JPH0615962B2 - 部品の表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面走査装置 - Google Patents

部品の表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面走査装置

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JPH0615962B2
JPH0615962B2 JP59071684A JP7168484A JPH0615962B2 JP H0615962 B2 JPH0615962 B2 JP H0615962B2 JP 59071684 A JP59071684 A JP 59071684A JP 7168484 A JP7168484 A JP 7168484A JP H0615962 B2 JPH0615962 B2 JP H0615962B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は一般的には表面走査装置に関するものであり、
より具体的には表面の仕上げ及び外形などを測定するた
めの表面走査装置であってその探針が障害物に出会った
時でも損傷を受けないよう探針を有効に保護するように
作られた表面走査装置に関するものである。
〔従来の技術〕
線形輪郭及び表面仕上げ特性を測定し、計算し、表示し
かつ記録する表面分析装置は割合古くから用いられてい
る。そのような表面分析装置は一般的には探針並びに該
探針を適当なトランデューサ内で片持ち梁式に装着する
アームとを採用している。１つのそのようなトランデュ
ーサが１９６２年１２月２５日にＧ．スミス氏等に認可
された米国特許第３，０７０，７４２号に開示されてい
る。これらの探針及び探針アームはもろく損傷を受け易
い。探針及び探針アームを保護するために探針保護装置
が開発されてきた。探針保護装置は通常探針近くの測定
されるべき表面上に乗るよう設計されたスキッドの形態
をとる。スキッドの探針に対する位置は十分な探針移動
量を許容せしめると同時に探針の損傷に対する保護を与
えられるよう注意深く調節されなければならない。しか
しながら、スキッドある種の測定作業にとっては邪魔に
なるし、又必然的に探針の変位量を制限する。ただしそ
のような探針保護装置を設け、非スキッド作動において
も、特に当該探針が主要な突起又は裂け目のような障害
物上にきた時には探針が損傷を受けることが多い。更に
は、探針及び探針アームは又使用前、中、後を問わず不
注意又は不当に取扱うと損傷を受け易いものである。従
って探針及び探針及びそのアームを例え探針がそのよう
な障害物に出会ったり、不注意又は不適切な取扱いをし
た時でも保護することの出来る単純ではあるが有効的な
解決策に対する必要性が存在する。
〔発明の目的〕
本発明の主たる目的は、表面の仕上げ及び外形などを測
定するための表面走査装置であってその探針が障害物に
出会うか又は不注意又は不適当な取扱いを受けても同探
針及び探針アームを損傷から有効に保護するような表面
走査装置を提供することにより前述の不具合を克服する
ことである。
〔目的を達成する手段〕
後述する実施例の説明に用いる参照符号を用いて本発明
を記述すると、本願の第１番目の発明は部品の表面の仕
上げ及び外形などを測定するための表面走査装置であっ
て、 部品の表面に接触するようにされた探針（１２）と、 該探針（１２）を一端部で支持している遠アーム（２
２）と、 該遠アーム（２２）の他端部に取り付けられたブラケッ
ト（４６）と、 該ブラケット（４６）に対して磁気的に取り付けられて
いて且つ該ブラケット（４６）に対して分離可能である
部材（７２）と、 該部材（７２）を一端部に取り付けている近アーム（２
０）と、 該近アーム（２０）の他端部の変位によって、前記部品
の表面の第１の位置にある時の前記探針（１２）の位置
に対する該探針（１２）の変位を測定するための測定装
