JPH06148144A - 超音波映像装置 - Google Patents
超音波映像装置Info
- Publication number
- JPH06148144A JPH06148144A JP4323670A JP32367092A JPH06148144A JP H06148144 A JPH06148144 A JP H06148144A JP 4323670 A JP4323670 A JP 4323670A JP 32367092 A JP32367092 A JP 32367092A JP H06148144 A JPH06148144 A JP H06148144A
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- JP
- Japan
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- subject
- water
- stage
- probe
- ultrasonic
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体内への水の侵入を少なくすることがで
き、被検体の信頼性を維持したままで、正確な検査が可
能とする。 【構成】 被検体Ｓは水槽１１の上方で一部が水Ｗに接
するように被検体ステージ１２により支持されており、
水槽１１内の水中には超音波探触子１３が配置されてい
る。被検体ステージ駆動部１７は被検体ステージモータ
２１を介して被検体ステージ１２に接続され、真空ポン
プ駆動部１８は真空ポンプ２２を介して被検体ステージ
１２に接続され、探触子ステージ駆動部１９は探触子ス
テージモータ２３を介して探触子ステージ１５に接続さ
れ、パルサレシーバ２０は探触子１３と接続されてい
る。被検体ステージ１２は被検体Ｓをその一部が浸水す
るＡの位置と、水と接触しないＢの位置の間を搬送す
る。
き、被検体の信頼性を維持したままで、正確な検査が可
能とする。 【構成】 被検体Ｓは水槽１１の上方で一部が水Ｗに接
するように被検体ステージ１２により支持されており、
水槽１１内の水中には超音波探触子１３が配置されてい
る。被検体ステージ駆動部１７は被検体ステージモータ
２１を介して被検体ステージ１２に接続され、真空ポン
プ駆動部１８は真空ポンプ２２を介して被検体ステージ
１２に接続され、探触子ステージ駆動部１９は探触子ス
テージモータ２３を介して探触子ステージ１５に接続さ
れ、パルサレシーバ２０は探触子１３と接続されてい
る。被検体ステージ１２は被検体Ｓをその一部が浸水す
るＡの位置と、水と接触しないＢの位置の間を搬送す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浸水法により被検体を
超音波非破壊検査するための超音波映像装置に関するも
のである。
超音波非破壊検査するための超音波映像装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図３は超音波映像装置の従来例のブロッ
ク回路構成図である。水Ｗが入った水槽１内には、被検
体Ｓが完全に水没した状態で設けられている。また、被
検体Ｓの上方には超音波探触子２が一部が浸水する状態
で配置されている。この超音波探触子２は探触子ステー
ジ３により支持されており、探触子ステージ３は探触子
ステージモータ４に接続され、探触子ステージモータ４
は探触子ステージ駆動部５を介して制御部６により制御
されるようになっている。また、制御部６はパルサレシ
ーバ７を介して超音波探触子２に接続されている。
ク回路構成図である。水Ｗが入った水槽１内には、被検
体Ｓが完全に水没した状態で設けられている。また、被
検体Ｓの上方には超音波探触子２が一部が浸水する状態
で配置されている。この超音波探触子２は探触子ステー
ジ３により支持されており、探触子ステージ３は探触子
ステージモータ４に接続され、探触子ステージモータ４
は探触子ステージ駆動部５を介して制御部６により制御
されるようになっている。また、制御部６はパルサレシ
ーバ７を介して超音波探触子２に接続されている。
【０００３】このように、従来の超音波映像装置では被
検体Ｓを完全に水中に沈めた状態で、被検体Ｓの側面又
は上面から超音波探触子２により超音波非破壊検査を行
っている。
検体Ｓを完全に水中に沈めた状態で、被検体Ｓの側面又
は上面から超音波探触子２により超音波非破壊検査を行
っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例では、被検体Ｓの全体を水中に沈めるため次のよう
な問題点がある。
来例では、被検体Ｓの全体を水中に沈めるため次のよう
な問題点がある。
【０００５】(1) 被検体Ｓの表面にクラック等が入って
いる場合に、クラック部から水が浸入し、検出すべき部
分の超音波の反射率が変化する。その結果、信号波形、
強度が変化することもある。一般的に、被検体Ｓに水が
浸入した場合は、超音波信号が弱まり、超音波非破壊検
査能力が低下し誤った検査結果を出力する可能性があ
る。
いる場合に、クラック部から水が浸入し、検出すべき部
分の超音波の反射率が変化する。その結果、信号波形、
強度が変化することもある。一般的に、被検体Ｓに水が
浸入した場合は、超音波信号が弱まり、超音波非破壊検
査能力が低下し誤った検査結果を出力する可能性があ
