままワークに噴出することに
なる。そして、ワークの熱によってオゾンが分解して酸
素原子が生成される。したがって、酸素原子によってフ
ォトレジストの酸化除去が行われる。

【００３１】また、主処理室２３においては、ノズル３
０から噴出するオゾンが、低圧水銀灯４０の紫外線によ
って、ワーク上で酸素原子に分解するので、より多くの
酸素原子によってフォトレジストの酸化除去が行われ
る。

【００３２】上記のように構成された有機物除去装置に
よれば、冷却パイプ５０によってノズル３０を冷却する
ことができるから、余熱ヒータ１０あるいは加熱ヒータ
２０の熱がノズル３０に作用しても、ノズル３０の温度
の上昇を防止することができる。このため、ノズル３０
内で酸素原子が生成されることなく、オゾンを直接ワー
クに当てることができる。したがって、ワークの熱や、
低圧水銀灯４０の紫外線によって、ワークの表面近くで
酸素原子が生成されることになり、この酸素原子によっ
て、効率良くフォトレジストを酸化除去することができ
る。

【００３３】さらに、余熱ヒータ１０や加熱ヒータ２０
が、ワークのパスラインＰＬに接近して設けられている
ので、オゾンがパスラインＰＬから下側に流れ去ってし
まうことがなく、ワークの近傍にオゾンを滞留させるこ
とができる。すなわち、ワーク付近のオゾンの濃度を向
上させることができ、供給したオゾンをフォトレジスト
の酸化除去のために有効に使用することができる。しか
も、パスラインＰＬ付近に滞留したオゾンを、次に搬送
されてくるワークのフォトレジストの酸化除去に役立た
せることができる。また、側板３が設けられていること
も、オゾンをパスラインＰＬ近傍に滞留させる上で効果
がある。

【００３４】また、余熱ヒータ１０や加熱ヒータ２０の
加熱面１０ａ、２０ｂがパスラインＰＬに近接していな
い場合には、ワークの先端部はオゾンが噴出する中に入
るまでオゾンに当たることがなく、またワークの後端側
はワークの先端部がオゾンの噴出中に入ればワークに沿
って流れるオゾンによって覆われることになる。このた
め、ワークの先端部は、オゾンにさらされる時間が後端
側に比べて短くなり、有機物の酸化除去不足となる傾向
がある。ところが、この実施例の場合は、余熱ヒータ１
０や加熱ヒータ２０の加熱面１０ａ、２０ｂがパスライ
ンＰＬに近接しているので、オゾンをパスラインＰＬ近
傍に滞留させることができ、このオゾンの中をワークが
通過するようになる。このため、ワークの先端部にも十
分オゾンを当てることができ、ワーク先端部に有機物の
酸化除去不足が生じるのを防止することができる。すな
わち、ワーク上の有機物を均一に酸化除去することがで
きる。

【００３５】次に、図６〜図９を参照してこの発明の第
２実施例を説明する。ただし、図１〜図５に示した第１
実施例と共通する要素には同一の符号を付しその説明を
簡略化する。図６〜図９に示す有機物除去装置が図１〜
図５に示す有機物除去装置と異なる点は、余熱ヒータ６
０及び加熱ヒータ７０の構造が異なる点である。

【００３６】すなわち、余熱ヒータ６０は、図８に示す
ように、余熱部１１に設けられており、加熱ヒータ７０
は、図９に示すように、有機物除去部２１に設けられて
いる。これらの余熱ヒータ６０及び加熱ヒータ７０は、
それぞれの加熱面６０ａ、７０ａが平面状に形成されて
いて、これらの各加熱面６０ａ、７０ａが左右の搬送ロ
ーラ２、２を跨がって、同搬送ローラ２、２の下側を覆
うように設けられている。そして、各余熱ヒータ６０及
び加熱ヒータ７０には、図６及び図７に示すように、左
右の搬送ローラ２、２の内法いっぱいに納まるように熱
伝達カバー８０が設けられている。熱伝達カバー８０
は、ステンレス鋼の板状部材で形成されたものであり、
パスラインＰＬに沿う平面がパスラインＰＬの下側にあ
って、同パスラインＰＬに近接する位置に設けられてい
る。

