JPH06167640A - レーザー光照明装置 - Google Patents
レーザー光照明装置Info
- Publication number
- JPH06167640A JPH06167640A JP3284065A JP28406591A JPH06167640A JP H06167640 A JPH06167640 A JP H06167640A JP 3284065 A JP3284065 A JP 3284065A JP 28406591 A JP28406591 A JP 28406591A JP H06167640 A JPH06167640 A JP H06167640A
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- JP
- Japan
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- length
- fiber bundle
- laser
- fiber
- light source
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/48—Laser speckle optics
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザーなどの空間的にコヒーレントな光源
からの光を空間的にインコヒーレントな光に変換し、ス
ペックル雑音を除去する。 【構成】 レーザーからの光をファイバーバンドル
（１）に入射し、ファイバーバンドルの射出端から光を
取り出す。
からの光を空間的にインコヒーレントな光に変換し、ス
ペックル雑音を除去する。 【構成】 レーザーからの光をファイバーバンドル
（１）に入射し、ファイバーバンドルの射出端から光を
取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザーを光源とする
照明装置におけるスペックル雑音の除去装置に関する。
照明装置におけるスペックル雑音の除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術および、その問題点】レーザー顕微鏡、ホ
ログラフィー、リソグラフィー、ストロボスコピー、干
渉計測などのレーザーを光源に使用する分野では、散乱
光の干渉によって常にスペックル雑音が生じる。スペッ
クル雑音は、画像の質を著しく悪くするので、レーザー
を光源に使用する場合には、スペックル雑音を除去しな
ければならない。
ログラフィー、リソグラフィー、ストロボスコピー、干
渉計測などのレーザーを光源に使用する分野では、散乱
光の干渉によって常にスペックル雑音が生じる。スペッ
クル雑音は、画像の質を著しく悪くするので、レーザー
を光源に使用する場合には、スペックル雑音を除去しな
ければならない。
【０００３】スペックル雑音は、光源のコヒーレンスが
高いために生じる。従って、スペックル雑音は、光源の
時間的コヒーレンス、または空間的コヒーレンスを低く
することによって除去できる（T. M. Mckenchie: "Spe
ckle Reduction", in LaserSpeckle and Related Pheno
mena, J. C. Dainty, Ed., Springer-Verlag, Heidelbe
rg, 1984）。
高いために生じる。従って、スペックル雑音は、光源の
時間的コヒーレンス、または空間的コヒーレンスを低く
することによって除去できる（T. M. Mckenchie: "Spe
ckle Reduction", in LaserSpeckle and Related Pheno
mena, J. C. Dainty, Ed., Springer-Verlag, Heidelbe
rg, 1984）。
【０００４】時間的コヒーレンスを減少させる手段とし
ては、白色光を用いる方法、多波長で多重露光し積算す
る方法、レーザーの発振スペクトルを広げる方法などが
提案されている。しかし、準単色光源を用いる場合には
時間的なコヒーレンスを減少させることは困難なので、
空間コヒーレンスを減少させる方法のほうが一般的であ
る。
ては、白色光を用いる方法、多波長で多重露光し積算す
る方法、レーザーの発振スペクトルを広げる方法などが
提案されている。しかし、準単色光源を用いる場合には
時間的なコヒーレンスを減少させることは困難なので、
空間コヒーレンスを減少させる方法のほうが一般的であ
る。
【０００５】空間的コヒーレンスを減少させる方法で
は、レーザー光源と等価な疑似点光源の位置を空間的に