る。
【０００６】(2) パッケージに封じ込まれたＩＣ等の被
検体Ｓの検査終了後には脱水処理を完全に行わないと、
ＩＣの信頼性が低下する危険性がある。その結果、検査
で良品と判明した被検体Ｓも、良品としての信頼性が低
下し、製品として使用不可能となる虞れがある。
検体Ｓの検査終了後には脱水処理を完全に行わないと、
ＩＣの信頼性が低下する危険性がある。その結果、検査
で良品と判明した被検体Ｓも、良品としての信頼性が低
下し、製品として使用不可能となる虞れがある。
【０００７】(3) 被検体Ｓを水Ｗと接触しない位置と、
完全に水Ｗに沈んだ位置の間を搬送し、確実に固定する
必要があるため、搬送機構が複雑となり自動化が難し
く、装置の大型化、コストアップにつながる。
完全に水Ｗに沈んだ位置の間を搬送し、確実に固定する
必要があるため、搬送機構が複雑となり自動化が難し
く、装置の大型化、コストアップにつながる。
【０００８】本発明の目的は、被検体の一部のみを水と
接触させることで、被検体内への水の浸入を少なくする
ことができ、被検体の信頼性を維持したままで、正確な
検査が可能な超音波映像装置を提供することにある。
接触させることで、被検体内への水の浸入を少なくする
ことができ、被検体の信頼性を維持したままで、正確な
検査が可能な超音波映像装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る超音波映像装置は、被検体をその一部
が浸水する位置で保持する被検体ステージと、超音波探
触子を水中に沈設して移動する探触子ステージとを備
え、水中の前記超音波探触子から前記被検体の浸水部に
超音波を送受信して前記被検体の超音波非破壊検査を行
うことを特徴とする。
めの本発明に係る超音波映像装置は、被検体をその一部
が浸水する位置で保持する被検体ステージと、超音波探
触子を水中に沈設して移動する探触子ステージとを備
え、水中の前記超音波探触子から前記被検体の浸水部に
超音波を送受信して前記被検体の超音波非破壊検査を行
うことを特徴とする。
【００１０】
【作用】上述の構成を有する超音波映像装置は、被検体
をその一部のみが浸水する位置で保持し、水中の超音波
探触子から被検体の浸水部に超音波を送受信して被検体
に対する非破壊検査を行う。
をその一部のみが浸水する位置で保持し、水中の超音波
探触子から被検体の浸水部に超音波を送受信して被検体
に対する非破壊検査を行う。
【００１１】
【実施例】本発明を図１、図２に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図１は第１の実施例の超音波映像装
置のブロック回路構成図である。被検体Ｓは水槽１１の
上方で一部が水Ｗに接するように被検体ステージ１２に
より支持されており、水槽１１内の水中には超音波探触
子１３が沈設され、この超音波探触子１３は連結軸１４
を介して探触子ステージ１５により保持されている。ま
た制御部１６は、被検体ステージ駆動部１７、真空ポン
プ駆動部１８、探触子ステージ駆動部１９、パルサレシ
ーバ２０と接続されている。更に、被検体ステージ駆動
部１７は被検体ステージモータ２１を介して被検体ステ
ージ１２に接続され、真空ポンプ駆動部１８は真空ポン
プ２２を介して被検体ステージ１２に接続され、探触子
ステージ駆動部１９は探触子ステージモータ２３を介し
て探触子ステージ１５に接続され、パルサレシーバ２０
は探触子１３と接続されている。
て詳細に説明する。図１は第１の実施例の超音波映像装
置のブロック回路構成図である。被検体Ｓは水槽１１の
上方で一部が水Ｗに接するように被検体ステージ１２に
より支持されており、水槽１１内の水中には超音波探触
子１３が沈設され、この超音波探触子１３は連結軸１４
を介して探触子ステージ１５により保持されている。ま
た制御部１６は、被検体ステージ駆動部１７、真空ポン
プ駆動部１８、探触子ステージ駆動部１９、パルサレシ
ーバ２０と接続されている。更に、被検体ステージ駆動
部１７は被検体ステージモータ２１を介して被検体ステ
ージ１２に接続され、真空ポンプ駆動部１８は真空ポン
プ２２を介して被検体ステージ１２に接続され、探触子
ステージ駆動部１９は探触子ステージモータ２３を介し
て探触子ステージ１５に接続され、パルサレシーバ２０
は探触子１３と接続されている。
【００１２】被検体Ｓは真空ポンプ２２により被検体ス
テージ１２に吸着及び固定されており、被検体ステージ
１２は被検体ステージモータ２１により駆動され、被検
体Ｓをその一部が浸水するＡの位置と水Ｗと、接触しな
いＢの位置の間を搬送できるようになっている。制御部
１６は真空ポンプ２２を駆動する真空ポンプ駆動部１８
を制御し、更に被検体ステージモータ２１を駆動する被
検体ステージ駆動部１７、探触子ステージモータ２３を
駆動する探触子ステージ駆動部１９、及びパルサレシー
バ２０も制御する。連結軸１４を介して探触子ステージ
１５に保持された超音波探触子１３は、被検体Ｓの浸水
面を下方から走査しながら被検体Ｓに対して超音波を送
受信し、受信された反射信号はパルサレシーバ２０で検
出される。パルサレシーバ２０で検出された反射信号に
より被検体Ｓの内部を非破壊で検査することができる。
テージ１２に吸着及び固定されており、被検体ステージ
１２は被検体ステージモータ２１により駆動され、被検
体Ｓをその一部が浸水するＡの位置と水Ｗと、接触しな
