JPH06150250A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 磁気ヘッド素子部をウェーハ基板上に高密度
形成し、接続用導電体と可撓性支持ビームの接続パッド
との接続、及び可撓性支持ビームを簡易に製作して信号
接続を容易に行う。 【構成】 接続用導電体1cを媒体記録面の反対面に露出
した磁気ヘッド素子部１と接続用導電体と接続する信号
用ビーム配線2cを備える可撓性支持ビーム２とで構成
し、その製造方法は非導電性のウェーハ基板1a上に複数
の磁気ヘッド素子部をマトリックス状に所定間隔で互い
に対向整列して薄膜形成し、ウェーハ基板に可撓性支持
ビームを磁気ヘッド素子部に対応接合後、ヘッド単体形
状に縦横に切断するときに４分割される接続用導電体を
埋設し、それぞれの分割片と該分割片に対応する電磁変
換素子1bのコイル1b-2の終端とを薄膜配線1c-1で接続
し、ヘッド単体形状に切断し、分割接続用導電体を各磁
気ヘッド素子部の媒体記録面の反対面に露出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子計算機システムの
記憶装置として使用される磁気ディスク装置や磁気フレ
キシブルディスク（フロッピィディスク）装置などの磁
気記録再生装置において電磁変換を行う薄膜磁気ヘッド
及びその製造方法に関する。

【０００２】記録媒体接触型で垂直記録再生方式の薄膜
磁気ヘッドは、磁極、コイル、絶縁層などで薄膜形成し
た極小形、軽量の磁気ヘッド素子部と、この磁気ヘッド
素子部を先端にＬ形に取り付け媒体記録面に対し垂直に
支持し微小な圧力で接触させる可撓性支持ビームとで構
成されており、磁気ヘッド素子部を可撓性支持ビームに
機械的に強固に固着するとともに電気的接続を容易に行
うことが要求されている。

【０００３】

【従来の技術】図11の薄膜磁気ヘッドの単体斜視図及び
図12のその単体加工前の斜視図に示すように、従来の薄
膜磁気ヘッドは可撓性支持ビーム12の先端面に磁気ヘッ
ド素子部11をＬ形に取り付け構成されている。

【０００４】その一方の磁気ヘッド素子部11は、電磁変
換素子11a と外部接続するための一対の接続端子11b と
で構成されている。この電磁変換素子11a は、ウェーハ
基板11a-1 上に主磁極11a-2 、コイル11a-3 、絶縁層、
リターンヨーク、バックヨークなどで構成し、一対の接
続端子11b はコイル11a-3 の終端にそれぞれ接続し電磁
変換素子11a の両側に備えている。

【０００５】この電磁変換素子11a 及び接続端子11b
は、図13の斜視図に示すように、直径3.5in のウェーハ
基板11a-1 上に多数個取りができるように、フォトリソ
グラフィ技術によりそれらを所定間隔でマトリックス状
に薄膜形成した後、そのウェーハ基板11a-1 を横１列に
図示しないスライシングマシンで切断し、図12のように
主磁極11a-2 を切断面に露出させている。

【０００６】他方の可撓性支持ビーム12は、ばね用ステ
ンレスシートからなる細長い平板状の支持体ベース12a
の片面（上面）に、絶縁層12b を介し長手方向に延びる
一対の信号用ビーム線12c を薄膜形成し、信号用ビーム
線12c の両終端に接続した接続パッド12c-1 を露出形成
している。

【０００７】この可撓性支持ビーム12は、ウェーハ基板
11a-1 上に列設した磁気ヘッド素子部11に対応し多数個
取りのできるようにばね用ステンレスシート上に整列形
成している。

【０００８】そうして、磁気ヘッド素子部11を横１列に
並列したウェーハ基板11a-1 の裏面と、横１列に並列し
た可撓性支持ビーム12の先端面とを接着剤13で一体に固
着した後、図示しないスライシングマシンにより個片に
切断し単体の薄膜磁気ヘッドに切り出し製作している。