走査する。点光源の位置を走査して得られる疑似光源
は、空間的に拡がりを持つ部分コヒーレントな光源にな
り、空間コヒーレンスが減少する。従って、点光源を走
査することによって得られる部分的に相関を持つ多数枚
の画像を積算すれば、スペックル雑音を除去できる。
は、レーザー光源と等価な疑似点光源の位置を空間的に
走査する。点光源の位置を走査して得られる疑似光源
は、空間的に拡がりを持つ部分コヒーレントな光源にな
り、空間コヒーレンスが減少する。従って、点光源を走
査することによって得られる部分的に相関を持つ多数枚
の画像を積算すれば、スペックル雑音を除去できる。
【０００６】空間的コヒーレンスを減少させてスペック
ル雑音を除去する方法は、多数枚の画像を一枚ずつ作っ
て積算する方法と、多数枚の画像を同時に作って積算す
る方法の二種類に分類できる。
ル雑音を除去する方法は、多数枚の画像を一枚ずつ作っ
て積算する方法と、多数枚の画像を同時に作って積算す
る方法の二種類に分類できる。
【０００７】多数枚の画像を一枚ずつ時間的に積算して
スペックル雑音を除去する方法では、光源面（C. Salom
a, S. Kawata and S. Minami: Appl. Opt., Vol.29, 74
1-742,1990; Opt. Lett., Vol. 15, 203-205,1990.）や
物体面（T. Wilson and C. J. R. Sheppard: Theory an
d Practice of Scanning Optical microscope, Academi
c Press 1983）瞳面（J. C. Dainty and W. T. Welfor
d: Opt. Comm., Vol. 3, 289-294, 1983.）あるいは像
面（J. C. Dainty and W. T. Welford: Opt. Comm., Vo
l. 3, 289-294, 1983.）などの光学系の一つの面に何ら
かの走査機構をもつ。物体面で開口を走査する場合を除
いては、相関をもたない多数の画像が、連続的な走査に
よって容易に得られる。
スペックル雑音を除去する方法では、光源面（C. Salom
a, S. Kawata and S. Minami: Appl. Opt., Vol.29, 74
1-742,1990; Opt. Lett., Vol. 15, 203-205,1990.）や
物体面（T. Wilson and C. J. R. Sheppard: Theory an
d Practice of Scanning Optical microscope, Academi
c Press 1983）瞳面（J. C. Dainty and W. T. Welfor
d: Opt. Comm., Vol. 3, 289-294, 1983.）あるいは像
面（J. C. Dainty and W. T. Welford: Opt. Comm., Vo
l. 3, 289-294, 1983.）などの光学系の一つの面に何ら
かの走査機構をもつ。物体面で開口を走査する場合を除
いては、相関をもたない多数の画像が、連続的な走査に
よって容易に得られる。
【０００８】物体走査（共焦点系）においては、物体上
の点を点検出器上に結像してスペックル雑音の影響を受
けない構成にしている。
の点を点検出器上に結像してスペックル雑音の影響を受
けない構成にしている。
【０００９】以上、前記の方法を用いて、スペックル雑
音を効果的に除去できるが、これらにはいくつかの問題
点がある。例えば、走査機構を用いる方法では、積算の
ために長い時間が必要となる。これは、高速現象の観察
を制限する。また、光源走査のための音響光学素子やガ
ルバノミラー、物体走査のための高精度のＸＹＺステー
ジ、あるいは像面や瞳面で開口を走査するための装置な
どの精巧な機器が必要である。その他に共焦点系などで
は、像を正確に再構成するための後処理なども必要とな
る。
音を効果的に除去できるが、これらにはいくつかの問題
点がある。例えば、走査機構を用いる方法では、積算の
ために長い時間が必要となる。これは、高速現象の観察
を制限する。また、光源走査のための音響光学素子やガ
ルバノミラー、物体走査のための高精度のＸＹＺステー
ジ、あるいは像面や瞳面で開口を走査するための装置な
どの精巧な機器が必要である。その他に共焦点系などで
は、像を正確に再構成するための後処理なども必要とな
る。
【００１０】一方、空間的に一度に多数枚の画像を作っ
て積算することによりスペックルを除去する方法では、
回折格子（H. J. Gerritsen, W. J. Hanman and E. G.
