JPH06144959A - 耐熱部材及びその製造方法 - Google Patents

耐熱部材及びその製造方法

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JPH06144959A
JPH06144959A JP30226492A JP30226492A JPH06144959A JP H06144959 A JPH06144959 A JP H06144959A JP 30226492 A JP30226492 A JP 30226492A JP 30226492 A JP30226492 A JP 30226492A JP H06144959 A JPH06144959 A JP H06144959A
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Yoshihiro Ohinata
義宏 大日向
Hitoshi Oomisono
仁 近江園
Masayasu Komuro
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    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 多孔質材料よりなる基体の表面に、耐火被覆
層を形成してなる、安価で軽量かつ耐久性に優れた耐熱
部材を提供する。 【構成】 多孔質材料よりなる基体2の表面に、表面側
が緻密質であり、基体との接合界面側が多孔質であり、
気孔率が基体2との接合界面から該表面に向けて徐々に
減少している耐火被覆層3を形成する。基体の表面に耐
火性無機質粉末のスラリーを、上側の層ほど粒度が小さ
くなるように複数回スプレーコーティングした後、焼成
する。 【効果】 基体との接合界面近傍は基体の密度に近似し
た密度とすることにより、基体と被覆層との密度差、熱
膨張差に起因する熱的、機械的応力の集中を防止する。
被覆層の密度に傾斜をもたせて、応力を均等に分散でき
る。被覆層の表面を緻密層にして、被焼成物の成分の拡
散を防止し、拡散成分と基体との反応による基体の劣化
を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は耐熱部材及びその製造方
法に係り、特に、多孔質材料よりなる基体の表面に、低
反応性の耐火被覆層を形成してなる耐熱部材であって、
基体と被覆層との耐剥離性を改善した耐熱部材及びその
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来コンデンサ、バリスタ、サーミス
タ、圧電素子等の電子材料の製造に用いられる焼成治具
材料としては、アルミナ、マグネシア、ムライト、スピ
ネル、コージェライト等の耐火材料が広く使用されてい
る。
【0003】ところで、近年、コンデンサ等の電子材料
には、コスト低減、特性の改善等を目的として、鉛、ビ
スマス等の低融点酸化物がその組成の一部として用いら
れるようになってきている。
【0004】これら低融点酸化物を含む電子材料の焼成
には、当該電子材料素子との反応が極力少ない材料、例
えば、ジルコニア、マグネシアよりなる焼成用治具が用
いられている。
【0005】しかし、これらジルコニアやマグネシア等
の材料は高価である上、ジルコニア又はマグネシア製の
焼成用治具では、コスト高となる上に、重量も嵩み取り
扱い難く、また、熱容量も大きいことから焼成コストの
面で不利である。
【0006】このため、最近では、安価なアルミナ等の
多孔質体よりなる軽量基体の表面に、ジルコニア被覆層
を形成した焼成用治具が用いられるようになってきた。
【0007】従来、このような焼成用治具としては、特
開平2−69381号公報に開示されるものがある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平2−6
9381号公報に開示される焼成用治具は、基体表面
に、基体の強度を補うべく、高密度で高強度の被覆層を
設けたものであり、基体の密度と被覆層の密度とが大き
く異なることから、両者の熱膨張率の差が大きい。この
ため、基体と被覆層との接合界面に応力が加わり易く、
機械的衝撃に対して非常に弱いという欠点がある。ま
た、基体と被覆層とで焼結時の体積収縮率が異なること
からも、被覆層の剥離が生じ易いという欠点もある。更
に、基体と被覆層との熱伝導率や熱膨張率等の熱物性の
みならず、ヤング率にも大きな差異があるため、被覆層
に亀裂が生じ易く、この亀裂から被焼成素子の成分が基
体内に拡散し、基体がこの拡散成分と反応することか
ら、焼成用治具の寿命が短いという欠点もある。
【0009】このような問題を解決するものとして、特
公平3−177383号公報には、被覆層の空隙率を大
きくして基体と被覆層との剥離や亀裂発生を防止した耐
