JPH06160152A - 微少容積測定装置 - Google Patents
微少容積測定装置Info
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- JPH06160152A JPH06160152A JP31477892A JP31477892A JPH06160152A JP H06160152 A JPH06160152 A JP H06160152A JP 31477892 A JP31477892 A JP 31477892A JP 31477892 A JP31477892 A JP 31477892A JP H06160152 A JPH06160152 A JP H06160152A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】キャピラリー等の微少な内容積を正確に測定す
る。 【構成】予め既知の内容積を有する配管Ｃと、この配管
Ｃに所定の圧力を供給する圧力制御部２と、この配管の
圧力を検出する圧力センサと６、圧力制御装置２より供
給される所定の圧力を配管Ｃに加える第１のバルブ３
と、第１のバルブ３の閉塞後、所定時間おいて被測定物
に配管Ｃの所定の圧力を開放する第２のバルブ４と、第
１のバルブ３の開放時及び第２のバルブの閉塞時に検出
される配管Ｃの所定の圧力と、第１のバルブ３の閉塞時
及び第２のバルブ４の開放時に検出される圧力及び配管
Ｃの既知の内容積に基づいて被測定物の内容積を算定す
る制御部８とを具える微少容積測定装置。
る。 【構成】予め既知の内容積を有する配管Ｃと、この配管
Ｃに所定の圧力を供給する圧力制御部２と、この配管の
圧力を検出する圧力センサと６、圧力制御装置２より供
給される所定の圧力を配管Ｃに加える第１のバルブ３
と、第１のバルブ３の閉塞後、所定時間おいて被測定物
に配管Ｃの所定の圧力を開放する第２のバルブ４と、第
１のバルブ３の開放時及び第２のバルブの閉塞時に検出
される配管Ｃの所定の圧力と、第１のバルブ３の閉塞時
及び第２のバルブ４の開放時に検出される圧力及び配管
Ｃの既知の内容積に基づいて被測定物の内容積を算定す
る制御部８とを具える微少容積測定装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パイプやバルブで構成
された装置内の容積、特にキャピラリーを使用した装置
等の微少容積を測定する微少容積測定装置に関するもの
である。
された装置内の容積、特にキャピラリーを使用した装置
等の微少容積を測定する微少容積測定装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、被測定物の容積を求める方法とし
て、比重が判明している液体を被測定物に注入し、その
重量変化によりその内容積を求めるようにしていた。
て、比重が判明している液体を被測定物に注入し、その
重量変化によりその内容積を求めるようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の測定方法においては、液体を注入するため、キャピ
ラリー（毛管）を使用した装置等では、細部に液体が完
全に到達しなかったり、表面張力によりキャピラリーの
開口部に完全に満たすことが困難で、測定値に誤差を生
じ、精密な微少容積の測定が出来ない不都合があった。
来の測定方法においては、液体を注入するため、キャピ
ラリー（毛管）を使用した装置等では、細部に液体が完
全に到達しなかったり、表面張力によりキャピラリーの
開口部に完全に満たすことが困難で、測定値に誤差を生
じ、精密な微少容積の測定が出来ない不都合があった。
【０００４】また、装置によっては液体を注入すること
が出来ない物があり、このような場合は、容積の測定が
出来ない不都合があった。
が出来ない物があり、このような場合は、容積の測定が
出来ない不都合があった。
【０００５】本発明は、斯かる不都合点に鑑み、微少な
被測定物の容積を正確に測定できる微少容積測定装置を
提供することを目的とする。
被測定物の容積を正確に測定できる微少容積測定装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の微少容積測定装
置は、例えば図１に示す如く、予め既知の内容積を有す
る配管手段ｃと、この配管手段ｃに所定の圧力を供給す
る圧力制御手段２と、この配管手段ｃの圧力を検出する
圧力検出手段と６、圧力制御手段２より供給される所定
の圧力を配管手段ｃに加える第１のバルブ３と、第１の
バルブ３の閉塞後、所定時間おいて被測定物１０に配管
手段ｃの所定の圧力を開放する第２のバルブ４と、第１
