JPH06167390A - 分光測定方法 - Google Patents
分光測定方法Info
- Publication number
- JPH06167390A JPH06167390A JP4317646A JP31764692A JPH06167390A JP H06167390 A JPH06167390 A JP H06167390A JP 4317646 A JP4317646 A JP 4317646A JP 31764692 A JP31764692 A JP 31764692A JP H06167390 A JPH06167390 A JP H06167390A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- order diffracted
- diffracted light
- spectral
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】回折格子分光測定器において、高次回折光の混
入を除去した高精度かつ効率的な分光測定を実現する。 【構成】波長λ1 からλ2 のみの範囲に分光エネルギー
を持つ、分光分布の値の付いた標準光源を使って、波長
２λ1 から２λ2 または３λ1 の範囲で検出される標準
光源の波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの２次回折光
を測定し、波長λ 1 からλ2 の分光エネルギーの２次回
折光の波長２λ1 から２λ2 または３λ1の範囲での混
入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対する
分光出力を求め、その出力から先に求めた２次回折光の
波長２λ1 から２λ2 または３λ1の範囲での混入率を
使って、２次回折光成分を解析的に除去する。
入を除去した高精度かつ効率的な分光測定を実現する。 【構成】波長λ1 からλ2 のみの範囲に分光エネルギー
を持つ、分光分布の値の付いた標準光源を使って、波長
２λ1 から２λ2 または３λ1 の範囲で検出される標準
光源の波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの２次回折光
を測定し、波長λ 1 からλ2 の分光エネルギーの２次回
折光の波長２λ1 から２λ2 または３λ1の範囲での混
入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対する
分光出力を求め、その出力から先に求めた２次回折光の
波長２λ1 から２λ2 または３λ1の範囲での混入率を
使って、２次回折光成分を解析的に除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光の分光分析に使用す
る分光測定器に関するものである。
る分光測定器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回折格子を使用した分光測定器では、測
定しようとする波長の光に、その波長の１／２の波長の
二次回折光や、１／ｎの波長のｎ次回折光が混入する。
したがって、これら高次回折光を除去して測定を行う必
要がある。回折格子への光の入出射角を機械的に変化さ
せ単一の受光器で測定を行う機械走査形の分光測定器で
は、特定の測定波長範囲に対してある波長以下の光を遮
断するシャープカットフィルタを光路に挿入し高次回折
光を除去した分光測定を行う。一方、回折格子の分光分
散方向に沿って受光素子アレイを配置し、電気的な波長
走査を行い同時に複数の波長の分光測定を行うマルチチ
ャンネル分光測定装置では、受光素子アレイに部分的に
シャープカットフィルタを装着するなどして、高次回折
光を除去している。
定しようとする波長の光に、その波長の１／２の波長の
二次回折光や、１／ｎの波長のｎ次回折光が混入する。
したがって、これら高次回折光を除去して測定を行う必
要がある。回折格子への光の入出射角を機械的に変化さ
せ単一の受光器で測定を行う機械走査形の分光測定器で
は、特定の測定波長範囲に対してある波長以下の光を遮
断するシャープカットフィルタを光路に挿入し高次回折
光を除去した分光測定を行う。一方、回折格子の分光分
散方向に沿って受光素子アレイを配置し、電気的な波長
走査を行い同時に複数の波長の分光測定を行うマルチチ
ャンネル分光測定装置では、受光素子アレイに部分的に
シャープカットフィルタを装着するなどして、高次回折
光を除去している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記のような機
械走査形の分光測定器では、シャープカットフィルタを
挿入するため、フィルタ挿入時には、波長走査を停止し
なければならず、このため測定時間が長くなり、測定効