置（１４）とを含み、 前記探針（１２）に対して前記表面から所定の値を超え
た力が加わった時には、前記ブラケット（４６）と前記
部材（７２）との間の磁気的な取り付けが分離されて、
前記遠アーム（２２）が前記近アーム（２０）から解放
されるようになっていることを特徴とする表面走査装置
を提供する。
本願の第２番目の発明は、部品の表面の仕上げ及び外形
などを測定するための表面走査装置であって、 部品の表面に接触するようにされた探針（１２）と、 該探針（１２）を一端部で支持している遠アーム（２
２）と、 該遠アーム（２２）の他端部に取り付けられたブラケッ
ト（４６）及び磁気的取付け−解放機構（１８）により
該ブラケット（４６）に対して磁気的取り付けられてい
て且つ該ブラケット（４６）に対して分離可能である部
材（７２）を含むボール及び切欠き着座構造体（２４）
であって、前記ブラケット（４６）及び前記部材（７
２）の一方には複数個のボール（６８）が取り付けら
れ、他方にはこれらボール（６８）を支承するための凹
所（９６，９８，１００）が備えられていて、前記一方
を前記他方に対して位置決めするようになっている、前
記ボール及び切欠き着座構造体（２４）と、 前記部材（７２）を一端部に取り付けている近アーム
（２０）と、 該近アーム（２０）の他端部の変位によって、前記部品
の表面の第１の位置にある時の前記探針（１２）の位置
に対する該探針（１２）の変位を測定するための測定装
置（１４）とを含み、 前記探針（１２）に対して前記表面から所定の値を超え
た力が加わった時には、前記ブラケット（４６）と前記
部材（７２）との間の磁気的な取り付けが分離されて、
前記遠アーム（２２）が前記近アーム（２０）から解放
されるようになっていることを特徴とする表面走査装置
を提供する。
〔効果〕
以上のように、本願の第１番目および第２番目の発明に
おいては、被測定表面から所定の値を超えた力が探針に
加わると前記ブラケットと前記部材との間の磁気的な取
付けが分離されて遠アームが近アームから解放されるよ
うになっているから、探針が障害物に出会うか又は不注
意又は不適当な取扱いを受けても探針および探針アーム
は過大な力を受けることがないので損傷から保護され
る。
〔実施例〕
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
一般的に言って、第１図に示され、しばしばプローブと
呼ばれる、表面の仕上げ及び外形などを測定するための
表面走査装置の例示実施例は表面分析装置（図示せず）
に用いる様作られており、この表面分析装置は部品の表
面の仕上げの諸特性を測定し、計算し表示するために用
い、かつ又はトラバース移動することなく表面の変形を
測定し、電子工学的に厚味を計測するために用いられ
る。本明細書において用いられる「トラバース」なる用
語は測定すべき表面に平行な相対的な探針の移動を意味
している。そのような表面分析装置は当業界においては
周知であり、種々の実験室的及び品質管理的用途に採用
されている。これらの一般的用途には、例えば製造部
品、歯形輪郭、溝及び平坦部分の表面の測定が含まれて
いる。表面分析装置は朝顔形状、突起、テーパ、粗さ及
びうねりのような表面不規則形状を容易に検出する。表
面分析装置は又測定された表面の平均粗さ（Ｒａ）を計
算し、表示しかつ記録する。平均粗さ（Ｒａ）は該当表
面に垂直に測定され、通常マイクロインチ又はマイクロ
メータ（ミクロン）の単位で表示される算術的平均偏差
値のことである。表面分析装置は厚肉及び薄肉のマイク
ロエトクロニクス部品上の堆積物を測定するのに、即ち
電子工学的厚み計測に特に有用である。
前記表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面走
査装置１０（プローブ）は一般的には探針１２と、「ゼ
ロ」位置からの探針１２の変位を測定するための装置１
４と、前記探針１２を前記測定装置１４と作動係合状態
に支持するための装置１６と磁気的取付け−解放機構１