のバルブ３の開放時及び第２のバルブの閉塞時に検出さ
れる配管手段ｃの所定の圧力と、第１のバルブ３の閉塞
時及び第２のバルブ４の開放時に検出される圧力及び配
管手段ｃの既知の内容積に基づいて被測定物１０の内容
積を算定する制御手段８とを具えるものである。
置は、例えば図１に示す如く、予め既知の内容積を有す
る配管手段ｃと、この配管手段ｃに所定の圧力を供給す
る圧力制御手段２と、この配管手段ｃの圧力を検出する
圧力検出手段と６、圧力制御手段２より供給される所定
の圧力を配管手段ｃに加える第１のバルブ３と、第１の
バルブ３の閉塞後、所定時間おいて被測定物１０に配管
手段ｃの所定の圧力を開放する第２のバルブ４と、第１
のバルブ３の開放時及び第２のバルブの閉塞時に検出さ
れる配管手段ｃの所定の圧力と、第１のバルブ３の閉塞
時及び第２のバルブ４の開放時に検出される圧力及び配
管手段ｃの既知の内容積に基づいて被測定物１０の内容
積を算定する制御手段８とを具えるものである。
【０００７】
【作用】第１のバルブを開放させ、第２のバルブの閉塞
時に一定の圧力を既知の内容積を有する配管に供給し、
この時の圧力を検出する。検出後、第１のバルブを閉塞
し、第２のバルブを開放させ、被測定物に配管の圧力を
供給してこの時の圧力を検出し、この圧力値と、配管の
既知の内容積及び第１のバルブを開放して第２のバルブ
を閉塞した時に検出された圧力とに基づいて、被測定物
の内容積を算定できるようにした。従って、液体等を使
用する測定法に比較して、表面張力等による測定誤差が
なくなるので正確な微少容積の測定が可能となる。
時に一定の圧力を既知の内容積を有する配管に供給し、
この時の圧力を検出する。検出後、第１のバルブを閉塞
し、第２のバルブを開放させ、被測定物に配管の圧力を
供給してこの時の圧力を検出し、この圧力値と、配管の
既知の内容積及び第１のバルブを開放して第２のバルブ
を閉塞した時に検出された圧力とに基づいて、被測定物
の内容積を算定できるようにした。従って、液体等を使
用する測定法に比較して、表面張力等による測定誤差が
なくなるので正確な微少容積の測定が可能となる。
【０００８】
【実施例】以下図１を参照して本発明の微少容積測定装
置の実施例について説明する。図１において、１はポン
プで配管ａを介して、圧力制御装置２に例えば空気圧を
供給し、圧力制御装置２は、圧力を予め定めた一定の圧
力になるように制御する。
置の実施例について説明する。図１において、１はポン
プで配管ａを介して、圧力制御装置２に例えば空気圧を
供給し、圧力制御装置２は、圧力を予め定めた一定の圧
力になるように制御する。
【０００９】３は、圧力制御装置２により加えられる圧
力を配管ｂを介して開放及び閉塞させる第１のバルブ
で、配管ｃの一方の端部に接続されている。この配管ｃ
は予め測定された既知の内容積Ｖ1 を有するものとす
る。また、この配管ｃの他方の端部には第２のバルブ４
が接続されている。第２のバルブ４には内容積が測定さ
れる被測定物１０が配管ｄを介して接続される。
力を配管ｂを介して開放及び閉塞させる第１のバルブ
で、配管ｃの一方の端部に接続されている。この配管ｃ
は予め測定された既知の内容積Ｖ1 を有するものとす
る。また、この配管ｃの他方の端部には第２のバルブ４
が接続されている。第２のバルブ４には内容積が測定さ
れる被測定物１０が配管ｄを介して接続される。
【００１０】５はバルブ制御部で、後述する制御部８の
制御信号によりバルブ３及び４の夫々の駆動モータＭ1
及びＭ2 を駆動して、配管ｃ内における圧力を供給及び
開放する。
制御信号によりバルブ３及び４の夫々の駆動モータＭ1
及びＭ2 を駆動して、配管ｃ内における圧力を供給及び
開放する。
【００１１】６は圧力センサで、バルブ３及び４の開閉
により変化する配管ｃ内の圧力を検出してＡ／Ｄ変換器
７に出力する。このＡ／Ｄ変換器７は、圧力制御装置２
の圧力信号も入力され、配管ｃの圧力信号と共にデジタ
ル信号に変換して、次に説明する制御部８に出力する。
により変化する配管ｃ内の圧力を検出してＡ／Ｄ変換器
７に出力する。このＡ／Ｄ変換器７は、圧力制御装置２
の圧力信号も入力され、配管ｃの圧力信号と共にデジタ
ル信号に変換して、次に説明する制御部８に出力する。
【００１２】８はＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等から成る
制御部で、ＲＯＭには配管ｃの既知の内容積Ｖ1 のデー
タと共にバルブ３の開放時間及びバルブ４の閉塞時間、
並びにバルブ３の閉塞時間及びバルブ４の閉塞時間が予
め記憶保持されている。また、制御部６は、配管ｃの既
知の内容積Ｖ1 、ＲＡＭに記憶されるバルブ３の開放時
及びバルブ４の閉塞時に検出される配管ｃの圧力Ｐ1 及