率が悪くなる。また、マルチチャンネル分光測定装置で
は、受光素子に部分的に装着するシャープカットフィル
タ端部での散乱などによる迷光の発生や波長純度の低下
を生ずる。また、フィルタ端部が位置する波長で、測定
したスペクトルデータが不連続となるため、その波長に
かかる、測定波長帯域特性がひずみ、たとえばスペクト
ル分布既知の標準光源で分光測定器の分光応答度を校正
する場合、誤差の原因となるといった問題があった。
械走査形の分光測定器では、シャープカットフィルタを
挿入するため、フィルタ挿入時には、波長走査を停止し
なければならず、このため測定時間が長くなり、測定効
率が悪くなる。また、マルチチャンネル分光測定装置で
は、受光素子に部分的に装着するシャープカットフィル
タ端部での散乱などによる迷光の発生や波長純度の低下
を生ずる。また、フィルタ端部が位置する波長で、測定
したスペクトルデータが不連続となるため、その波長に
かかる、測定波長帯域特性がひずみ、たとえばスペクト
ル分布既知の標準光源で分光測定器の分光応答度を校正
する場合、誤差の原因となるといった問題があった。
【０００４】また、機械走査形の分光測定器の場合と同
様に、シャープカットフィルタを光路に挿入し高次回折
光を除去する方法では、一つのスペクトルの測定に対し
て、複数回の測定が必要となり、スペクトルの時間的変
化を測定する目的に多く使用されるマルチチャンネル分
光測定器としては、測定効率の悪いものとなる。
様に、シャープカットフィルタを光路に挿入し高次回折
光を除去する方法では、一つのスペクトルの測定に対し
て、複数回の測定が必要となり、スペクトルの時間的変
化を測定する目的に多く使用されるマルチチャンネル分
光測定器としては、測定効率の悪いものとなる。
【０００５】本発明は上記問題を解決するもので、回折
格子分光測定器において、高次回折光の混入を除去した
高精度かつ効率的な分光測定を実現する分光測定方法を
提供することを目的とする。
格子分光測定器において、高次回折光の混入を除去した
高精度かつ効率的な分光測定を実現する分光測定方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の分光測定方法は、波長λ1 からλ2 のみ
の範囲に分光エネルギーを持つ、分光分布の値の付いた
標準光源を使って、波長２λ1 から３λ1 の範囲で検出
される前記の標準光源の波長λ1 からλ2 の分光エネル
ギーの２次回折光を測定し、波長λ1 からλ2 の分光エ
ネルギーの２次回折光の波長２λ1 から３λ1 の範囲で
の混入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対
する分光出力を求め、前記データ処理系によって、その
出力から先に求めた２次回折光の波長２λ1 から３λ1
の範囲での混入率を使って、２次回折光成分を解析的に
除去するものである。
めに、本発明の分光測定方法は、波長λ1 からλ2 のみ
の範囲に分光エネルギーを持つ、分光分布の値の付いた
標準光源を使って、波長２λ1 から３λ1 の範囲で検出
される前記の標準光源の波長λ1 からλ2 の分光エネル
ギーの２次回折光を測定し、波長λ1 からλ2 の分光エ
ネルギーの２次回折光の波長２λ1 から３λ1 の範囲で
の混入率を求め、分光分布を測定しようとする光源に対
する分光出力を求め、前記データ処理系によって、その
出力から先に求めた２次回折光の波長２λ1 から３λ1
の範囲での混入率を使って、２次回折光成分を解析的に
除去するものである。
【０００７】
【作用】上記の構成により、標準光源によって求めた、
分光測定器の分光応答度補正係数および各測定波長での
迷光混入率から、高次回折光除去フィルタなどの差替え
なしに、測定スペクトルから解析的に高次回折光スペク
トルを除去でき、高精度の分光測定が実現できる。
分光測定器の分光応答度補正係数および各測定波長での
迷光混入率から、高次回折光除去フィルタなどの差替え
なしに、測定スペクトルから解析的に高次回折光スペク
トルを除去でき、高精度の分光測定が実現できる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例の分光測定の手順を示す
図である。ここで、分光測定器は通常のものと同様に入
射スリット、コリメータ光学系、回折格子、結像光学
系、出射スリットからなる回折格子分光器と光検出器と
測定データ処理系からなったものを用いる。
する。図１は本発明の一実施例の分光測定の手順を示す
図である。ここで、分光測定器は通常のものと同様に入
射スリット、コリメータ光学系、回折格子、結像光学
系、出射スリットからなる回折格子分光器と光検出器と
測定データ処理系からなったものを用いる。
【０００９】図１において、波長λ1 からλ2 の範囲の
みに分光エネルギーを有し、既知の分光分布を持つ標準