Ramberg: Appl. Opt., Vol. 7, 2301-2311, 1968.）
や、メッシュスクリーン（G. B.Brandt: Appl. Opt., V
ol. 12, 368-371, 1971.）や拡散板（S. Lowenthal and
D. Joyeux: J. Opt. Soc. Am., Vol. 61, 847-851,197
1.）などの分散素子を用いて、有限の領域に拡がった多
数の点光源を同時に作り出す。この方法では、多数の点
光源を一度に作るので、時間的な積算を必要としない。
これらの光源の相関がなくなれば、これらの光源は空間
的に拡がりを持つインコヒーレントな光源と見なすこと
ができ、スペックル雑音を除去することができる。
て積算することによりスペックルを除去する方法では、
回折格子（H. J. Gerritsen, W. J. Hanman and E. G.
Ramberg: Appl. Opt., Vol. 7, 2301-2311, 1968.）
や、メッシュスクリーン（G. B.Brandt: Appl. Opt., V
ol. 12, 368-371, 1971.）や拡散板（S. Lowenthal and
D. Joyeux: J. Opt. Soc. Am., Vol. 61, 847-851,197
1.）などの分散素子を用いて、有限の領域に拡がった多
数の点光源を同時に作り出す。この方法では、多数の点
光源を一度に作るので、時間的な積算を必要としない。
これらの光源の相関がなくなれば、これらの光源は空間
的に拡がりを持つインコヒーレントな光源と見なすこと
ができ、スペックル雑音を除去することができる。
【００１１】これらの点光源同士の相関は、回転拡散板
を用いたり(H. J. Gerritsen, W. J. Hanman and E. G.
Ramberg: Appl. Opt., Vol. 7, 2301-2311, 1968; G.
B. Brandt: Appl. Opt., Vol. 12, 368-371, 1971; S.
Lowenthal and D. Joyeux: J. Opt. Soc. Am., Vol. 6
1, 847-851,1971.)、回折格子やスクリーンメッシュや
拡散板をピエゾ素子によって動かす(C. S. Ih and L.
A. Baxter: Appl. Opt.,Vol.17, 1447-1454, 1978)こと
によってなくすことができる。例えば、回転拡散板によ
って回折格子などに入射する前に光の位相を乱せば、互
いに相関を持たない多数の準単色点光源を作ることがで
きる。
を用いたり(H. J. Gerritsen, W. J. Hanman and E. G.
Ramberg: Appl. Opt., Vol. 7, 2301-2311, 1968; G.
B. Brandt: Appl. Opt., Vol. 12, 368-371, 1971; S.
Lowenthal and D. Joyeux: J. Opt. Soc. Am., Vol. 6
1, 847-851,1971.)、回折格子やスクリーンメッシュや
拡散板をピエゾ素子によって動かす(C. S. Ih and L.
A. Baxter: Appl. Opt.,Vol.17, 1447-1454, 1978)こと
によってなくすことができる。例えば、回転拡散板によ
って回折格子などに入射する前に光の位相を乱せば、互
いに相関を持たない多数の準単色点光源を作ることがで
きる。
【００１２】前記の方法では、時間的に画像を一枚ずつ
積算する方法に比較して、実時間でしかも精巧な機器を
使うことなくスペックルを除去できる。しかしながら、
この方法には、装置が機械的な駆動部分をもつこと、お
よび光が拡散板の微細構造によって散乱されるためエネ
ルギーの損失が大きいという問題点がある。
積算する方法に比較して、実時間でしかも精巧な機器を
使うことなくスペックルを除去できる。しかしながら、
この方法には、装置が機械的な駆動部分をもつこと、お
よび光が拡散板の微細構造によって散乱されるためエネ
ルギーの損失が大きいという問題点がある。
【００１３】従来の空間的にコヒーレントな光を空間的
にインコヒーレントな光に変換してスペックル雑音を除
去する装置では、積算のために長い時間を要する、装置
に機械的駆動部分を持つ、光が拡散板の微細構造によっ
て散乱されるためにエネルギーの損失が大きいという問
題点があった。
にインコヒーレントな光に変換してスペックル雑音を除
去する装置では、積算のために長い時間を要する、装置
に機械的駆動部分を持つ、光が拡散板の微細構造によっ