びバルブ３の閉塞時及びバルブ４の開放時に検出される
被測定物１０（後述）の圧力Ｐ2 とに基づき、被測定物
１０の内容積Ｖx を算定する。
制御部で、ＲＯＭには配管ｃの既知の内容積Ｖ1 のデー
タと共にバルブ３の開放時間及びバルブ４の閉塞時間、
並びにバルブ３の閉塞時間及びバルブ４の閉塞時間が予
め記憶保持されている。また、制御部６は、配管ｃの既
知の内容積Ｖ1 、ＲＡＭに記憶されるバルブ３の開放時
及びバルブ４の閉塞時に検出される配管ｃの圧力Ｐ1 及
びバルブ３の閉塞時及びバルブ４の開放時に検出される
被測定物１０（後述）の圧力Ｐ2 とに基づき、被測定物
１０の内容積Ｖx を算定する。
【００１３】９はＤ／Ａ変換器で、制御部８からバルブ
３及び４の開放及び閉塞を制御する制御信号をアナログ
信号に変換してバルブ制御部５に出力する。
３及び４の開放及び閉塞を制御する制御信号をアナログ
信号に変換してバルブ制御部５に出力する。
【００１４】上述の構成において、電源を投入しポンプ
１を駆動して、圧力制御装置２に例えば空気圧を加え、
圧力制御装置２は予め決められた所定の圧力に維持す
る。この所定の圧力に応じた信号がＡ／Ｄ変換器７を介
して制御部８に出力され圧力が監視される。
１を駆動して、圧力制御装置２に例えば空気圧を加え、
圧力制御装置２は予め決められた所定の圧力に維持す
る。この所定の圧力に応じた信号がＡ／Ｄ変換器７を介
して制御部８に出力され圧力が監視される。
【００１５】制御部８は、Ｄ／Ａ変換器９を介してバル
ブ制御部５にバルブ３を開放させる制御信号を出力する
と共にバルブ４の閉塞を維持する制御信号を出力し、バ
ルブ制御部５はこの制御信号に応じた駆動信号をモータ
Ｍ1 及びモータＭ2 に出力る。従って、バルブ３は開放
され、バルブ４は閉塞状態を維持する。
ブ制御部５にバルブ３を開放させる制御信号を出力する
と共にバルブ４の閉塞を維持する制御信号を出力し、バ
ルブ制御部５はこの制御信号に応じた駆動信号をモータ
Ｍ1 及びモータＭ2 に出力る。従って、バルブ３は開放
され、バルブ４は閉塞状態を維持する。
【００１６】バルブ３の開放により、圧力制御装置２か
ら所定圧力の空気が配管ｂを介して配管ｃに加えられ、
所定時間後バルブ３が閉じられる。この時の圧力Ｐ1 が
圧力センサ６で検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御
部８のＲＡＭに記憶される。
ら所定圧力の空気が配管ｂを介して配管ｃに加えられ、
所定時間後バルブ３が閉じられる。この時の圧力Ｐ1 が
圧力センサ６で検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御
部８のＲＡＭに記憶される。
【００１７】次にバルブ３が閉塞されてから所定時間
後、制御部８よりバルブ４を開放させる制御信号が出力
され、Ｄ／Ａ変換器９及びバルブ制御部５を介してバル
ブ４の駆動用モータＭ2 が駆動され、バルブ４が開放さ
れる。バルブ４が開放されると、配管ｃ内の所定圧力の
空気が被測定物１０に流入し、その時、配管ｃ及び被測
定物１０内の圧力Ｐ1 は降下してＰ2 となり圧力センサ
６により検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御部８の
ＲＡＭに取り込まれる。
後、制御部８よりバルブ４を開放させる制御信号が出力
され、Ｄ／Ａ変換器９及びバルブ制御部５を介してバル
ブ４の駆動用モータＭ2 が駆動され、バルブ４が開放さ
れる。バルブ４が開放されると、配管ｃ内の所定圧力の
空気が被測定物１０に流入し、その時、配管ｃ及び被測
定物１０内の圧力Ｐ1 は降下してＰ2 となり圧力センサ
６により検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御部８の
ＲＡＭに取り込まれる。
【００１８】ここで、Ｐ1 ：バルブ３開放及びバルブ４
閉塞時の配管ｃの圧力、Ｐ2 ：バルブ３閉塞及びバルブ
４開放時の配管ｃ及び被測定物１０の圧力、Ｖ1 ：配管
ｃの既知の内容積、Ｖ2 ：配管ｃの既知の内容積Ｖ1 ＋
被測定物１０の未知の内容積Ｖx 、Ｔ1 ：配管ｃの周囲
温度（バルブ３開放及びバルブ４閉塞時）、Ｔ2 ：配管
ｃ及び被測定物の周囲温度（バルブ３閉塞及びバルブ４
開放時）とすれば、ボイル−シャルルの法則により、次
の式が成り立つ。
閉塞時の配管ｃの圧力、Ｐ2 ：バルブ３閉塞及びバルブ
４開放時の配管ｃ及び被測定物１０の圧力、Ｖ1 ：配管
ｃの既知の内容積、Ｖ2 ：配管ｃの既知の内容積Ｖ1 ＋
被測定物１０の未知の内容積Ｖx 、Ｔ1 ：配管ｃの周囲
温度（バルブ３開放及びバルブ４閉塞時）、Ｔ2 ：配管
