JPH06140497A - ピックアップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ニードルの破損等の異常を自動的に検出す
る。 【構成】 ニードル１３を上下動自在に収納したニード
ルユニット１２の上方部の側方位置に、ニードル１３の
先端部の状態を検査する反射形ホトセンサ１６と、ニー
ドル１３全体の状態を検査する全長検査センサ１７とが
設置されている。全長検査センサ１７は反射形ホトセン
サ１８が縦方向に一列に複数個並べて配置されている。
ニードル１３に折れや曲がり等が存在することによっ
て、これらのセンサ１６、１７が、ニードル１３からの
反射光を受光しない場合には警報装置により異常警報が
発生される。 【効果】 ニードル１３に破損や曲がり等の異常がある
場合にはニードルを交換することにより、ニードル１３
のペレット２突き上げ時、ペレット２の裏面を傷付けた
り、ペレット２を傾けて突き上げたりするのを防止でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ピックアップ装置、特
に、貼着シートに多数個貼着されている小物品をその貼
着シートからピックアップする技術に関し、例えば、半
導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体
ペレット（以下、単にペレットという。）を貼着シート
からピックアップするのに利用して有効な技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、ダイシ
ングされたペレットを貼着シートからピックアップする
ピックアップ装置は、タングステン針等からなる１本ま
たは複数本のニードルが貼着シートの貼られたペレット
を下方から突き上げることにより、ペレットを貼着シー
トから剥離させ、このニードルによって突き上げられた
ペレットはニードルの上方位置に配置されている搬送コ
レットによって上から真空吸着保持するように構成され
ている。

【０００３】なお、ペレットを貼着シートからピックア
ップする技術を述べてある例として、株式会社リアライ
ズ社、昭和６１年９月５日発行「超ＬＳＩ工場最新技術
集成（第二編 最新プロセスと自動化）」の２５２頁〜
２５４頁や、株式会社工業調査会発行、「電子材料」１
９９０年１０月号別冊（超ＬＳＩ製造・試験装置ガイド
ブック）の９４頁〜９８頁がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記ピックアップ装置
において、ニードルが貼着シートを突き破り、ペレット
を突き上げて貼着シートから剥離する際、ニードルの先
端部が破損していたり、曲がっていたりすると、ニード
ルのペレット突き上げ時、ペレット裏面を傷付けたり、
ペレット裏面が傾いて突き上げられることによってコレ
ットのペレット吸着ミスが発生したりする。コレットの
ペレット吸着ミスが発生すると、ペレットボンディング
装置が停止したり、治具詰め装置の場合にはペレットの
収納ミスやずれ等が発生するおそれがある。したがっ
て、ニードルの破損や曲がり等の異常の有無を常時確認
する必要がある。

【０００５】しかし、従来のピックアップ装置にはニー
ドルの形状状態を検査する装置が具備されていない。こ
のため、従来は、作業者が目視によってニードルの破損
や曲がり等の有無を確認し、ニードルが破損していたり
していた場合に、ニードルの交換作業が行われている。

【０００６】本発明の目的は、ニードルの破損等の異常
を自動的に検出することができるピックアップ装置を提
供することにある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００９】すなわち、多数個の小物品が貼着されてい
る貼着シートを保持するテーブルと、このテーブルに保
持された貼着シートを裏面側から突いて前記小物品を貼
着シートから離脱させるニードルを備えているピックア
ップ装置において、前記ニードルの形状を検査するニー
ドル形状検査装置を備えていることを特徴とする。

【００１０】上記ニードルの形状状態を検査する装置に
代えて、ニードルによって突かれた貼着シート面の状態
を検査する貼着シート面検査装置を備えるようにしても
よい。