【０００９】なお、切断する前に、磁気ヘッド素子部11
の接続端子11b と可撓性支持ビーム12の接続パッド12c-
1 とは金線などのボンディングワイヤ14で接続してい
る。そうして、単体の薄膜磁気ヘッドは、可撓性支持ビ
ーム12の基端取付部を磁気ディスク装置に内設されたポ
ジショナの支持アーム15に接着剤13で接続し、基端取付
部の接続パッド12c-1 はリード線17（あるいはボンディ
ングワイヤ）で外部に信号接続している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな上記薄膜磁気ヘッドによれば、磁気ヘッド素子部は
多数個取りに形成しているものの、その接続端子は電磁
変換素子の両側に磁気ヘッド素子部の各個単位に形成し
ているため、ウェーハ基板上の磁気ヘッド素子部の形成
（実装）密度が悪いとか、また磁気ヘッド素子部の電気
的接続はボンディングワイヤで接続しているが、ボンデ
ィングマシンで接合するとき、平面移動するボンディン
グヘッドではボンディング面が互いに直交してボンディ
ング方向がずれているため作業性が悪いとか、また可撓
性支持ビームは信号用ビーム線を薄膜で形成し、その終
端の接続パッドはリード線やボンディングワイヤなどで
外部接続するため作業性が悪いといった問題があった。

【００１１】上記問題点に鑑み、本発明は磁気ヘッド素
子部をウェーハ基板上に高密度に形成し、その接続用導
電体と可撓性支持ビームの接続パッドとの接続、及び可
撓性支持ビームを簡易に製作するとともに信号接続を容
易に行うことのできる薄膜磁気ヘッドを薄膜磁気ヘッド
及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の薄膜磁気ヘッド及びその製造方法において
は、薄膜磁気ヘッドは、接続用導電体を少なくとも媒体
記録面の反対面に露出し備える磁気ヘッド素子部と前記
接続用導電体と接続する信号用ビーム線を備える可撓性
支持ビームとで構成する。

【００１３】また、その製造方法は非導電性のウェーハ
基板上に複数の磁気ヘッド素子部をマトリックス状に所
定間隔で互いに対向整列して薄膜形成し、該ウェーハ基
板に可撓性支持ビームを磁気ヘッド素子部に対応して接
合した後、ヘッド単体形状に縦横に切断するときに４分
割される接続用導電体を埋設し、かつそれぞれの分割片
と該分割片に対応する電磁変換素子のコイル終端とを薄
膜配線で接続しておき、ヘッド単体形状に切断すること
により、前記分割された接続用導電体を各磁気ヘッド素
子部の少なくとも媒体記録面の反対面に露出させるよう
に構成する。

【００１４】

【作用】このように構成することにより、単体に切断さ
れた磁気ヘッド素子部は、媒体記録面の反対面に接続用
導電体の切断面を露出する。その露出した切断面を接続
用導電体の接合面にすると、その接合面は可撓性支持ビ
ームの接続パッドの接合面とは互いに平行するため、ボ
ンディング方向が一方向だけとなりボンディングマシン
によるボンディング作業が容易になる。

【００１５】また、接続用導電体は接続パッドに近接す
るため、ボンディングワイヤでなく半田などの導電性接
合材で直接、接合することもできる。また、磁気ヘッド
素子部の接続用導電体は、ウェーハ基板上に４個取りで
形成されるため、ウェーハ基板上の磁気ヘッド素子部の
形成密度を高めることができる。

【００１６】

【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて本発明
の要旨を詳細に説明する。図１は第１の実施例の薄膜磁
気ヘッドの斜視図である。図示するように、薄膜磁気ヘ
ッドは従来同様に磁気ヘッド素子部１と可撓性支持ビー
ム２とで構成し、可撓性支持ビーム２の先端面に磁気ヘ
ッド素子部１を直角Ｌ形に取り付ける。

【００１７】図中、1aはウェーハ基板、1bは電磁変換素
子、1cは接続用導電体、2cは信号用ビーム配線、2c-1は
接続パッド、３はボンディングワイヤである。磁気ヘッ
ド素子部１は、電磁変換素子1bのコイル1b-2の終端に銅
(Cu)などの薄膜配線1c-1で接続した接続用導電体1cを電
磁変換素子1bの左右両側の上端面、即ち媒体記録面の反
対面に露出し備える。