ｃ及び被測定物の周囲温度（バルブ３閉塞及びバルブ４
開放時）とすれば、ボイル−シャルルの法則により、次
の式が成り立つ。
【００１９】
【数１】Ｐ1 ・Ｖ1 ／Ｔ1 ＝Ｐ2 ・Ｖ2 ／Ｔ2
【００２０】この時、微小時間内、例えば１００ms（ミ
リセカンド）程度では、周囲温度Ｔ 1 ＝Ｔ2 がほぼ等し
いと見なせるので上記式は、
リセカンド）程度では、周囲温度Ｔ 1 ＝Ｔ2 がほぼ等し
いと見なせるので上記式は、
【００２１】
【数２】Ｐ1 ・Ｖ1 ＝Ｐ2 ・Ｖ2
【００２２】となり、Ｐ1 、Ｐ2 は圧力センサ６で検出
され、また、配管ｃの内容積Ｖ1 は既知であるので、Ｖ
2 が算定できる。このＶ2 は上述したように、配管ｃの
既知の内容積Ｖ1 と被測定物１０の未知の内容積Ｖx と
の和であるから、被測定物１０の内容積Ｖx は、
され、また、配管ｃの内容積Ｖ1 は既知であるので、Ｖ
2 が算定できる。このＶ2 は上述したように、配管ｃの
既知の内容積Ｖ1 と被測定物１０の未知の内容積Ｖx と
の和であるから、被測定物１０の内容積Ｖx は、
【００２３】
【数３】Ｖx ＝Ｖ2 −Ｖ1 より求めることが出来る。
【００２４】このようにして、被測定物１０の未知の内
容積Ｖx は、制御部８にバルブ３の開放及びバルブ４の
閉塞時に検出される圧力Ｐ1 、バルブ３の閉塞及びバル
ブ４の開通時に検出される圧力Ｐ2 及び配管ｃの既知の
内容積Ｖ1 を入力して演算することにより求められる。
容積Ｖx は、制御部８にバルブ３の開放及びバルブ４の
閉塞時に検出される圧力Ｐ1 、バルブ３の閉塞及びバル
ブ４の開通時に検出される圧力Ｐ2 及び配管ｃの既知の
内容積Ｖ1 を入力して演算することにより求められる。
【００２５】図２は本発明の他の実施例を示すものであ
る。図１の実施例と対応する部分には同一の符号を付し
て重複説明を省略する。
る。図１の実施例と対応する部分には同一の符号を付し
て重複説明を省略する。
【００２６】前述の構成においては、２つのバルブを用
いて圧力の切換えを行うようにしたが、本例では３方切
換弁を用いて圧力を切換えると共に手動バルブの調整に
より一定圧力が得られるようにした。
いて圧力の切換えを行うようにしたが、本例では３方切
換弁を用いて圧力を切換えると共に手動バルブの調整に
より一定圧力が得られるようにした。
【００２７】図２において、ポンプ１から配管ｅを介し
て例えば空気圧がバッファタンク１１に加えられる。こ
のバッファタンク１１はポンプ１より供給される圧力を
安定化させるためのものである。配管ｅからは途中より
配管ｅ1 が分岐し、先端部に手動バルブ１２が取り付け
られている。手動バルブ１２は、ポンプ１から供給され
る圧力を外部に開放又は停止して、バッファタンク１１
内の圧力を予め定められた一定の圧力値に保持するよう
に調整される。
て例えば空気圧がバッファタンク１１に加えられる。こ
のバッファタンク１１はポンプ１より供給される圧力を
安定化させるためのものである。配管ｅからは途中より
配管ｅ1 が分岐し、先端部に手動バルブ１２が取り付け
られている。手動バルブ１２は、ポンプ１から供給され
る圧力を外部に開放又は停止して、バッファタンク１１
内の圧力を予め定められた一定の圧力値に保持するよう
に調整される。
【００２８】３方切換弁１３は、その２つの開口内の内
容積Ｖ1aが予め判明したものを用いる。この内容積Ｖ1a
は、制御部８内の例えばＲＯＭに格納されている。ま
た、この３方切換弁１３は、バルブ制御部５の制御によ
りモータを駆動して９０度回転させることにより、バッ
ファタンク１１及び圧力センサ６側から、圧力センサ６
及び被測定物１０側に切換えらる。バッファタンク１
１、圧力センサ６及び被測定物１０は、配管ｆ、ｇ及び
ｈにより３方切換弁に接続される。
容積Ｖ1aが予め判明したものを用いる。この内容積Ｖ1a
は、制御部８内の例えばＲＯＭに格納されている。ま
た、この３方切換弁１３は、バルブ制御部５の制御によ
りモータを駆動して９０度回転させることにより、バッ
ファタンク１１及び圧力センサ６側から、圧力センサ６
及び被測定物１０側に切換えらる。バッファタンク１
１、圧力センサ６及び被測定物１０は、配管ｆ、ｇ及び
ｈにより３方切換弁に接続される。
【００２９】圧力センサ６の出力は、Ａ／Ｄ変換器７に
よりデジタル信号に変換されて制御部８に出力され、更
に表示部１４により圧力値が表示され監視される。
よりデジタル信号に変換されて制御部８に出力され、更
に表示部１４により圧力値が表示され監視される。
【００３０】斯かる構成において、被測定物１０の内容
積Ｖxaを求める場合、制御部８はＤ／Ａ変換器９及びバ
ルブ制御部５を介してモータを駆動することにより、３