て散乱されるためにエネルギーの損失が大きいという問
題点があった。
【００１４】本発明は、光学系に機械的駆動部分をもた
ず、積算のための時間を必要とせず、かつ光源からのエ
ネルギーの損失を小さく抑えながら、空間的にコヒーレ
ントな光を空間的にインコヒーレントな光に変換するこ
とを課題としている。
ず、積算のための時間を必要とせず、かつ光源からのエ
ネルギーの損失を小さく抑えながら、空間的にコヒーレ
ントな光を空間的にインコヒーレントな光に変換するこ
とを課題としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、任意の２本の
光ファイバーの長さの差が光源のコヒーレンス長よりも
大きい多数の光ファイバーから構成されるファイバーバ
ンドルを用いることを基本的特徴とする。
光ファイバーの長さの差が光源のコヒーレンス長よりも
大きい多数の光ファイバーから構成されるファイバーバ
ンドルを用いることを基本的特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明で用いるファイバーバンドルの構成を図
１に示す。レーザーのコヒーレンス長をLccとすれば、
ｍ番目のファイバーの長さLmは次式で与えられる。 Lm = Lc + (m - 1) Ld （Ld≧Lcc、Lc;任意の長さ） （１） ここで、ｍはそれぞれのファイバーを表す整数、Lmはm
番目のファイバーの長さ、Lcは最短のファイバーの長さ
で任意でよい。Ldはレーザーのコヒーレンス長より長く
とる。ファイバーバンドルは、まず第一に空間的に拡が
ったN個の点光源を作り、次にこのN個の点光源間の相関
をなくす機能をもつ。
１に示す。レーザーのコヒーレンス長をLccとすれば、
ｍ番目のファイバーの長さLmは次式で与えられる。 Lm = Lc + (m - 1) Ld （Ld≧Lcc、Lc;任意の長さ） （１） ここで、ｍはそれぞれのファイバーを表す整数、Lmはm
番目のファイバーの長さ、Lcは最短のファイバーの長さ
で任意でよい。Ldはレーザーのコヒーレンス長より長く
とる。ファイバーバンドルは、まず第一に空間的に拡が
ったN個の点光源を作り、次にこのN個の点光源間の相関
をなくす機能をもつ。
【００１７】前記の方法を用いれば、コヒーレント照明
に比べて、像全体の信号対雑音比（SN比）は、ファイバ
ーバンドルを構成するファイバーの本数Nの1/2乗に比例
して改善される。
に比べて、像全体の信号対雑音比（SN比）は、ファイバ
ーバンドルを構成するファイバーの本数Nの1/2乗に比例
して改善される。
【００１８】本発明のファイバーバンドルを用いること
によって、機械的駆動部分なしに、積算のための時間を
必要とせず、かつエネルギーの損失を最小に押さえて、
画像のSN比を改善することができる。
によって、機械的駆動部分なしに、積算のための時間を
必要とせず、かつエネルギーの損失を最小に押さえて、
画像のSN比を改善することができる。
【００１９】また、光ファイバーは柔軟性をもつので、
ファイバーバンドルの射出端を任意の形に並べることが
できる。射出端を輪帯や、１次元あるいは２次元のアレ
イ状に並べることにより、光源の空間コヒーレンスを任
意に制御できる。この照明は、普通のファイバーバンド
ルによっても実現できるが、本発明のファイバーバンド
ルでは、様々な照明法を行なうと同時にコヒーレント光
からインコヒーレント光を作り出すことができる。
ファイバーバンドルの射出端を任意の形に並べることが
できる。射出端を輪帯や、１次元あるいは２次元のアレ
イ状に並べることにより、光源の空間コヒーレンスを任
意に制御できる。この照明は、普通のファイバーバンド
ルによっても実現できるが、本発明のファイバーバンド
ルでは、様々な照明法を行なうと同時にコヒーレント光
からインコヒーレント光を作り出すことができる。
【００２０】シングルモードファイバーでは、ファイバ
ー内を光が伝搬することによって生じるスペックル雑音
は現われない。この特性を応用すれば、ファイバーバン
ドルにシングルモードファイバーを用いてれば、より効
果的にスペックル雑音を除去できる。
ー内を光が伝搬することによって生じるスペックル雑音
は現われない。この特性を応用すれば、ファイバーバン
ドルにシングルモードファイバーを用いてれば、より効
果的にスペックル雑音を除去できる。
【００２１】このスペックル除去は、ファイバー以外に
も、平行に配置した２枚のミラーにレーザー光を斜入射
し、ミラーによって多重反射した各レーザービームを取
り出すことによっても実現できる。この時、２枚のミラ
ーの間隔は光源のコヒーレンス長の１／２より大きく取
る。光が２枚のミラー間を１往復する光路差は、光源の
