JPH06155751A - Method for manufacturing ink jet print head - Google Patents

Method for manufacturing ink jet print head

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JPH06155751A
JPH06155751A JP30896992A JP30896992A JPH06155751A JP H06155751 A JPH06155751 A JP H06155751A JP 30896992 A JP30896992 A JP 30896992A JP 30896992 A JP30896992 A JP 30896992A JP H06155751 A JPH06155751 A JP H06155751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
elastic plate
blade
print head
ink jet
bonded
Prior art date
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Pending
Application number
JP30896992A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shoji Hiruta
昭司 蛭田
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH06155751A publication Critical patent/JPH06155751A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enhance the durability of a blade by lowering the load to the blade by obliquely providing an elastic plate with respect to a blade at the time of the cutting processing of the plane in the direction vertical to nozzles so that the blade penetrates into the elastic plate to cut the plate. CONSTITUTION:At the time of the processing of a nozzle orifice part 22, the bonded member of a passage substrate 17 and an elastic plate 16 is strongly fixed on the frame having a blade 8 fixed thereto to be set to a state not generating the processing irregularity due to vibration. The elastic plate 16 is arranged at an angle D becoming below about 90 deg. so that the blade 8 penetrates into the bonded member on the side of the elastic plate to cut the bonded member. The angle D is adjusted to a state reducing cutting load considering the material qualities of the passage substrate 17 and the elastic plate 16 and a nozzle orifice shape. Pref., the passage substrate 17 is composed of polysulfone and the elastic plate 16 is an SUS membrane and, after both of them are bonded, the inclination of about 80 deg. is provided with respect to the blade 8 to perform cutting molding to be capable of stably processing the bonded member without cracking the square nozzle opening part 22 and destructing the bonded part.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、印字信号に応じてイン
ク滴を吐出して、記録紙等の記録媒体上にインク像を形
成するオンデマンド型インクジェット式プリンタの記録
ヘッドの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a recording head for an on-demand type ink jet printer which discharges ink droplets in response to a print signal to form an ink image on a recording medium such as recording paper.

【0002】[0002]

【従来の技術】ノズルと圧力室のインク流路を複数組有
して供給口に連通する溝が形成された基板と天板とを接
着したインクジェット式印字ヘッドの製造方法が、特公
平1−228861号公報に記載されている。
2. Description of the Related Art A method of manufacturing an ink jet print head in which a substrate having a plurality of sets of nozzles and ink channels of pressure chambers and a groove communicating with a supply port is bonded to a top plate is disclosed in Japanese Patent Publication No. It is described in Japanese Patent No. 228861.

【0003】上記従来の技術ではノズルの垂直方向の縁
部すなわちノズル開口部の製造は、切断または研摩によ
る加工で行われている。
In the above conventional technique, the vertical edge of the nozzle, that is, the nozzle opening is manufactured by cutting or polishing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図4を用い従来の製造
方法の問題点を詳細に説明する。流路基板17と弾性板
16との接合体は、インク吐出圧力伝達のために剛性の
低い弾性板16と剛性の高い流路基板17の組合せであ
るため、その接合部の強度において容易に破壊にいたる
方向性を有する。従って、図4のように弾性板16のブ
レード8面に対する角度D’が90度以上では弾性板1
6の剥離破壊が生ずることとなる。また剥離に至らない
場合でも、強度の低い流路基板17と弾性板16の境界
面へ加工負荷が加わりノズル開口部22周囲の割れやカ
ケが生じるという問題を有している。その上、表面にノ
ズルと圧力室と供給口となる連通したインク流路を形成
する流路基板とこれに対向する前記圧力室へインク吐出
圧力を伝達する弾性板との接合部へも前記製造方法によ
る負荷が加わり、インク流路形状の維持あるいは流路間
のインクシール性についての信頼性を損なうことにな
る。
The problems of the conventional manufacturing method will be described in detail with reference to FIG. Since the bonded body of the flow path substrate 17 and the elastic plate 16 is a combination of the elastic plate 16 having low rigidity and the flow path substrate 17 having high rigidity for transmitting the ink ejection pressure, the strength of the bonded portion is easily broken. Has directionality. Therefore, as shown in FIG. 4, when the angle D ′ of the elastic plate 16 with respect to the surface of the blade 8 is 90 degrees or more, the elastic plate 1
Therefore, peeling failure of 6 occurs. Further, even if the peeling does not occur, there is a problem that a processing load is applied to the boundary surface between the flow path substrate 17 and the elastic plate 16 having low strength, and cracks or chips around the nozzle opening 22 occur. Further, the manufacturing is also performed on a joint between a flow path substrate that forms a nozzle, a pressure chamber, and a communicating ink flow path serving as a supply port on the surface, and an elastic plate that transmits the ink discharge pressure to the pressure chamber facing the flow path substrate. A load is applied by the method, and the reliability of the ink flow path shape maintenance or the ink sealability between the flow paths is impaired.