方切換弁１３をバッファタンク１１及び圧力センサ６側
に切換える。ポンプ１からバッファタンク１１に供給さ
れる圧力は圧力センサ６により検出され、Ａ／Ｄ変換器
７及び制御部８を介して表示部１４に圧力値が表示され
るので、この圧力値を確認しながら手動バルブ１２によ
り一定の圧力値Ｐ1aに調整する。
積Ｖxaを求める場合、制御部８はＤ／Ａ変換器９及びバ
ルブ制御部５を介してモータを駆動することにより、３
方切換弁１３をバッファタンク１１及び圧力センサ６側
に切換える。ポンプ１からバッファタンク１１に供給さ
れる圧力は圧力センサ６により検出され、Ａ／Ｄ変換器
７及び制御部８を介して表示部１４に圧力値が表示され
るので、この圧力値を確認しながら手動バルブ１２によ
り一定の圧力値Ｐ1aに調整する。
【００３１】一定の圧力値Ｐ1aが得られたら、３方切換
弁１３が被測定物１０及び圧力センサ６側に切換えら
れ、被測定物１０内の圧力値Ｐ2aが圧力センサ６により
検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御部８に出力され
る。
弁１３が被測定物１０及び圧力センサ６側に切換えら
れ、被測定物１０内の圧力値Ｐ2aが圧力センサ６により
検出され、Ａ／Ｄ変換器７を介して制御部８に出力され
る。
【００３２】このようにして、検出されたバッファタン
ク１１の圧力Ｐ1a、被測定物１０の圧力Ｐ2a及び３方切
換弁１３の既知の内容積Ｖ1aから、前述の実施例と同様
に制御部８の演算により、被測定物１０の内容積Ｖxaを
求めることが出来る。
ク１１の圧力Ｐ1a、被測定物１０の圧力Ｐ2a及び３方切
換弁１３の既知の内容積Ｖ1aから、前述の実施例と同様
に制御部８の演算により、被測定物１０の内容積Ｖxaを
求めることが出来る。
【００３３】また、本発明は上述の実施例に限ることな
く、本発明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成
を取り得ることは勿論である。
く、本発明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成
を取り得ることは勿論である。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、一
定の圧力を既知の内容積を有する配管に供給し、この時
検出される圧力と、配管の圧力を被測定物に供給してこ
の時検出検出される圧力及び配管の既知の内容積とに基
づいて、被測定物の内容積を検出できるようにしたの
で、液体等を使用する測定法に比較して、表面張力等に
よる測定誤差がなくなるので正確な微少容積の測定が可
能となる。また、従来のごとく液体等を使用しないの
で、被測定物の流路を汚染することがない。更に、測定
時に被測定物に配管を接続すればよいので、測定が簡単
に行える利点を有する。
定の圧力を既知の内容積を有する配管に供給し、この時
検出される圧力と、配管の圧力を被測定物に供給してこ
の時検出検出される圧力及び配管の既知の内容積とに基
づいて、被測定物の内容積を検出できるようにしたの
で、液体等を使用する測定法に比較して、表面張力等に
よる測定誤差がなくなるので正確な微少容積の測定が可
能となる。また、従来のごとく液体等を使用しないの
で、被測定物の流路を汚染することがない。更に、測定
時に被測定物に配管を接続すればよいので、測定が簡単
に行える利点を有する。
【図１】本発明の微少容積測定装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】本発明の他の実施例を示すブロック図である。
２ 圧力制御装置 ３ 第１のバルブ ４ 第２のバルブ ６ 圧力センサ ８ 制御部 １０ 被測定物 ｃ 配管
Claims (1)
- 【請求項１】予め既知の内容積を有する配管手段と、 この配管手段に所定の圧力を供給する圧力制御手段と、 上記配管手段の圧力を検出する圧力検出手段と、 上記圧力制御手段より供給される上記所定の圧力を上記
配管手段に加える第１のバルブと、 上記第１のバルブの閉塞後、所定時間おいて被測定物に
上記配管手段の上記所定の圧力を開放する第２のバルブ
と、 上記第１のバルブの開放時及び上記第２のバルブの閉塞
時に検出される上記配管手段の上記所定の圧力と、上記
第１のバルブの閉塞時及び上記第２のバルブの開放時に
検出される圧力及び上記配管手段の上記既知の内容積に
基づいて上記被測定物の内容積を算定する制御手段とを