【００３７】上記のように構成された有機物除去装置に
おいては、余熱ヒータ６０又は加熱ヒータ７０の中央部
から発する熱によって熱伝達カバー８０が高温に加熱さ
れ、この高温に加熱された熱伝達カバー８０によって、
パスラインＰＬを通過するワークが加熱される。また、
余熱ヒータ６０又は加熱ヒータ７０の側部から発する熱
によってワークの側部が加熱される。

【００３８】したがって、上記のように構成された有機
物除去装置においても、ノズル３０から噴出したオゾン
がワークとワークとの間から下側に逃げるのを熱伝達カ
バー８０によって防止することができるから、オゾンを
ワークの近辺に効率良く滞留させることができる。その
他は第１実施例と同様の作用効果を奏する。

【００３９】また、上記第２実施例の変形例として、熱
伝達カバー８０の変わりに、余熱ヒータ６０又は加熱ヒ
ータ７０の加熱面６０ａ、７０ａに密着するように熱伝
達ブロックを設けるように構成してもよい。この場合に
は、加熱面６０ａ、７０ｂに密着する面と反対側の放熱
面をパスラインＰＬに近接するように設ける必要があ
る。この変形例の場合にも、第２実施例と同様の作用効
果を奏する。ただし、熱伝達ブロックの方が熱伝達カバ
ー８０より熱伝達率が良いので、効率良くワークを加熱
することができる。

【００４０】さらに、上記第１及び第２実施例のノズル
の他の例を図１０を参照して説明する。ただし、第２図
に示すノズル３０と共通する構成要素には同一の符号を
付しその説明を省略する。すなわち、図１０に示すノズ
ル３０は、平面状の底面３１の下側を覆うように、円弧
状に湾曲した外板３６を設け、底板３１と外板３６との
間に冷却水の流路３７を形成したものである。そして、
この流路３７内に流入あるいは流出する水が冷却パイプ
５０を通るようになっている。

【００４１】このように構成されたノズル３０において
は、冷却パイプ５０及び流路３７によって、特に各ヒー
タ１０、２０に接近していて温度上昇の激しいノズル３
０の吹き出し口３２ａの回りを冷却することができ、こ
れによってノズル３０全体の温度上昇を抑えることがで
きる。そして、底面３１全体を冷却することができるの
で、ノズル３０の温度上昇をより確実に抑えることがで
きる。

【００４２】次に、この発明の第３実施例を図１１及び
図１２を参照して説明する。この第３実施例は、上記第
１実施例又は第２実施例において、ワークを保持したワ
ークホルダをパスラインＰＬ上に移動するように構成し
たものである。

【００４３】ワークホルダ９０は、図１１に示すよう
に、矩形形状に形成したステンレス鋼の板状部材の左右
両端部を直角に屈曲させて脚部９１、９１を形成したも
のであり、中央の平面部９２でワークを保持するように
なっている。左右の脚部９１、９１は、左右の搬送ロー
ラ２、２の搬送部２ａ、２ａ上に載置されるようになっ
ている。また、平面部９２には、ワークをほぼ中央部に
保持するための鉤型部材９３が一対設けられている。こ
の平面部９２は、ワークを載置した状態において、ワー
クの周縁部から外側に広がる枠部になっている。また、
平面部９２には、ワークが重なる位置に孔９２ａが形成
されている。

【００４４】また、ノズル３０は、図１２に示すよう
に、低圧水銀灯４０を挟むように２つ設けられており、
低圧水銀灯４０の直下位置に搬送方向の前後からオゾン
を噴出するようになっている。すなわち、ワークには、
搬送方向からも、また搬送方向と逆の方向からもオゾン
が吹き付けられるようになっている。その他は、上記第
１実施例又は第２実施例と同一であるので説明を省略す
る。