８とを有しており、当該機構１８は前記支持装置１６内
に内蔵され、「ゼロ」位置からの探針１２の変位が所定
の値を超えた時にはいつでも前記探針が支持装置１６の
少なくとも一部分から分離するのを許容するように作ら
れている。前記探針１２はダイヤモンド探針、サファイ
ヤチゼル探針、ルビー球又は超硬ボール又はその類いの
如き任意の既知の探針とすることが出来る。好ましく
は、前記測定装置１４は以下に説明するように、小さな
探針接触力を以って真の変位トランスデューサ作動を行
なうことが出来、探針１２によるトラバース移動をとも
なうか又はともなわないで読取りを行なうことの出来る
独特のトランスデューサを有している。
前記支持装置１６は好ましくは近アーム２０及び遠アー
ム２２と、該遠アーム２２を近アーム２０に解放可能に
取付けているボール及び切欠き着座構造体２４とを有し
ている。前記探針１２は前記遠アーム２２の自由端部に
おいて担持されており、好ましくは適当な接着剤、例え
ばエポキシ接着剤、シアンアクリレート接着剤（嫌気性
物質）又はその類いによって定位置に接着されている。
好ましくは、近アーム２０及び遠アーム２２は管状構造
をしており、アルミニウムのような非磁性物質から形成
されている。近アーム２０の近端部２６は薄肉で平坦な
高透磁性のブレード３０の突起部分２８と嵌合すること
が出来るように平坦にされている。ブレード３０はフェ
ライトで作られたＥ字形状芯３４又は他の適当な材質よ
りなる複数個の割溝３２内に収納されるよう作られてい
る。Ｅ字形状芯３４は複数個の巻線３６とともに、前記
測定装置１４即ち真の変位トランスデューサ作動を行う
ように設計された独特なトランスデューサを構成してい
る。前記ブレード３０は３個の直線割溝３２の各々内に
収納されており、移動可能な「磁束キャリア」として作
動する。このキャリアはそれが割溝３２内でわずかでも
相対運動したならば、空隙の面積を効果的に変化させ、
その結果本明細書の参考文献として挙げる米国特許第
２，６３１，２７２号（１９５３年３月１０日にＧ．ス
ミス氏に対し認可）に記載のトランスデューサの作動と
同様に、交流で付勢される一次巻線によって２つの磁気
回路内に生成される磁束の相対的強度がコントロールさ
れる。従って、前記測定装置１４は探針１２によるトラ
バース移動をともない又はともなわないで表面の変形の
測定、読取りを行なうことが出来る。巻線３６に一端が
接続されたワイヤ３８の他端が電気ピン４０に接続され
ている。前記ピン４０はケーブル４２を介して（図示せ
ぬ）プラグ組立体を収納するようにされたプラスチック
容器４４に接続されている。前記プラグ組立体によっ
て、本発明に係る表面の仕上げ及び外形などを測定する
ための表面走査装置１０は前述のタイプの表面分析装置
へと作動的に接続されている。
前記ボール及び切化き着座構造体２４はブラケット４６
を含んでおり、当該ブラケット４６は基本的にｔ字形状
をなしており、好ましくはアルミニウムから形成されて
いる。又、前記ブラケット４６には一対の脚４８及び５
０が設けられている。前方脚４８には半月５２が形成さ
れており、後方脚５０には穴５４が形成されている。前
記穴５４にはピン５６が取付けられており、該ピン５６
は穴５４から前方に突出するとともに、遠アーム２２の
端部内に入っており、ブラケット４６を遠アーム２２に
固定せしめている。この際半月５２は第３図からもわか
るように遠アーム２２上に載置される。前記ブラケット
４６には更に５個の穴６０、６２、６４、６６及び６７
が設けられている。穴６０、６２及び６４は好ましくは
ステンレス鋼からなる複数個のボール６８を収納するよ
うにされており、前記ボール６８は第３図に示すように
エポキシ又はシアンアクリレートのような適当な接着剤
によって穴６０、６２及び６４内の定位置に接着されて
いる。穴６０、６２及び６４の中間に形成された穴６６
及び６７は前記磁気的取付け−解放機構１８の一部を形
成する磁石７０及び７１を収納し、定置するように作ら
れている。