光源を使って測定する（ステップ１）。まず標準光源の
波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの一次回折光Ｅｓ
（λ）を測定し（ステップ２）、次に波長２λ1 から２
λ2 の範囲で検出される標準光源の波長λ1 からλ2 の
分光エネルギーの二次回折光ＳＥｓ（２λ）を測定し
（ステップ３）、波長λ1からλ2 の分光エネルギーの
二次回折光の波長２λ1 から２λ2 の範囲での混入率Ｓ
Ｒ（λ）＝ＳＥｓ（λ）／Ｅ（λ／２）を求める（ステ
ップ４）。次に、分光分布を測定しようとする試料光源
Ｔに対する分光出力を求め、データ処理系によって、そ
の出力から光に求めた二次回折光の波長２λ1 から２λ
2 の範囲での混入率を使って、二次回折光成分を解析的
に除去し、二次回折光の混入しない分光出力Ｅｔ（λ）
−ＳＲ（λ）・Ｅｔ（λ／２）を得る（ステップ５）。
このようにして、高精度かつ効率的な分光測定を実現で
きる。
みに分光エネルギーを有し、既知の分光分布を持つ標準
光源を使って測定する（ステップ１）。まず標準光源の
波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの一次回折光Ｅｓ
（λ）を測定し（ステップ２）、次に波長２λ1 から２
λ2 の範囲で検出される標準光源の波長λ1 からλ2 の
分光エネルギーの二次回折光ＳＥｓ（２λ）を測定し
（ステップ３）、波長λ1からλ2 の分光エネルギーの
二次回折光の波長２λ1 から２λ2 の範囲での混入率Ｓ
Ｒ（λ）＝ＳＥｓ（λ）／Ｅ（λ／２）を求める（ステ
ップ４）。次に、分光分布を測定しようとする試料光源
Ｔに対する分光出力を求め、データ処理系によって、そ
の出力から光に求めた二次回折光の波長２λ1 から２λ
2 の範囲での混入率を使って、二次回折光成分を解析的
に除去し、二次回折光の混入しない分光出力Ｅｔ（λ）
−ＳＲ（λ）・Ｅｔ（λ／２）を得る（ステップ５）。
このようにして、高精度かつ効率的な分光測定を実現で
きる。
【００１０】ここで、上記で説明した二次回折光の除去
は三次以上の高次回折光が混入しないことが必要であ
る。したがって、二次光混入率を求めるための一次回折
光の測定波長域をλ1 からλ2 とすれば、二次回折光が
除去できる範囲は３λ1 以下の波長域である。すなわち
２λ2 ＜３λ1 である。
は三次以上の高次回折光が混入しないことが必要であ
る。したがって、二次光混入率を求めるための一次回折
光の測定波長域をλ1 からλ2 とすれば、二次回折光が
除去できる範囲は３λ1 以下の波長域である。すなわち
２λ2 ＜３λ1 である。
【００１１】次に図２を用いて具体的な分光測定の手順
を説明する。ここで、同様に入射スリット、コリメータ
光学系、回折格子、結像光学系、出射スリットからなる
ツェルニターナ形回折格子分光器と光検出器からなる分
光測定器を使用する。この回折格子は、ブレーズ波長２
５０ｎｍ、刻線密度１２００本／ｍｍのもので、波長２
００ｎｍから６００ｎｍまでの分光測定を行うものとす
る。
を説明する。ここで、同様に入射スリット、コリメータ
光学系、回折格子、結像光学系、出射スリットからなる
ツェルニターナ形回折格子分光器と光検出器からなる分
光測定器を使用する。この回折格子は、ブレーズ波長２
５０ｎｍ、刻線密度１２００本／ｍｍのもので、波長２
００ｎｍから６００ｎｍまでの分光測定を行うものとす
る。
【００１２】まず、波長２００ｎｍから６００ｎｍまで
の分光測定において、どのような二次回折光が含まれる
かを調べるために、最初に、分光分布Ｐｄ（λ）が既知
の分光放射照度標準重水素ランプを用いて標準光線の分
光測定を行う（ステップ１１）。このときの分光測定器
の波長２００ｎｍから３００ｎｍまでの一次回折光出力
Ｅｄ（λ）を測定し（ステップ１２）、この波長域の分
光測定器の分光応答度Ｒｄ（λ）を（１）式で求める
（ステップ１３）。
の分光測定において、どのような二次回折光が含まれる
かを調べるために、最初に、分光分布Ｐｄ（λ）が既知
の分光放射照度標準重水素ランプを用いて標準光線の分
光測定を行う（ステップ１１）。このときの分光測定器
の波長２００ｎｍから３００ｎｍまでの一次回折光出力
Ｅｄ（λ）を測定し（ステップ１２）、この波長域の分
光測定器の分光応答度Ｒｄ（λ）を（１）式で求める
（ステップ１３）。
【００１３】 Ｒｄ（λ）＝Ｐｄ（λ）／Ｅｄ（λ） …（１） このとき、波長４００ｎｍから６００ｎｍの範囲で、分
光分布Ｐｄ（λ）に対する二次回折光出力ＳＥｄ（λ）
が分光測定器の出力から測定される（ステップ１４）。
この測定値から二次回折光の波長４００ｎｍから６００
ｎｍの範囲での分光測定器出力への混入率ＳＲ（λ）は
（２）式で得られる（ステップ１５）。
光分布Ｐｄ（λ）に対する二次回折光出力ＳＥｄ（λ）