【００１１】さらには、貼着シートから離脱された小物
品の裏面の状態を検査する小物品裏面検査装置を備える
ようにしてもよい。

【００１２】

【作用】前記した手段によれば、ニードルに破損や曲が
り等の異常があるか否かが自動的に検査される。そし
て、検査の結果、ニードルに破損等の異常が検出された
場合には、ニードルを一早く交換することができる。こ
の交換作業によってニードルのペレット突き上げ時に、
ペレットの裏面を傷付けたり、ペレットを傾けて突き上
げたりするのを未然に防止することができる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるピックアップ
装置を示す正面断面図、図２は図１のII−II線に沿う拡
大した底面断面図、図３は図１の状態からニードルユニ
ットが上昇して貼着シート押さえ面が貼着シートを押接
した状態で、ニードルユニットからニードルが突き出し
てペレットを貼着シートから剥離した状態を示す正面断
面図である。

【００１４】本実施例において、本発明に係るピックア
ップ装置１０は、半導体装置の製造工程において、ダイ
シングされたペレットを貼着シートから１個宛、ピック
アップするように構成されている。このピックアップ装
置１０におけるワークとしてのペレット付貼着シート
（以下、ワークということがある。）１は、次のように
して構成されている。

【００１５】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）は、ウエハ検査工程において電気
的特性試験や外観検査等により、良品のペレット、不良
品のペレットに選別される。このとき、不良品のペレッ
トにはマークが付される。

【００１６】このようにして検査されたウエハには、シ
ート貼着工程において、貼着シート３がその裏面に貼着
される。貼着シート３は、樹脂等のような伸縮性を有す
る材料を用いられてウエハよりも大径の薄膜形状に形成
されているシート基材４を備えており、このシート基材
４の片側主面に適当な貼着材が塗布されて貼着材層５が
形成されている。

【００１７】続いて、ダイシング工程において、ウエハ
は小物品としての各ペレット２に分断される。このと
き、ウエハの裏面に貼着されている貼着シート３はダイ
シングによって切断されないため、ペレット２群はばら
ばらにならずに一群にまとまった状態になっている。

【００１８】次いで、治具装着工程において、貼着シー
ト３の外周部にリング６が装着される。リング６はステ
ンレス鋼等のような剛性材料を用いられて、ウエハより
も大径の円形リング形状に形成されている。貼着シート
３はリング６の枠内に対向するように配された後、径方
向外向きに引き伸ばされ、その外周辺部がリング６に固
定される。このとき、貼着シート３の伸びに伴って隣合
うペレット２、２間が離れることになる。

【００１９】ピックアップ装置１０は、リング６が装着
されているワーク１を保持するテーブル１１を備えてお
り、このテーブル１１は保持したワーク１を図示しない
駆動装置によりＸＹＺθ方向に移動し得るように構成さ
れている。

【００２０】テーブル１１の下方にはニードルユニット
１２が配置されている。ニードルユニット１２には離脱
手段としてのニードル１３が４本、収納されている。ま
た、ニードルユニット１２の上面は凸状球面に形成され
て貼着シート押さえ面１４を形成している。各ニードル
１３は縦向きに配置され、ペレット２を均等に突くこと
ができるように各ニードル１３間は、適宜の間隔をおい
て四方に分散されて配置されており、ニードルユニット
１２内に上下方向に形成されている各ガイド孔１５内に
上下動自在に挿入されている。

【００２１】各ニードル１３は図示しない駆動装置によ
りニードルユニット１２内で上下駆動されるようになっ
ており、その下限位置においてはニードルユニット１２
内に格納されるが、その上限位置においては貼着シート
押さえ面１４から上方に突出するようになっている。ま
た、ニードルユニット１２は図示しない駆動装置によっ
て下限の退避位置と、ワーク１を押し上げる上限位置と
に上下方向に移動し得るように構成されている。

【００２２】ニードルユニット１２の下限の退避位置に
おいて、その上方部の側方位置にはニードル１３の先端
部の形状を検査するニードル先端部形状検査装置として
の反射形ホトセンサ１６が設置されている。反射形ホト
センサ１６は投光部と受光部とを備えており、投光部か
らニードル１３の先端部に投光し、そのニードル１３先
端部からの反射光を受光部で受光することによって、ニ
ードル１３の先端部の有無を検出するように構成されて
いる。