前記ボール及び切欠き着座構造体２４は更に、好ましく
はアルミニウムから形成されたやはりＴ字形状の部材７
２を含んでおり、当該部材７２はブラケット４６とほぼ
同一の寸法及び形状を有するも、ただ１つの後方脚７４
を備えている。後方脚７４にも又１つの穴が設けられて
おり、ピン７６を内部に取付けられている。ピン７６は
近アーム２０の遠端部７８内に入って、近アーム２０を
部材７２に固定する作用を行なっている。部材７２にも
又複数個の穴８０、８２、８４及び１３５が設けられて
いる。前記穴８０、８２及び８４の位置はブラケット４
６の穴６０、６２及び６４の位置と合致している。これ
らの穴８０、８２及び８４内には、好ましくはステンレ
ス鋼から形成された複数個の突起９０、９２及び９４が
下向きに突出した状態で接着剤により固定されている。
これらの突起９０、９２及び９４には複数個の凹所９
６、９８及び１００が設けられており、それらの意義に
ついては以下より詳細に説明する。部材７２から突出し
ているこれらの凹所９６、９８及び１００はブラケット
４６上に接着定置された複数個のボール６８を解放自在
に収納するようにされている。磁気的取付け−解放機構
１８の他方の部分を形成しているフェライト板１１０及
び１１１は例えば接着により部材７２の下側に取付けら
れている。
前記部材７２は構造体１１４を介してＵ字形状バレル１
１２内に取付けられている。構造体１１４は部材７２を
ある程度の可撓性をもってバレル１１２内に保持するよ
う作られている。この可撓性を達成するため、前記構造
体１１４は一対の静止的に装着された部材１１６及び１
１８と弾力的に装着された部材１２０とを有している。
部材１１６、１１８及び１２０の各々は円弧状をなして
おり、前者２つの部材１１６、１１８は約９０゜のセグ
メント並びに後者部材１２０は約１８０゜のセグメント
を画成している。部材１１６及び１１８の対はねじ１２
２によってバレル１１２内で横方向に静止装着されてお
り、ねじ１２２はそれぞれバレル１１２並びに部材１１
６及び１１８内に形成された穴１２４中に導入される。
部材１２０は２つの９０゜セグメント１２８及び１３０
により一体的に形成されている（第５図参照）。セグメ
ント１２８は基本的にはバレル１１２の全長にわたって
延びており、セグメント１３０は横方向に装着された円
弧状部材１１６及び１１８の間に滑入出来るようにされ
ている。円弧状部材１１６及び１１８及びセグメント１
３０はいっしょになってセグメント１２８のほぼ全長を
画成していることが理解されよう。更には、弾力的に装
着された部材１２０にはボルト１３４を収納するねじ穴
１３２が設けられており、このボルトにより部材７２が
部材１２０に取付けられている。この目的のために部材
７２の中央には穴１３５が設けられている。部材１２０
は静止的に装着された円弧状部材１１６及び１１８に対
してそれぞれ（好ましくはステンレス鋼の）金属製の一
対のリボン１９０、１９２並びに１９４、１９６によっ
て弾力的に装着されている。これらのリボン１９０、１
９２並びに１９４、１９６の各々は例えば１９８のよう
なそれぞれの端部においてスポット溶接されることによ
り部材１２０を交互的に静止的に装着された円弧状部材
１１６及び１１８に接続している。各対内の一方のリボ
ン１９０及び１９４は水平方向に装着されており、各対
内の他方のリボン１９２及び１９６は垂直方向に装着さ
れている（第５図参照）。前記バレル１１２には又一対
の半月形切込み１３６及び１３８が形成されており、こ
れらの切込みの意義については以下において明らかとな
ることであろう。
前記バレル１１２は一対の割溝１４４及び１４６を設け
たＵ字形状プレート１４２によってハウジング１４０の
前方端部内定位置に保持されている。前記バレル１１２
は割溝１４４及び１４６内に係止されている。プレート
１４２自体は複数個のねじ１５０によってハウジング１
４０の平坦に機械加工された下側１４８に取付けられて
いる。一対のねじ穴１５６及び１５８を経てハウジング
