JPH0614858Y2 - 自動エアー洗滌機 - Google Patents

自動エアー洗滌機

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JPH0614858Y2
JPH0614858Y2 JP1989152977U JP15297789U JPH0614858Y2 JP H0614858 Y2 JPH0614858 Y2 JP H0614858Y2 JP 1989152977 U JP1989152977 U JP 1989152977U JP 15297789 U JP15297789 U JP 15297789U JP H0614858 Y2 JPH0614858 Y2 JP H0614858Y2
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JP
Japan
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case
air
washed
dust
rotating basket
Prior art date
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Application number
JP1989152977U
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English (en)
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JPH0390683U (ja
Inventor
剛 馬場
和紀 雲林院
Original Assignee
真空技研工業株式会社
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Publication date
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  • Cleaning In General (AREA)
  • Prevention Of Fouling (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本案は例えば半導体パーツのような部品に附着した微細
な塵埃をエアーで吹き飛ばし、この塵埃を集塵部で過
して清浄な空気を大気に排出するようにした自動エアー
洗滌機に関する。
〔従来の技術〕
従来この種洗滌機はコンベヤー上を移行する被洗滌物に
トリクロールエチレン,パークロールエチレン或はフロ
ンをシャワーで吹きつけ洗滌していた。
〔考案が解決しようとする課題〕
然し乍らこのようなエチレン系のものは臭気があって不
快であり又フロンを用いる洗滌は成層圏を汚染するとい
う大きな問題点を有している。
〔課題を解決するための手段〕
本考案の自動エアー洗滌機は、上記問題点を解決するた
めになされたもので、開閉可能な蓋を有する第1のケー
スと、この第1のケース内においてモータにより回転し
多数の被洗滌物を載置する網状の回転籠と、前記被洗滌
物を覆うように回転籠に対して設けられた網状のカバー
と、圧縮エアー源に接続され且つ前記回転籠に対し上下
に設けられてエアーの噴出により被洗滌物に付着してい
る塵埃を吹き飛ばすエアー噴射ノズルと、前記第1のケ
ースの蓋に設けられ作業員が両手を挿入可能な左右一対
の手袋付き作業孔と、その作業員が手袋に挿入した手で
操作可能に第1のケース内に前記圧縮エアー源と接続し
て備えられたエアーガンと、前記第1のケースの下方に
設けられた第2のケースと、この第2のケース内に設け
られ前記第1のケース内の被洗滌物から吹き飛ばされた
塵埃を含むエアーを吸引濾過して清浄化した空気を排出
孔より外部に排出するブロア及びフィルター並びに該フ
ィルターから落下せしめられる塵埃を収容するダストケ
ースを有する集塵部とよりなる構成である。
〔作用〕
本案は以上のような手段を有するから、第1のケース内
において、網状の回転籠内に載置された微小な塵埃を附
着した被洗滌物は噴射ノズルより噴出する圧縮エアーに
より塵埃は吹き飛ばされて洗滌される。
このようにして第1のケース内に浮遊する塵埃は第2の
ケース内に設けられたブロワーによりフィルターに導か
れて過され、清浄となった空気が排出孔より大気に排
出すると共にフィルターに溜った塵埃は脱塵手段により
ダストボックスに落下し、ケース外に搬出される。
洗滌を終了した被洗滌物は総ての操作機能を停止した
後、第1のケースの蓋をあけ回転籠をケース外に取り出
し、被洗滌物を回転籠から所定の場所に移す。
この作業の後再び被洗滌物を回転籠上におき、カバーを
