JPH06142971A - 紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置 - Google Patents
紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置Info
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- JPH06142971A JPH06142971A JP4295537A JP29553792A JPH06142971A JP H06142971 A JPH06142971 A JP H06142971A JP 4295537 A JP4295537 A JP 4295537A JP 29553792 A JP29553792 A JP 29553792A JP H06142971 A JPH06142971 A JP H06142971A
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- water
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- pulsed laser
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special environment or atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/1224—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special environment or atmosphere, e.g. in an enclosure in vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工物の屑（ダスト）を被加工物の表面か
ら効率よく除去することができ、ダストによるレーザ光
の散乱、吸収を低減し、レンズへのダストの付着とダス
トによる傷を防止することができ、更に、レンズと被加
工物の両方を十分に冷却することができる紫外パルスレ
ーザ光を用いた水中加工装置を提供する。 【構成】 紫外パルスレーザ光１を発生するレーザ発振
器１０と、紫外パルスレーザ光を焦点２に集光するレン
ズ１２と、レーザ発振器とレンズとの間の光路を気密に
囲み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクト１４
と、レーザ光の焦点に被加工物３の加工部分を位置決め
する移動テーブル１６と、レンズと被加工物との間を水
密に囲む加工ハウジング１８と、被加工物の加工部分に
沿ってレンズと被加工物との間に水を流通させる水流通
装置２０とからなる。
ら効率よく除去することができ、ダストによるレーザ光
の散乱、吸収を低減し、レンズへのダストの付着とダス
トによる傷を防止することができ、更に、レンズと被加
工物の両方を十分に冷却することができる紫外パルスレ
ーザ光を用いた水中加工装置を提供する。 【構成】 紫外パルスレーザ光１を発生するレーザ発振
器１０と、紫外パルスレーザ光を焦点２に集光するレン
ズ１２と、レーザ発振器とレンズとの間の光路を気密に
囲み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクト１４
と、レーザ光の焦点に被加工物３の加工部分を位置決め
する移動テーブル１６と、レンズと被加工物との間を水
密に囲む加工ハウジング１８と、被加工物の加工部分に
沿ってレンズと被加工物との間に水を流通させる水流通
装置２０とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外パルスレーザ光を
用いた水中加工装置に関する。
用いた水中加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】紫外パルスレーザ光、例えばエキシマレ
ーザ光は、ＸｅＣｌ* ，ＫｒＦ* （＊印は励起状態を示
す）などの励起状態の分子（エキシマ分子）が励起状態
から基底状態に戻るときに発生する波長の短い紫外光で
あり、フォトンエネルギーが大きい特徴を有している。
よって分子鎖の直接切断による熱影響の少ない加工が可
能となり、ＦＲＰ、半導体材料などの微細加工、例えば
穴開け、切断等に適している。
ーザ光は、ＸｅＣｌ* ，ＫｒＦ* （＊印は励起状態を示
す）などの励起状態の分子（エキシマ分子）が励起状態
から基底状態に戻るときに発生する波長の短い紫外光で
あり、フォトンエネルギーが大きい特徴を有している。
よって分子鎖の直接切断による熱影響の少ない加工が可
能となり、ＦＲＰ、半導体材料などの微細加工、例えば
穴開け、切断等に適している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる紫外パ
ルスレーザ光（以下、単にレーザ光という）を用いた従
来の微細加工では、例えばＦＲＰ等の被加工物に穴開け
や切断を行うと、被加工物の加工部分が瞬間的に外部に
