JPH0616985B2 - ワイヤソ−における切断方法 - Google Patents
ワイヤソ−における切断方法Info
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- JPH0616985B2 JPH0616985B2 JP61095443A JP9544386A JPH0616985B2 JP H0616985 B2 JPH0616985 B2 JP H0616985B2 JP 61095443 A JP61095443 A JP 61095443A JP 9544386 A JP9544386 A JP 9544386A JP H0616985 B2 JPH0616985 B2 JP H0616985B2
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- JP
- Japan
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- oil
- temperature
- metal sleeve
- groove
- roller
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体材料、磁性材料、セラミックス等のい
わゆる脆性材料をワイヤによりウエハ状に切断する方法
に関する。
わゆる脆性材料をワイヤによりウエハ状に切断する方法
に関する。
従来技術とその問題点 上記ワイヤソーによる切断状況を第５図に示す。複数の
多溝ローラ５０（以下単に溝ローラという）に１本のワ
イヤ５１を周回させ、該溝ローラ５０の所定ピッチのワ
イヤがガイド溝（以下単に溝という）にワイヤ５１を収
納することによって所定ピッチのワイヤ列５２を形成
し、該ワイヤ列を走行させるとともに、ワイヤ５３の摺
動部分に砥粒を含む加工液５４を供給しながらワーク５
３を押上げ、砥粒の研削作用によって所定厚さの製品５
５（以下ウエハという）を切断する。
多溝ローラ５０（以下単に溝ローラという）に１本のワ
イヤ５１を周回させ、該溝ローラ５０の所定ピッチのワ
イヤがガイド溝（以下単に溝という）にワイヤ５１を収
納することによって所定ピッチのワイヤ列５２を形成
し、該ワイヤ列を走行させるとともに、ワイヤ５３の摺
動部分に砥粒を含む加工液５４を供給しながらワーク５
３を押上げ、砥粒の研削作用によって所定厚さの製品５
５（以下ウエハという）を切断する。
切断されたウエハに要求される寸法精度としては、厚さ
変動と切断面の平坦度が重要であり、特にエレクトロニ
クス分野においてはミクロンオーダーの精度が問題とさ
れる。従来のワイヤソー切断においてはウエハと寸法精
度が必ずしも十分ではなく、切断後のラップ加工によっ
て必要な寸法を得るのが通例であった。切断されたウエ
ハの寸法精度が向上すれば、ラップ工程の研摩しろを減
少させることができるので、ラップ加工時間の減少や材
料歩留の向上等の利点を生ずる。ワイヤソー切断におけ
る精度不良の原因として従来から言われているのは、砥
粒及びワークとの摺動によって発熱したワイヤが溝ロー
ラに巻付くことによる溝ピッチの変化とそれによる溝位
置の移動である。
変動と切断面の平坦度が重要であり、特にエレクトロニ
クス分野においてはミクロンオーダーの精度が問題とさ
れる。従来のワイヤソー切断においてはウエハと寸法精
度が必ずしも十分ではなく、切断後のラップ加工によっ
て必要な寸法を得るのが通例であった。切断されたウエ
ハの寸法精度が向上すれば、ラップ工程の研摩しろを減
少させることができるので、ラップ加工時間の減少や材
料歩留の向上等の利点を生ずる。ワイヤソー切断におけ
る精度不良の原因として従来から言われているのは、砥
粒及びワークとの摺動によって発熱したワイヤが溝ロー
ラに巻付くことによる溝ピッチの変化とそれによる溝位
置の移動である。
第４図に従来使用されている溝ローラ５０の構造の一例
を示し、機械本体側に支持されたベアリング軸２７に樹
脂スリーブ２５を嵌装した金属スリーブ４０が同心状態