１４０内に導入される一対のねじ１５２及び１５４は一
対の半月形切欠き１３６及び１３８に係止して、バレル
１１２がその横断方向軸線のまわりに回転変位するのを
防止するとともに、探針の力をセットする役目を果して
いる。
フェライトのＥ字形状芯３４及び巻線３６から基本的に
構成されている測定装置１４は部材１６０内に配置され
ており、当該部材１６０はハウジング１４０のほぼ中央
において一対のねじ１６２及び１６４により取付けられ
ている。好ましくは、前記ハウジング１４０はやはり非
磁性体のステンレス鋼から形成されたカバー１６６によ
って包囲されており、同カバーはねじ１６８によってハ
ウジング１４０に取付けられている。
表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面走査装
置１０には又任意選択的な探針保護組立体１７０を装備
することが出来る。もしも探針保護組立体１７０を設け
た場合には、同組立体はロックねじ１７２によってハウ
ジング１４０の前方に調節自在に取付けられる。前記探
針保護組立体１７０にはスキッド１７４が設けられてお
り、同スキッド部材１７６によって探針保護組立体１７
０の前方に取付けられる。これらスキッド１７４及び部
材１７６の両者は周知のように探針保護組立体１７０内
に形成された適当な小容器内に接着固定されるのが好ま
しい。任意選択的な探針保護組立体１７０はスキッド作
動モードにおいてのみ用いられる。スキッドモードにお
ける適正作動のためには、最初に探針保護組立体１７０
を適正位置にくるよう調節して、探針１２の十分な移動
量を保証するとともに探針の損傷はふせげるようにして
やることが必要である。このためには、前記ロックねじ
１７２をゆるめ、高さ調節ねじ１７８を時計方向にまわ
して、表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面
走査装置１０が一部を形成する表面分析装置上の（図示
せぬ）探針位置表示器が「ゼロ」位置を示すようにして
やる。このゼロ位置が調節されたならば、前記ロックね
じ１７２を再び締付ける。もしも非スキッド作動を望む
場合には、探針保護組立体１７０を除去するか、装着せ
ずにするか、又はロックねじ１７２をゆるめて高さ調節
ねじ１７８を少なくとも半回転時計回転方向にまわして
やれば良い。
前述したように、本発明の表面の仕上げ及び外形などを
測定するための表面走査装置１０は、例え探針１２が
壁、高い突起又は深い割れ目のような主要障害物にぶち
当った時でも、しかも非スキッドモード作動時において
それが発生した場合であっても、同探針並びにその支持
装置１６が損傷を受けることを有効に防止するよう作ら
れている。このことはそのような障害物との出会い時に
おいて探針１２を担持する遠アーム２２が近アーム２０
から分離することを許容せしめることによって達成され
る。そのような分離の後において、遠アーム２２は再び
簡単に近アーム２０と再結合され、かくて本発明に係る
表面の仕上げ及び外形などを測定するための表面走査装
置１０は再び新しくなり、使用出来る状態となる。同様
にして、オペレータは例えばダイヤモンド探針のような
あるタイプの探針を例えばサファイヤ探針のような別の
タイプの探針と容易に交換することが出来る。しかしな
がら、そのような交換作業の後においては次の測定に進
む前に探針１２の電気的ゼロ位置を最初チェックし、必
要とあらば再調整するのが望ましい。遠アーム２２を近
アーム２０から分離するという原理は第４図において最
も良く説明されている。
第４図はボール及び切欠き着座構造体２４の一部の第２
図矢印方向において線４−４に沿って眺めた底面図であ
る。前述したように、遠アーム２２を解放自在に近アー
ム２０に合体させているのはこのボール及び切欠き着座
構造体２４である。第４図に示すボール及び切欠き着座
構造体２４の部分はＴ字形状部材７２と、それぞれ凹所
９６、９８及び１００を設けた突起９０、９２及び９４