【0005】また、加工法の手段である切断は、ブレー
ドの同一ヶ所が加工するためブレードの耐久性が著しく
劣ることになる。
Further, in cutting, which is a processing method, the durability of the blade is remarkably deteriorated because the same portion of the blade is processed.

【0006】本発明は上記問題を解決したインクジェッ
トヘッドを提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide an ink jet head that solves the above problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
式印字ヘッドの製造方法は、表面にノズルと圧力室と供
給口となる連通したインク流路を形成する流路基板は合
成樹脂よりなり、該流路基板に対向して接合する前記圧
力室へインク吐出圧力を伝達する弾性板は金属および合
成樹脂あるいは何れか単一素材の薄膜よりなるインクジ
ェット式印字ヘッドにおいて、前記ノズルに垂直方向の
平面を切削加工するのにあたり、前記弾性板側よりブレ
ードで切削進入させ、前記ブレードに対して傾きを設け
ることを特徴とする。
According to the method of manufacturing an ink jet print head of the present invention, a flow path substrate forming a communicating ink flow path serving as a nozzle, a pressure chamber and a supply port is made of a synthetic resin, The elastic plate that transmits the ink discharge pressure to the pressure chamber that is joined to face the flow path substrate is an inkjet print head made of a thin film of metal and / or synthetic resin or any single material. In the cutting process, the elastic plate side is cut into the blade so that the blade is inclined.

【0008】[0008]

【実施例】以下本発明によるインクジェット式印字ヘッ
ドの製造方法を実施例により詳細に説明する。図1は、
本発明の製造方法を説明するための図である。図2は、
本発明の一実施例として圧電素子の印加電界方向の変位
を利用したインクジェット式印字ヘッドの分解斜視図で
ある。図3は、図2のA−A’線部分断面図であり駆動
方法を説明するための図である。
EXAMPLES The method for manufacturing an ink jet type print head according to the present invention will be described in detail below with reference to examples. Figure 1
It is a figure for demonstrating the manufacturing method of this invention. Figure 2
FIG. 6 is an exploded perspective view of an inkjet print head that utilizes displacement of a piezoelectric element in the direction of an applied electric field as an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a partial sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2 and is a diagram for explaining a driving method.

【0009】これらの図において、17は流路基板であ
り、弾性板16と共にノズル19および圧力室18およ
び供給口20を形成する。流路基板17の凸部は、圧力
室18,18を個別に分割する隔壁21となる。弾性板
16を介して圧力室18に当接する各々の位置に、基台
11により固着される圧電素子12が一対一に対応、配
設されることによりインクジェット式印字ヘッドが構成
される。圧力室18が低密度で配列される場合は、隔壁
21へ当接する位置へも圧電素子を配設することもあ
る。
In these drawings, reference numeral 17 denotes a flow path substrate which forms a nozzle 19, a pressure chamber 18 and a supply port 20 together with the elastic plate 16. The convex portion of the flow path substrate 17 serves as a partition wall 21 that divides the pressure chambers 18 and 18 individually. An ink jet type print head is configured by arranging the piezoelectric elements 12 fixed by the base 11 in a one-to-one correspondence at the respective positions in contact with the pressure chambers 18 via the elastic plate 16. When the pressure chambers 18 are arranged at a low density, the piezoelectric element may be arranged at the position where it abuts against the partition wall 21.

【0010】図2をもとに本発明により製造されるイン
クジェット式印字ヘッドを説明する。圧電素子12は、
一方の側面には基台11の信号電極13に固着、電気接
続される電極23(図3参照)が設けられ、他の一方の
側面には共通電極14に固着、電気接続される電極24
(図3参照)が設けられている。電極23と電極24と
は、各々信号電極13および共通電極14を介して駆動
回路15に接続されている。圧電素子12は基台11上
に並列に配設されている。
An ink jet type print head manufactured according to the present invention will be described with reference to FIG. The piezoelectric element 12 is
An electrode 23 (see FIG. 3) fixed to and electrically connected to the signal electrode 13 of the base 11 is provided on one side surface, and an electrode 24 fixed to and electrically connected to the common electrode 14 is provided on the other side surface.
(See FIG. 3) are provided. The electrode 23 and the electrode 24 are connected to the drive circuit 15 via the signal electrode 13 and the common electrode 14, respectively. The piezoelectric elements 12 are arranged in parallel on the base 11.