でボルト２６によって締付け固定されている。ベアリン
グ軸２７は軸受６４で、また金属スリーブ４０の片端は
軸受４１で回転可能に支えられて溝ローラ全体が回転す
る。溝ローラは砥液が飛散する環境で使用されるので、
軸受部への砥液の侵入を防止する必要があり、エアー供
給口４２、６３よりエアーを吹込んで金属スリーブ４０
とカバー４３の間から吹き出す方法がとられている。樹
脂スリーブ２５の外周面には、所定ピッチで溝が刻設さ
れており、該スリーブ２５の両端は金属スリーブのフラ
ンジ４０ａと押え板６１を介して取付けられたナット６
０で締付けられている。溝を樹脂スリーブ２５に加工す
るのは、砥粒が付着したワイヤが巻付くことによる摩耗
や切込みを抑制するためであり、樹脂としては耐摩耗性
にすぐれたものが選定される。樹脂のかわりに耐摩耗性
が良好なセラミックスを使用する例もあるが、溝加工の
コストがかさむために樹脂が多用されている。樹脂スリ
ーブ２５にワイヤの熱が伝わると、溝が加工してある表
面とその近傍が軸方向に膨張する。樹脂は線膨張係数が
極めて大きい（鋼１０〜２０倍）ために、溝ピッチの変
化が累積される樹脂スリーブの端部近傍での溝位置の移
動が問題となる。そこで、実開昭５８−５９５５８（実
開昭５６−１５２８４０）に記載されているごとき樹脂
スリーブの冷却による熱膨張抑制方法が提案されてい
る。
を示し、機械本体側に支持されたベアリング軸２７に樹
脂スリーブ２５を嵌装した金属スリーブ４０が同心状態
でボルト２６によって締付け固定されている。ベアリン
グ軸２７は軸受６４で、また金属スリーブ４０の片端は
軸受４１で回転可能に支えられて溝ローラ全体が回転す
る。溝ローラは砥液が飛散する環境で使用されるので、
軸受部への砥液の侵入を防止する必要があり、エアー供
給口４２、６３よりエアーを吹込んで金属スリーブ４０
とカバー４３の間から吹き出す方法がとられている。樹
脂スリーブ２５の外周面には、所定ピッチで溝が刻設さ
れており、該スリーブ２５の両端は金属スリーブのフラ
ンジ４０ａと押え板６１を介して取付けられたナット６
０で締付けられている。溝を樹脂スリーブ２５に加工す
るのは、砥粒が付着したワイヤが巻付くことによる摩耗
や切込みを抑制するためであり、樹脂としては耐摩耗性
にすぐれたものが選定される。樹脂のかわりに耐摩耗性
が良好なセラミックスを使用する例もあるが、溝加工の
コストがかさむために樹脂が多用されている。樹脂スリ
ーブ２５にワイヤの熱が伝わると、溝が加工してある表
面とその近傍が軸方向に膨張する。樹脂は線膨張係数が
極めて大きい（鋼１０〜２０倍）ために、溝ピッチの変
化が累積される樹脂スリーブの端部近傍での溝位置の移
動が問題となる。そこで、実開昭５８−５９５５８（実
開昭５６−１５２８４０）に記載されているごとき樹脂
スリーブの冷却による熱膨張抑制方法が提案されてい
る。
ところで、ワイヤの発熱はワークの材質によって変化す
るほか、ワイヤの長さが断面寸法等ワークとワイヤの摺
動長さによっても変化する。例えば、円形断面のワーク
の場合には切断過程によっても摺動長さが変化する。ま
た、切断の進行にともなうワークの温度変化や、循環使
用する砥液の微細化、狭幅の切断部位への砥液供給量の
変化等、ワイヤの発熱量を変動させる要因は複雑であ
る。したがって、現実問題として、ワイヤの発熱量に応
じて樹脂スリーブの冷却を制御することは極めて困難と
なる。
るほか、ワイヤの長さが断面寸法等ワークとワイヤの摺
動長さによっても変化する。例えば、円形断面のワーク
の場合には切断過程によっても摺動長さが変化する。ま
た、切断の進行にともなうワークの温度変化や、循環使
用する砥液の微細化、狭幅の切断部位への砥液供給量の
変化等、ワイヤの発熱量を変動させる要因は複雑であ
る。したがって、現実問題として、ワイヤの発熱量に応
じて樹脂スリーブの冷却を制御することは極めて困難と
なる。
発明の目的 この発明はこのような背景のもとになされたものであ
り、簡便な方法で溝ローラの溝位置を安定化させて切断
精度を向上させる方法を提案しようとするものである。