【００４５】上記のように構成された有機物除去装置に
おいては、ワークホルダ９０がワークを保持した状態で
パスラインＰＬに沿って移動することになる。この際、
ワークがオゾン噴出中に入らなくても、ワークホルダ９
０の一部がオゾン噴出中に入れば、ワークホルダ９０の
平面部９２に沿って、オゾンがワーク側に流れてくるの
で、ワークの先端部にも十分オゾンを当てることがで
き、ワーク先端部のフォトレジストの酸化除去不足を改
善することができる。すなわち、ワーク上のフォトレジ
ストを均一に酸化除去することができる。その他、上記
第１実施例及び第２実施例と同様の作用効果を奏する。
また、ノズル３０から噴出したオゾンがワークの搬送方
向からも、また搬送方向の逆方向からも、ワークに当た
るので、ワークの先後に関係なく、ワーク上に均一にオ
ゾンを吹き付けることができる。

【００４６】なお、第３実施例においては、ワークホル
ダ９０を設けているから、余熱ヒータ１０や加熱ヒータ
２０をパスラインＰＬに接近させたり、熱伝達カバー８
０や熱伝達ブロックをパスラインＰＬに接近させたりす
ることによる作用効果を合わせ持っている。したがっ
て、ワークホルダ９０を設けた場合には、余熱ヒータ１
０や加熱ヒータ２０をパスラインＰＬに接近させたり、
熱伝達カバー８０や熱伝達ブロックをパスラインＰＬに
接近させたりしなくてもよいことはいうまでもない。

【００４７】次に、この発明の第４実施例を図１３を参
照して説明する。ただし、図６〜図９に示した第２実施
例と共通する要素には同一の符号を付しその説明を簡略
化する。図１３に示す有機物除去装置が図６〜図９に示
す有機物除去装置と異なる主な点は、熱伝達カバー８０
が設けられておらず、主処理室２３内に、低圧水銀灯４
０を挟んで第１のノズル３０Ａと第２のノズル３０Ｂが
設けられている点である。ただし、第１及び第２のノズ
ル３０Ａ、３０Ｂは、図２又は図１０に示すノズル３０
と同一であるから、その詳細な説明は省略する。

【００４８】すなわち、第１のノズル３０Ａは、低圧水
銀灯４０の直下位置にあるワークに向けて、ローラコン
ベア１の搬送方向からオゾンを噴出するようになってい
る。第２のノズル３０Ｂは、低圧水銀灯４０の直下位置
にあるワークに向けて、ローラコンベア１の反搬送方向
からオゾンを噴出するようになっている。これらの第１
のノズル３０Ａ及び第２のノズル３０Ｂは、低圧水銀灯
４０に近接して設けられている。また、ワーク供給位置
Ａには、ローラコンベア１上にワークを供給するための
蓋２３Ａが設けられており、ワーク取出位置Ｂには、ロ
ーラコンベア１上からワークを取り出すための蓋２３Ｂ
が設けられている。

【００４９】上記のように構成された有機物除去装置に
おいては、まず蓋２３Ａを開いて、ワークをローラコン
ベア１上に供給する。この状態では第１及び第２のノズ
ル３０Ａ、３０Ｂからオゾンが噴出していない。そし
て、ワークが第１のノズル３０Ａに達すると、図示しな
いセンサが働いて、第１及び第２のノズル３０Ａ、３０
Ｂからオゾンが噴出する。そうすると、まず第１のノズ
ル３０Ａから噴出したオゾンがワークの先端側に当た
り、さらにワークの後端側にも当たるようになる。この
際、オゾンはワークに沿ってワークの後端側から先端側
に流れる。このため、ワークの先端側には、オゾンの噴
流がワークに当たっている限り、オゾンに晒された状態
になる。すなわち、ワークの先端側は、十分にオゾンに
晒らされた状態になる。しかし、ワークの後端側は、オ
ゾンの噴流内に入るまでオゾンが直接当たることがない
から、十分にオゾンに晒されることがない。

【００５０】そして、ワークの移動とともに、今度は第
２のノズル３０Ｂか噴出するオゾンがワークの先端側に
当たり始める。そして、ワークの先端側に当たったオゾ
ンは、ワークに沿って後端側に流れていく。このため、
ワークの後端側は、十分にオゾンに晒されたた状態にな
る。しかし、ワークの先端側は、オゾンの噴流内を過ぎ
るとオゾンが直接当たらなくなるので、十分にオゾンに
晒されることがない。そして、ワークが第２のノズル３
０Ｂから搬送方向に去ると、第１及び第２のノズル３０
Ａ、３０Ｂからのオゾンの噴出が停止する。