飛散するため、飛散した被加工物の屑（ダスト）が被加
工物の表面を覆い、レーザ光がこのダストにより散乱、
吸収され、加工部分まで到達するレーザ光のエネルギー
密度が小さくなる問題点があった。また、飛散した被加
工物の屑（ダスト）はレーザ光を集光するレンズにも付
着し、レンズの透過性が損なわれる問題点があった。
ルスレーザ光（以下、単にレーザ光という）を用いた従
来の微細加工では、例えばＦＲＰ等の被加工物に穴開け
や切断を行うと、被加工物の加工部分が瞬間的に外部に
飛散するため、飛散した被加工物の屑（ダスト）が被加
工物の表面を覆い、レーザ光がこのダストにより散乱、
吸収され、加工部分まで到達するレーザ光のエネルギー
密度が小さくなる問題点があった。また、飛散した被加
工物の屑（ダスト）はレーザ光を集光するレンズにも付
着し、レンズの透過性が損なわれる問題点があった。
【０００４】更に、レーザ光を集光するレンズがレーザ
光の一部を吸収して高温になり変形したり透過率が低下
する問題点があった。また、被加工物自体もレーザ光の
照射により高温になり、変形や炭化が生じる問題点もあ
った。これらの問題点を解決するため、従来の加工で
は、不活性ガス等を被加工物とレンズの表面に吹き付け
ているが、ダストがガス中に飛散するため十分なダスト
除去はできず、また冷却効果もレンズや被加工物の表面
部のみであり、十分な冷却ができなかった。その上、ガ
スによりダストが被加工面に衝突したり、ガス自体の圧
力により被加工面の表面に傷が付く問題点があった。
光の一部を吸収して高温になり変形したり透過率が低下
する問題点があった。また、被加工物自体もレーザ光の
照射により高温になり、変形や炭化が生じる問題点もあ
った。これらの問題点を解決するため、従来の加工で
は、不活性ガス等を被加工物とレンズの表面に吹き付け
ているが、ダストがガス中に飛散するため十分なダスト
除去はできず、また冷却効果もレンズや被加工物の表面
部のみであり、十分な冷却ができなかった。その上、ガ
スによりダストが被加工面に衝突したり、ガス自体の圧
力により被加工面の表面に傷が付く問題点があった。
【０００５】本発明は、かかる問題点を解決するために
創案されたものである。すなわち、本発明の第１の目的
は、被加工物の屑（ダスト）を被加工物とレンズ間の光
路上から効率よく除去することができ、ダストによるレ
ーザ光の散乱、吸収を低減し、レンズ等へのダストの付
着とダストによる傷を防止することができる紫外パルス
レーザ光を用いた水中加工装置を提供することにある。
更に、本発明の第２の目的は、レンズと被加工物の両方
を十分に冷却することができる紫外パルスレーザ光を用
いた水中加工装置を提供することにある。
創案されたものである。すなわち、本発明の第１の目的
は、被加工物の屑（ダスト）を被加工物とレンズ間の光
路上から効率よく除去することができ、ダストによるレ
ーザ光の散乱、吸収を低減し、レンズ等へのダストの付
着とダストによる傷を防止することができる紫外パルス
レーザ光を用いた水中加工装置を提供することにある。
更に、本発明の第２の目的は、レンズと被加工物の両方
を十分に冷却することができる紫外パルスレーザ光を用
いた水中加工装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、紫外パ
ルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、紫外パルスレ
ーザ光を焦点に集光するレンズと、前記レーザ発振器と
前記レンズとの間の光路を気密に囲み、内部が不活性ガ
スで満たされた導入光ダクトと、前記レーザ光の焦点に
被加工物の加工部分を位置決めする移動テーブルと、前
記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工ハウジング
と、被加工物の加工部分に沿って前記レンズと被加工物
との間に水を流通させる水流通装置と、からなることを
特徴とする紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置が
提供される。
ルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、紫外パルスレ
ーザ光を焦点に集光するレンズと、前記レーザ発振器と
前記レンズとの間の光路を気密に囲み、内部が不活性ガ
スで満たされた導入光ダクトと、前記レーザ光の焦点に
被加工物の加工部分を位置決めする移動テーブルと、前
記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工ハウジング
と、被加工物の加工部分に沿って前記レンズと被加工物
との間に水を流通させる水流通装置と、からなることを
特徴とする紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置が
提供される。
【０００７】前記水の流通は、渦や泡が発生しない最大
速度である。更に、前記水流通装置は、加工ハウジング
内に水を供給するための吐出口と、被加工物の加工部分
を通過した水を加工ハウジング外に排出するための排出
口と、水を排出口から吐出口まで循環させる循環ポンプ
