JPH0615380B2 - ウエハ保護シ−ト貼付装置 - Google Patents
ウエハ保護シ−ト貼付装置Info
- Publication number
- JPH0615380B2 JPH0615380B2 JP18760985A JP18760985A JPH0615380B2 JP H0615380 B2 JPH0615380 B2 JP H0615380B2 JP 18760985 A JP18760985 A JP 18760985A JP 18760985 A JP18760985 A JP 18760985A JP H0615380 B2 JPH0615380 B2 JP H0615380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- release paper
- wafer
- protective sheet
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Collation Of Sheets And Webs (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置に関し、特にウエハを保護シー
トと離型紙の間に挿入するウエハ保護シート貼付装置に
関する。
トと離型紙の間に挿入するウエハ保護シート貼付装置に
関する。
半導体素子を形成されたウエハーはスクライブラインに
そつて切溝を入れた後、ローラによりブレーキングさ
れ、個々の素子に分割される。ここで、ブレーキングを
行う際には、ウエハー表面に保護シートをかぶせた状態
で行う。
そつて切溝を入れた後、ローラによりブレーキングさ
れ、個々の素子に分割される。ここで、ブレーキングを
行う際には、ウエハー表面に保護シートをかぶせた状態
で行う。
従来、ウエハー表面に保護シートをかぶせる工程におい
ては第２図(a)，(b)に示す方法により行われる。
ては第２図(a)，(b)に示す方法により行われる。
すなわち、ロール状としてセツトされたシート２と離型
紙３とはローラガイド６を介して分離され、シート２は
ゴムローラ１へ引き込まれ、また離型紙３は離型紙ガイ
ド７を介した後、ゴムローラ１へ引き込まれる。ウエハ
ー８はシート２と離型紙３の空間に挿入され、ゴムロー
ラ１により離型紙３とシート２にはさみ込み圧着され
る。
紙３とはローラガイド６を介して分離され、シート２は
ゴムローラ１へ引き込まれ、また離型紙３は離型紙ガイ
ド７を介した後、ゴムローラ１へ引き込まれる。ウエハ
ー８はシート２と離型紙３の空間に挿入され、ゴムロー
ラ１により離型紙３とシート２にはさみ込み圧着され
る。
上述した従来のウエハ保護シート貼付装置では、離型紙
とシートの分離が駆動機能をもつゴムローラ１にてシー
トを引つぱることにより行われる為、分離の際に必要な
力がシート２に加わることになる。よつて、伸張性をも
つシートが供給された長さより長くなる。またウエハー
圧着時においても、シート２がゴムローラ１により押し
付けられる為、上記現象を助長する。したがつて、一体
として供給されたシートと離型紙は分離点から圧着点間
で最初に設定した長さに違いを生じる。よつて、シート
と離型紙との間にウエハーを挿入するのに必要な空間が
確保できなくなる為、シートを切断して再度空間を持た
せた状態でセツトをやりなおす必要があつた。
とシートの分離が駆動機能をもつゴムローラ１にてシー
トを引つぱることにより行われる為、分離の際に必要な
力がシート２に加わることになる。よつて、伸張性をも
つシートが供給された長さより長くなる。またウエハー
圧着時においても、シート２がゴムローラ１により押し
付けられる為、上記現象を助長する。したがつて、一体
として供給されたシートと離型紙は分離点から圧着点間
で最初に設定した長さに違いを生じる。よつて、シート
と離型紙との間にウエハーを挿入するのに必要な空間が
確保できなくなる為、シートを切断して再度空間を持た
せた状態でセツトをやりなおす必要があつた。
本発明は保護シートと離型紙とを再び積ね合せる前に、
保護シートの伸びを吸収するウエハ保護シート貼付装置
を提供するものである。
保護シートの伸びを吸収するウエハ保護シート貼付装置
を提供するものである。
本発明のウエハ保護シート貼付装置は保護シートと離型
紙との分離点より圧着点までのシートの経路上に、シー
トの伸びを吸収させる伸び吸収機構を設けたことを特徴
とするものである。
紙との分離点より圧着点までのシートの経路上に、シー
トの伸びを吸収させる伸び吸収機構を設けたことを特徴
とするものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、一体の保護シート２と離型紙３とを巻
回したロールの繰出し側にローラガイド６を設け、ロー
ラガイド６の水平方向前方に２個の支持ローラ５，５を
一定間隔あけて設置するとともに、ローラガイド６に対
して垂直下方に離型紙ガイド７を設置し、さらにガイド
７の水平方向前方に分離した保護シート２と離型紙３と
を再び圧着する対のゴムローラ１，１を設置する。
回したロールの繰出し側にローラガイド６を設け、ロー
ラガイド６の水平方向前方に２個の支持ローラ５，５を
一定間隔あけて設置するとともに、ローラガイド６に対
して垂直下方に離型紙ガイド７を設置し、さらにガイド
７の水平方向前方に分離した保護シート２と離型紙３と
を再び圧着する対のゴムローラ１，１を設置する。
さらに、２個の支持ローラ５，５の間に中間ローラ４を
上下動可能に設置する。ここに、２個の支持ローラ５，
５と、２個の支持ローラ５，５間でシート２の伸び量に
比例して上下動しシート２にテンシヨンを加える中間ロ
ーラ４との組合せにより保護シート２の伸びを吸収させ
る伸び吸収機構を構成する。
上下動可能に設置する。ここに、２個の支持ローラ５，
５と、２個の支持ローラ５，５間でシート２の伸び量に
比例して上下動しシート２にテンシヨンを加える中間ロ
ーラ４との組合せにより保護シート２の伸びを吸収させ
る伸び吸収機構を構成する。
第１図において、ロール状態で供給された保護シート２
と離型紙３とはローラガイド６を介して分離され、シー
ト２は支持ローラ５と中間ローラ４を介してゴムローラ
１に導かれ、また離型紙３は離型紙ガイド７を介してゴ
ムローラ１に導かれる。ゴムローラ１は駆動部（図示し
ない）に取付けられ、シート２と離型紙３との送りと同
時にウエハー８へのシート圧着を行う。支持ローラ５は