してから第1のケース内のモーターにとりつけ、蓋を閉
じて前記のような洗滌操作をする。
また、前記第1のケース内において、網状の回転籠内に
載置された被洗滌物の付着塵埃を上下の噴射ノズルから
のエアー噴出により吹き飛ばして洗滌する時など、その
被洗滌物の形態や塵埃の付着状況などによって該上下の
噴射ノズルからのエアーだけではなかなか落ち難い場合
には、前記第1のケースの蓋の左右一対の手袋付き作業
孔に作業員が両手を挿入し、その手袋に挿入した両手で
エアーガンを持って操作して、回転籠内の被洗滌物の塵
埃の落ち難い箇所に該エアーガンからエアーを噴射して
能率良く該塵埃を吹き飛ばすことができるようになる。
更には、その作業員が作業孔の手袋に挿入した両手でも
って回転籠の調整が可能である。
〔実施例〕 以下本案を図面に示す一実施例について説明する。1は
第1のケースで2は透明な適宜の樹脂材料で形成された
開閉可能な蓋を示す。前記ケース1内にはモーター3が
設置され、このモーターに着脱自在に網状の回転籠4を
取りつける。そしてこの回転籠は円形が好ましく、金属
或は他の材料で構成されている。又回転籠には中心から
放射方向に複数の仕切壁を設けている。回転籠4上には
同様形状で同じく網状のカバー5が載置される。
然して回転籠4内には塵埃が附着した半導体パーツのよ
うな多数の被洗滌物が各仕切壁の間に置かれる。
6〜10はパイプ群を示し、パイプ9は圧縮エアー源1
1に接続されている。12はソレノイド弁を示す。パイ
プ6は前記回転籠を挟むように上下に設けられたパイプ
13,14に接続されている。然してパイプ13にはエ
アー噴射ノズル15,16が、又パイプ14には同様の
エアー噴射ノズル17,18が回転籠4に向って設けら
れて居り、従って後述するようにエアーを回転籠4に向
って上下方向から噴射するようになっている。
又パイプ8にはエアーガン19が可撓チューブ20を介
して接続され、不使用時は第1のケース1の一方の側面
内方に懸垂されている。
第1のケース1の他方の側面内方には側面噴射ノズル2
1が設けられて居り、その下方には前記回転籠と同様形
状の籠22が設けられている。前記側面噴射ノズル21
はパイプ10に連接されたパイプ23とソレノイド弁2
4を介して接続されている。
又前記籠22には前記のような被洗滌物が載置される。
然して籠22は被洗滌物が洗滌された後、図示しないシ
ール用シャッターを介して第1のケースの側面外方に設
けられた受け25に引き出され得る。
前記蓋2には作業用の孔26,27が設けられ、これ等
の孔には図示しないゴムのような手袋が密封状態で取り
つけられ、回転籠4の調整、エアーガン19の操作等を
なし得る。
又第1のケース1の側面には複数の空気の導入孔28〜
33が穿設され、後述するブロワーの操作に支障のない
ようにしている。
然して蓋2は想像線で示す開いた状態から実線で示す閉
じた状態にした時はエアータイトになるようにしてあ
る。
第1のケース1の下方には第2のケース34が設けら
れ、内部にブロワー35を設けている。
第2のケース34内の後方近くには塵埃を含んだエアー
の導入口36が設けられ、上下に夫々開口37,38を
有する。そして上方の開口37は第1のケース1に連通
し、下方の開口38は前記ブロワー35の下方に設けら
れた適宜のフィルター39に対向している。
図示してないがブロワー35には消音部が接続されてい
る。
前記フィルター39の下方には引き出し得るダストケー
ス40が設けられ、脱塵レバー41を操作する事によ
り、フィルター39に溜った塵埃を受ける。
第2のケース34の両側面にはブロワー35より消音部
を経た清浄なエアーを、本案の洗滌機を設置した室内に
排出する排出孔42,43(一側のみ図示)を設けてい
る。
然してこの洗滌機を設置した室はクリーンルームであ
る。
44は電装ボックスを示し、前記ソレノイド弁,ブロワ
ー等を操作する。
次に本案洗滌機の作用について述べる。蓋2を開き、回
転籠4内に塵埃が附着した半導体パーツのような被洗滌
物を仕切壁と仕切壁との間に載置し、カバー5で覆った
後、モーター3に取りつける。
然る後、モーター3を駆動する時は回転籠4は被洗滌物
を載置したまま回転する。然してモーターの回転数は略
30r.p.m.である。これと同時にソレノイド弁12を作
動して開にする事により、圧縮エアー源11からの圧縮
エアーはパイプ9,7,6,13を経てエアー噴射ノズ
ル15,16に、又パイプ14を経てエアー噴射ノズル
17,18に夫々供給され、それぞれのエアー噴射ノズ
ルから圧縮エアーが回転籠4に向って上下方向から噴射
する。
このエアーの噴出により回転籠4内の被洗滌物に附着し
た塵埃は吹き飛ばされる。この時エアーガン19を用い
る事もあり得る。