【００１８】電気信号は、電磁変換素子1b、薄膜配線1c
-1、接続用導電体1c、ボンディングワイヤ３を通って信
号用ビーム配線2cに到達し、可撓性支持ビーム２の基端
取付部の接続パッド2c-1からは図示しないリード線（あ
るいはボンディングワイヤ）により外部に入出力され
る。

【００１９】つぎに、図２(a),(b) 、図３(a),(b) 、図
４に基づき薄膜磁気ヘッドの製造方法を説明する。図２
(a) において、厚さ４ｍｍの非導電性のウェーハ基板1a
の上に一辺の寸法が0.4 ｍｍ以上の平面視正方形の凹陥
部をマトリックス状に整列刻設し、それに銅(Cu)などの
接続用導電体1cを埋め込む。埋め込み深さは、できるだ
け深い方がよく、少なくとも電磁変換素子の成膜厚さよ
り深くする。できれば凹陥部は通し孔の方が望ましい。
通し孔にしない場合は、埋め込み後にウェーハ基板1aの
裏面を接続用導電体1cが露出するまで研削してもよい。

【００２０】つぎの図２(b) において、フォトリソグラ
フィ技術によりウェーハ基板1aの上にリターンヨーク、
絶縁層、バックヨーク、コイル、主磁極、表面保護絶縁
膜などを順次に成膜し電磁変換素子1bを整列形成する
が、この電磁変換素子1bは所定間隔で接続用導電体1cを
上下に挟み、接続用導電体1c間の中心位置に互いに対向
整列しマトリックス状に形成する。即ち、４方に配列し
た４つの電磁変換素子1bの中央位置に各接続用導電体1c
は配置される。

【００２１】そうして、各接続用導電体1cの上に薄膜配
線1c-1を一体的に形成するとともに四方に延ばし、対応
する電磁変換素子1bのコイル1b-2の終端にそれぞれ接続
する。

【００２２】電磁変換素子1bと接続用導電体1cとで構成
する磁気ヘッド素子部１は単体形状の大きさでウェーハ
基板1aの上に整列形成するため、後述するように接続用
導電体1cの中心を縦横に切断することでそのまま磁気ヘ
ッド素子部１の単体となる。

【００２３】つぎに、磁気ヘッド素子部１が横一列にな
るようにウェーハ基板1aを横長ブロック状に切断加工す
る。即ち、接続用導電体1cの中心を通る横方向の１点鎖
線上を図示しないスライシングマシンで切断し、さらに
上下の主磁極1b-1の先端に近接した横方向の破線上を切
断することにより図３(a) に示すような横長のブロック
片とする。それにより、接続用導電体1cは中心から上下
に２分割され、接続用導電体1cの切断面は各磁気ヘッド
素子部１の媒体記録面（主磁極1b-1の先端面）の反対面
に露出することとなる。また、主磁極1b-1の先端も切断
により露出する。さらに、磁気ヘッド素子部１の主磁極
先端側は野球のホームベース形状に加工する。

【００２４】一方、可撓性支持ビーム２は、図３(b) に
示すように先端縁をＬ形に曲げたばね用ステンレスシー
ト2aの上に絶縁層2bを介しビーム長手方向に延びる一対
の信号用ビーム配線2cを図３(a) に示した磁気ヘッド素
子部１の数だけ一括薄膜形成し、多数個取りができるよ
うにする。なお、信号用ビーム配線2cは両終端に接続パ
ッド2c-1を接続形成し上面に露出する。

【００２５】そうして、図４において、このブロック状
の可撓性支持ビーム２（ばね用ステンレスシート）のＬ
形接続部2a-1とブロック状の磁気ヘッド素子部１（ウェ
ーハ基板）の裏面とを接着剤５で一体接合する。次い
で、磁気ヘッド素子部１の媒体記録面の反対面に露出し
た切断面（上端面）を接合面にして、図示しないボンデ
ィングマシンによりボンディングワイヤ３で可撓性支持
ビーム２の接続パッド2c-1に接続する。（あるいは、接
続用導電体の接合面は、信号用ビーム配線に接続パッド
に近接するため、ボンディングワイヤでなく低融点半田
などの導電性接合材で直接、接合してもよい） 次いで、接続用導電体1cの中心を通る縦方向の２点鎖線
上を図示しないスライシングマシンで切断する。

