JPH06167448A - 光学的ガス検出器 - Google Patents

光学的ガス検出器

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JPH06167448A
JPH06167448A JP4106879A JP10687992A JPH06167448A JP H06167448 A JPH06167448 A JP H06167448A JP 4106879 A JP4106879 A JP 4106879A JP 10687992 A JP10687992 A JP 10687992A JP H06167448 A JPH06167448 A JP H06167448A
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gas
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Brian A Goody
アーサー グッディ ブライアン
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガス吸収検出器で干渉フィルタの平坦面への
垂線と入射角をその回転軸からそれぞれ傾斜させ、回転
に応じて入射角を変化させることにより、検出を効率
化、容易化し、及び温度安定性を向上する。 【構成】 指定ガスの存在を検出する光放射吸収ガス検
出器は、光源光を被検出ガス領域に通しかつ集束した光
ビーム２０を、被検出ガスの光放射吸収ピーク波長を含
む通過帯域を有する干渉フィルタ１６の平坦な面１６ａ
にその回転軸１７から偏向角ｚをとって入射させ、回転
軸１７が平坦な面１６ａへの垂線ｙと角ｘをなすように
フィルタ１６を回転シャフト１９に固定し、フィルタ１
６の通過したビーム２０を光検出手段に入れる。この構
成によって、前記波長を含むフィルタ通過帯域がフィル
タ１６の回転に応じ走査され、前記指定ガスの前記領域
内の存在下において光振幅変動を生じる結果、前記指定
ガスの検出を容易化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス検出器、特に、指
定ガスの存在を検出する光放射吸収ガス検出器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】このようなガス検出器は、ガスが他のガ
スより或る波長において多量の光を吸収し、各ガスはそ
の固有の吸収ピークを有すると云う事実を利用する。
【０００３】このような検出器は、周知であり、かつ干
渉フィルタを含み、このフィルタは被検出ガスの吸収ピ
ークに相当する波長を含む通過帯域内で通過させるよう
に、かつその通過帯域が光のこのフィルタの入射角に依
存する特性を有するように、選択される。
【０００４】したがって、その入射角を変化させること
によって、その通過帯域、又はその帯域の部分を、その
入射角が変化するのに対応して、走査することができ、
このようにして、特定のガスの存在を示す吸収ピークの
検出が容易化される。
【０００５】干渉フィルタは、透明基板上に担持された
所定の厚さのフィルムを含み、このフィルムの厚さは要
求されるフィルタ特性を与えるように選択される。この
ようなフィルタの構造及び製造は、周知であり、したが
って、ここでは、これ以上説明しない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】要求される走査機能を
発揮するように入射角を変化するために、このフィルタ
を振動シャフト上に取り付けることが知られている。こ
の周知の構成は、シャフトの方向を繰り返し反転する必
要があり、その結果、慣性力を変化させ、これは明らか
にエネルギーを浪費するので、非効率的である。更に、
この振動運動の振幅は、温度と共に変動する傾向があ
り、したがって、そのガス検出器の温度安定性を悪くす
る方へ作用する。
【０００７】本発明の目的は、上述の欠点を少なくとも
部分的に回避する光放射吸収ガス検出器を提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、指定ガ
スの存在を検出する光放射吸収ガス検出器は、光源、こ
の光源からの光が通過する被検出ガスを含む領域、実質
的に平坦な面とこの指定ガスの検出を容易化する１つの
波長での光放射吸収ピークとを有する干渉フィルタ、こ