が分光測定器の出力から測定される（ステップ１４）。
この測定値から二次回折光の波長４００ｎｍから６００
ｎｍの範囲での分光測定器出力への混入率ＳＲ（λ）は
（２）式で得られる（ステップ１５）。
【００１４】 ＳＲ（λ）＝ＳＥｄ（λ）／Ｅｄ（λ／２） …（２） 次に、分光分布ＰL （λ）が既知の分光放射照明度標準
電球と、波長３００ｎｍ以下をカットし、分光透過率が
既知のシャープカットフィルタを組み合せて用い、波長
３００ｎｍ以下のエネルギーをカットした標準電球の分
光測定を行う（ステップ１６）。このときの分光測定器
の波長３００ｎｍから６００ｎｍまでの一次回折光出力
ＥL （λ）を測定し（ステップ１７）、この波長域の分
光測定器の分光応答度ＲL （λ）を（３）式で求める
（ステップ１８）。
電球と、波長３００ｎｍ以下をカットし、分光透過率が
既知のシャープカットフィルタを組み合せて用い、波長
３００ｎｍ以下のエネルギーをカットした標準電球の分
光測定を行う（ステップ１６）。このときの分光測定器
の波長３００ｎｍから６００ｎｍまでの一次回折光出力
ＥL （λ）を測定し（ステップ１７）、この波長域の分
光測定器の分光応答度ＲL （λ）を（３）式で求める
（ステップ１８）。
【００１５】 ＲL （λ）＝ＰL （λ）／ＥL （λ） …（３） 最後に、この分光測定器を使って、試料光源Ｔを測定す
る（ステップ１９）。このときの測定値をＥｔ（λ）と
すると（ステップ２０）、試料光源Ｔの分光分布Ｐｔ
（λ）は次のようにして求められる。まず波長２００ｎ
ｍから３００ｎｍまでの試料光源Ｔの分光分布Ｐｔ
（λ）は、波長２００ｎｍから３００ｎｍまでのときの
測定値Ｅｔ（λ）と（１）式で求められた分光応答度Ｒ
ｄ（λ）とから（４）式のようになる。
る（ステップ１９）。このときの測定値をＥｔ（λ）と
すると（ステップ２０）、試料光源Ｔの分光分布Ｐｔ
（λ）は次のようにして求められる。まず波長２００ｎ
ｍから３００ｎｍまでの試料光源Ｔの分光分布Ｐｔ
（λ）は、波長２００ｎｍから３００ｎｍまでのときの
測定値Ｅｔ（λ）と（１）式で求められた分光応答度Ｒ
ｄ（λ）とから（４）式のようになる。
【００１６】 Ｐｔ（λ）＝Ｐｄ（λ）／Ｅｔ（λ） …（４） 次に、波長３００ｎｍから６００ｎｍまでの試料光源Ｔ
の分光分布Ｐｔ（λ）は、波長３００ｎｍから６００ｎ
ｍまでの測定値Ｅｔ（λ）と（３）式で求めた分光応答
度ＰL （λ）と（２）式で求めた波長２００ｎｍから３
００ｎｍまでの分布エネルギーの二次回折光を混入率Ｓ
Ｒ（λ）を考慮に入れて、（５）式のようになる。
の分光分布Ｐｔ（λ）は、波長３００ｎｍから６００ｎ
ｍまでの測定値Ｅｔ（λ）と（３）式で求めた分光応答
度ＰL （λ）と（２）式で求めた波長２００ｎｍから３
００ｎｍまでの分布エネルギーの二次回折光を混入率Ｓ
Ｒ（λ）を考慮に入れて、（５）式のようになる。
【００１７】 Ｐｔ（λ）＝ＲL （λ）（Ｅｔ（λ）−ＳＲ（λ） ・Ｅｔ（λ／２）） …（５） 上記の（４）式の２００ｎｍから３００ｎｍまでのＰｔ
（λ）と、（５）式の３００ｎｍから６００ｎｍまでの
Ｐｔ（λ）とから、２００ｎｍから６００ｎｍまでの全
体のＰｔ（λ）を求めることができる（ステップ２
１）。
（λ）と、（５）式の３００ｎｍから６００ｎｍまでの
Ｐｔ（λ）とから、２００ｎｍから６００ｎｍまでの全
体のＰｔ（λ）を求めることができる（ステップ２
１）。
【００１８】本実施例は、大気中で測定するため、波長
２００ｎｍ以下の放射は大気を透過できない。このた
め、波長４００ｎｍ以下の波長帯域での分光測定器の出
力には二次回折光は混入しない。また、波長６００ｎｍ
以下の測定値には、同様にして、三次以上の高次回折光
は混入しない。したがって、図１で説明した、２λ2 ＜
３λ1 の条件を満足している。
２００ｎｍ以下の放射は大気を透過できない。このた
め、波長４００ｎｍ以下の波長帯域での分光測定器の出
力には二次回折光は混入しない。また、波長６００ｎｍ
以下の測定値には、同様にして、三次以上の高次回折光
は混入しない。したがって、図１で説明した、２λ2 ＜
３λ1 の条件を満足している。
【００１９】なお、さらに測定波長範囲が広く高次の回
折光が混入する場合、標準光源に分光透過率既知の帯域
フィルタをくみあわせ、それぞれの次数の回折光に対し
て、分光測定器の出力への混入率をもとめることによ
り、試料光源の分光測定を高次回折光除去のフィルタの
脱着なしに、連続波長走査により行なうことができる。
折光が混入する場合、標準光源に分光透過率既知の帯域
フィルタをくみあわせ、それぞれの次数の回折光に対し
て、分光測定器の出力への混入率をもとめることによ
り、試料光源の分光測定を高次回折光除去のフィルタの
脱着なしに、連続波長走査により行なうことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、標準光源