火物が開示されている。しかしながら、この耐火物で
は、被覆層の空隙率が大きいため、この空隙を経由して
被焼成素子の成分が基体内に拡散することとなり、焼成
用治具としては不適当である。
【0010】本発明は上記従来の問題点を解決し、多孔
質材料よりなる基体の表面に、低反応性の耐火被覆層を
形成してなる耐熱部材であって、被覆層による基体の保
護効果を確実に得ることができ、しかも、被覆層の剥離
や亀裂の問題もない、安価で軽量かつ耐久性に優れた耐
熱部材及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1の耐熱部材は、
多孔質材料よりなる基体の表面に耐火被覆層を形成して
なる耐熱部材において、該被覆層は、その表面側が緻密
質であり、基体との接合界面側が多孔質であり、気孔率
が基体との接合界面から該表面に向けて徐々に減少して
いることを特徴とする。
【0012】請求項2の耐熱部材は、請求項1の耐熱部
材において、前記耐火被覆層は、粒子径1〜100μm
の耐火性無機質粉末よりなる、厚さ50〜200μmの
被覆層であることを特徴とする。
【0013】請求項3の耐熱部材は、請求項1又は2の
耐熱部材において、前記基体は相対密度30〜70%で
あり、前記耐火被覆層のうち、表面側の上層の相対密度
は50〜98%、基体との接合界面側の下層の相対密度
は30〜70%、該上層と下層との間の中間層の相対密
度は40〜80%であることを特徴とする。
【0014】請求項4の耐熱部材の製造方法は、多孔質
材料よりなる基体の表面に、耐火性無機質粉末のスラリ
ーをスプレーコーティングし、その後、焼成することに
より、焼結層よりなる耐火被覆層を形成する方法におい
て、該スプレーコーティングを複数回行なうことによっ
て複数層の積層物よりなるコーティング層を形成した
後、前記焼成を行なうようにした方法であって、該積層
物の各層の無機質粉末の粒度を上側の層ほど小さくなる
ようにし、これによって、前記焼結層よりなる耐火被覆
層の表面側が緻密質であり、基体との接合界面側が多孔
質となると共に、気孔率が基体との接合界面から該表面
に向けて徐々に減少した被覆層を形成することを特徴と
する。
【0015】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。
【0016】第1図は本発明の耐熱部材の一実施例を示
す模式的な断面図、第2図は第1図の要部拡大図、第3
図は本発明の耐熱部材の製造方法の一実施例を示す断面
図である。
【0017】第1,2図に示す如く、本発明の耐熱部材
1は、多孔質材料よりなる基体2の表面に耐火被覆層3
を形成してなるものであって、この耐火被覆層3が、そ
の表面側が緻密質であり、基体2との接合界面側が多孔
質であり、気孔率が基体2との接合界面から該表面に向
けて徐々に減少しているものである。
【0018】本実施例においては、特に、この耐火被覆
層3は、その密度の面から、表面側の上層3A、基体2
との接合界面側の下層3Cと、これらの間の中間層3B
との3層よりなり、基体及び各々の層は好ましくは次の
ような相対密度を有するものである。
【0019】基 体:30〜70% 上 層:50〜98% 中間層:40〜80% 下 層:30〜70% なお、この耐火被覆層3を構成する耐火性無機質粉末の
粒子径は1〜100μmの範囲であることが好ましく、
耐火被覆層3は、厚さ50〜200μmであることが好
ましい。
【0020】次に、このような本発明の耐熱部材の製造
に好適な、本発明の耐熱部材の製造方法の一実施例につ
いて、第3図を参照して説明する。
【0021】第3図において、2は基体、10はコンベ
ア、11は第1タンク、12は第2タンク、13は第3
タンク、11A,12A,13Aはスプレーノズル、1
4,14A,14B,14Cはスプレー用の空気供給管
であり、V1 ,V2 ,V3 はバルブである。
【0022】本実施例において、基体2はコンベア10
により、図面において左から右へ移動される間に、第1
タンク11、第2タンク12及び第3タンク13より各
々のスラリーがスプレーされる。
【0023】第1タンク11のスラリーとしては、粒度
の大きい耐火性無機質粉末の粗粒のスラリーが、また、
第3タンク13のスラリーとしては、粒度の小さい耐火
性無機質粉末の細粒のスラリーが、また、第2タンク1
2のスラリーとしては、これら第1タンク11のスラリ
ーと第3タンク13のスラリーとの中間の粒度の耐火性
無機質粉末の中粒のスラリーがそれぞれ貯留されてい
る。
【0024】具体的には、各タンクのスラリーを構成す
る耐火性無機質粉末の粒子径は次のような値とされる。
【0025】第1タンク:粒子径20〜100μm、中
心粒径60μm 第2タンク:粒子径10〜 70μm、中心粒径40μ
m 第3タンク:粒子径 1〜 40μm、中心粒径10μ