【００２３】本実施例においては、１本のニードル１３
に対応して反射形ホトセンサ１６が１個宛、設置されて
いる。したがって、反射形ホトセンサ１６は全体で４個
設置されている。これらの反射形ホトセンサ１６はニー
ドルユニット１２の貼着シート押さえ面１４から上方に
突出されたニードル１３の先端部付近の側方位置に配置
されており、図示外の警報装置に接続されている。そし
て、例えば、ニードル１３の先端が折れている場合等に
際して、反射形ホトセンサ１６がニードル１３から反射
光を受光しない場合には、警報装置が作動して警報を発
するように構成されている。

【００２４】また、ニードルユニット１２の下限の退避
位置において、その上方部の側方位置には、ニードルユ
ニット１２から突出されたニードル１３の略全体の形状
状態を検査する全体形状検査装置としてのセンサ（以
下、全長検査センサという。）１７が設置されている。
この全長検査センサ１７は上記反射形ホトセンサ１６と
同じ構造の反射形ホトセンサ１８が縦方向に真っ直ぐ一
列に複数個並べて配置されることにより構成されてい
る。

【００２５】なお、図１においては、ニードル１３の先
端部の異常を検査する反射形ホトセンサ１６に隠れて図
示されていないが、ニードル１３の突出部分の全体の状
態を検査する全長検査センサ１７は、ニードル１３の突
出部分の先端部から突出部分の下端部までの間にわたっ
て反射形ホトセンサ１８が配列されている。

【００２６】本実施例においては、１本のニードル１３
に対応して全長検査センサ１７が１基宛、設置されてい
る。したがって、全長検査センサ１７は全体で４基設置
されている。これらの全長検査センサ１７はニードルユ
ニット１２の貼着シート押さえ面１４から上方に突出さ
れたニードル１３の側方位置に配置されており、図示外
の警報装置に接続されている。そして、例えば、ニード
ル１３が曲がっている場合等に際して、全長検査センサ
１７のうちの少なくとも一つの反射形ホトセンサ１８が
ニードル１３から反射光を受光しない場合には、警報装
置が作動して警報を発するように構成されている。

【００２７】他方、ニードル１３の真上にはコレット１
９が設けられており、このコレット１９はニードル１３
により突き上げられたペレット２を上から真空吸着保持
し得るように構成されている。また、コレット１９は適
当な移動装置（図示せず）により、ニードル１３の真上
位置からペレットを移送すべき位置まで移動されるよう
に構成されている。

【００２８】次に作用を説明する。まず、ピックアップ
作業が実施される前に、前記した先端部形状検査装置と
しての反射形ホトセンサ１６および全長検査センサ１７
によって、ニードル１３に破損や曲がり等の異常がある
か否かの検査が行われる。その検査作業を以下に説明す
る。

【００２９】下限の退避位置にあるニードルユニット１
２の貼着シート押さえ面１４からニードル１３が上方に
突出され、ニードル１３の先端部がニードル１３の先端
部の状態を検査する反射形ホトセンサ１６の高さ位置に
配置される。この状態で、反射形ホトセンサ１６からニ
ードル１３に向けて投光される。そして、この投光のニ
ードル１３からの反射光が反射形ホトセンサ１６の受光
部によって受光された場合には、ニードル１３の先端部
に折れや曲がり等がないので、警報は発せられない。

【００３０】万一、ニードル１３の先端部に折れや曲が
り等が存在した場合には、反射形ホトセンサ１６からの
投光はニードル１３を通過して反射されないため、反射
形ホトセンサ１６の受光部において反射光は受光されな
い。そして、受光されない場合には、警報装置によって
警報が発せられる。警報が発せられると、ニードル１３
の先端部に破損等の異常が存在するので、ニードル１３
が新しいニードル１３に交換されることになる。

【００３１】ニードル１３の突出部分の全体の状態を検
査する全長検査センサ１７においても、同様にしてニー
ドル１３の全体状態が検査される。すなわち、全長検査
センサ１７の各反射形ホトセンサ１８からニードル１３
に向けて投光され、その反射光を各反射形ホトセンサ１
８が受光した場合には、ニードル１３に曲がりや折れ等
がないので、警報は発せられない。