り、簡便な方法で溝ローラの溝位置を安定化させて切断
精度を向上させる方法を提案しようとするものである。
発明の構成 この発明者は、ワイヤソー切断における溝ローラ全体の
温度変化に着目して詳細な調査を行った結果、切断能率
を向上させるためにワイヤを高速走行させるワイヤソー
においては、軸受６４、４１で発生する熱が樹脂スリー
ブ２５に伝わることによる切断精度の劣化が問題である
ことを見出したのである。これにより、樹脂スリーブ２
５のみを直接的に冷却するのではなく、熱発生源である
軸受部の温度を一定に制御し、ひいては金属スリーブ４
０の温度を一定にすることによって金属スリーブのフラ
ンジ４０ａと押え板６１の間隔を一定に保ち、これによ
って切断精度を大幅に向上させる方法を発明するに至っ
たのである。
温度変化に着目して詳細な調査を行った結果、切断能率
を向上させるためにワイヤを高速走行させるワイヤソー
においては、軸受６４、４１で発生する熱が樹脂スリー
ブ２５に伝わることによる切断精度の劣化が問題である
ことを見出したのである。これにより、樹脂スリーブ２
５のみを直接的に冷却するのではなく、熱発生源である
軸受部の温度を一定に制御し、ひいては金属スリーブ４
０の温度を一定にすることによって金属スリーブのフラ
ンジ４０ａと押え板６１の間隔を一定に保ち、これによ
って切断精度を大幅に向上させる方法を発明するに至っ
たのである。
すなわち、この発明の要旨は、金属スリーブの外周に樹
脂スリーブを嵌装した構造の多溝ローラを複数個所定間
隔で配し、ローラの溝にワイヤを多数回巻付けて走行さ
せつつ被切断材をワイヤに押し当てて切断するワイヤソ
ーによる切断方法であって、前記多溝ローラの金属スリ
ーブ内に冷却オイルを通過させ、少なくとも多溝ローラ
の中心軸となる金属スリーブ固定ボルト、該固定ボルト
に嵌装された金属スリーブおよびローラ両端部の軸受を
冷却するとともに、冷却後のオイル温度を多溝ローラ出
口側で測定し、測定値と設定温度との差を求め、オイル
供給系において前記温度差に応じてオイル温度を制御
し、所定温度になったオイルを多溝ローラに供給しなが
ら切断する方法である。
脂スリーブを嵌装した構造の多溝ローラを複数個所定間
隔で配し、ローラの溝にワイヤを多数回巻付けて走行さ
せつつ被切断材をワイヤに押し当てて切断するワイヤソ
ーによる切断方法であって、前記多溝ローラの金属スリ
ーブ内に冷却オイルを通過させ、少なくとも多溝ローラ
の中心軸となる金属スリーブ固定ボルト、該固定ボルト
に嵌装された金属スリーブおよびローラ両端部の軸受を
冷却するとともに、冷却後のオイル温度を多溝ローラ出
口側で測定し、測定値と設定温度との差を求め、オイル
供給系において前記温度差に応じてオイル温度を制御
し、所定温度になったオイルを多溝ローラに供給しなが
ら切断する方法である。
溝ローラ出口側でオイル温度を測定し、設定温度との差
を求めてオイル温度を制御し、温度制御されたオイルを
溝ローラに供給する方法をとったのは、溝ローラの入側
と出側とでは必然的に温度差が生じるため、オイルを所
定の温度で溝ローラに供給するためには所定の温度差に
なるように制御する必要があり、また溝ローラに供給す
るオイルの温度を所定温度にするためのタンク内オイル
温度のコントロールを少しでも迅速に行うためである。
を求めてオイル温度を制御し、温度制御されたオイルを
溝ローラに供給する方法をとったのは、溝ローラの入側
と出側とでは必然的に温度差が生じるため、オイルを所
定の温度で溝ローラに供給するためには所定の温度差に
なるように制御する必要があり、また溝ローラに供給す
るオイルの温度を所定温度にするためのタンク内オイル
温度のコントロールを少しでも迅速に行うためである。
次に、溝ローラ内に冷却オイルを通過させローラを冷却
するに際し、少なくとも第１図（この発明方法を実施す
るための溝ローラの構造例）に示す金属スリーブ固定ボ
ルト２６、金属スリーブ１およびローラ両端部の軸受６
−１、６−２を冷却する必要がある。金属スリーブ固定