固定され、両者の間に配置した中間ローラ４は上下方向
に移動可能な軸に取付けら、シート２の伸び量に比例し
た量をモータにより下降させ、保護シート２の伸びを吸
収する。
と離型紙３とはローラガイド６を介して分離され、シー
ト２は支持ローラ５と中間ローラ４を介してゴムローラ
１に導かれ、また離型紙３は離型紙ガイド７を介してゴ
ムローラ１に導かれる。ゴムローラ１は駆動部（図示し
ない）に取付けられ、シート２と離型紙３との送りと同
時にウエハー８へのシート圧着を行う。支持ローラ５は
固定され、両者の間に配置した中間ローラ４は上下方向
に移動可能な軸に取付けら、シート２の伸び量に比例し
た量をモータにより下降させ、保護シート２の伸びを吸
収する。
以上説明したように本発明は保護シートと離型紙との分
離及び圧着の際に生じる保護シートの伸びを吸収するよ
うにしたため、シートと離型紙との間のウエハー挿入に
必要な空間を常に確保し、安定した稼動を行うことがで
きる効果を有するものである。
離及び圧着の際に生じる保護シートの伸びを吸収するよ
うにしたため、シートと離型紙との間のウエハー挿入に
必要な空間を常に確保し、安定した稼動を行うことがで
きる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す側面図、第２図(a)は
従来の方式の概略を示る側面図、第２図(b)は従来の方
式の概略を示す見取図である。 １……ゴムローラ、２……シート、３……離型紙、４…
…中間ローラ、５……支持ローラ、６……ローラガイ
ド、７……離型紙ガイド、８……ウエハー
従来の方式の概略を示る側面図、第２図(b)は従来の方
式の概略を示す見取図である。 １……ゴムローラ、２……シート、３……離型紙、４…
…中間ローラ、５……支持ローラ、６……ローラガイ
ド、７……離型紙ガイド、８……ウエハー
Claims (1)
- 【請求項１】一体に重ね合された保護シートと離型紙と
を一旦分離し、その両紙面にウエハーを挿入し、再び一
体に重ね合せてウエハーを保護シートと離型紙とではさ
み込む装置において、離型紙から分離される保護シート
の経路に、ウエハーを挿入した後ふたたび重ね合せる際
に生じる保護シートの伸びを吸収させる伸び吸収機構を
設けたことを特徴とするウエハ保護シート貼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18760985A JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18760985A JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251561A JPS6251561A (ja) | 1987-03-06 |
| JPH0615380B2 true JPH0615380B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16209103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18760985A Expired - Lifetime JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615380B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0384949A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Nitto Denko Corp | ウエハと粘着テープの貼り合わせ方法 |
| JP4532317B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2010-08-25 | リンテック株式会社 | 巻取装置、および巻取方法 |
| JP4656634B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-03-23 | リンテック株式会社 | フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 |
| JP4844492B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2011-12-28 | パナソニック電工株式会社 | 材料供給装置およびこれを用いた積層板の製造装置 |
| JP4844544B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2011-12-28 | パナソニック電工株式会社 | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP4844543B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2011-12-28 | パナソニック電工株式会社 | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP5069553B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-11-07 | パナソニック株式会社 | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5643655B2 (ja) | 2008-03-07 | 2014-12-17 | エアビクティ インコーポレイテッド | 車両ナビゲーションのための遠隔目的地プログラミング |
-
1985
- 1985-08-27 JP JP18760985A patent/JPH0615380B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5643655B2 (ja) | 2008-03-07 | 2014-12-17 | エアビクティ インコーポレイテッド | 車両ナビゲーションのための遠隔目的地プログラミング |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6251561A (ja) | 1987-03-06 |
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