【００３２】万一、ニードル１３に曲がりや折れ等の異
常が存在した場合には、ニードル１３の曲がっている部
分や折れている部分の反射形ホトセンサ１８からの投光
はニードル１３を通過して反射されないため、反射光は
受光されない。そして、１個でも受光されない場合に
は、警報装置によって警報が発せられる。警報が発せら
れると、ニードル１３に曲がり等の異常が存在するの
で、ニードル１３が新しいニードル１３に交換されるこ
とになる。

【００３３】上記のようにして、ニードル１３の先端部
とニードル１３の突出部分の略全体の状態とが２つのセ
ンサ１６、１７によって自動的に検査されるため、ニー
ドル１３が不良の場合には新しいニードル１３に交換す
ることができる。その結果、後記するペレット２のピッ
クアップ作業においてニードル１３に起因するペレット
２の不具合の発生を未然に防止することができる。

【００３４】ニードル１３の異常の有無についての検査
作業が完了すると、ニードル１３はニードルユニット１
２内に格納される。

【００３５】リング６が装着されているワーク１がペレ
ット２を上側にした状態でテーブル１１に保持され、適
正にアライメントされると、図３に示されているよう
に、ニードル１３についての破損や曲がり等の検査作業
が完了したニードルユニット１２が上昇され、その上面
の貼着シート押さえ面１４がワーク１の貼着シート３を
押し上げる。貼着シート押さえ面１４は凸状球面に形成
されているため、貼着シート３は凸状球面に沿って上方
に湾曲した状態になる。

【００３６】続いて、ニードルユニット１２から４本の
ニードル１３が上昇され、貼着シート押さえ面１４から
上方に突出する。これにより、貼着シート３のニードル
１３により突かれた部分はニードル１３により突き破ら
れ、この突き破られた貼着シート３上面に貼着されてい
るペレット２が、ニードル１３によって貼着シート３か
ら剥離される。

【００３７】このとき、ニードル１３には折れや曲がり
等の異常がないので、ペレット２を良好にピックアップ
することができ、ペレット２の裏面を傷付けることもな
い。また、貼着シート押さえ面１４が凸状球面に形成さ
れていることにより、ニードル１３に突き上げられるペ
レット２は最も上に位置するため、周りのペレット２群
が連れ上がりすることがない。

【００３８】前述したようにしてニードル１３により突
き上げられて貼着シート３から剥離されたペレット２
は、その真上に待機されているコレット１９に真空吸着
保持されるとともに、ニードル１３の下降作動に伴っ
て、コレット１９に受け渡されることになる。

【００３９】ペレット２を受け渡されたコレット１９は
適当な移動装置によって、ニードル１３の真上位置から
トレーやリードフレームのタブ等の所定位置に移動さ
れ、そこで、ペレットをトレーやタブに受け渡す。ペレ
ットを受け渡したコレット１９はニードル１３の真上位
置に戻され、次回のピックアップ作動に待機する。

【００４０】他方、ニードル１３が下降されてニードル
ユニット１２内に引き込められ、かつ、ニードルユニッ
ト１２が下降されると、テーブル１１がＸＹＺ方向に適
宜移動され、次回にピックアップすべきペレット２がニ
ードル１３の真上に対向配置される。そして、次回のペ
レット２のピックアップ作業を行う前に、前述したよう
にして、ニードル１３に折れや曲がり等の異常があるか
否かの検査作業が予め実施される。

【００４１】以降、前記作動が繰り返されることによっ
て、貼着シート３からペレット２が１個宛、ピックアッ
プされて行く。

【００４２】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 ニードル１３の先端部の状態を検査する反射形ホト
センサ１６を設置することにより、ニードル１３の先端
部に折れや曲がり等の異常があるか否かを検査すること
ができる。そして、ニードル１３の先端部に折れや曲が
り等の異常が存在することが検出された場合には、ニー
ドル１３を新しいニードル１３に交換することができ
る。その結果、ペレット２のピックアップ作業時に、ニ
ードル１３によってペレット２の裏面を傷付けたり、ペ
レット２を傾けて突き上げることによりコレット１９の
ペレット吸着ミスが発生したりするのを未然に防止する
ことができる。