いＢの位置の間を搬送できるようになっている。制御部
１６は真空ポンプ２２を駆動する真空ポンプ駆動部１８
を制御し、更に被検体ステージモータ２１を駆動する被
検体ステージ駆動部１７、探触子ステージモータ２３を
駆動する探触子ステージ駆動部１９、及びパルサレシー
バ２０も制御する。連結軸１４を介して探触子ステージ
１５に保持された超音波探触子１３は、被検体Ｓの浸水
面を下方から走査しながら被検体Ｓに対して超音波を送
受信し、受信された反射信号はパルサレシーバ２０で検
出される。パルサレシーバ２０で検出された反射信号に
より被検体Ｓの内部を非破壊で検査することができる。
【００１３】この第１の実施例の超音波映像装置では、
被検体Ｓの一部が水Ｗと接触するだけなので、被検体Ｓ
内への水Ｗの侵入を少なくすることができ、被検体Ｓの
信頼性を維持したままで正確な検査が可能となる。
被検体Ｓの一部が水Ｗと接触するだけなので、被検体Ｓ
内への水Ｗの侵入を少なくすることができ、被検体Ｓの
信頼性を維持したままで正確な検査が可能となる。
【００１４】図２は第２の実施例の超音波映像装置のブ
ロック回路構成図である。図１と同一の符号は同一の機
能を有する部材であるので、その説明は省略する。
ロック回路構成図である。図１と同一の符号は同一の機
能を有する部材であるので、その説明は省略する。
【００１５】水槽１１には水ノズル２５が取り付けら
れ、制御部１６の指令により、水ポンプ駆動部２６、水
ポンプ２７が動作し、水ノズル２５から水流が発生する
ようにされている。また、被検体Ｓが水Ｗと接触しない
Ｂの位置の下方にはエアノズル２８が配置され、同様に
制御部１６の指令によりエアポンプ駆動部２９、エアポ
ンプ３０が作動し、エアノズル２８から空気流が発生す
るようにされている。
れ、制御部１６の指令により、水ポンプ駆動部２６、水
ポンプ２７が動作し、水ノズル２５から水流が発生する
ようにされている。また、被検体Ｓが水Ｗと接触しない
Ｂの位置の下方にはエアノズル２８が配置され、同様に
制御部１６の指令によりエアポンプ駆動部２９、エアポ
ンプ３０が作動し、エアノズル２８から空気流が発生す
るようにされている。
【００１６】検査に際しては、水ノズル２５からＡの位
置の被検体Ｓの浸水部に水を吹き付け、被検体Ｓに付着
した気泡を取り除く。また、検査終了後にエアノズル２
８からＢの位置の被検体Ｓの浸水していた部分に空気を
吹き付け、水分を除去する。
置の被検体Ｓの浸水部に水を吹き付け、被検体Ｓに付着
した気泡を取り除く。また、検査終了後にエアノズル２
８からＢの位置の被検体Ｓの浸水していた部分に空気を
吹き付け、水分を除去する。
【００１７】この第２の実施例の超音波映像装置では、
被検体Ｓの一部のみが水と接するため、被検体Ｓへの気
泡の巻き込みが少なく、気泡の付着を少なくすることが
できる。また、気泡が付着しても被検体Ｓの一部のみが
水と接しているため、水ノズル２５により被検体Ｓの浸
水部に水を吹き付けるだけで、簡単かつ確実に気泡を除
去することができる。
被検体Ｓの一部のみが水と接するため、被検体Ｓへの気
泡の巻き込みが少なく、気泡の付着を少なくすることが
できる。また、気泡が付着しても被検体Ｓの一部のみが
水と接しているため、水ノズル２５により被検体Ｓの浸
水部に水を吹き付けるだけで、簡単かつ確実に気泡を除
去することができる。
【００１８】更に、被検体Ｓが水と接する面積が少ない
ので、エアノズル２８により圧縮空気を吹き付けるとい
った簡単な方法で水分を取ることができるため、検査後
に、恒温槽等による乾燥を行うといった別機能、工程を
必要としない。また、検査後に空気を吹き付けて乾燥さ
せるので、被検体Ｓの信頼性を維持したままで製品とし
て出荷することが可能となる。
ので、エアノズル２８により圧縮空気を吹き付けるとい
った簡単な方法で水分を取ることができるため、検査後
に、恒温槽等による乾燥を行うといった別機能、工程を
必要としない。また、検査後に空気を吹き付けて乾燥さ
せるので、被検体Ｓの信頼性を維持したままで製品とし
て出荷することが可能となる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る超音波
映像装置は、被検体の一部のみを浸水させ、被検体に対
して超音波探触子を水中で走査させながら超音波非破壊
検査することにより、次に挙げるような効果がある。
映像装置は、被検体の一部のみを浸水させ、被検体に対
して超音波探触子を水中で走査させながら超音波非破壊
検査することにより、次に挙げるような効果がある。
【００２０】(イ) 被検体への水の浸入を極力少なくする
ことができ、表面にクラック等を有する被検体に対して
も、水と接しない位置にあるクラックにおいては、水の
浸入による超音波信号の強度及び波形変化が起きないた
め、正確な検査が可能となる。
ことができ、表面にクラック等を有する被検体に対して
も、水と接しない位置にあるクラックにおいては、水の
浸入による超音波信号の強度及び波形変化が起きないた
め、正確な検査が可能となる。
【００２１】(ロ) 被検体の一部のみ水と接触するだけで
超音波非破壊検査が行えるため、電子部品等に水を付着
することにより信頼性が低下する虞れのある被検体に対
しては、検査結果において良品と判明した被検体が良品
として有効に使用可能となり、被検体の信頼性が向上す
ると同時に、電子部品等の生産工程における超音波非破