m このようなスラリーを用いることにより、形成される被
覆層のうち、粒子径20〜100μm(中心粒径60μ
m)の粗粒で構成される下層(基体との接合界面側の
層)においては、上記粒度分布において、粒子径の小さ
いものは基体との結合強度を維持することに寄与し、粒
子径の大きいものは、空隙を作って気孔率を高め、密度
の小さい層を形成するために寄与する。
【0026】また、粒子径1〜40μm(中心粒径10
μm)の細粒で構成される上層(表面層)においては、
細かい粒子により緻密で密度の大きい層が形成される。
【0027】しかして、粒子径10〜70μm(中心粒
径40μm)の中粒で構成される中間層(上層と下層と
の間の層)では、上層と下層との中間の密度の層が形成
され、これにより全体として、層厚さ方向に気孔率(密
度)が傾斜する本発明の耐熱部材を形成することができ
る。
【0028】なお、本発明において、コーティング層形
成後の焼成は、常法に従って行なうことができ、その基
体や耐火性無機質粉末の種類や大きさ等に応じて焼成条
件は適宜決定される。
【0029】本発明において、基体の構成材料として
は、アルミナ、マグネシア、スピネル、ムライト、コー
ジェライト等が挙げられる。また、耐火性無機質粉末と
しては、ジルコニア、好ましくは部分安定化ジルコニ
ア、(安定化剤としてカルシア、イットリア、セリア
等)等が挙げられる。このような耐火性無機質粉末のス
ラリーとしては、耐火性無機質粉末を50〜80重量%
濃度で含む水スラリーに、バインダーとしてメチルセル
ロースを0.5〜3.0重量%、スラリー安定化処理剤
としてワックス系エマルジョンを0.5〜3.0重量%
添加して、粘度500〜1500mPa・s(ミリパス
カル秒)程度としたものが用いられる。
【0030】なお、図示の実施例は本発明の一実施例で
あって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の
ものに限定されるものではない。
【0031】例えば、本発明の耐熱部材は、その被覆層
の密度(又は気孔率)が層厚さ方向に段階的に変化する
ものに限らず、連続的に変化するものとすることもでき
る。
【0032】また、本発明の耐熱部材において、コーテ
ィング処理は3回に限らず、2回或いは4回以上の多数
回行なうようにすることもできる。
【0033】
【作用】本発明の耐熱部材では、基体上に形成された被
覆層のうち、基体との接合界面近傍は基体の密度に近似
した密度とすることにより、基体と被覆層との密度差、
熱膨張差に起因する熱的、機械的応力の集中を防止する
ことができる。しかして、被覆層の密度に傾斜をもたせ
ることにより、応力を均等に分散させることができる。
また、被覆層の表面については、緻密層とすることによ
り、被焼成物の成分の拡散を防止して、該拡散成分と基
体との反応による基体の劣化を防止することができる。
【0034】本発明の耐熱部材の製造方法によれば、こ
のような耐熱部材を容易かつ効率的に製造することが可
能とされる。
【0035】即ち、粒度の小さい粉末であれば、緻密な
層を形成することができ、粒度の大きい粉末であれば、
気孔率の大きい層を形成することができる。このため、
スプレーコーティングを複数回に分けて行ない、上側の
層ほど耐火性無機質粉末の粒度が小さくなるようにスラ
リーのスプレーコーティングを行なうことにより、表面
側が緻密質であり、基体との接合界面側が多孔質となる
と共に、気孔率が基体との接合界面から該表面に向けて
徐々に減少した被覆層を形成することができる。
【0036】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
【0037】実施例1 第3図に示す方法により、本発明の耐熱部材を製造し
た。耐火性無機質粉末としては、部分安定化ジルコニア
(安定化率80%、安定化剤カルシア)粉末を用い、各
第1タンク、第2タンク及び第3タンクに供給したスラ
リー(水スラリー)の粉末粒子径、濃度及び粘度は、次
の通りとした。なお、いずれのスラリーにも、バインダ
ーとしてメチルセルロースを1.0重量%、スラリー安
定化処理剤としてワックス系エマルジョンを1.0重量
%添加して攪拌混合した。
【0038】第1タンク:粒子径30〜100μm、濃
度60%、粘度700mPa・s 第2タンク:粒子径10〜 40μm、濃度60%、粘
度1000mPa・s 第3タンク:粒子径 1〜 30μm、濃度60%、粘
度1500mPa・s コンベアの送り速度を3.0cm/secとし、また、
スラリー吹き付け量は各々のノズルより均等に4.0m
l/secとした。
【0039】なお、基体としてはアルミナを主成分とす
る密度55%の多孔質成形体を用いた。
【0040】このようにして基体上に150μm厚さの
コーティング層を形成し、これを自然乾燥後、1650
℃で2時間焼成した。