【００５１】上記のように構成された有機物除去装置に
よれば、第１のノズル３０Ａ及び第２のノズル３０Ｂを
設けているから、ワークの先端側も後端側も十分にオゾ
ンに晒すことができる。このため、熱伝達カバー８０が
なくてもオゾンを有機物の酸化除去のために有効に使用
することのでき、ワーク上の有機物を均一にかつ十分に
除去することができる。その他は、第１及び第２実施例
と同様の作用効果を奏する。

【００５２】次に、上記第４実施例の有機物除去装置に
よる実験例を図１４を参照して説明する。実験条件は次
の通りである。

【００５３】ａ．レジスト（フォトレジスト）は、ＯＦ
ＰＲ−８００（商品名）東京応化（株）製を使用。ｂ．
レジストの厚さは、１．２μｍ。ｃ．レジストの付着し
た基板（ワーク）の加熱温度は、摂氏２５０度。ｄ．ロ
ーラコンベア１の搬送速度は、５０ｍｍ／ｍｉｎ。ｅ．
オゾン濃度は、１４０ｇ／ｍ³ 。ｆ．オゾン噴出量は、
４０ｌ／ｍｉｎ。ただし、ノズル３０が２つある場合に
は、各ノズル３０から２０ｌ／ｍｉｎのオゾンを噴出
し、ノズル３０が１つの場合には、１つのノズル３０か
ら４０ｌ／ｍｉｎのオゾンを噴出する。ｇ．低圧水銀灯
４０は、５００Ｗを１灯（Ｕ字状）である。

【００５４】実験結果は、図１４に示す通りである。す
なわち、レジスト膜減量は、本第４実施例１００が０．
７５μｍであり、第１の比較例１０１が０．６５μｍで
あり、第２の比較例１０２が０．４μｍである。したが
って、本第４実施例１０１の有機物除去装置が最も効率
良くレジストを除去することができる。ただし、第１の
比較例１０１は、オゾンを搬送方向に噴出する第２のノ
ズル３０Ａを設けたものであり、この点で本第４実施例
１００と異なっている。また、第２の比較例１０２は、
第１のノズル３０Ａのみを設けたものであり、この点で
本第４実施例１００と異なっている。

【００５５】次に、この発明の第５実施例を図１５及び
図１６を参照して説明する。ただし、図６〜図９に示し
た第２実施例、及び図１３に示した第４実施例と共通す
る要素には同一の符号を付しその説明を簡略化する。図
１５〜図１６に示す有機物除去装置が図６〜図９図及び
図１３に示す有機物除去装置と異なる主な点は、熱伝達
カバー８０が第１のノズル３０Ａと第２のノズル３０Ｂ
との間にのみ設けられている点である。

【００５６】すなわち、熱伝達カバー８０は、第１のノ
ズル３０Ａと第２のノズル３０Ｂとの間に、加熱ヒータ
７０から少し浮いた状態で設けられている。その他は、
第２実施例の熱伝達カバー８０と同様の構成になってい
るので説明を省略する。

【００５７】上記のように構成された有機物除去装置に
おいては、第１のノズル３０Ａに達するまでに、加熱ヒ
ータ７０によって、ワークが十分加熱される。そして、
第１のノズル３０Ａと第２のノズル３０Ｂとの間では、
さらに低圧水銀灯４０から放射される熱が加わり、ワー
クがさらに加熱されることになる。しかし、熱伝達ヒー
タ８０によって、加熱ヒータ７０からワークに達する熱
がある程度遮られるので、ワークが高温になり過ぎるこ
とがない。その他、第２実施例の熱伝達ヒータ８０と同
様の作用効果を奏する。

【００５８】

【発明の効果】この発明によれば、ワークホルダを有す
るものは、ワークの外側に吹き付けたオゾンがワークホ
ルダの枠部に当たって、ワークの回りに滞留するように
なるので、ワーク及びその周囲でオゾン濃度を上昇させ
ることができ、ワーク上の有機物を効率良く酸化除去す
ることができる。すなわち、供給したオゾンを有機物の
酸化除去のために有効に使用することができる。