壊検査の用途、位置付けが拡大することが期待できる。
超音波非破壊検査が行えるため、電子部品等に水を付着
することにより信頼性が低下する虞れのある被検体に対
しては、検査結果において良品と判明した被検体が良品
として有効に使用可能となり、被検体の信頼性が向上す
ると同時に、電子部品等の生産工程における超音波非破
壊検査の用途、位置付けが拡大することが期待できる。
【００２２】(ハ) 被検体を搬送、固定する被検体ステー
ジを、水と接触しない位置に設けることが可能なため、
被検体の搬送、固定機構が簡便になり、装置の小型化、
自動化及びコストの低減が可能となる。
ジを、水と接触しない位置に設けることが可能なため、
被検体の搬送、固定機構が簡便になり、装置の小型化、
自動化及びコストの低減が可能となる。
【図１】第１の実施例のブロック回路構成図である。
【図２】第２の実施例のブロック回路構成図である。
【図３】従来例のブロック回路構成図である。
１１ 水槽 １２ 被検体ステージ １３ 超音波探触子 １５ 探触子ステージ １６ 制御部 ２０ パルサレシーバ ２５ 水ノズル ２８ エアノズル Ｓ 被検体
Claims (3)
- 【請求項１】 被検体をその一部が浸水する位置で保持
する被検体ステージと、超音波探触子を水中に沈設して
移動する探触子ステージとを備え、水中の前記超音波探
触子から前記被検体の浸水部に超音波を送受信して前記
被検体の超音波非破壊検査を行うことを特徴とする超音
波映像装置。 - 【請求項２】 前記被検体ステージは前記被検体を水に
接触しない位置とその一部が浸水する位置の間を搬送す
る請求項１に記載の超音波映像装置。 - 【請求項３】 前記被検体の浸水部に水中において水を
吹き付ける送水機構を有する請求項１に記載の超音波映
像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4323670A JPH06148144A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 超音波映像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4323670A JPH06148144A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 超音波映像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148144A true JPH06148144A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=18157301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4323670A Pending JPH06148144A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 超音波映像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06148144A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012083224A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 樹脂成形品の超音波探傷方法及び超音波探傷装置 |
| US8224062B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-07-17 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for inspection of wafer and semiconductor device |
| JPWO2022075104A1 (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-14 |
-
1992
- 1992-11-09 JP JP4323670A patent/JPH06148144A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8224062B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-07-17 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for inspection of wafer and semiconductor device |
| JP2012083224A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 樹脂成形品の超音波探傷方法及び超音波探傷装置 |
| JPWO2022075104A1 (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-14 | ||
| WO2022075104A1 (ja) * | 2020-10-06 | 2022-04-14 | 川崎重工業株式会社 | 超音波検査装置 |
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