と、排出口と循環ポンプとの間に設けられダストを除去
するフィルタとからなるのがよい。
速度である。更に、前記水流通装置は、加工ハウジング
内に水を供給するための吐出口と、被加工物の加工部分
を通過した水を加工ハウジング外に排出するための排出
口と、水を排出口から吐出口まで循環させる循環ポンプ
と、排出口と循環ポンプとの間に設けられダストを除去
するフィルタとからなるのがよい。
【０００８】
【作用】本発明の発明者は、被加工物の表面に水流を発
生させ、その水流を通して紫外パルスレーザ光を照射す
ると、ガス中の通常の場合よりも効率良く加工できると
いう知見を得ている。この原因は、水滴によりダストの
飛散が少なくなり、レーザ光のダストによる散乱や吸収
が低減したためと想定される。また、紫外パルスレーザ
光は水にほとんど吸収されないため、水中で被加工物を
加工しても、レーザ光のエネルギー密度の低下はほとん
どなく、良好な加工ができることがわかった。本発明は
かかる新規の知見に基ずくものである。
生させ、その水流を通して紫外パルスレーザ光を照射す
ると、ガス中の通常の場合よりも効率良く加工できると
いう知見を得ている。この原因は、水滴によりダストの
飛散が少なくなり、レーザ光のダストによる散乱や吸収
が低減したためと想定される。また、紫外パルスレーザ
光は水にほとんど吸収されないため、水中で被加工物を
加工しても、レーザ光のエネルギー密度の低下はほとん
どなく、良好な加工ができることがわかった。本発明は
かかる新規の知見に基ずくものである。
【０００９】すなわち、上記本発明の構成によれば、本
発明による紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置
は、紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、紫
外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、前記レー
ザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲み、内部
が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、前記レーザ
光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めする移動テー
ブルと、前記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工
ハウジングと、被加工物の加工部分に沿って前記レンズ
と被加工物との間に水を流通させる水流通装置とからな
るので、被加工物の加工部分は常に加工部分に沿って流
通する水で覆われている。上述のように紫外パルスレー
ザ光は水にほとんど吸収されないため、レンズで集光さ
れたレーザ光の焦点では、エネルギー密度の低下はほと
んどなく、ＦＲＰ等の被加工物の加工部分を瞬間的に飛
散させることができる。飛散した被加工物すなわちダス
トは従来と同様に被加工物の外に飛び出すが、水の密度
はガスに較べて大きいため、ダストは水中にあまり飛散
せず、被加工物の表面付近で水流により流される。従っ
て水のダストによる汚染は被加工物の表面付近に限ら
れ、レーザ光はダストによりほとんど散乱、吸収され
ず、加工部分までエネルギー密度を保持したまま到達す
ることができる。また、被加工物から間隔を隔てたレン
ズまでダストが到達することはほとんどなく、レンズに
ダストが付着してレンズの透過性が損なわれることはな
い。また、水が被加工物の加工部分に沿って前記レンズ
と被加工物との間を流れるので、レンズと被加工物の表
面が常に新しい水で洗い流され、レンズへのダストの付
着やダストによる傷を防ぐことができる。
発明による紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置
は、紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、紫
外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、前記レー
ザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲み、内部
が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、前記レーザ
光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めする移動テー
ブルと、前記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工
ハウジングと、被加工物の加工部分に沿って前記レンズ
と被加工物との間に水を流通させる水流通装置とからな
るので、被加工物の加工部分は常に加工部分に沿って流
通する水で覆われている。上述のように紫外パルスレー
ザ光は水にほとんど吸収されないため、レンズで集光さ
れたレーザ光の焦点では、エネルギー密度の低下はほと
んどなく、ＦＲＰ等の被加工物の加工部分を瞬間的に飛