のフィルタの平坦な面への垂線が回転軸と角をなすよう
にこのフィルタを回転させるためにこのフィルタに固定
したシャフト、及び所定光振幅変動を検出するために、
前記領域とこのフィルタとを通過したこの光源からの光
に応答する光検出手段を、含み、この検出器において、
この光源からの光がこのシャフトの軸から偏向角をとっ
てフィルタに向けて投射されるように構成され、これに
よってこの波長を含むフィルタ通過帯域がこのフィルタ
の回転する結果走査され、これによってこの指定ガスの
前記領域内の存在下において光振幅変動を発生し、これ
によってこの検出手段によるこの指定ガスの検出が容易
化される。
【０００９】このフィルタの平坦な面への垂線がこのフ
ィルタの軸と角をなして構成されるように、このフィル
タがこのシャフトに固定されるように構成することによ
って、及び光がこのシャフトの軸から偏向角をとってこ
のフィルタに向けて投射されるように構成することによ
って、明らかに、この光源からの光は、シャフトの回転
と共に変化する入射角でこのフィルタに入射し、これに
よってこのフィルタ通過帯域の走査が行われる。
【００１０】本発明による構成を使用することによっ
て、このシャフトは実質的に定角速度で回転し、これに
よって、欠点を伴う（振動系によって発生されるよう
な）慣性力変化は生じなくなる。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を、以下に、付図を参照して
説明する。
【００１２】図１を参照すると、光放射吸収ガス検出器
は光源１を含み、この光源は、この例では、フィラメン
トランプである。この光源からの光は、光学チョッパ２
に向けて送られ、このチョッパは羽根３を有し、これら
の羽根は電動機４によって回転される。チョッパ２から
の光は、レンズ５を経由してガス検出領域６を通過す
る。チョッパ２の動作に起因して、領域６内の光は波形
Ａに示された光パルスを含む。これらの光パルスは、レ
ンズ７及び８を含む光学系を通して送られる結果、波形
Ｂに示される平行光パルスの狭い光ビームを発生し、波
形Ｂは実質的に波形Ａに対応する。レンズ８からの光
は、フィルタ組立体９を通して送られ、この組立体は、
被検出ガスの吸収波長に相当する波長を含む通過帯域を
有する。
【００１３】フィルタ組立体９の動作と構造を、以下
に、図２、３、４、及び５を参照して更に詳しく説明す
る。フィルタ９ａからの光は、レンズ１０を通して光検
出器構成１１に送られ、後者は光検出要素及び信号プロ
セッサを含む。
【００１４】もし被検出ガスが領域６に存在するなら
ば、吸収が起こり、その結果、（以下に説明されるよう
にフィルタ９ａの運動によって発生される）波形Ｂに変
調が課せられることにより、変調波形Ｃを発生する。
【００１５】いま、図２を参照すると、周知の構成のフ
ィルタが干渉フィルタ要素１２を含み、このフィルタ要
素はシャフト１３に取り付けられている。電気駆動装置
１４は、例えば、検流計運動装置である。したがって、
判るように、矢印１５の向きにフィルタ要素１２に投射
された光は、シャフト１３の振動に従って変動する入射
角でフィルタ要素１２に入射する。シャフト１３の振動
の結果のこの入射角の変化に従い、被検出ガスの吸収波
長を含む通過帯域が走査される。このフィルタは、被検
出ガスの吸収波長を含むように選択され、したがって、
フィルタ９は被検出ガスの型式に従って選択されるであ
ろう。図２に示されたような周知の構成は、以下に説明
されるようにいくつかの欠点を有し、これらの欠点はフ
ィルタ要素１２及びシャフト１３が振動すると云う事実
に由来する。
【００１６】このような欠点を回避するために、図３に
示されたようなフィルタ構成が使用される。このフィル
タ構成は、フィルタ要素１６を含み、このフィルタ要素
は軸１７を有するシャフト１９に固定される。シャフト
１９は、概略的に示された電動機１８によって駆動され
る。フィルタ要素１６は、実質的に円形ディスクを含ん
でおり、その平坦面１６ａへの垂線ｙが回転軸１７に対
して角ｘをなすようにシャフト１９に固定される。図１
に示されるように、レンズ８から投射されたフィルタ要
素１６上に入射する入射光は、回転軸１７に対して角ｚ
だけ偏向するように構成される。図３の構成においてフ
ィルタ要素１６は中心でシャフト１９に固定されている
が、代替実施例においては、フィルタ要素１６はその円
周縁を角形リム又は溝縁材２５によって支持され、溝縁