【００５９】また、ワークホルダを搬送する搬送手段を
有するものにあっては、ワークホルダがオゾン噴出中に
入れば、ワークがオゾン噴出中に入らなくても、ワーク
ホルダの枠部に沿って、オゾンがワークに流れてくるの
で、ワークの先端部にも十分オゾンを当てることがで
き、ワーク先端部の有機物の酸化除去不足の改善を図る
ことができる。すなわち、ワーク上の有機物を均一に酸
化除去することができる。

【００６０】一方、加熱ヒータをワークの搬送面に接近
させたものは、ワークの外側に吹き付けたオゾンが同ワ
ークを通り過ぎた直後に、加熱ヒータに当たるので、オ
ゾンをワークの回りに滞留させることができる。このた
め、ワーク及びその周囲でオゾン濃度を上昇させること
ができ、ワーク上の有機物を効率良く酸化除去すること
ができる。すなわち、供給したオゾンを有機物の酸化除
去のために有効に使用することができる。しかも、加熱
ヒータに当たって滞留するオゾンの中をワークが搬送手
段によって移動するので、ワークの先端部にも十分オゾ
ンを当てることができ、ワーク先端部の有機物の酸化除
去不足が生じるのを防止することができる。

【００６１】さらに、熱伝達カバーや熱伝達ブロックを
搬送手段の搬送面に近接させたものも、上記と同様の作
用効果を奏する。

【００６２】また、オゾンが吹き付けられているワーク
に紫外線を照射する紫外線照射手段を有し、オゾンが吹
き付けられている加熱ヒータの部分に熱伝達カバーを有
するものにあっては、加熱カバーのない部分でワークを
十分加熱し、紫外線照射手段を有する部分でワークの温
度が高温になり過ぎるのを防止することができる。すな
わち、紫外線照射手段を有する部分では、紫外線照射手
段からの熱も加わるので、ワークが高温になりすぎる傾
向にあるが、熱伝達カバーが加熱ヒータからの熱をある
程度遮るので、ワークが高温になり過ぎるのを防止する
ことができる。ただし、その他の部分では、熱伝達カバ
ーがないので、ワークを十分に加熱することができる。

【００６３】さらに、第１のノズルと第２のノズルを設
けたものは、搬送方向からも反搬送方向からも、ワーク
にオゾンが吹き付けられることになる。そして、搬送方
向から吹き付けるオゾンは、ワークに沿ってその後端側
から先端側に向けて流れ、反搬送方向から吹き付けるオ
ゾンは、ワークに沿ってその先端側から後端側に向けて
流れる。このため、ワークの先端側も後端側も、長時
間、オゾンが当たるようになり、有機物を均一にかつ十
分に除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例として示した有機物除去
装置の要部説明図。

【図２】同有機物除去装置のノズルの斜視説明図。

【図３】図１のIII −III 線に沿う断面説明図。

【図４】同有機物除去装置の全体構成のうち特に余熱部
を示す側面説明図。

【図５】同有機物除去装置の全体構成のうち特に有機物
除去部を示す側面説明図。

【図６】この発明の第２実施例として示した有機物除去
装置の要部説明図。

【図７】図６のVII −VII 線に沿う断面説明図。

【図８】同有機物除去装置の全体構成のうち特に余熱部
を示す側面説明図。

【図９】同有機物除去装置の全体構成のうち特に有機物
除去部を示す側面説明図。

【図１０】第１及び第２実施例のノズルの他の例を示す
斜視説明図。

【図１１】この発明の第３実施例として示した有機物除
去装置のワークホルダを示す斜視説明図。

【図１２】同有機物除去装置の有機物除去部を示す斜視
説明図。

【図１３】本発明の第４実施例として示した有機物除去
装置の側面説明図。

【図１４】同有機物除去装置の実験結果を示した説明
図。

【図１５】本発明の第５実施例として示した有機物除去
装置の側面説明図。

【図１６】図１５のＫ−Ｋ線に沿う断面説明図。

【符号の説明】

１ 搬送装置（ローラコンベア） ２０ 加熱ヒータ ２０ａ 加熱面 ３０ ノズル ３０Ａ 第１のノズル ３０Ｂ 第２のノズル ４０ 紫外線照射手段（低圧水銀灯） ８０ 熱伝達カバー ９０ ワークホルダ ９２ 枠部（平面部） ＰＬ 搬送面（パスライン）