【００２６】それにより、接続用導電体1cは更に２分割
（結果として４分割になる）され、図１に示した磁気ヘ
ッド素子部１と可撓性支持ビーム２とで構成する薄膜磁
気ヘッドが単体形状に切り出され完成する。

【００２７】このように、ウェーハ基板上に電磁変換素
子と接続用導電体とで構成する磁気ヘッド素子部を単体
形状の大きさで並列し、接続用導電体の中心を縦横に切
断することで、そのまま磁気ヘッド素子部単体とするこ
とができる。即ち、磁気ヘッド素子部の接続用導電体
は、ウェーハ基板上に４個取りに集約形成されるため、
ウェーハ基板上の磁気ヘッド素子部の形成密度を高める
ことができる。あるいは従来と同じ実装密度であれば、
逆に接続用導電体の接合面積を大きくすることができ
る。

【００２８】また、接続用導電体は、磁気ヘッド素子部
の媒体記録面の反対面（上端面）に露出した切断面を接
合面にすることにより、可撓性支持ビームの接続パッド
の接合面とは互いに平行するため、ボンディング方向が
一方向だけとなりボンディングマシンによるボンディン
グ作業が容易になる。

【００２９】また、接続用導電体は可撓性支持ビームの
接続パッドに近接するため、ボンディングワイヤでなく
半田などの導電性接合材で直接、接合することもでき
る。つぎに、図５の平面図に基づき第２の実施例の磁気
ヘッド素子部の接続用導電体について説明する。

【００３０】先の図２(a) における接続用導電体は平面
視正方形としたが、この第２の実施例の接続用導電体1c
はパーマロイ(NiFe)などの軟磁性材料を用い、主磁極の
軸方向に先端位置まで延びる細長い平面視長方形の形状
に形成しておく。

【００３１】そして、その後の製造工程は上記実施例と
同じであって、接続用導電体は上記実施例と同様に４分
割され、各磁気ヘッド素子部の媒体記録面の反対面に露
出した切断面を接合面にして、ボンディングワイヤまた
は直接の半田付けによって同様に電気的接続を行うこと
ができる。また同時に、この実施例の接続用導電体は主
磁極の両側を先端位置まで全長にわたって覆い磁気シー
ルドできるため、外乱磁場の影響を取り除くことができ
る。

【００３２】つぎに、図６の斜視図に基づき第３の実施
例の可撓性支持ビームについて説明する。この第３の実
施例の可撓性支持ビーム２は、先端に磁気ヘッド素子部
１を接合するためのＬ形接続部2a-1を備える可撓性絶縁
体（シート)2d の上に斜線部分で示す信号用ビーム配線
2cを配線し構成する。この信号用ビーム配線2cは、図３
(a) 図に示した磁気ヘッド素子部１の一対の接続用導電
体1c（この場合、埋設した接続用導電体は予め、裏面が
露出するまでウェーハ基板の裏面が研削してある）に対
応し形成するが、可撓性支持ビーム２を磁気ヘッド素子
部１に一体接合した後、２点鎖線上を切断しヘッド単体
に切り離すことにより更に２分割される。

【００３３】この第３の実施例の可撓性支持ビームの製
造方法は、図７の斜視図に示すように先端縁をＬ形に曲
げたアルミナ(AI₂O₃) などでなる可撓性絶縁体（シー
ト)2d上にビーム長手方向に延びる信号用ビーム配線2c
を図３(a) に示した磁気ヘッド素子部１の数だけ一括形
成する。この信号用ビーム配線2cは、可撓性絶縁体2dを
形成する際に溝を開口しておき、溝内にパーマロイ(NiF
e)をスパッタリングにより充填し形成する。（あるい
は、銅下地めっきにパーマロイを電解めっきしてもよ
い） 次いで、磁気ヘッド素子部１の裏面に露出した接続用導
電体1cに可撓性支持ビーム２のＬ形接続部2a-1を低融点
半田などの導電性接合材（図示略）により一体接合す
る。そうして、接続用導電体1cの中心を通って２点鎖線
上を図示しないスライシングマシンで切断し、可撓性支
持ビーム２と磁気ヘッド素子部１とで構成する薄膜磁気
ヘッド単体を完成する。