【００４３】 ニードル１３の突出部分の略全体の状
態を検査する全長検査センサ１７を設置することによ
り、ニードル１３に曲がりや折れ等の異常があるか否か
を検査することができる。そして、ニードル１３に曲が
りや折れ等の異常が存在することが検出された場合に
は、ニードル１３を新しいニードル１３に交換すること
ができる。その結果、ペレット２のピックアップ作業時
に、ニードル１３によってペレット２の裏面を傷付けた
り、ペレット２を傾けて突き上げることによりコレット
１９のペレット吸着ミスが発生したりするのを未然に防
止することができる。

【００４４】 ニードル１３の破損や曲がり等の異常
を検査するための作業が上記のように自動的に実施され
るため、作業者がニードル１３の破損や曲がり等の異常
を検査する作業を行う必要がなくなる。その結果、省力
化を促進することができるとともに、人為的ミスや作業
のし忘れ等の発生を防止することができる。

【００４５】図４は本発明の実施例２であるピックアッ
プ装置を示す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は
その作用を説明するためのテレビ画面図である。

【００４６】本実施例２係るピックアップ装置１０Ａが
前記実施例１と異なる点は、ニードル１３によって貼着
シート３からペレット２がピックアップされた後の貼着
シート３面の状態を検査する貼着シート面検査装置３０
を備えており、貼着シート３面の状態を検査することに
よって、ニードル１３の破損や曲がり等の異常を検査す
るように構成されている点にある。

【００４７】すなわち、貼着シート３面の状態を検査す
る貼着シート面検査装置３０は光ファイバ３１を備えて
おり、光ファイバ３１はニードルユニット１２内の中央
部に埋設されている。光ファイバ３１の先端には対物レ
ンズ３２が固着され、対物レンズ３２はニードルユニッ
ト１２の貼着シート押さえ面１４の開口部に固着されて
上端面に露出されている。光ファイバ３１の下端には接
眼レンズ３３が固着されており、この接眼レンズ３３は
ニードルユニット１２の下端部の開口部に固着されて下
端面に露出されている。この接眼レンズ３３の下方位置
にはテレビカメラ３４が設置されている。

【００４８】このテレビカメラ３４には図示外の画像認
識装置が接続されており、画像認識装置はコントローラ
を介して警報装置に接続されている。そして、テレビカ
メラ３４によって撮影された貼着シート３の裏面の映像
が認識装置によって認識され、貼着シート３面に後記す
るような異常が存在する場合には、コントローラによっ
て警報装置から警報が発せられるように構成されてい
る。

【００４９】次に、本実施例２によるニードル１３の破
損や曲がり等の異常検査作業について説明する。

【００５０】ペレットがピックアップされた後に、ニー
ドル１３が下降されてニードルユニット１２内に引き込
められ、かつ、ニードルユニット１２が下降されると、
貼着シート３の裏面の状態が対物レンズ３２、光ファイ
バ３１および接眼レンズ３３を介してテレビカメラ３４
によって撮影される。その撮像信号に基づいて画像認識
装置によってパターン認識が実行される。その認識結果
によって、貼着シート３面に異常が存在する場合にはコ
ントローラによって警報装置から警報が発せられる。

【００５１】例えば、ピックアップ後、貼着シート３に
は４本のニードル１３が貫通通過したことにより４個の
ニードル孔が形成されるはずであるが、図４（ｂ）に示
されているように、貼着シート３に３個のニードル孔し
か認識されない場合には、４本のニードル１３のうちの
１本のニードル１３は先端部が折れていると、判定する
ことができる。また、ニードル孔の大きさが所定の大き
さよりも大きい場合には、ニードル１３の先端に欠けが
あると、判定することができる。また、ニードル孔の位
置が所定位置よりずれた位置に生じている場合には、ニ
ードル１３が曲がっていると、判定することができる。