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに
   付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機
   物除去装置であって、 前記ワークの周縁部から外側に広がる枠部を有するワー
   クホルダを設けたことを特徴とする有機物除去装置。
2. 【請求項２】 ワークホルダを搬送する搬送手段と、こ
   の搬送手段によってワークホルダと共に搬送されてきた
   ワークを加熱する加熱ヒータと、この加熱ヒータで加熱
   されたワークにオゾンを吹き付けるノズルとを具備した
   ことを特徴とする請求項１記載の有機物除去装置。
3. 【請求項３】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに
   付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機
   物除去装置であって、 前記ワークを搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱す
   る加熱ヒータと、この加熱ヒータで加熱されたワークに
   オゾンを吹き付けるノズルとを具備してなり、前記加熱
   ヒータは、その加熱面が前記搬送手段の搬送面に近接す
   るように設けられていることを特徴とする有機物除去装
   置。
4. 【請求項４】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに
   付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機
   物除去装置であって、 前記ワークを搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱す
   る加熱ヒータと、この加熱ヒータの加熱面を覆い、加熱
   面からの熱によって高温になる熱伝達カバーと、この熱
   伝達カバーで加熱されたワークにオゾンを吹き付けるノ
   ズルとを具備してなり、前記熱伝達カバーは、前記搬送
   手段の搬送面に近接するように設けられていることを特
   徴とする有機物除去装置。
5. 【請求項５】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに
   付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機
   物除去装置であって、 前記ワークを搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱す
   る加熱ヒータと、この加熱ヒータの加熱面に密着するよ
   うに設けられた熱伝達ブロックと、この熱伝達ブロック
   で加熱されたワークにオゾンを吹き付けるノズルとを具
   備してなり、前記熱伝達ブロックは、前記加熱面に密着
   する面と反対側の放熱面が前記搬送手段の搬送面に近接
   するように設けられていることを特徴とする有機物除去
   装置。
6. 【請求項６】 ノズルからオゾンが吹き付けられている
   ワークに紫外線を照射する紫外線照射手段を設けたこと
   を特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４
   又は請求項５記載の有機物除去装置。
7. 【請求項７】 ノズルからオゾンが吹き付けられている
   ワークに紫外線を照射する紫外線照射手段を設けてな
   り、熱伝達カバーは、前記紫外線照射手段から紫外線が
   照射される加熱ヒータの部分に設けられていることを特
   徴とする請求項４記載の有機物除去装置。
8. 【請求項８】 ワークにオゾンを吹き付けて、ワークに
   付着したフォトレジスト等の有機物を酸化除去する有機
   物除去装置であって、 前記ワークを搬送する搬送手段と、前記ワークを加熱す
   る加熱ヒータと、この加熱ヒータで加熱されたワークに
   オゾンを吹き付けるノズルとを具備してなり、前記ノズ
   ルは、前記搬送手段の搬送方向からワークにオゾンを吹
   き付ける第１のノズルと、反搬送方向からワークにオゾ
   ンを吹き付ける第２のノズルとにより構成されているこ
   とを特徴とする有機物除去装置。
9. 【請求項９】 ワークにオゾンを吹き付けるノズルは、
   搬送手段の搬送方向からワークにオゾンを吹き付ける第
   １のノズルと、反搬送方向からワークにオゾンを吹き付
   ける第２のノズルとにより構成されていることを特徴と
   する請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項
   ５、請求項６又は請求項７記載の有機物除去装置。
10. 【請求項１０】 第１のノズル及び第２のノズルの間
    に、ワークに紫外線を照射する紫外線照射手段を設けた
    ことを特徴とする請求項８又は請求項９記載の有機物除
    去装置。