コヒーレンス長より長いため、各多重反射光は互いにイ
ンコヒーレントとなる。一方のミラーは粗面であっても
よい。また、２枚のミラーの代わりに、プリズムを用い
ても実現できる。
も、平行に配置した２枚のミラーにレーザー光を斜入射
し、ミラーによって多重反射した各レーザービームを取
り出すことによっても実現できる。この時、２枚のミラ
ーの間隔は光源のコヒーレンス長の１／２より大きく取
る。光が２枚のミラー間を１往復する光路差は、光源の
コヒーレンス長より長いため、各多重反射光は互いにイ
ンコヒーレントとなる。一方のミラーは粗面であっても
よい。また、２枚のミラーの代わりに、プリズムを用い
ても実現できる。
【００２２】
【実施例】スペックル除去における本手法の一実施例
を、図２に示す。この光学系は、一つの結像レンズ
（６）と半導体レーザ（３）と本発明で提案する手法に
基づいて試作したファイバーバンドル（２）から構成さ
れる。半導体レーザ（３）の出力光は、カップリングレ
ンズ（４）によってファイバーバンドル（２）に入射す
る。
を、図２に示す。この光学系は、一つの結像レンズ
（６）と半導体レーザ（３）と本発明で提案する手法に
基づいて試作したファイバーバンドル（２）から構成さ
れる。半導体レーザ（３）の出力光は、カップリングレ
ンズ（４）によってファイバーバンドル（２）に入射す
る。
【００２３】本実施例では、ステップインデックス型の
マルチモードファイバーを使用した。ファイバーの射出
端は、アレイまたはバンドル状に並べられる。ファイバ
ーアレイの射出端は、空間的に拡がりをもつインコヒー
レントな二次光源になる。ケーラー照明を行うためにそ
れぞれのファイバーからの光をレンズ（５）を用いてコ
リメートする。物体（２０）はレンズ（６）によって、
像面（２１）上に結像される。
マルチモードファイバーを使用した。ファイバーの射出
端は、アレイまたはバンドル状に並べられる。ファイバ
ーアレイの射出端は、空間的に拡がりをもつインコヒー
レントな二次光源になる。ケーラー照明を行うためにそ
れぞれのファイバーからの光をレンズ（５）を用いてコ
リメートする。物体（２０）はレンズ（６）によって、
像面（２１）上に結像される。
【００２４】図３に、本実施例を用いて、解像力チャー
トを撮影した例を示す。図３の（ａ）、（ｂ）は、それ
ぞれ１本、１６本のマルチモードファイバーの出力光に
よる像である。図３（ａ）に比べて、（ｂ）は、スペッ
クル雑音が効果的に除去されており、解像力チャートと
バックグラウンドとのコントラストも向上しているのが
確かめられる。
トを撮影した例を示す。図３の（ａ）、（ｂ）は、それ
ぞれ１本、１６本のマルチモードファイバーの出力光に
よる像である。図３（ａ）に比べて、（ｂ）は、スペッ
クル雑音が効果的に除去されており、解像力チャートと
バックグラウンドとのコントラストも向上しているのが
確かめられる。
【００２５】図３の撮影結果例から、粒状のスペックル
雑音の直径は、ファイバーが増加するにしたがって小さ
くなっていることがわかる。また、この直径は、光源の
開口の大きさに反比例する。
雑音の直径は、ファイバーが増加するにしたがって小さ
くなっていることがわかる。また、この直径は、光源の
開口の大きさに反比例する。
【００２６】全部等しい長さのファイバーで構成される
通常のファイバーバンドルと、本実施例のファイバーバ
ンドルを比較した撮影結果を図４に示す。両者におい
て、ファイバーの本数は１６本にした。図４の（ａ）
は、通常のファイバーバンドルの出力光による像、
（ｂ）は試作したファイバーバンドルの出力光による像
である。図４の（ａ）では、それぞれのファイバーから
の光の干渉による多数のスペックル雑音が存在してい
る。一方、試作したファイバーバンドルによる像（ｂ）
では、スペックル雑音が非常によく除去されている。
通常のファイバーバンドルと、本実施例のファイバーバ
ンドルを比較した撮影結果を図４に示す。両者におい
て、ファイバーの本数は１６本にした。図４の（ａ）
は、通常のファイバーバンドルの出力光による像、
（ｂ）は試作したファイバーバンドルの出力光による像
である。図４の（ａ）では、それぞれのファイバーから
の光の干渉による多数のスペックル雑音が存在してい
る。一方、試作したファイバーバンドルによる像（ｂ）
では、スペックル雑音が非常によく除去されている。
【００２７】スペックル雑音はファイバーの本数の1/2
乗に比例して減少するので、ファイバーの本数を増やす
ことにより画像の質は改善される。
乗に比例して減少するので、ファイバーの本数を増やす
ことにより画像の質は改善される。
【００２８】入射端の直径が大きく、射出端の直径が小