【0041】得られた焼結体(100mm×100mm
×5mm厚さ)の曲げ強度(10枚の平均)は200k
gf/cm2 であった。
【0042】また、得られた焼結体を定盤の上に水平に
載置して、その20cm上方から50gの鉄球を落下さ
せたところ、10枚共、破損は認められなかった。
【0043】更に、この焼結体を250℃/hrの昇降
温速度で1450℃で2時間保持の熱サイクル寿命試験
を行なったところ、60回の熱サイクル試験後において
も、10枚共、亀裂や剥離、割れは認められなかった。
【0044】この焼結体の被覆層部分の断面組織を電子
顕微鏡で観察したところ、密度が表面側で高く、基体と
の接合界面側で低く、層厚さ方向に傾斜していることが
確認された。 比較例1 実施例1において、粒子径1〜50μm、平均粒子径1
0μmの部分安定化ジルコニア(安定化率80%)含有
スラリー(スラリー濃度60%、スラリー粘度1300
mPa・s)のみを用いてスプレーし、基体表面に15
0μm厚さのコーティング層を形成したこと以外は同様
にして焼結体を製造した。
【0045】得られた焼結体の曲げ強度は500kgf
/cm2 であった。この焼結体では、基体とコーティン
グ層との焼結収縮の違いから生ずる応力が接合界面に導
入され、高強度となっているが、この強度は必要以上に
大きく、実用的ではない。(実用強度は100〜200
kgf/cm2 あれば十分である。) この焼結体を実施例1と同じ条件下で鉄球落下試験及び
熱サイクル寿命試験を行なったところ、鉄球の落下によ
り破損した。また、熱サイクル寿命試験では、20回の
熱サイクル試験で亀裂が発生し、25回の熱サイクル試
験で剥離が見られた。
【0046】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の耐熱部材に
よれば、基体の保護効果が高く、しかも、亀裂、剥離、
破損等の問題もない、耐久性に優れた耐熱部材が提供さ
れる。
【0047】このような本発明の耐熱部材は、特に、セ
ッター等の電子材料の焼成用治具に極めて有効であり、
軽量かつ低コストで耐久性に優れた焼成用治具を提供す
ることにより、電子材料のコスト低減を図ることが可能
とされる。
【0048】本発明の耐熱部材の製造方法によれば、こ
のような高耐久性の耐熱部材を、容易かつ効率的に、低
コストに製造することが可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の耐熱部材の一実施例を示す模式的な断
面図である。
【図2】第1図の要部拡大図である。
【図3】本発明の耐熱部材の製造方法の一実施例を示す
断面図である。
【符号の説明】
1 耐熱部材 2 基体 3 耐火被覆層 10 コンベア 11 第1タンク 12 第2タンク 13 第3タンク

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多孔質材料よりなる基体の表面に耐火被
    覆層を形成してなる耐熱部材において、 該被覆層は、その表面側が緻密質であり、基体との接合
    界面側が多孔質であり、気孔率が基体との接合界面から
    該表面に向けて徐々に減少していることを特徴とする耐
    熱部材。
  2. 【請求項2】 請求項1の耐熱部材において、前記耐火
    被覆層は、粒子径1〜100μmの耐火性無機質粉末よ
    りなる、厚さ50〜200μmの被覆層であることを特
    徴とする耐熱部材。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2の耐熱部材において、前
    記基体は相対密度30〜70%であり、前記耐火被覆層
    のうち、表面側の上層の相対密度は50〜98%、基体
    との接合界面側の下層の相対密度は30〜70%、該上
    層と下層との間の中間層の相対密度は40〜80%であ
    ることを特徴とする耐熱部材。
  4. 【請求項4】 多孔質材料よりなる基体の表面に、耐火
    性無機質粉末のスラリーをスプレーコーティングし、そ
    の後、焼成することにより、焼結層よりなる耐火被覆層
    を形成する方法において、 該スプレーコーティングを複数回行なうことによって複
    数層の積層物よりなるコーティング層を形成した後、前
    記焼成を行なうようにした方法であって、 該積層物の各層の無機質粉末の粒度を上側の層ほど小さ
    くなるようにし、 これによって、前記焼結層よりなる耐火被覆層の表面側
    が緻密質であり、基体との接合界面側が多孔質となると
    共に、気孔率が基体との接合界面から該表面に向けて徐
    々に減少した被覆層を形成することを特徴とする耐熱部
    材の製造方法。
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