具えることを特徴とする微少容積測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31477892A JPH06160152A (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 微少容積測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31477892A JPH06160152A (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 微少容積測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160152A true JPH06160152A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18057482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31477892A Pending JPH06160152A (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 微少容積測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160152A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337346A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ckd Corp | 流量制御機器絶対流量検定システム |
| JP2011064707A (ja) * | 2006-03-07 | 2011-03-31 | Ckd Corp | ガス流量検定ユニット |
| JP2018044887A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系の検査方法、流量制御器の校正方法、及び、二次基準器の校正方法 |
| KR20200078492A (ko) * | 2017-10-30 | 2020-07-01 | 노드슨 코포레이션 | 용기 내의 액체의 체적 파라미터를 검출하기 위한 방법 및 시스템 |
-
1992
- 1992-11-25 JP JP31477892A patent/JPH06160152A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337346A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ckd Corp | 流量制御機器絶対流量検定システム |
| JP2011064707A (ja) * | 2006-03-07 | 2011-03-31 | Ckd Corp | ガス流量検定ユニット |
| JP4801726B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2011-10-26 | シーケーディ株式会社 | ガス流量検定ユニット付ガス供給ユニット |
| JP2018044887A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系の検査方法、流量制御器の校正方法、及び、二次基準器の校正方法 |
| KR20180030447A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 공급계의 검사 방법, 유량 제어기의 교정 방법, 및 2차 기준기의 교정 방법 |
| US10788356B2 (en) | 2016-09-15 | 2020-09-29 | Tokyo Electron Limited | Method of inspecting gas supply system, method of calibrating flow controller, and method of calibrating secondary reference device |
| KR20200078492A (ko) * | 2017-10-30 | 2020-07-01 | 노드슨 코포레이션 | 용기 내의 액체의 체적 파라미터를 검출하기 위한 방법 및 시스템 |
| JP2021501319A (ja) * | 2017-10-30 | 2021-01-14 | ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 容器内の液体の体積パラメータを検出するための方法およびシステム |
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