材２５が図４に示されるように一対の支持アーム２４に
結合され、後者がシャフト１９に結合される。この構成
で以て、フィルタ要素１６を通るように投射された光
が、シャフト１９によって阻止されないようにすること
ができる。
【００１７】好適には、偶数本の接続アーム２３が使用
され、（図４には２本が示されている）、溝縁材２５に
沿い対称に間隔をとって構成される。このことは、２本
のアームの場合、これらのアーム２３によるビームのい
かなる遮断も、振動周波数の２倍で起こり、それゆえ、
電子処理によって容易に除去されることを、保証する。
これは、しかしながら、もし図１に示されたチョッパ羽
根３が、このチョッパがその光ビームを遮断するときに
その接続アームがこの光ビームを遮断するように、その
フィルタ回転と正確に同相に構成されるならば、必須の
要件ではない。
【００１８】更に他の利点が、そのチョッパ羽根の回転
速度をそのフィルタの回転速度の偶数倍とするように構
成することによって、得られる。この例は、これらのチ
ョッパ羽根が検出信号の正部分と負部分との両方に同様
に作用するので、チョッパ羽根の不規則性によって起こ
る誤りを打ち消す傾向がある。
【００１９】光が通過するフィルタの部分がそのフィル
タの回転中に実質的に変化しないことが重要であり、図
４の装置は、このフィルタの中央領域を使用することに
よって、これを達成する。
【００２０】このガス検出器の動作中、フィルタ要素１
６は電動機１８によって実質的に定速度で回転させら
れ、かつ判るように、フィルタ要素１６への光線２０の
入射角はフィルタ要素１６の回転に従って変動する。も
しガスが図１に示された領域６内に存在するならば、フ
ィルタ要素１６の回転の結果、波形Ｃに示されたように
光変調が発生する。
【００２１】図５を参照すると、判るように、この曲線
図の水平軸上の点２１と２２との間の波長帯域が走査さ
れるならば、シャフト１９の角速度に相当する周波数
で、波形Ｃに示される変調に相当する光強度変動が、発
生する。
【００２２】このフィルタは、被検出ガスと関係するよ
うに選択され、例えば、２．９μｍに吸収ピークを持つ
メタンの検出の場合、２．９μｍを含む通過帯域を持つ
フィルタが選択され、かつ２．８μｍと２．９μｍとの
間の波長帯域が、それぞれ、約５°及び３０°の角ｘ及
びｙで走査される。光検出構成１１は、光検出器（図に
示されていない）を含み、その出力信号は信号プロセッ
サに送られ、この信号プロセッサは指定ガスの存在を表
示する信号変動を識別するように働く。
【００２３】当業者に判るように、いかなる適当な形式
の検出器構成１１でも使用され、また、小信号の検出を
容易にするために、駆動電動機１８から線路２３上に回
転周波数に相当する出力信号が供給され、これによっ
て、波形Ｃに示される対応する変調周波数の検出が容易
化される。
【００２４】多様な変調が、本発明の範囲から逸脱する
ことなく、ここに説明された構成によって行われ、例え
ば、いかなる適当な光源及びフィルタでも使用され、ま
た、例えば、或るガスの検出の場合、赤外線又は紫外線
光源も、適したフィルタと共に、適している。なおま
た、フィルタ要素１６を回転させるのにいかなる手段で
も使用され、また、いかなる適当な形式の検出であって
も領域６内のガスの存在下において発生する信号の変調
を検出するのに使用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】光吸収ガス検出器の一般的概略ブロック線図。
【図２】図１に示されたガス検出器に使用される周知の
フィルタ構成の概略斜視図。
【図３】図１に示されたガス検出器に使用されかつ本発
明の１実施例によるフィルタ構成の概略斜視図。
【図４】図１に示されたガス検出器に使用されかつ本発
明の代替実施例によるフィルタ構成の概略斜視図（図３
と対応する部品に同じ引用符号を使用）。
【図５】典型的ガス吸収曲線を示すグラフ図。
【符号の説明】
１ 光源 ２ 光学チョッパ ３ チョッパ羽根 ４ 電動機 ５ レンズ ６ ガス検出領域 ７ レンズ ８ レンズ ９ フィルタ組立体 ９ａ 干渉フィルタ １０ レンズ １１ 光検出器構成 １２ 干渉フィルタ要素 １３ シャフト １４ 電気的駆動装置 １６ フィルタ要素 １６ａ 平坦な面 １７ 回転軸 １８ 電動機 １９ シャフト ２０ 光ビーム ２３ 接続アーム ２３ 線路 ２４ 支持アーム ２５ リム又は溝縁材