散させることができる。飛散した被加工物すなわちダス
トは従来と同様に被加工物の外に飛び出すが、水の密度
はガスに較べて大きいため、ダストは水中にあまり飛散
せず、被加工物の表面付近で水流により流される。従っ
て水のダストによる汚染は被加工物の表面付近に限ら
れ、レーザ光はダストによりほとんど散乱、吸収され
ず、加工部分までエネルギー密度を保持したまま到達す
ることができる。また、被加工物から間隔を隔てたレン
ズまでダストが到達することはほとんどなく、レンズに
ダストが付着してレンズの透過性が損なわれることはな
い。また、水が被加工物の加工部分に沿って前記レンズ
と被加工物との間を流れるので、レンズと被加工物の表
面が常に新しい水で洗い流され、レンズへのダストの付
着やダストによる傷を防ぐことができる。
【００１０】更に、水は被加工物の加工部分に沿って前
記レンズと被加工物との間を流通するので、レンズと被
加工物の両方を直接水で冷却することができる。
記レンズと被加工物との間を流通するので、レンズと被
加工物の両方を直接水で冷却することができる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。図１は本発明による紫外パルスレーザ光
を用いた水中加工装置の全体構成図である。図１におい
て、本発明による水中加工装置は、紫外パルスレーザ光
１を発生するレーザ発振器１０と、紫外パルスレーザ光
１を焦点２に集光するレンズ１２と、レーザ発振器１０
とレンズ１２との間の光路を気密に囲み、内部が不活性
ガスで満たされた導入光ダクト１４と、レーザ光１の焦
点２に被加工物３の加工部分を位置決めする移動テーブ
ル１６と、レンズ１２と被加工物３との間を水密に囲む
加工ハウジング１８と、被加工物３の加工部分に沿って
レンズ１２と被加工物３との間に水を流通させる水流通
装置２０とからなる。
して説明する。図１は本発明による紫外パルスレーザ光
を用いた水中加工装置の全体構成図である。図１におい
て、本発明による水中加工装置は、紫外パルスレーザ光
１を発生するレーザ発振器１０と、紫外パルスレーザ光
１を焦点２に集光するレンズ１２と、レーザ発振器１０
とレンズ１２との間の光路を気密に囲み、内部が不活性
ガスで満たされた導入光ダクト１４と、レーザ光１の焦
点２に被加工物３の加工部分を位置決めする移動テーブ
ル１６と、レンズ１２と被加工物３との間を水密に囲む
加工ハウジング１８と、被加工物３の加工部分に沿って
レンズ１２と被加工物３との間に水を流通させる水流通
装置２０とからなる。
【００１２】レーザ発振器１０は、例えばエキシマレー
ザ発振器であり、２４８ｎｍ、２８２ｎｍ、３０８ｎｍ
等の波長の紫外パルスレーザ光を発生する。かかる紫外
パルスレーザ光は、数ｃｍの厚さの水に対して９９％以
上が透過し、実質的にほとんど吸収されない。導入光ダ
クト１４は、例えば図示のように水平部と垂直部より構
成され、水平部と垂直部の交差部分には反射ミラー１５
が４５度の角度で設けられている。これにより水平に放
射されたレーザ光１を反射ミラー１５で垂直方向に変向
することができる。また、導入光ダクト１４の内部の不
活性ガスは、例えばＡｒ（アルゴン）、Ｈｅ（ヘリウ
ム）、Ｎ2 （窒素）である。これにより、エキシマレー
ザ光の減衰を最小限にすることができる。また、経済的
にはＮ2 を用いることにより、運転費用を低減すること
ができる。なお、不活性ガスは、導入光ダクト１４内に
封入（密封）してもよく、或いは流通させて流してもよ
い。
ザ発振器であり、２４８ｎｍ、２８２ｎｍ、３０８ｎｍ
等の波長の紫外パルスレーザ光を発生する。かかる紫外
パルスレーザ光は、数ｃｍの厚さの水に対して９９％以
上が透過し、実質的にほとんど吸収されない。導入光ダ
クト１４は、例えば図示のように水平部と垂直部より構
成され、水平部と垂直部の交差部分には反射ミラー１５
が４５度の角度で設けられている。これにより水平に放
射されたレーザ光１を反射ミラー１５で垂直方向に変向
することができる。また、導入光ダクト１４の内部の不
活性ガスは、例えばＡｒ（アルゴン）、Ｈｅ（ヘリウ
ム）、Ｎ2 （窒素）である。これにより、エキシマレー
ザ光の減衰を最小限にすることができる。また、経済的
にはＮ2 を用いることにより、運転費用を低減すること
ができる。なお、不活性ガスは、導入光ダクト１４内に
封入（密封）してもよく、或いは流通させて流してもよ
い。
【００１３】図１の実施例において、水流通装置２０
は、加工ハウジング１８内に水を供給するための吐出口
２２と、被加工物３の加工部分を通過した水を加工ハウ
ジング１８の外に排出するための排出口２４と、水を排
出口２４から吐出口２２まで循環させる循環ポンプ２６
と、排出口２４と循環ポンプ２６との間に設けられダス
トを除去するフィルタ２８とからなる。
は、加工ハウジング１８内に水を供給するための吐出口
２２と、被加工物３の加工部分を通過した水を加工ハウ
ジング１８の外に排出するための排出口２４と、水を排
出口２４から吐出口２２まで循環させる循環ポンプ２６
と、排出口２４と循環ポンプ２６との間に設けられダス
トを除去するフィルタ２８とからなる。
【００１４】また、渦や泡が発生すると、レーザ光１が
