JPH06162989A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ 不純物除去装置においてイオンビームをイオ
ン加速管の軸心に平行、且つ最大電流となるように調節
可能なイオン注入装置を提供すること。 ［構成］ 下流側偏向電極部１４の中心軸上にファラデ
ーカップ２０が位置し得るようにモータ２４、これによ
って駆動される駆動ロッド２５を配設させる。ファラデ
ーカップ２０が受けるイオン電流を電流計２８により測
定する。この電流が最大となるように電極１４ａに印加
する電圧を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はイオン注入装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】図８は従来例のイオン注
入装置を示すものであるが、高電圧ターミナル２はほぼ
直方形状を呈しており、これはシールドボックス１によ
りその全体は遮蔽されており、この一側面とシールドボ
ックス１の対向する内壁面との間に公知の構造の加速管
３が取り付けられており、またこれと並列に同じく同側
面と対向するシールドボックス１の内壁面との間に排気
管４が取り付けられている。高電圧ターミナル２は、図
示せずともシールドボックス１の床面上に複数の絶縁支
柱により支持されており、またこの底面とシールドボッ
クス１の床面との間には高電圧ターミナル２に高電圧、
例えば４００ｋＶを印加するための、例えばコッククロ
フトウォルトン型でなる高電圧発生装置が設けられてお
り、且つ高電圧ターミナル２内には図示するように円弧
状の質量分離磁石５やイオン源６などを配設している
が、これらに電力を供給するための電力供給装置は同じ
く高電圧ターミナル２とシールドボックス１の床面との
間に配設されている。イオン源６は真空ポンプ７により
排気されるが、大気側には更にメインとしての真空ポン
プ８が配設されており、これにより排気管４を介し、且
つ高電圧ターミナル２内の分岐管１０を介してバックア
ップされ、高電圧ターミナル２内の補助的な真空ポンプ
７により、所定の減圧度にイオン源６とこれと質量分離
磁石５とを接続している真空配管９と更に質量分離磁石
５と同真空配管９の端部を介して接続され、図２でその
詳細が示される不純物除去装置１１、更にはこれに配管
１１ａを介して接続されるイオン加速管３内などを所望
の減圧下に排気する。分岐管１０と補助的な真空ポンプ
７とはベローズＱ₁ により接続され、また不純物除去装
置１１と分岐管１０とはベローズＱ₂ により接続され、
これらを介して真空ポンプ７、８によりそれぞれの装置
が所定の減圧度に排気される。また、加速管３の外周部
には公知のように等間隔で取り付けられた金属フープ３
ａが取り付けられており、また同様にして排気管４の外
周部にも加速管３の金属フープ３ａに対向して、同じ数
の金属フープ４ａが取り付けられている。

【０００３】次に図９を参照して不純物除去装置１１の
詳細に付いて説明する。尚、図８に対応する部分につい
ては同一の符号を付すものとする。

【０００４】不純物除去装置１１は断面が円形の本体１
８を備えており、この内部は上述したようにして真空ポ
ンプ７、８により、所定の減圧度に排気されているので
あるが、この内部には質量分離磁石５側、すなわちイオ
ンビームＢの上流側に偏倚して平板状の一対の電極１３
ａ、１３ｂからなる上流側偏向電極部１３、及びこれか
ら所定の距離をおいて下流側に、やはり平板状の一対の
電極１４ａ、１４ｂからなる下流側偏向電極部１４を備
えており、上流側偏向電極部１３において下方の電極１
３ｂは接地され、同様に下流側偏向電極部１４の上方の
電極１４ａが接地されている。また上流側偏向電極部１
３の上方の電極１３ａは、電圧印加端子１５を介して電
源１７の−電位が印加される。また、下流側偏向電極部
１４においても下方の電極１４ｂは電圧印加端子１６を
介して、同じく電源１７の−電位が印加される。電圧印
加端子１５、１６は導線１９により接続され、これを介
して上述の電源１７に接続されている。なお、電圧印加
端子１５、１６は明示せずとも本体１８とは電気的に絶
縁された構成を有するものとする。以下同様である。