さいシングルモードファイバーを用いれば、ファイバー
によるスペックル雑音なしにより多くの光を伝達でき
る。
さいシングルモードファイバーを用いれば、ファイバー
によるスペックル雑音なしにより多くの光を伝達でき
る。
【００２９】
【発明の効果】空間的にコヒーレントな光を空間的にイ
ンコヒーレントな光に変換する本発明のファイバーバン
ドルを使用すれば、レーザーなどのコヒーレンスの高い
光源を、光学顕微鏡、リソグラフィー、ホログラフィ
ー、ストロボスコピーおよび光計測などの分野において
スペックル雑音を生じない光源として利用できる。本発
明のファイバーバンドルにより、高いSN比の出力信号ま
たは画像を得ることができる。
ンコヒーレントな光に変換する本発明のファイバーバン
ドルを使用すれば、レーザーなどのコヒーレンスの高い
光源を、光学顕微鏡、リソグラフィー、ホログラフィ
ー、ストロボスコピーおよび光計測などの分野において
スペックル雑音を生じない光源として利用できる。本発
明のファイバーバンドルにより、高いSN比の出力信号ま
たは画像を得ることができる。
【図１】本発明で提案するファイバーバンドルの構成図
である。
である。
【図２】本発明の一実施例を示している。
【図３】図２の実施例によって撮影した解像力チャート
写真である。
写真である。
【図４】通常のファイバーバンドルと図２の実施例によ
って撮影した解像力チャート写真である。
って撮影した解像力チャート写真である。
１、２ ファイバーバンドル １１、１２、１３、１４、１５ ファイバー
Claims (2)
- 【請求項１】 任意の光ファイバーの長さの差が光源の
コヒーレンス長よりも大きいファイバーバンドルと、レ
ーザー光源とを備えることを特徴とするレーザー光照明
装置。 - 【請求項２】 前記ファイバーバンドルは、その射出端
において光ファイバーの配列を変えることにより照明光
の空間コヒーレンスを制御することを特徴とする請求項
１記載のレーザー光照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3284065A JPH06167640A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レーザー光照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3284065A JPH06167640A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レーザー光照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06167640A true JPH06167640A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=17673839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3284065A Pending JPH06167640A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レーザー光照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06167640A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999040474A1 (fr) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sony Corporation | Procede et appareil de reduction de la coherence de la lumiere, procede et appareil d'eclairage et faisceau de fibres |
| JP2005337851A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP2008043493A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Olympus Corp | 蛍光内視鏡システム |
| US7670027B2 (en) | 2006-01-31 | 2010-03-02 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Laser illuminator |
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