【００５２】このようにして、ピックアップ後の貼着シ
ート３面の状態を検査することによりニードル１３の折
れや曲がり等の異常を検出することができる。そして、
ニードル１３の異常が検出された旨の警報が発せられた
場合には、ニードル１３が新しいニードル１３に交換さ
れることになる。

【００５３】以上説明したように、ピックアップ後の貼
着シート３面の状態を検査することによって、ニードル
１３に折れや曲がり等の異常が存在するか否かを検査す
ることができる。ニードル１３に折れや曲がり等の異常
が検出された場合には、ニードル１３を新しいニードル
１３に交換することによって、ペレット２のピックアッ
プ作業時に、ニードル１３によってペレット２の裏面を
傷付けたり、ペレット２を傾けて突き上げることにより
コレット１９のペレット吸着ミスが発生したりするのを
未然に防止することができる。

【００５４】図５は本発明の実施例３であるピックアッ
プ装置を示す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は
その作用を説明するためのテレビ画面図である。

【００５５】本実施例３に係るピックアップ装置１０Ｂ
が前記実施例１と異なる点は、ニードル１３によって貼
着シート３からペレット２がピックアップされた後のペ
レット２の裏面の状態を検査するペレット裏面検査装置
４０を備えており、ペレット２の裏面の状態を検査する
ことによって、ニードル１３の破損や曲がり等の異常を
検査するように構成されている点にある。

【００５６】すなわち、ペレット２の裏面の状態を検査
するペレット裏面検査装置４０はテレビカメラ４１を備
えており、このテレビカメラ４１はピックアップステー
ジの片脇に配設されている。つまり、ピックアップされ
たペレット２がコレット１９に真空吸着され、このペレ
ット２を吸着したコレット１９はペレット裏面検査位置
に移動されるように構成されている。そして、この検査
位置にペレット２の裏面を撮影するテレビカメラ４１が
設置されている。

【００５７】このテレビカメラ４１には図示外の画像認
識装置が接続されており、画像認識装置はコントローラ
を介して警報装置に接続されている。そして、テレビカ
メラ４１によって撮影されたペレット２の裏面の映像が
認識装置によって認識され、ペレット２の裏面に後記す
るような異常が存在する場合には、コントローラによっ
て警報装置から警報が発せられるように構成されてい
る。

【００５８】次に、本実施例３によるニードル１３の破
損や曲がり等の異常検査作業について説明する。

【００５９】ペレットがピックアップされた後に、ペレ
ット２を真空吸着したコレット１９が検査位置に移動さ
れると、ペレット２の裏面の状態がテレビカメラ４１に
よって撮影される。その撮像信号に基づいて画像認識装
置によってパターン認識が実行される。その認識結果に
よって、ペレット２の裏面に異常が存在する場合にはコ
ントローラによって警報装置から警報が発せられる。

【００６０】例えば、ピックアップ後、ペレット２の裏
面には４本のニードル１３が突き上げることにより４個
の圧痕が形成されるはずであるが、図５（ｂ）に示され
ているように、ペレット２の裏面に３個の圧痕しか認識
されない場合には、４本のニードル１３のうちの１本の
ニードル１３は先端部が折れていると、判定することが
できる。また、圧痕の大きさが所定の大きさよりも大き
い場合には、ニードル１３の先端に欠けがあると、判定
することができる。また、圧痕の位置が所定位置よりず
れた位置に生じている場合には、ニードル１３が曲がっ
ていると、判定することができる。

【００６１】このようにして、ペレット２の裏面の状態
を検査することによりニードル１３の折れや曲がり等の
異常を検出することができる。そして、ニードル１３に
異常がある旨の警報が発せられた場合には、ニードル１
３が新しいニードル１３に交換されることになる。

【００６２】以上説明したように、ピックアップ後のペ
レット２の裏面の状態を検査することによって、ニード
ル１３に折れや曲がり等の異常が存在するか否かを検査
することができる。ニードル１３に折れや曲がり等の異
常が検出された場合にはニードル１３を新しいニードル
１３に交換することによって、ペレット２のピックアッ
プ作業時に、ニードル１３によってペレット２の裏面を
傷付けたり、ペレット２を傾けて突き上げることにより
コレット１９のペレット吸着ミスが発生したりするのを
未然に防止することができる。