【０００５】電圧印加端子１５、１６は同一の構成（但
し、後者は前者より若干長い。）を有する。一方の電圧
印加端子１５において、その筒部１５ａはコイルばねを
内蔵しており、これにより筒部１５ａに摺動自在に嵌合
しているピン１５ｂを常に下方に付勢しており、従っ
て、電極１３ａはピン１５ｂにより圧接して電源１７の
−電位が印加されている。同様にして下流側偏向電極部
１４の下方の電極１４ｂに電圧を印加している電圧印加
端子１６の筒部１６ａにもコイルばねを内蔵させてお
り、このばねの付勢力により筒部１６ａに摺動自在に嵌
合しているピン１６ｂを電極１４ｂに押圧している。
尚、上流側偏向電極部１３、下流側偏向電極部１４の電
極１３ａ、１３ｂ間及び１４ａ、１４ｂ間は同一距離で
ある。

【０００６】従来のイオン注入装置は以上のように構成
されているのであるが、次にその作用にについて説明す
る。

【０００７】まず、本装置の使用にあたり真空ポンプ７
及び８により、分岐管１０、真空配管９などを介して所
定の減圧度に排気される。また、図示されていなくと
も、高電圧ターミナル２の下方に配設された高電圧発生
装置及び電力供給装置から高電圧ターミナル２に４００
ｋＶの高電圧が印加され、また質量分離磁石５、イオン
源６などには必要な電力が供給されている。他方、イオ
ン源６にはやはり図示しないタンクから材料が導入さ
れ、上述の電力供給装置から電力がイオン源、あるいは
図示しない引き出し電極などに電力が供給されると、イ
オン源６に導入された材料ガスは電源のパワーを得て分
離し、プラズマが形成される。このイオン源６に印加さ
れた＋の電圧により、イオンが高電圧ターミナル２に印
加されている４００ｋＶの電位まで引き出され、質量分
離磁石５に入射したイオンはローレンツ力を受けて所定
の軌跡を描き、不純物除去装置１１内に入射する。

【０００８】不純物除去装置１１内には上流側偏向電極
部１３、下流側偏向電極部１４が設けられているのであ
るが、これら一方の電極１３ａ、１４ｂには電源１７の
共通の−電位が加えられているので、質量分離磁石５か
ら真空配管９を通って不純物除去装置１１内に導入され
たイオンビームＢは、上流側偏向電極部１３で図示する
ように偏向され、更に所定の距離に配設された下流側偏
向電極部１４内に至るのであるが、ここにおいても電極
１４ａには上流側の電極１３ａと同じ電位が加えられて
いることにより、今度は反対方向に偏向される。そし
て、これまでに真空中の残留粒子とイオンの衝突により
発生した、所望するイオンとエネルギー及び価数におい
て異なったイオン及び中性粒子などは、下流側偏向電極
部１４から導出されるときには、既に除去されている。
よって、一定のエネルギーと価数を持った所望するイオ
ンのみが不純物除去装置１１を通り加速管３内に入射さ
れる。

【０００９】加速管３内に入射したイオンは、図示され
ていないが高電圧発生装置によって高電圧ターミナル２
に印加された４００ｋＶという電圧と、加速管３に入射
した所望のイオンの価数との積のエネルギーを持って、
グランド電位まで加速される。このようにして加速され
たイオンは、走査電極ユニット１２内に配設されたＸ−
Ｙの一対づつ対向して配設されている電極に印加されて
いる、ある周波数の電圧によって偏向され、これより下
流側に配設されている試料表面上に照射されることにな
る。

【００１０】従来のイオン注入装置は以上のように構成
され、且つ作用を行なうのであるが、以上の作用は理論
上考えられるものであり、実際には不純物除去装置１１
内に配設されている上流側偏向電極部１３及び下流側偏
向電極部１４の偏向精度やその調整が不完全であり、計
算上の通過するべきイオンビームＢの軌跡からそれた軌
跡で走行し、実際には入射電流に対する不純物除去装置
１１を通過後のイオンビーム電流値が大巾に減少してい
ることがある。従来はこれを発見することも困難であっ
た。