このようにして塵埃を含んだエアーは第1のケース1内
に浮遊するが、ブロワー35の作動により、この塵埃を
含んだエアーは開口37からエアー導入口36に導か
れ、更に開口38を経てフィルター39に経り、このフ
ィルターでエアーは過される。
過されたエアーは図示しない消音部を経て排出孔4
2,43から室内に排出される。
然して第1のケース1には空気の導入孔28〜33が設
けられているから、ブロワー35の作動によりエアーは
前記経路を経て何等支障なく流入、流出し得る。
エアーガン19を操作したい時或は回転籠の調整等をし
たい時は作業用の孔26,27内に手を挿入し、手袋を
介してこれ等の作業をすれば良い。
被洗滌物の量が少ない時等には、被洗滌物を籠22内に
載置しソレノイド弁24を開いて側面噴射ノズル21或
はエアーガン19を用いて圧縮エアーを噴射すれば良
い。洗滌を終了した被洗滌物は籠22を受け25に引出
すことにより取り出し得る。
フィルター39に溜った塵埃は脱塵レバー41を操作す
る事によってダストケース40内に落下し、ダストケー
ス内の塵埃はダストケースを洗滌機外に引き出した後適
宜個所に廃棄される。
このようにして洗滌を終了した被洗滌物は総ての操作機
能を停止した後、蓋2を開設した回転籠4を洗滌機外に
取り出し、回転籠から所定の容器等に移す。
空になった回転籠には再び洗滌すべき被洗滌物を載置
し、カバーをした後モーター3に取りつけ、蓋2を閉じ
て前記のような操作を開始する。
〔考案の効果〕
以上のように本案による時は従来に比し遥かに簡潔に構
成され且洗滌に圧縮エアーを用いるから洗滌時に臭気も
なく、又成層圏を汚染する事のない洗滌機を提供し得る
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本案洗滌機の正面図で第2図はその側面図であ
る。 1……第1のケース、2……蓋、3……モーター、4…
…回転籠、5……カバー、11……圧縮エアー源、1
5,16,17,18……エアー噴射ノズル、35……
ブロワー、36……第2のケース、39……フィルタ
ー、40……ダクトケース、42,43……排出孔。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−182090(JP,A) 特開 平2−132268(JP,A) 実開 昭62−198043(JP,U) 実開 昭50−75270(JP,U) 実開 昭59−69199(JP,U) 実開 昭61−178986(JP,U) 実開 昭61−79690(JP,U) 実開 昭60−193285(JP,U) 実開 昭59−20888(JP,U) 実開 昭58−82891(JP,U) 実開 昭61−155016(JP,U) 実開 昭61−73310(JP,U) 実開 昭49−10369(JP,U) 特公 平1−30547(JP,B2) 特公 昭52−9877(JP,B2) 実公 昭63−41105(JP,Y2)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】開閉可能な蓋を有する第1のケースと、こ
    の第1のケース内においてモータにより回転し多数の被
    洗滌物を載置する網状の回転籠と、前記被洗滌物を覆う
    ように回転籠に対して設けられた網状のカバーと、圧縮
    エアー源に接続され且つ前記回転籠に対し上下に設けら
    れてエアーの噴出により被洗滌物に付着している塵埃を
    吹き飛ばすエアー噴射ノズルと、前記第1のケースの蓋
    に設けられ作業員が両手を挿入可能な左右一対の手袋付
    き作業孔と、その作業員が手袋に挿入した手で操作可能
    に第1のケース内に前記圧縮エアー源と接続して備えら
    れたエアーガンと、前記第1のケースの下方に設けられ
    た第2のケースと、この第2のケース内に設けられ前記
    第1のケース内の被洗滌物から吹き飛ばされた塵埃を含
    むエアーを吸引濾過して清浄化した空気を排出孔より外
    部に排出するブロア及びフィルター並びに該フィルター
    から落下せしめられる塵埃を収容するダストケースを有
    する集塵部とよりなる自動エアー洗滌機。
JP1989152977U 1989-12-28 1989-12-28 自動エアー洗滌機 Expired - Lifetime JPH0614858Y2 (ja)

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JPH0390683U JPH0390683U (ja) 1991-09-17
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