とを含んでいる。前述のように、これらの凹所９６、９
８及び１００は第３図においても最も良好に示されるよ
うに、ボール及び切欠き着座構造体２４の他方の部分を
形成するブラケット４６上の定位置に接着された複数個
のボール６８を解放自在に収納する様にされている。前
記凹所９６、９８及び１００は第４図においては直角形
状凹所として例示されている。しかしながら凹所９６、
９８及び１００は必ずしも直角である必要は無く、鈍角
とすることも出来ることを指摘しておく。前記角度が鈍
角になる程複数個のボール６８は凹所から抜け出し易く
なる。加えるに、前記凹所９６、９８及び１００は全て
例示の如くＶ字形状切欠きとする必要は無く、所望とあ
らば凹所の１つ、好ましくは凹所１００、は円錐形状の
ものとすることが出来る。例示されたＶ字形状切欠きの
代りに円錐形状の凹所を設けることにより複数個のボー
ル６８は凹所からの抜け出しがより困難となる。
複数個のボール６８を凹所９６、９８及び１００から抜
け出させ、もちろんその際磁石７０及びフェライトプレ
ート１１０の間に誘起される磁力を克服することによっ
て遠アーム２２を近アーム２０から分離させるのに必要
な引離し力の大きさにやはり直接の関係を有している別
の角度について議論する必要がある。この別の角度は前
記凹所９６、９８及び１００がＴ字形状部材７２の長手
方向軸線１８０に関して整合される態様と関係がある。
好ましくは、前記凹所１００は図示の如く長手方向軸線
１８０と同一線上にある。好ましくは、前記凹所９６及
び９８はやはり図示されている様に前記長手方向軸線１
８０に対して斜めに形成されている。この斜めの角度は
凹所９６、９８及び１００の形状、磁石７０及び７１並
びにフェライトプレート１１０及び１１１間に誘起され
る力の形態と組合わさって、ボール及び切欠き着座構造
体２４において遠アーム２２のを近アーム２０から分離
させるのに必要な引き離し力を決定するということに注
目されたい。更に、この斜め角度が大きくなるに従って
そのような分離を行なうのに必要な力が大きくなるとい
うことも指摘しておく。１つの好ましい斜め角度α１８
２は約２５゜であることが図示されている。この角度α
１８２は約ゼロから約９０゜の範囲で変化させることが
出来る。
かくて、探針１２が高い突起又は深い割れ目のような障
害物にぶち当った場合には、前記ボール及び切欠き着座
構造体２４の所で遠アーム２２の近アーム２０からの引
離しが障害物と探針の衝突力によって誘起される。分離
された遠アーム２２が第３図に示されている。そのよう
な分離の後において、分離された遠アーム２２は第２図
に示すような定位置へと容易に再びスナップ結合され
る。
かくて表面分析装置において用いられる表面の仕上げ及
び外形などを測定するための表面走査装置であって、前
述の目的及び利点を満足せしめる表面走査装置１０が図
示され、説明された。本発明の範囲から離脱することな
く実施例に対しある種の変更をなす事が可能である故、
前述の明細書および付図において説明および図示された
全ての事柄は例示のためのものであり、限定のためのも
のではないということを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に従って構成された、表面の仕上げ及び
外形などを測定する表面走査装置の展開斜視図、 第２図は第１図の表面の仕上げ及び外形などを測定する
表面走査装置の幾つかの部品の斜視図であり、これらの
部品が組立てられた、状態を示している。 第３図は第２図に示した部品の一部の斜視図、 第４図は第２図に示した部品の一部の、第２図の線４−
４に沿って矢印の方向に眺めた底面図、 第５図は第１図の表面の仕上げ及び外形などを測定する
ための表面走査装置の一部の斜視図である。 １２……探針、１４……測定装置、３４……Ｅ字形状
芯、３６……巻線、３０……ブレード、１６……支持装
置、２０……近アーム、２２……遠アーム、２４……ボ
ール及び切欠き着座構造体、４６……ブラケット、６８
……ボール、７２……部材、９６、９８、１００……凹