【００１１】また、このように理論上、計算上の軌跡と
イオンビームがずれていると、イオンビームが上流側偏
向電極部１３、下流側偏向電極部１４の電極板と衝突す
ることとなる。これが電極１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１
４ｂを損傷することがある。あるいは、電極１３ａ、１
３ｂ、１４ａ、１４ｂに衝突するようなことがなくて
も、理論上のビーム軌跡と大きくずれることにより加速
管３にはこの軸心に沿って入射しなければ、この内部の
電極と衝突して二次電子を発生させることになる。その
結果多量のＸ線の発生を招くこととなる。これではこの
外部で作業している作業者に健康上の弊害を与えるのみ
ならず、正確なイオン照射ができなくなる。

【００１２】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、試料に照射すべきイオンの軌跡を、理
論上の軌跡に一致させるようにすることができるイオン
注入装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】以上の目的は、質量分析
マグネットと、該質量分析マグネットから導出されるイ
オンビームを所定角度偏向させるための第１偏向電極
と、前記所定角度と等しい角度で反対方向に前記イオン
ビームを偏向させるための第２偏向電極と、該第２偏向
電極から導出される前記イオンビームのイオンを加速す
るための加速管とを備えたイオン注入装置において、前
記第２偏向電極と前記加速管との間にイオンビーム測定
器を設けたことを特徴とするイオン注入装置によって達
成される。

【００１４】

【作用】イオンビーム測定器としてはイオン電流を測定
する機器、あるいはその形状や強度分布を測定する機器
などが考えられるが、下流側、すなわち第２偏向電極か
ら導出されたイオンビームをこれが受けると、電流値、
形状若しくは強度分布が検出され、この検出結果から計
算上のあるいは理論上の軌跡からイオンビームの中心が
どれだけずれているかを判定することができ、この判定
結果に基いて、例えば第２偏向電極または第１偏向電極
に加える電圧を調整することにより、理論上のイオンビ
ームの軌跡に一致させることができる。

【００１５】

【実施例】次に、本発明のイオン注入装置について、図
１乃至図７を参照して説明する。尚、従来例に対応する
部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省
略する。

【００１６】図１は第１実施例のイオン注入装置におけ
る不純物除去装置１１Ａを示すものであるが（他は従来
と同様）、図において第２偏向電極としての下流側偏向
電極部１４の下流側で電極１４ａ、１４ｂの中心に、す
なわち計算上のイオンビームＢの中心に対向し得るよう
にファラデーカップ２０が設けられている。すなわちフ
ァラデーカップ２０は公知の構造を有するのであるが、
ロッド２５の先端部に固定されており、ロッド２５は本
体１８の外方に配設されたモータ２４の駆動により矢印
ａに示す方向に上下動する構成となっている。尚、モー
タ２４は図示せずとも回転−直線運動変換機構を備えて
いるものとする。ロッド２５は真空ベローズ２３によ
り、大気と真空とを遮断する構造を備えており、ベロー
ズ２３の下端部はロッド２５に対してシール作用を行な
っている。モータ２４は真空フランジ構造２６を介して
本体１８に固定されている。また、このモータ２４と電
圧印加端子１５との間には調整電圧印加端子４０が取り
付けられており、これも上流側及び下流側の電圧印加端
子１５、１６と同様な構成を有するものであるが、その
筒部４０ａはコイルばねを有し、これによりピン４０ｂ
を摺動自在に嵌合させているが、これをそのばね力によ
り一方の偏向電極１４ａに圧接させている。また、この
端子４０には−及び＋の電位を切り換え可能で、且つそ
の大きさを調節自在な電源２７を接続させている。

【００１７】また、ファラデーカップ２０は導線２２を
介して電流導出端子２１に接続され、これは本体１８に
固定されており、更にこれは電流計２８に接続されてい
る。

【００１８】本発明の第１実施例によるイオン注入装置
は以上のように構成されているが、次にその作用につい
て説明する。

【００１９】質量分離磁石５から導出されるイオンビー
ムＢは上流側偏向電極部１３により所定の角度に偏向さ
れた後、下流側偏向電極部１４により反対側に偏向され
るのであるが、本実施例ではファラデーカップ２０によ
りこのイオン電流が測定されることになっている。すな
わち、通常はファラデーカップ２０は図示よりも本体１
８の上壁に近接した位置をとっている。すなわち、下流
側偏向電極１４から導出されるイオンビームＢの加速管
３への走行を妨害しないように構成されている。このイ
オン注入装置の駆動にあたっては、イオンビームＢの軌
跡を調整しなければならないが、このためにファラデー
カップ２０はモータ２４の駆動により駆動ロッド２３を
下方へと移動させる。これによりファラデーカップ２０
を図示した位置に置く。