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 指定ガスの存在を検出する光放射吸収ガ
    ス検出器であって、光源と、前記光源からの光が通過す
    る被検出ガスを含む領域と、実質的に平坦な面と前記指
    定ガスの検出を容易化する１つの波長での光放射吸収ピ
    ークとを有する干渉フィルタと、前記フィルタの前記平
    坦な面への垂線が回転軸と角となすように前記フィルタ
    を回転させるために前記フィルタに固定したシャフト
    と、所定光振幅変動を検出するために、前記領域と前記
    フィルタとを通過した前記光源からの光に応答する光検
    出手段とを含み、前記光源からの光が前記シャフトの軸
    からの偏向角をとって前記フィルタに向けて投射される
    ように構成され、該構成によって前記波長を含むフィル
    タ通過帯域が前記フィルタの回転する結果走査され、該
    走査によって前記指定ガスの前記領域内の存在下におい
    て光振幅変動を発生し、該発生によって前記検出手段に
    よる前記指定ガスの検出が容易化されるガス検出器。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のガス検出器において、光
    チョッパ又は断続器が前記光源と前記検出手段との間に
    挿入されるガス検出器。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のガス検出器において、前
    記光源からの光は第１レンズ手段を経由して送られ前記
    領域を通り、前記領域から第２レンズ手段を経由して光
    ビームとなり前記フィルタに送られ、かつ前記フィルタ
    から第３レンズ手段を経由して前記検出手段に送られる
    ガス検出器。
  4. 【請求項４】 請求項３記載のガス検出器において、前
    記光チョッパは前記光源と前記第１レンズ手段との間に
    挿入されるガス検出器。
  5. 【請求項５】 請求項２から４のうちいずれか１つに記
    載のガス検出器において、前期フィルタは前記シャフト
    が回転するに従い前記ビームを遮断するアームによって
    支持されるガス検出器。
  6. 【請求項６】 請求項５記載のガス検出器において、前
    記アームは前記チョッパと同期して前記ビームを遮断す
    るように配置されるガス検出器。
  7. 【請求項７】 請求項５又は６記載のガス検出器におい
    て、偶数本のアームが存在するガス検出器。
  8. 【請求項８】 請求項２から７のうちいずれか１つに記
    載のガス検出器において、前記チョッパは前記シャフト
    の回転速度の偶数倍で前記ビームを遮断する回転羽根を
    含むガス検出器。
  9. 【請求項９】 請求項１から８のういちずれか１つに記
    載のガス検出器において、前記光検出手段は前記光振幅
    変動を検出するように作用する光検出要素と、前記指定
    ガスの前記領域内の存在下において発生される光振幅変
    動に相当する電気信号変動を検出するために前記光検出
    要素に応答する信号プロセッサとを含むガス検出器。
  10. 【請求項１０】 請求項１から９のうちいずれか１つに
    記載のガス検出器において、前記信号プロセッサは振幅
    変調の形における電気信号変動を検出するように構成さ
    れるガス検出器。
  11. 【請求項１１】 請求項１から１０のういちずれか１つ
    に記載のガス検出器において、前記シャフトの回転手段
    は電動機を含むガス検出器。
  12. 【請求項１２】 請求項５から１１のういちずれか１つ
    に記載のガス検出器において、前記フィルタは円形であ
    りかつ前記フィルタの円周縁において前記アームよって
    支持されるガス検出器。
JP4106879A 1991-04-26 1992-04-24 光学的ガス検出器 Pending JPH06167448A (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB919108978A GB9108978D0 (en) 1991-04-26 1991-04-26 Improvements in or relating to optical gas detectors
GB9114910A GB2255178A (en) 1991-04-26 1991-07-10 Optical gas detector
GB91089789 1991-07-10
GB91149104 1991-07-10