所。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウイリアム・マツクインドウ アメリカ合衆国ロ−ドアイランド州ウエス ト・ウオリツク・ワシントン・ストリ−ト 214

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】部品の表面の仕上げ及び外形などを測定す
    るための表面走査装置であって、 部品の表面に接触するようにされた探針（１２）と、 該探針（１２）を一端部で支持している遠アーム（２
    ２）と、 該遠アーム（２２）の他端部に取り付けられたブラケッ
    ト（４６）と、 該ブラケット（４６）に対して磁気的に取り付けられて
    いて且つ該ブラケット（４６）に対して分離可能である
    部材（７２）と、 該部材（７２）を一端部に取り付けている近アーム（２
    ０）と、 該近アーム（２０）の他端部の変位によって、前記部品
    の表面の第１の位置にある時の前記探針（１２）の位置
    に対する該探針（１２）の変位を測定するための測定装
    置（１４）とを含み、 前記探針（１２）に対して前記表面から所定の値を超え
    た力が加わった時には、前記ブラケット（４６）と前記
    部材（７２）との間の磁気的な取り付けが分離されて、
    前記遠アーム（２２）が前記近アーム（２０）から解放
    されるようになっていることを特徴とする表面走査装
    置。
  2. 【請求項２】特許請求の範囲第１項に記載の表面走査装
    置において、前記探針（１２）はダイヤモンド探針、サ
    ファイア探針、ルビーボール及び超硬ボールからなるグ
    ループから選択された１つの探針であることを特徴とす
    る表面走査装置。
  3. 【請求項３】特許請求の範囲第１項に記載の表面走査装
    置において、前記測定装置（１４）は複数個の割溝（３
    ２）を設けたＥ字形状芯（３４）と前記複数個の割溝
    （３２）内に収納されるよう作られたブレード（３０）
    とを有するトランスデューサであり、また、前記ブラケ
    ット（４６）及び前記部材（７２）を含んでいて且つ前
    記遠アーム（２２）を前記近アーム（２０）に対して解
    放自在に合体させているボール及び切欠き着座構造体
    （２４）を有していることを特徴とする表面走査装置。
  4. 【請求項４】特許請求の範囲第３項に記載の表面走査装
    置において、前記ボール及び切欠き着座構造体（２４）
    は前記ブラケット（４６）に取付けられた複数個のボー
    ル（６８）と、前記部材（７２）内に形成された複数個
    の凹所（９６，９８，１００）とを含んでおり、前記複
    数個のボール（６８）は前記複数個の凹所（９６，９
    ８，１００）と解放可能に係合するようにされているこ
    とを特徴とする表面走査装置。
  5. 【請求項５】特許請求の範囲第４項に記載の表面走査装
    置において、前記複数個の凹所の１つ（１００）は前記
    部材（７２）の長手方向軸線（１８０）に沿って形成さ
    れており、前記複数個の凹所の残り（９６，９８）は前
    記部材（７２）の前記長手方向軸線（１８０）に対して
    斜めに形成されていることを特徴とする表面走査装置。
  6. 【請求項６】特許請求の範囲第４項に記載の表面走査装
    置において、前記ブラケット（４６）は前記複数個のボ
    ール（６８）の中間において少なくとも１つの磁石（７
    ０，７１）を担持しており、前記部材（７２）はその一
    部が高透磁性物質（１１０，１１１）から形成されてお
    り、該物質（１１０，１１１）は前記複数個の凹所（９
    ６，９８，１００）の中間において前記部材（７２）に
    取付けられていることを特徴とする表面走査装置。
  7. 【請求項７】特許請求の範囲第４項に記載の表面走査装