【００２０】この状態でイオンビームＢはファラデーカ
ップ２０で受けられるが、その中心からのずれ、すなわ
ち計算上の軌跡からのずれに応じて、電流値は入射電
流、すなわち第１偏向電極１３、すなわち上流側の電極
の上流側で測定された入射電流の大きさと比べて、ずれ
が大きくなるほどこれが小さくなる。理想的にはこれと
一致すれば良い。これを目標として、ファラデーカップ
２０は上下方向に移動されるのであるが、この駆動と同
時に導線２２を介して電流計２８によりファラデーカッ
プ２０により受けられたイオンビームの電流を測定す
る。そうしてこの電流が最大値となる位置、すなわち入
射電流と同値となる位置において、イオンビームＢの中
心が一致しているのであるから、第２偏向電極１４には
これからのずれに対応する電圧を印加すればよい。本実
施例では、これを調節するためにファラデーカップ２０
を計算上のビームの位置に、すなわち中心線に沿って配
設し、ファラデーカップ２０を上述のように上下に移動
することにより、計算上の軌跡からどれくらいのずれが
あるかを知ることができるのであるが、これに代えて図
示の位置において、下流側の偏向電極部１４の上側の電
極１４ａに調整電圧印加端子４０から＋または−の電圧
を印加する。電極１４ａに調整電圧を印加することによ
り、上流側の偏向電極部１３から走行してくるイオンビ
ームＢの水平方向に曲がる角度を調節することができ、
例えば＋の電位を大きくすることにより、更に水平方向
への曲がりを大きくし、あるいは−の電位を与えてこれ
を小さくすれば、上方への曲がり角度を調節することが
できる。このような調節により中心上に配設されたファ
ラデーカップ２０に到達するイオンの個数の最大値、す
なわちイオン電流の最大値を得るように、−または＋の
電位の大きさを調節する。この位置で電位を固定し、フ
ァラデーカップ２０をモータ２４の駆動により上方へと
移動させ、以下通常のイオン注入作用を行なう。すなわ
ち、イオン加速管３の下流側に配設された試料にイオン
を照射する。

【００２１】本発明の実施例は以上のように構成され、
且つ作用を行なうので、イオンビームをイオン加速管３
の軸心に沿って導入することができ、これの下流側に配
設された試料には常に所望のイオンを最適条件で照射す
ることができる。

【００２２】図２及び図３は本発明の第２実施例のイオ
ン注入装置における不純物除去装置１１Ｂの要部を示す
ものであるが、第１実施例と同様な部分については同一
の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

【００２３】すなわち、本実施例によれば下流側偏向電
極部１４の下流側には、これに近接してクォーツ（水
晶）の円板４２が所定の角度でイオンビームＢと直交す
る方向から面を傾けて取り付けられており、これは第１
実施例と同様にモータ４４の駆動により、上下方向に真
空ベローズ２３の伸縮により移動可能であるが、通常は
図示よりも上方の位置にあって、すなわち本体１８の上
壁部に近接して配置されており、イオンビームＢの加速
管３への進入を阻止しない位置にあり、このイオン注入
装置の使用開始にあたっては、イオンビームＢの軌跡の
調節を行なわなければならいが、これに先立ちイオンビ
ームＢを水平の軌跡に置く調節を行なう。また、本実施
例によれば、本体１８の側壁部に観測窓５０が配設され
ており、これを介して本体１８内でクォーツ４２を図示
した位置に置いたときにこれを観測することができる。

【００２４】本実施例によればイオンビームＢの調節作
用においては、モータ４４の駆動によりベローズ２３を
伸ばし、クォーツ４２を図示した位置に置く。すなわ
ち、イオンビームＢをビームの中心とこの円板４２の中
心とを一致させる位置に置く。この位置決めは、例えば
ベローズが伸びるときに静止部にストッパを設け、そこ
で自動的に位置決めし、停止させるようにしておけばよ
い。この位置でイオンビームＢを走行させると、イオン
ビームＢがクォーツ４２に衝突することによりこの部分
が発光する。ビームが当たった所で発光するので、ビー
ムの形状ならびにその中心位置が観測窓５０により観測
できる。よって、このビームＢの衝突したクォーツ４２
上のスポットの位置の調節には、例えば円板の中心に何
らかの印をしておけば、この位置にあうように第１実施
例と同様に第２偏向電極部１４の電極板１４ａに印加す
る＋または−の電位を調節することにより、クォーツ４
２の中心に衝突するように調節することができる。この
調節後、電極１４ａに印加する電圧をこれに固定し、且
つクォーツ４２を、イオンビームＢの走行を阻害しない
上方へと移動させればよい。以上、第２実施例によって
も第１実施例と同様な効果を得ることは明らかである。