【００３４】このように、ウェーハ基板に列設した磁気
ヘッド素子部の接続用導電体の裏面に、可撓性絶縁体
（シート）上に一括形成した信号用ビーム配線のＬ形接
続部を導電性接合材で直接、接合できるため、電気的、
機械的接合が同時にできてワイヤボンディング作業を省
略することができる。

【００３５】なお、上記２実施例での信号用ビーム配線
は磁気ヘッド素子部に対して左右端に形成したが、図８
の第４の実施例の斜視図に示すように可撓性支持ビーム
2'は絶縁層2a' を介して更に信号用ビーム配線2cを形成
し、２×２層の接続用導電体1cを磁気コイルと磁気効果
素子とを一体に構成した上下左右に４端子を備える複合
型の磁気ヘッド素子部1'に接合しても構わない。

【００３６】つぎに、図９の斜視図に基づき第５の実施
例の可撓性支持ビームについて説明する。この第５の実
施例の可撓性支持ビーム２は、１つの磁気ヘッド素子部
１に対し一対の導電ビーム2a"(本実施例では幅 0.2ｍ
ｍ、厚さ 0.2ｍｍ、長さ15ｍｍのステンレス薄板からな
る細長い角棒体）からなり、平面視互いに背反するＬ字
形の基端取付部2a"-2 を備え、それ自体が信号配線を兼
ねる。

【００３７】この一対の導電ビームの製造方法は、一対
の導電ビーム2a" を多数個取りするため、図10の斜視図
に示すように厚さ 0.2ｍｍのステンレス薄板を用いフォ
トリソグラフィ技術により 0.2ｍｍ×２に切断代を加算
した幅のくし形にエッチング加工する。このくし形形状
は、図３(a) 図に示した磁気ヘッド素子部１の一対の接
続用導電体1cに対応し、その磁気ヘッド素子部１の数だ
け連接部2a"-1 でつないでくし形に形成する。なお、連
接部2a"-1 には切込み2a"-1aを入れ、一対の導電ビーム
2a" が中心で個片に切り離されたとき、基端取付部2a"-
2 が形成されるようにしておく。

【００３８】くし形の導電ビーム2a" はその先端面を一
括して磁気ヘッド素子部１の接続用導電体1cの裏面に図
示しない導電性接合材（低融点半田）により一体接合す
る。次いで、接続用導電体1cの中心を通って２点鎖線上
を図示しないスライシングマシンで切断し、さらに連接
部2a"-1 の縁端を１点鎖線からプレス加工により剪断切
除し一対の導電ビーム2a" 単体に切り離し、その後端部
は平面視互いに背反するＬ形の基端取付部2a"-2 とな
り、可撓性支持ビーム２と磁気ヘッド素子部１とで構成
する薄膜磁気ヘッドが完成する。

【００３９】この薄膜磁気ヘッドの一対の基端取付部
は、図示を省略するが磁気ディスク装置に内設されたポ
ジショナの支持アーム（の接続端子）に半田付けにより
直接、電気的、機械的に接続し実装することができる。

【００４０】このように、可撓性支持ビームを一対の導
電ビームで構成し、かつ基端取付部を平面視互いに背反
するＬ字形に形成することにより、接合面積をできるだ
け大きく取り機械的接合が容易になるとともに、それ自
体が信号用配線を兼ねることができるため、ボンディン
グワイヤなどの電気的接続をする必要なく、従来の信号
用ビーム配線を薄膜形成する必要はなく製造工程を簡
略、短縮化することができる。

【００４１】上記、何れの実施例においてもウェーハ基
板上の磁気ヘッド素子部の形成密度を大幅に改善し、か
つ製造工程を簡略、短縮化することで製造コストの低減
を図ることができる。