によって求めた、分光測定器の分光応答度補正係数およ
び各測定波長での迷光混入率から、高次回折光除去フィ
ルタなどの差替えなしに、測定スペクトルから解析的に
高次回折光スペクトルを除去した高精度の分光測定を実
現できる。
によって求めた、分光測定器の分光応答度補正係数およ
び各測定波長での迷光混入率から、高次回折光除去フィ
ルタなどの差替えなしに、測定スペクトルから解析的に
高次回折光スペクトルを除去した高精度の分光測定を実
現できる。
【図１】本発明の一実施例の分光測定方法における二次
回折光除去方法の手順を説明する図
回折光除去方法の手順を説明する図
【図２】本発明の一実施例の分光測定方法における具体
的な二次回折除去方法の手順を説明する図
的な二次回折除去方法の手順を説明する図
２ 一次回折光出力を測定するステップ ３ 二次回折光出力を測定するステップ ４ 測定出力への二次回折光混入率を求めるステップ ５ 試料光源の分光測定器出力からの二次回折光除去の
ステップ
ステップ
Claims (2)
- 【請求項１】 波長λ1 からλ2 のみの範囲に分光エネ
ルギーを持つ、分光分布の値の付いた標準光源を使っ
て、波長２λ1 から３λ1 の範囲で検出される前記の標
準光源の波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの２次回折
光を測定し、波長λ1 からλ2 の分光エネルギーの２次
回折光の波長２λ1 から３λ1 の範囲での混入率を求
め、分光分布を測定しようとする光源に対する分光出力
を求め、その出力から先に求めた２次回折光の波長２λ
1 から３λ1 の範囲での混入率を使って、２次回折光成
分を解析的に除去する分光測定方法。 - 【請求項２】 標準光源と、複数の分光透過率既知の帯
域透過フィルタを組合せ、前記帯域透過フィルタの透過
波長帯域内の波長λ1 からλ2 の範囲にわたって透過す
る前記標準光源の分光エネルギーのＮ次回折光を、波長
Ｎλ1 からＮλ2 の範囲で測定し、波長λ1 からλ2 の
分光エネルギーのＮ次回折光の波長Ｎλ1 からＮλ2 の
範囲での混入率を求め、分光分布を測定しようとする光
源に対する分光出力を求め、その出力から先に求めたＮ
次回折光の波長Ｎλ1 からＮλ 2 の範囲での混入率を使
って、Ｎ次回折光成分を解析的に除去する分光測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4317646A JPH06167390A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 分光測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4317646A JPH06167390A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 分光測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06167390A true JPH06167390A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=18090470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4317646A Pending JPH06167390A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 分光測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06167390A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2475368A (en) * | 2009-11-09 | 2011-05-18 | Agilent Technologies Inc | Compensation of high spectral orders in diffraction grating-based optical spectrometers |
| JP2018031712A (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社島津製作所 | 分光光度計における検出信号値の補正方法及び検出信号値の補正機能を備えた分光光度計 |
| JP2018084482A (ja) * | 2016-11-24 | 2018-05-31 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