【0011】圧電素子12は櫛状に分割された構造であ
り、複数の圧電素子12が並列に形成されている。これ
らは、例えばダイシングソー、ワイヤーソー等で加工
し、圧電素子12を基台11表面まで切断するフルカッ
トまたは基台11まで切断の至らないハーフカットを行
う。圧電素子12の材料はここではチタン酸ジルコン酸
鉛(PZT)を用い、単層圧電素子または積層圧電素子
のいずれの構造をも使用可能である。本実施例では、単
層圧電素子を用いている。
The piezoelectric element 12 has a comb-shaped structure, and a plurality of piezoelectric elements 12 are formed in parallel. These are processed by, for example, a dicing saw, a wire saw, or the like, and a full cut for cutting the piezoelectric element 12 to the surface of the base 11 or a half cut for not cutting to the base 11 is performed. The material of the piezoelectric element 12 is lead zirconate titanate (PZT) here, and either a single-layer piezoelectric element or a laminated piezoelectric element can be used. In this embodiment, a single layer piezoelectric element is used.

【0012】信号電極13は、本実施例では圧電素子ブ
ロックを基台11へ固着後、前記切削手段にて基台11
表面まで切削することで、各圧電素子12の独立電極と
して形成される。共通電極14は銅箔などの薄膜を複数
の圧電素子12の電極24上の一部に電気接続させる。
In the present embodiment, the signal electrode 13 is formed by fixing the piezoelectric element block to the base 11 and then cutting the base 11 by the cutting means.
By cutting to the surface, each piezoelectric element 12 is formed as an independent electrode. The common electrode 14 electrically connects a thin film such as a copper foil to a part of the electrodes 24 of the plurality of piezoelectric elements 12.

【0013】流路基板17は圧力室18を形成する溝と
これと連通したノズル19を一体的に形成している。流
路基板17は例えばプラスチックの射出成形により容易
に形成することができる。その他技術として、感光性樹
脂によるエッチング加工で成形することや流路基板17
の隔壁21とその他の部分とを個別にプレス加工、エッ
チング加工等で成形し固着することで成形できる。但
し、ここでは連続するノズル19,19‥‥のノズル開
口面22を鋭利な刃で切削加工するため合成樹脂を基本
材質としている。但し、弾性板16は、インク吐出圧力
伝達のための特性を要するため金属の薄膜、例えば1か
ら2μm程度の電鋳ニッケルまたは合成樹脂、例えば5
μm程度のポリイミドの薄膜を使用する。
The flow path substrate 17 is integrally formed with a groove forming a pressure chamber 18 and a nozzle 19 communicating with the groove. The flow path substrate 17 can be easily formed by injection molding of plastic, for example. Other techniques include molding by etching with a photosensitive resin and the flow path substrate 17
The partition wall 21 and the other portions can be separately formed by press working, etching, etc., and then fixed to each other. However, here, since the nozzle opening surface 22 of the continuous nozzles 19, 19, ... Is cut with a sharp blade, a synthetic resin is used as a basic material. However, since the elastic plate 16 needs a characteristic for transmitting the ink ejection pressure, it is a thin film of metal, for example, electroformed nickel or synthetic resin having a thickness of about 1 to 2 μm, for example, 5
A polyimide thin film of about μm is used.

【0014】次に本実施例の印字ヘッドの動作について
説明する。図3によりインク吐出動作を説明する。駆動
回路15(図2参照)から信号電極13に信号が印加さ
れ、圧電素子12の一方の電極23へ伝達される。共通
電極14に接続する圧電素子12の他の一方の電極24
は共通電位であるため、信号伝達による電極23での電
位の変化により圧電効果が生じ、圧電素子12は基台1
1を基準に圧力室18方向に変位する。この動作を基本
にして本発明による駆動方法を説明する。
Next, the operation of the print head of this embodiment will be described. The ink ejection operation will be described with reference to FIG. A signal is applied to the signal electrode 13 from the drive circuit 15 (see FIG. 2) and is transmitted to the one electrode 23 of the piezoelectric element 12. The other electrode 24 of the piezoelectric element 12 connected to the common electrode 14
Is a common potential, a piezoelectric effect occurs due to a change in potential at the electrode 23 due to signal transmission, and the piezoelectric element 12 is mounted on the base 1
It is displaced in the direction of the pressure chamber 18 based on 1. The driving method according to the present invention will be described based on this operation.