【００４２】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
ウェーハ基板に磁気ヘッド素子部（電磁変換素子及び接
続用導電体）をその形状大きさに合わせて一括形成し、
切断分割して個片に切り離すように構成することによ
り、ウェーハ基板上の磁気ヘッド素子部の形成密度を向
上させ、該磁気ヘッド素子部に細長い可撓性支持ビーム
を一括接合し、その後、個片に切り離すことによって製
造工程を簡略、短縮化することができるとともに、薄膜
磁気ヘッドを例えば、数 100ｍｇ、 0.5ｍｍ角と極限ま
で小形、軽量化することができる。それにより磁気ヘッ
ド素子部と記録媒体（磁気ディスク）との異常接触によ
る損傷を軽減することができるなど、信頼性の高い薄膜
磁気ヘッドを提供できるといった産業上極めて有用な効
果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による第１の実施例の斜視図

【図２】 図１の製造方法を示す平面図（その一）

【図３】 図１の製造方法を示す斜視図（その二）

【図４】 図１の製造方法を示す斜視図（その三）

【図５】 第２の実施例の磁気ヘッド素子部の接続用導
電体の平面図

【図６】 第３の実施例の可撓性支持ビームの斜視図

【図７】 図６の製造方法を示す斜視図

【図８】 第４の実施例の薄膜磁気ヘッドの斜視図

【図９】 第５の実施例の可撓性支持ビームの斜視図

【図10】 図９の製造方法を示す斜視図

【図11】 従来技術による薄膜磁気ヘッドの単体斜視図

【図12】 図11の単体加工前の斜視図

【図13】 図11の磁気ヘッド素子部の製造方法を示す斜
視図

【符号の説明】

１は磁気ヘッド素子部 1aはウェーハ基板 1bは電磁変換素子 1b-1は主磁極 1b-2はコイル 1cは接続用導電体 1c-1は薄膜配線 ２は可撓性支持ビーム 2a" は導電ビーム 2a"-2 は基端取付部 ３はボンディングワイヤ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 接続用導電体(1c)を少なくとも媒体記録
   面の反対面に露出し備える磁気ヘッド素子部(1) と、前
   記接続用導電体(1c)と接続する信号用ビーム線(2c)を備
   える可撓性支持ビーム(2) とからなることを特徴とする
   薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 非導電性のウェーハ基板(1a)上に複数の
   磁気ヘッド素子部(1) をマトリックス状に所定間隔で互
   いに対向整列して薄膜形成し、該ウェーハ基板(1a)に可
   撓性支持ビーム(2) を磁気ヘッド素子部(1) に対応して
   接合した後、ヘッド単体形状に縦横に切断するときに４
   分割される接続用導電体(1c)を埋設し、かつそれぞれの
   分割片と該分割片に対応する電磁変換素子(1b)のコイル
   (1b-2)の終端とを薄膜配線(1c-1)で接続しておき、ヘッ
   ド単体形状に切断することにより、前記分割された接続
   用導電体(1c)を各磁気ヘッド素子部(1) の少なくとも媒
   体記録面の反対面に露出させることを特徴とする薄膜磁
   気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載の接続用導電体(1c)は予
   め、少なくとも電磁変換素子(1b)の成膜厚さ以上の深さ
   に埋設しておくことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造
   方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載の接続用導電体(1c)は軟磁
   性材料でなり、電磁変換素子(1b)の両側を主磁極(1b-1)
   の全長にわたり先端まで覆うように形成したことを特徴
   とする薄膜磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１記載の磁気ヘッド素子部(1) の
   媒体記録面の反対面に露出した接続用導電体(1c)と、可
   撓性支持ビーム(2) の信号用ビーム線(2c)とを導電性接
   合材で接続したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１記載の磁気ヘッド素子部(1) の
   媒体記録面の反対面に露出した接続用導電体(1c)と、可
   撓性支持ビーム(2) の信号用ビーム線(2c)とをボンディ
   ングワイヤ(3) で接続したことを特徴とする薄膜磁気ヘ
   ッド。
7. 【請求項７】 請求項１記載の磁気ヘッド素子部(1) の
   裏面に露出した接続用導電体(1c)と、可撓性支持ビーム
   (2) の信号用ビーム線(2c)とを導電性接合材で接続した
   ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１記載の磁気ヘッド素子部(1) に
   接合する可撓性支持ビーム(2) は、一対の導電ビーム(2
   a") からなり、その基端取付部(2a"-2) の形状は平面視
   互いに背反するＬ字形であることを特徴とする薄膜磁気
   ヘッド。