水中で散乱、屈折し、焦点２におけるレーザ光のエネル
ギー密度が低下する。一方、水の密度はガスに比較して
大きいため、水の流速は小さくてもダストを効率よく除
去することができる。冷却効果を高めるため、水の流通
は、渦や泡が発生しない最大速度であるのがよい。ま
た、水の循環経路の途中、例えば吐出口２２の上流に適
当な整流装置２３を備えてもよい。更に、この整流装置
２３内に渦や泡を除去する装置を備えてもよい。
水中で散乱、屈折し、焦点２におけるレーザ光のエネル
ギー密度が低下する。一方、水の密度はガスに比較して
大きいため、水の流速は小さくてもダストを効率よく除
去することができる。冷却効果を高めるため、水の流通
は、渦や泡が発生しない最大速度であるのがよい。ま
た、水の循環経路の途中、例えば吐出口２２の上流に適
当な整流装置２３を備えてもよい。更に、この整流装置
２３内に渦や泡を除去する装置を備えてもよい。
【００１５】なお、本発明かかかる構成に限定されず、
例えば水を循環させず、ワンスルーで用いる水流通装置
であってもよい。これにより、循環ポンプやフィルタを
簡略化或いは省略することができる。
例えば水を循環させず、ワンスルーで用いる水流通装置
であってもよい。これにより、循環ポンプやフィルタを
簡略化或いは省略することができる。
【００１６】
【発明の効果】上述したように、本発明の構成によれ
ば、本発明による紫外パルスレーザ光を用いた水中加工
装置は、紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発振器
と、紫外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、前
記レーザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲
み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、前
記レーザ光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めする
移動テーブルと、前記レンズと被加工物との間を水密に
囲む加工ハウジングと、被加工物の加工部分に沿って前
記レンズと被加工物との間に水を流通させる水流通装置
とからなるので、被加工物の加工部分は常に加工部分に
沿って流通する水で覆われている。上述のように紫外パ
ルスレーザ光は水にほとんど吸収されないため、レンズ
で集光されたレーザ光の焦点では、エネルギー密度の低
下はほとんどなく、ＦＲＰ等の被加工物の加工部分を瞬
間的に飛散させることができる。飛散した被加工物すな
わちダストは従来と同様に被加工物の外に飛び出すが、
水の密度はガスに較べて大きいため、ダストは水中にあ
まり飛散せず、被加工物の表面付近で水流により流され
る。従って水のダストによる汚染は被加工物の表面付近
に限られ、レーザ光はダストによりほとんど散乱、吸収
されず、加工部分までエネルギー密度を保持したままレ
ーザ光は到達することができる。また、被加工物から間
隔を隔てたレンズまでダストが到達することはほとんど
なく、レンズにダストが付着せずレンズの透過性が損な
われることはない。また、水が被加工物の加工部分に沿
って前記レンズと被加工物との間を流れるので、レンズ
と被加工物の表面が常に新しい水で洗い流され、レンズ
へのダストの付着やダストによる傷を防ぐことができ
る。
ば、本発明による紫外パルスレーザ光を用いた水中加工
装置は、紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発振器
と、紫外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、前
記レーザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲
み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、前
記レーザ光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めする
移動テーブルと、前記レンズと被加工物との間を水密に
囲む加工ハウジングと、被加工物の加工部分に沿って前
記レンズと被加工物との間に水を流通させる水流通装置
とからなるので、被加工物の加工部分は常に加工部分に
沿って流通する水で覆われている。上述のように紫外パ
ルスレーザ光は水にほとんど吸収されないため、レンズ
で集光されたレーザ光の焦点では、エネルギー密度の低
下はほとんどなく、ＦＲＰ等の被加工物の加工部分を瞬
間的に飛散させることができる。飛散した被加工物すな
わちダストは従来と同様に被加工物の外に飛び出すが、
水の密度はガスに較べて大きいため、ダストは水中にあ
まり飛散せず、被加工物の表面付近で水流により流され
る。従って水のダストによる汚染は被加工物の表面付近
に限られ、レーザ光はダストによりほとんど散乱、吸収
されず、加工部分までエネルギー密度を保持したままレ
ーザ光は到達することができる。また、被加工物から間
隔を隔てたレンズまでダストが到達することはほとんど