【0015】図3aに示すように圧電素子12がこれと
固着する弾性壁16の圧力室18を押圧するB方向へ変
位させる動作により、圧力室18の容積減少変化を生じ
させ、インク吐出動圧が発生し、インクが吐出される。
また、次動作として図3bに示すように圧電素子12が
これと固着する弾性壁16を押圧解除C方向へ変位させ
る動作により、圧力室18の容積増大変化を生じさせ、
インク供給動圧が発生し、インクが圧力室18を充す。
以上の動作を印字に必要なノズル19へ連通する圧力室
18と当接する圧電素子12に選択的に信号を伝達する
ことで、インク像を紙等の媒体上へ形成できる。
As shown in FIG. 3a, the piezoelectric element 12 displaces the pressure chamber 18 of the elastic wall 16 fixed to the piezoelectric element 12 in the B direction for pressing the pressure chamber 18, thereby causing a decrease in the volume of the pressure chamber 18 and a dynamic pressure of ink ejection. Occurs and ink is ejected.
Further, as the next operation, as shown in FIG. 3b, the piezoelectric element 12 displaces the elastic wall 16 fixed to the piezoelectric element 12 in the pressing release C direction, thereby causing a change in the volume of the pressure chamber 18 to increase.
An ink supply dynamic pressure is generated and the ink fills the pressure chamber 18.
An ink image can be formed on a medium such as paper by selectively transmitting a signal to the piezoelectric element 12 that is in contact with the pressure chamber 18 communicating with the nozzle 19 required for printing in the above operation.

【0016】図1は、本発明のノズル開口部の製造方法
を説明するための図である。ノズル開口部22の成形
は、鋭利なブレード8をE方向へ移動またはノズル開口
部22を反E方向へ移動させることで容易に行える。こ
の図において、17は流路基板であり流路基板17には
複数のノズル19を設けてある。16は弾性板であり弾
性板16は、流路基板17と接合することでその縁部に
ノズル開口部22を形成する。
FIG. 1 is a diagram for explaining a method of manufacturing a nozzle opening portion according to the present invention. The nozzle opening 22 can be easily formed by moving the sharp blade 8 in the E direction or moving the nozzle opening 22 in the opposite E direction. In this figure, 17 is a flow channel substrate, and a plurality of nozzles 19 are provided in the flow channel substrate 17. Reference numeral 16 denotes an elastic plate. The elastic plate 16 is joined to the flow path substrate 17 to form a nozzle opening 22 at the edge thereof.

【0017】本発明の製造方法は、接合形成された複数
のノズル開口部22形状を容易に同一形状へと整形する
ものである。まず、ノズル開口部22の加工時、流路基
板17と弾性板16の接合体は、ブレード8を固定する
フレームと同一のフレーム上に強固に固定され、周囲か
らの振動による加工ブレを生じない状態にする。そし
て、本発明の特徴であるブレード8が弾性板16側より
切削進入するようブレード8に対して弾性板16が90
度未満となる角度Dに設置する。但し、鋭利なブレード
8の耐久性を考慮して0度に至らない、好ましくは45
度以上、より好ましくは70度から90度未満の範囲で
調整する。角度の調整は、流路基板17と弾性板16の
材質およびノズル開口形状を考慮して、切削負荷の小さ
な状態にする。本実施例で、流路基板17にポリサルフ
ォン、弾性板16にSUS薄膜で両部材を接合後、ブレ
ードに対し80度の傾きを設け切削成形したところ、正
方形のノズル開口部22に割れ、カケなく、また接合部
の破壊なく安定加工できた。
According to the manufacturing method of the present invention, the shapes of the plurality of nozzle openings 22 formed by joining are easily shaped into the same shape. First, when the nozzle opening 22 is processed, the bonded body of the flow path substrate 17 and the elastic plate 16 is firmly fixed on the same frame as the frame for fixing the blade 8 and thus does not cause processing blur due to vibration from the surroundings. Put in a state. Then, the elastic plate 16 is 90% thick with respect to the blade 8 so that the blade 8 which is a feature of the present invention enters the elastic plate 16 for cutting.
Install at an angle D that is less than degrees. However, considering the durability of the sharp blade 8, it does not reach 0 degrees, preferably 45 degrees.
The angle is adjusted to be not less than 70 degrees, more preferably not less than 70 degrees and less than 90 degrees. The angle is adjusted in consideration of the materials of the flow path substrate 17 and the elastic plate 16 and the nozzle opening shape so that the cutting load is small. In this embodiment, polysulfone is bonded to the flow path substrate 17 and both members are bonded to the elastic plate 16 with the SUS thin film, and then the blade is inclined by 80 degrees and cut and molded, and the square nozzle opening 22 is not cracked or cracked. Moreover, stable processing was possible without breaking the joint.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、並列に密接して配
設されるインク吐出装置の流路基板と弾性板とにより形
成されるノズル開口部を鋭利なブレードにより、切削が
弾性板側より進入されるよう角度を設けることで、流路
基板と弾性板との接合強度における信頼性を維持でき、
またブレードの広い部分が使用されるため、ブレードへ
の負荷が低く耐久性が向上する。その上、ノズル開口形
状が容易に割れ、カケなく安定形成できるため、インク
吐出特性の向上が図れる。
As described above, the nozzle opening formed by the flow path substrate of the ink ejection device and the elastic plate, which are closely arranged in parallel, is cut from the elastic plate side by a sharp blade. By providing an angle so that it can enter, it is possible to maintain reliability in the bonding strength between the flow path substrate and the elastic plate,
Further, since a wide portion of the blade is used, the load on the blade is low and the durability is improved. In addition, since the nozzle opening shape can be easily cracked and stably formed without chipping, the ink ejection characteristics can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の製造方法を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a manufacturing method of the present invention.