【００２５】図４乃至図６は本発明の第３実施例による
イオン注入装置における不純物除去装置１１Ｃの要部及
びその作用を示すものであるが、本実施例においても第
１実施例と対応する部分については同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。

【００２６】すなわち、本実施例では下流側偏向電極部
１４の下流側に近接して、イオンビーム強度分布測定装
置Ｄが設けられているが、これはクランク状の針金５２
を主要部として備えており、この上下端部は図５に明示
されるように、上下一対のベアリング６１、６２により
本体１８に対し回動自在に配設されており、上側ベアリ
ング６１を挿通する針金５２の上方直線部５２ｃとエン
コーダ付きモータ６０の駆動軸と直結している。また下
側ベアリング６２から突出する針金５２の下方直線部５
２ｂは電気的に電流計７０に接続されている。

【００２７】以上のようなクランク状の針金５２は理論
上、または計算上のイオンビームＢの外形線に対し、図
６に示すような位置関係をある角度範囲で針金５２との
間でとるように配設されており、従って図６のａとｅは
１８０度間隔の各位置を示すものであるが、これらの位
置ではイオンビームＢを切ることはなく、またこの角度
範囲内のｂ、ｃ、ｄではエンコーダ付きモータ６０の回
転によりイオンビームＢの径が一定であるので、又、且
つほぼ円形であるのでｃの角度位置をとるまでの間、エ
ンコーダ付きモータ６０が等速回転をするものとすれ
ば、針金５２がイオンビームＢを横断しながらイオンイ
オンビームＢ中のイオンがこの針金５２の直線部５２ａ
を通って電流計７０に至るように構成されており、イオ
ンイオンビームＢの断面が理想的に図６に示すように円
形であり、且つエンコーダ付きモータ６０が等速回転を
するものとすればほぼ正規分布に近い強度分布を示すは
ずである。

【００２８】本実施例ではこのような関係を利用するこ
とにより、イオンイオンビームＢの軌跡のずれを判定す
るようにしている。

【００２９】すなわち、エンコーダ付きモータ６０の回
転により、クランク状の針金５２が図５に示すように実
線、一点鎖線、二点鎖線、三点鎖線及び四点鎖線で示す
ような角度位置をとるのであるが、これが図６のａ〜ｅ
に対応する位置であり、またエンコーダ付きモータ６０
はその角度位置を検出して電流を測定するようにしてい
るので、もし図６で示すようなほぼ正規分布状の電流が
得られれば、イオンイオンビームＢは計算上の軌跡、す
なわち水平線に一致しているものと判定することができ
るが、これからずれていればｃの角度位置では最大値と
ならず、これよりずれた位置で最大値となるので、これ
によりそのずれの大きさを検出することができ、これに
応じて下流側の偏向電極部１４の電極１４ａに印加する
電圧を調整することにより、図６で示すような強度分布
Ｈを得ることができる。すなわち、計算上のイオンビー
ムの軌跡に合わすことができる。

【００３０】図７は本発明の第４実施例によるイオン注
入装置における不純物除去装置１１Ｄを示すものである
が、上記実施例と対応する部分については同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。

【００３１】すなわち、本実施例によれば下流側偏向電
極部８０の電極板８０ａ、８０ｂの距離ｄ₂ は上流側偏
向電極部１３の電極１３ａ、１３ｂ間の距離ｄ₁ より大
とされているが、それぞれの電極１３ａ、８０ｂには同
一の−電位が加えられており、下流側偏向電極部８０の
電極８０ａには調整電圧印加端子８５を介して可変電圧
電源９０の＋電位が印加されるように構成されている。
電源９０の電位はその大きさが調整自在である。