なく、レンズにダストが付着せずレンズの透過性が損な
われることはない。また、水が被加工物の加工部分に沿
って前記レンズと被加工物との間を流れるので、レンズ
と被加工物の表面が常に新しい水で洗い流され、レンズ
へのダストの付着やダストによる傷を防ぐことができ
る。
【００１７】更に、水は被加工物の加工部分に沿って前
記レンズと被加工物との間を流通するので、レンズと被
加工物の両方を直接水で冷却することができる。
記レンズと被加工物との間を流通するので、レンズと被
加工物の両方を直接水で冷却することができる。
【００１８】従って、本発明の紫外パルスレーザ光を用
いた水中加工装置によれば、被加工物の屑（ダスト）を
被加工物の表面から効率よく除去することができ、ダス
トによるレーザ光の散乱、吸収を低減し、レンズへのダ
ストの付着とダストによる傷を防止することができ、更
に、レンズと被加工物の両方を十分に冷却することがで
きる。
いた水中加工装置によれば、被加工物の屑（ダスト）を
被加工物の表面から効率よく除去することができ、ダス
トによるレーザ光の散乱、吸収を低減し、レンズへのダ
ストの付着とダストによる傷を防止することができ、更
に、レンズと被加工物の両方を十分に冷却することがで
きる。
【図１】本発明による紫外パルスレーザ光を用いた水中
加工装置の全体構成図である。
加工装置の全体構成図である。
１ 紫外パルスレーザ光 ２ 焦点 ３ 被加工物 １０ レーザ発振器 １２ レンズ １４ 導入光ダクト １５ 反射ミラー １６ 移動テーブル １８ 加工ハウジング ２０ 水流通装置 ２２ 吐出口 ２３ 整流装置 ２４ 排出口 ２６ 循環ポンプ ２８ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 滋 神奈川県横浜市磯子区新中原町１ 石川島 播磨重工業株式会社技術研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発
振器と、 紫外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、 前記レーザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲
み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、 前記レーザ光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めす
る移動テーブルと、 前記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工ハウジン
グと、 被加工物の加工部分に沿って前記レンズと被加工物との
間に水を流通させる水流通装置と、からなることを特徴
とする紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置。 - 【請求項２】 前記水の流通は、渦や泡が発生しない最
大速度で水流発生が可能である、ことを特徴とする請求
項１に記載の紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装
置。 - 【請求項３】 前記水流通装置は、加工ハウジング内に
水を供給するための吐出口と、被加工物の加工部分を通
過した水を加工ハウジング外に排出するための排出口
と、水を排出口から吐出口まで循環させる循環ポンプ
と、排出口と循環ポンプとの間に設けられダストを除去
するフィルタと、からなることを特徴とする請求項１に
記載の紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4295537A JPH06142971A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4295537A JPH06142971A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06142971A true JPH06142971A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=17821924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4295537A Pending JPH06142971A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06142971A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN116352265A (zh) * | 2023-03-24 | 2023-06-30 | 北京石油化工学院 | L型激光头水下密封装置及激光水下焊接装置 |
-
1992
- 1992-11-05 JP JP4295537A patent/JPH06142971A/ja active Pending
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