Publications (1)

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JPH06167448A true JPH06167448A (ja) 1994-06-14

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ID=26298790

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4106879A Pending JPH06167448A (ja) 1991-04-26 1992-04-24 光学的ガス検出器

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US (1) US5268745A (ja)
EP (1) EP0510856A3 (ja)
JP (1) JPH06167448A (ja)
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020250272A1 (ja) * 2019-06-10 2020-12-17 株式会社ニコン 計測装置

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2290139A (en) * 1994-06-11 1995-12-13 Atomic Energy Authority Uk Gas concentration measurement
FR2726084A1 (fr) * 1994-10-20 1996-04-26 Eprest Electronique Profession Detecteur de gaz a absorption de la lumiere utilisant une source large bande spectrale
US5621166A (en) * 1995-04-06 1997-04-15 Ford Motor Company Exhaust emissions analysis apparatus and method
GB9508343D0 (en) * 1995-04-25 1995-06-14 Renishaw Plc Spectroscopic apparatus
EP1061355A1 (en) 1999-06-18 2000-12-20 Instrumentarium Corporation A method and arrangement for radiation absorption measurements of gaseous media
WO2001063249A1 (fr) * 2000-02-28 2001-08-30 Atsuo Watanabe Photometre a balayage en longueur d'onde d'emission a filtre antiparasite
EP1150106A1 (de) * 2000-04-27 2001-10-31 Krieg, Gunther, Prof.Dr.Ing. Verfahren und Vorrichtung zur präzisen, quantitativen Stoffanalyse in Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen
US6744516B2 (en) * 2001-08-21 2004-06-01 Spx Corporation Optical path structure for open path emissions sensing
US7280214B2 (en) * 2002-06-04 2007-10-09 Baker Hughes Incorporated Method and apparatus for a high resolution downhole spectrometer
US6798518B2 (en) * 2002-06-04 2004-09-28 Baker Hughes Incorporated Method and apparatus for a derivative spectrometer
US7099003B2 (en) * 2003-05-09 2006-08-29 Delta Search Labs, Inc. Spectroscopic systems and methods
SE0602039L (sv) 2006-10-02 2008-01-08 Ulf Elman Anordning använd i våglängdsmodulationsspektroskopi och system med en sådan anordning
US8184293B2 (en) 2008-07-30 2012-05-22 Pason Systems Corp. Methods and systems for chemical composition measurement and monitoring using a rotating filter spectrometer
US8896839B2 (en) * 2008-07-30 2014-11-25 Pason Systems Corp. Multiplex tunable filter spectrometer
US10502949B2 (en) * 2018-04-04 2019-12-10 Irvine Sensors Corp. Multi-polygon laser scanner comprising pyramidal timing polygon
US11624704B2 (en) * 2020-05-27 2023-04-11 Utah State University Filter incidence narrow-band infrared spectrometer

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2834246A (en) * 1954-06-16 1958-05-13 Laurence W Foskett Method and apparatus for absorption spectra analysis
US3877812A (en) * 1973-01-31 1975-04-15 Wilks Scientific Corp Multiple wavelength spectrometer
CH610401A5 (ja) * 1976-09-14 1979-04-12 Balzers Hochvakuum
NO156306C (no) * 1984-07-19 1987-09-02 Elektrisk Bureau As Infrar fiberoptisk gassdetektor.
DE3518156C1 (de) * 1985-05-21 1986-09-18 Hellige Gmbh, 7800 Freiburg Derivativ-Spektrometer
DE3617123C2 (de) * 1985-07-04 1997-03-20 Cammann Karl Verfahren zur Selektivitätsverbesserung spektrometrischer Messungen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
GB9015800D0 (en) * 1990-07-18 1990-09-05 Secretary Trade Ind Brit Optical long-path monitoring apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020250272A1 (ja) * 2019-06-10 2020-12-17 株式会社ニコン 計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA2066816A1 (en) 1992-10-27
EP0510856A3 (en) 1993-12-22
EP0510856A2 (en) 1992-10-28
US5268745A (en) 1993-12-07

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