【００６３】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６４】例えば、前記実施例１においては、ニード
ル１３の先端部を検査する先端部形状検査装置としての
反射形ホトセンサ１６と、ニードル１３の突出部分の全
体の状態を検査する全長検査センサ１７とを設けたが、
ニードル１３の先端部の状態を検査する反射形ホトセン
サ１６だけを設けるようにしてもよい。

【００６５】また、ニードル１３の先端部および全体を
検査するホトセンサ１６および全長検査センサ１７は、
ニードル１３を停止させて検査作業が実施されるように
構成するに限らず、ニードル１３を移動させながら検査
作業が実施されるように構成してもよい。

【００６６】補助のニードルユニットを装備しておき、
検査装置によってニードルが不良であることが検出され
た場合には、補助のニードルユニットに自動的に交換さ
れるように構成することもできる。

【００６７】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットのピックアップ技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、微少な電子
部品や電子機器等のような小物品の貼着シートからのピ
ックアップ技術全般に適用することができる。

【００６８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００６９】ニードルの折れや曲がり等の異常を検査す
る検査装置が設けられていることにより、ニードルの破
損や曲がり等の異常を自動的に検査することができるた
め、ニードルの異常が検出された場合に、ニードルを一
早く交換することができる。その結果、ニードルのペレ
ット突き上げ時に、ペレットの裏面を傷付けたり、ペレ
ットを傾けて突き上げたりするのを未然に防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるピックアップ装置を示
す正面断面図である。

【図２】図１のII−II線に沿う拡大した底面断面図であ
る。

【図３】図１の状態からニードルユニットが上昇して貼
着シート押さえ面が貼着シートを押接した状態で、ニー
ドルユニットからニードルが突き出してペレットを貼着
シートから剥離した状態を示す正面断面図である。

【図４】本発明の実施例２であるピックアップ装置を示
す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）はその作用を
説明するためのテレビ画面図である。

【図５】本発明の実施例３であるピックアップ装置を示
す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）はその作用を
説明するためのテレビ画面図である。

【符号の説明】

１…ワーク（ペレット付貼着シート）、２…ペレット、
３…貼着シート、４…シート基材、５…貼着材層、６…
リング、１０、１０Ａ、１０Ｂ…ピックアップ装置、１
１…テーブル、１２…ニードルユニット、１３…ニード
ル、１４…貼着シート押さえ面、１５…ガイド孔、１６
…反射形ホトセンサ（ニードル先端部形状検査装置）、
１７…全長検査センサ（ニードル全体形状検査装置）１
８…反射形ホトセンサ、１９…コレット、３０…貼着シ
ート面検査装置、３１…光ファイバ、３２…対物レン
ズ、３３…接眼レンズ、３４…テレビカメラ、４０…ペ
レット裏面検査装置、４１…テレビカメラ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数個の小物品が貼着されている貼着シ
   ートを保持するテーブルと、このテーブルに保持された
   貼着シートを裏面側から突いて前記小物品を貼着シート
   から離脱させるニードルを備えているピックアップ装置
   において、 前記ニードルの形状を検査するニードル形状検査装置を
   備えていることを特徴とするピックアップ装置。
2. 【請求項２】 多数個の小物品が貼着されている貼着シ
   ートを保持するテーブルと、このテーブルに保持された
   貼着シートを裏面側から突いて前記小物品を貼着シート
   から離脱させるニードルを備えているピックアップ装置
   において、 前記ニードルによって突かれた貼着シート面の状態を検
   査する貼着シート面検査装置を備えていることを特徴と
   するピックアップ装置。
3. 【請求項３】 多数個の小物品が貼着されている貼着シ
   ートを保持するテーブルと、このテーブルに保持された
   貼着シートを裏面側から突いて前記小物品を貼着シート
   から離脱させるニードルを備えているピックアップ装置
   において、 前記貼着シートから離脱された小物品の裏面の状態を検
   査する小物品裏面検査装置を備えていることを特徴とす
   るピックアップ装置。