| US11002604B2 (en) | 2019-02-04 | 2021-05-11 | Shimadzu Corporation | Correction method of detection signal value in spectrophotometer and spectrophotometer having correction function of detection signal value |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP4317646A patent/JPH06167390A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2475368A (en) * | 2009-11-09 | 2011-05-18 | Agilent Technologies Inc | Compensation of high spectral orders in diffraction grating-based optical spectrometers |
| JP2018031712A (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社島津製作所 | 分光光度計における検出信号値の補正方法及び検出信号値の補正機能を備えた分光光度計 |
| JP2018084482A (ja) * | 2016-11-24 | 2018-05-31 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
| US11002604B2 (en) | 2019-02-04 | 2021-05-11 | Shimadzu Corporation | Correction method of detection signal value in spectrophotometer and spectrophotometer having correction function of detection signal value |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7978324B2 (en) | Multi-channel array spectrometer and method for using the same | |
| EP0781990A1 (en) | Scattered light measuring apparatus | |
| EP0756169A3 (en) | Spectral measuring apparatus and automatic analyzer | |
| JPH07128144A (ja) | 分光測定装置 | |
| US5801829A (en) | Method for measurment and compensation of stray light in a spectrometer | |
| JPH0619079Y2 (ja) | 自動分析装置における分光装置 | |
| JPH06167390A (ja) | 分光測定方法 | |
| KR101054017B1 (ko) | 분광기의 보정방법 | |
| WO2011102377A1 (ja) | 分光光度計、及びその性能測定方法 | |
| JPS62103529A (ja) | 複合管 | |
| JPH085550A (ja) | 分光分析装置 | |
| Matthews et al. | Filter ozone spectrophotometer | |
| JP5819637B2 (ja) | 紫外線防御効果の評価装置 | |
| JPS6053834A (ja) | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ | |
| JPS62147344A (ja) | 多波長分光光度計 | |
| WO2010084957A1 (ja) | 分光放射計 | |
| JPH0720042A (ja) | 分光分析装置 | |
| US6765669B1 (en) | Signal enhancement of spectrometers | |
| JP2000009533A (ja) | 分光器 | |
| JP2581464Y2 (ja) | フィルタ評価装置 | |
| JPS5992318A (ja) | 分光測定方法 | |
| JP2005221307A (ja) | 色度計 | |
| JPS6020021Y2 (ja) | 多波長光度計 | |
| JPH0712718A (ja) | 分光分析装置 | |
| Johansson et al. | A multiple grating flame photometer for the simultaneous determination of five elements |