    置において、更に１つのバレル（１１２）と、該バレル
    （１１２）内に前記部材（７２）を可撓的に取付けるた
    めの構造体（１１４）とを含む表面走査装置。
  8. 【請求項８】特許請求の範囲第７項に記載の表面走査装
    置において、前記バレル（１１２）内に前記部材（７
    ２）を可撓的に取付けるための構造体（１１４）は前記
    近アーム（２０）及び遠アーム（２２）の支点として作
    用することを特徴とする表面走査装置。
  9. 【請求項９】特許請求の範囲第８項に記載の表面走査装
    置において、前記バレル（１１２）内に前記部材（７
    ２）を可撓的に取付けるための構造体（１１４）は一対
    の静止的に装着された円弧状部材（１１６，１１８）
    と、該円弧状部材（１１６，１１８）の対に可撓的に取
    付けられた変形可能な部材（１９０，１９２，１９４，
    １９６）とを含んでいることを特徴とする表面走査装
    置。
  10. 【請求項１０】特許請求の範囲第９項に記載の表面走査
    装置において、更に１つのハウジング（１４０）が含ま
    れており、前記バレル（１１２）は前記ハウジング（１
    ４０）内に取付けられており、また前記測定装置（１
    ４）と電気的に接触するケーブル（４２）及びプラグ組
    立体が含まれていることを特徴とする表面走査装置。
  11. 【請求項１１】特許請求の範囲第１０項に記載の表面走
    査装置において、更に前記ハウジング（１４０）に調節
    自在に取付けられたスキッド（１７４）を備える探針保
    護組立体（１７０）が含まれていることを特徴とする表
    面走査装置。
  12. 【請求項１２】部品の表面の仕上げ及び外形などを測定
    するための表面装置であって、 部品の表面に接触するようにされた探針（１２）と、 該探針（１２）を一端部で支持している遠アーム（２
    ２）と、 該遠アーム（２２）の他端部に取り付けられたブラケッ
    ト（４６）及び磁気的取付け−解放機構（１８）により
    該ブラケット（４６）に対して磁気的取り付けられてい
    て且つ該ブラケット（４６）に対して分離可能である部
    材（７２）を含むボール及び切欠き着座構造体（２４）
    であって、前記ブラケット（４６）及び前記部材（７
    ２）の一方には複数個のボール（６８）が取り付けら
    れ、他方にはこれらボール（６８）を支承するための凹
    所（９６，９８，１００）が備えられていて、前記一方
    を前記他方に対して位置決めするようになっている、前
    記ボール及び切欠き着座構造体（２４）と、 前記部材（７２）を一端部に取り付けている近アーム
    （２０）と、 該近アーム（２０）の他端部の変位によって、前記部品
    の表面の第１の位置にある時の前記探針（１２）の位置
    に対する該探針（１２）の変位を測定するための測定装
    置（１４）とを含み、 前記探針（１２）に対して前記表面から所定の値を超え
    た力が加わった時には、前記ブラケット（４６）と前記
    部材（７２）との間の磁気的な取り付けが分離されて、
    前記遠アーム（２２）が前記近アーム（２０）から解放
    されるようになっていることを特徴とする表面走査装
    置。
  13. 【請求項１３】特許請求の範囲第１２項に記載の表面走
    査装置において、前記測定装置（１４）は複数個の割溝
    （３２）を設けたＥ字形状芯（３４）と、前記複数個の
    割溝（３２）内に収納されるように作られたブレード
    （３０）とを有するトランスデューサであり、該トラン
    スデューサ及び前記磁気的取付け−解放機構（１８）を
    除いて、他のすべての作動部品は非磁性材料から作られ
    ていることを特徴とする表面走査装置。
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