【図2】本発明の1実施例のインクジェット式印字ヘッ
ドの構成を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of an ink jet type print head according to one embodiment of the present invention.

【図3】(a)同上実施例の駆動方法を説明するための
部分断面図である。(インク吐出時) (b)同上実施例の駆動方法を説明するための部分断面
図である。(インク供給時)
FIG. 3A is a partial cross-sectional view for explaining a driving method according to the embodiment. (During Ink Ejection) (b) It is a partial cross-sectional view for explaining the driving method of the above embodiment. (When supplying ink)

【図4】従来の製造方法を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基台 12 圧電素子 13 信号電極 14 共通電極 15 駆動回路 16 弾性板 17 流路基板 18 圧力室 19 ノズル 20 インク供給口 21 隔壁 22 ノズル開口部 23 圧電素子電極 24 圧電素子電極 11 Base 12 Piezoelectric Element 13 Signal Electrode 14 Common Electrode 15 Drive Circuit 16 Elastic Plate 17 Flow Channel Substrate 18 Pressure Chamber 19 Nozzle 20 Ink Supply Port 21 Partition Wall 22 Nozzle Opening 23 Piezoelectric Element Electrode 24 Piezoelectric Element Electrode

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面にノズルと圧力室と供給口となる連
通したインク流路を形成する流路基板は合成樹脂よりな
り、該流路基板に対向して接合する前記圧力室へインク
吐出圧力を伝達する弾性板は金属および合成樹脂あるい
は何れか単一素材の薄膜よりなるインクジェット式印字
ヘッドにおいて、前記ノズルに垂直方向の平面を切削加
工するのにあたり、前記弾性板側よりブレードで切削進
入させ、前記ブレードに対して前記弾性板に傾きを設け
ることを特徴とするインクジェット式印字ヘッドの製造
方法。
1. A flow channel substrate, which forms a communicating ink flow channel serving as a nozzle, a pressure chamber, and a supply port on the surface, is made of a synthetic resin, and an ink ejection pressure is applied to the pressure chamber which is bonded to face the flow channel substrate. In the ink jet type print head made of a thin film of metal and / or synthetic resin or a single material, the elastic plate that transmits the force is cut by the blade from the elastic plate side when cutting the plane perpendicular to the nozzle. A method for manufacturing an ink jet print head, wherein the elastic plate is inclined with respect to the blade.
【請求項2】 前記インクジェット式印字ヘッドの前記
弾性板と前記ブレードとの傾きが90度未満であること
を特徴とする請求項1記載のインクジェット式印字ヘッ
ドの製造方法。
2. The method for manufacturing an ink jet print head according to claim 1, wherein an inclination between the elastic plate and the blade of the ink jet print head is less than 90 degrees.
JP30896992A 1992-11-18 1992-11-18 Method for manufacturing ink jet print head Pending JPH06155751A (en)

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