【００３２】本実施例においては下流側偏向電極部８０
の電極８０ａ、８０ｂ間の距離ｄ₂は上流側偏向電極部
１３の電極１３ａ、１３ｂ間ｄ₁ より大であるがため
に、上流側偏向電極部１３により一定角度上側に曲げら
れたとしても、下流側偏向電極部８０の下方の電極８０
ｂにより、もし上側の電極８０ａが接地されていれば、
水平に向かう傾斜の大きさは小さくなるが、上側電極８
０ａには＋電位を調節自在な電源９０が接続されている
ことにより、これによりイオンビームＢを水平状態に置
くことができる。電極８０ａに印加される電源９０から
の電位により、水平状態になるようにイオンイオンビー
ムＢを調節することができるのであるが、上流側の電極
１３ａ、１３ｂ間の距離ｄ₁ が相当小さく、これと同一
とすれば少しのずれがあっても、下流側偏向電極部８０
のいずれかの電極８０ａ、８０ｂに衝突する可能性は大
となるのであるが、これを大とすることにより多少のず
れがあっても、電極８０ａ、８０ｂに衝突することな
く、イオンイオンビームＢを安全に計算上の軌跡に置く
ことができる。その他の効果は上記実施例と同様である
ことは明らかである。

【００３３】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。

【００３４】例えば、以上の実施例ではイオンイオンビ
ームＢの測定を行なうのに、電流を測定する場合にはフ
ァラデーカップ２０、イオンビームの位置または形状を
測定する場合にはクォーツ４２、またイオンイオンビー
ムＢの強度分布を測定する場合にはクランク形の針金５
２を用いたが、これらに限定することなく、公知の測定
器が使用可能であり、またイオンイオンビームＢのパラ
メータとして他の特性を測定してもよく、またこの計算
上からのずれを補正するために、下流側で下流側偏向電
極部１４の一方の電極に＋または−の大きさの調節自在
の電位を印加するようにしたが、これに代えて電極を上
下動するように構成してもよく、この場合は従来と同様
に接地したままでイオンイオンビームＢの軌跡を調節さ
せるようにしてもよい。

【００３５】また、以上の実施例では下流側の偏向電極
の一方の電極に加える電位を変えるようにしたが、これ
に代えて上流側の偏向電極の一方の電極に印加する電圧
を調整するようにしてもよい。

【００３６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のイオン注入
装置によれば、不純物としてのイオンまたは中性粒子を
確実に除去することができながら、加速管の軸心に平行
にし、かつ最大電流としてイオンビームを試料へと到達
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例によるイオン注入装置の要
部の縦断面図である。

【図２】本発明の第２実施例によるイオン注入装置の要
部の縦断面図である。

【図３】図２における［３］−［３］線方向断面図であ
る。

【図４】本発明の第３実施例によるイオン注入装置の要
部の概略縦断面図である。

【図５】図４の装置の更に要部の拡大斜視図である。

【図６】同実施例の作用を説明するための要部の各構成
要素とイオンビームＢとの関係を示す模式図である。

【図７】本発明の第４実施例によるイオン注入装置の要
部の縦断面図である。

【図８】従来例のイオン注入装置の断面平面図である。

【図９】図８における要部の縦断面図である。

【符号の説明】

２０ ファラデーカップ ２１ 電流導出端子 ２２ 導線 ２４ モータ ２５ ロッド ２７ 電源 ２８ 電流計 ４０ 調整電圧印加端子 ４２ クォーツ ４３ ロッド ４４ モータ ５０ 観測窓 ５２ 針金 ６０ エンコーダ付きモータ ８０ 下流側偏向電極部 ８０ａ 電極 ８０ｂ 電極 ８５ 調整電圧印加端子 ９０ 電源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｈ 7/08 9014−2Ｇ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 質量分析マグネットと、該質量分析マグ
   ネットから導出されるイオンビームを所定角度偏向させ
   るための第１偏向電極と、前記所定角度と等しい角度で
   反対方向に前記イオンビームを偏向させるための第２偏
   向電極と、該第２偏向電極から導出される前記イオンビ
   ームのイオンを加速するための加速管とを備えたイオン
   注入装置において、前記第２偏向電極と前記加速管との
   間にイオンビーム測定器を設けたことを特徴とするイオ
   ン注入装置。