ボルト２６を冷却するのは、これの熱膨張によって金属
スリーブ１の軸方向締付力が低下し、著しい場合には遊
びが生じて金属スリーブ１の軸方向位置が不安定となっ
て切断精度が損なわれることを防止するためである。
するに際し、少なくとも第１図（この発明方法を実施す
るための溝ローラの構造例）に示す金属スリーブ固定ボ
ルト２６、金属スリーブ１およびローラ両端部の軸受６
−１、６−２を冷却する必要がある。金属スリーブ固定
ボルト２６を冷却するのは、これの熱膨張によって金属
スリーブ１の軸方向締付力が低下し、著しい場合には遊
びが生じて金属スリーブ１の軸方向位置が不安定となっ
て切断精度が損なわれることを防止するためである。
なお、樹脂スリーブは、金属スリーブが冷却されている
ので間接的に冷却されており、したがって樹脂スリーブ
を直接冷却する必要はない。
ので間接的に冷却されており、したがって樹脂スリーブ
を直接冷却する必要はない。
以下、この発明方法を図面に基づいて説明する。
第１図はこの発明方法を実施するための溝ローラの構造
例を示す断面図、第２図は同上溝ローラの温度制御系の
一例を示す概略図である。
例を示す断面図、第２図は同上溝ローラの温度制御系の
一例を示す概略図である。
第１図に示す溝ローラは、第４図に示すエアーブロー方
式の溝ローラと同様のものであるが、冷却媒体にオイル
を用いる関係上、軸受部分が異なっている。
式の溝ローラと同様のものであるが、冷却媒体にオイル
を用いる関係上、軸受部分が異なっている。
すなわち、溝ローラのオイル供給側は軸受６−１にて支
持された金属スリーブ１の端部に主油路２に連通する潤
滑油路３−１を設けるとともに、金属スリーブ１と軸受
カバー４−１との間にパッキン５−１を取付けて密閉シ
ール構造となっている。２６は金属スリーブ固定ボルト
である。また、オイル出口側は軸受６−２にて支持され
たベアリング軸２７と金属スリーブ固定ボルト２６とが
接続され、金属スリーブ１の端部に軸受６−２に連通す
る潤滑油路３−２を設けるとともに、金属スリーブと軸
受カバー４−２との間にパッキン５−２を取付けて密閉
シール構造となっている。
持された金属スリーブ１の端部に主油路２に連通する潤
滑油路３−１を設けるとともに、金属スリーブ１と軸受
カバー４−１との間にパッキン５−１を取付けて密閉シ
ール構造となっている。２６は金属スリーブ固定ボルト
である。また、オイル出口側は軸受６−２にて支持され
たベアリング軸２７と金属スリーブ固定ボルト２６とが
接続され、金属スリーブ１の端部に軸受６−２に連通す
る潤滑油路３−２を設けるとともに、金属スリーブと軸
受カバー４−２との間にパッキン５−２を取付けて密閉
シール構造となっている。
上記構造の場合、オイル供給口７から供給されたオイル
は、軸受６−１および潤滑油路３−１を通って主油路２
に流入し、金属スリーブ１内を通流し、出側の潤滑油路
３−２より軸受６−２に流入し、オイル排出口８より排
出される。
は、軸受６−１および潤滑油路３−１を通って主油路２
に流入し、金属スリーブ１内を通流し、出側の潤滑油路
３−２より軸受６−２に流入し、オイル排出口８より排
出される。
次に、第２図に示す温度制御系について説明する。
まず、オイルはオイルタンク１０よりポンプ１１によっ
て吸引・昇圧し溝ローラＡ、Ｂへ供給され、溝ローラを
出たオイルは再びオイルタンク１０へ戻されて循環使用
されるようになっている。上記オイルタンク１０は、タ
ンク内オイル温度を均一化するための攪拌装置１２、初
期温度調整を目的とした電熱ヒーター１３、オイル冷却
用水冷チューブ１４およびオイル温度計１５を備え、オ
イルを所定の温度に制御する機能を有している。１６、
１７は溝ローラＡ、Ｂのオイル排出口近傍に設けたオイ
ル温度計、１８はオイルタンク１０内のオイル温度制御
装置、１９は溝ローラ温度制御装置である。２０は圧力
計、２１は圧力制御弁、２２、２３はオイル流量調整
弁、２４は冷却水流量調整弁である。
て吸引・昇圧し溝ローラＡ、Ｂへ供給され、溝ローラを
出たオイルは再びオイルタンク１０へ戻されて循環使用
されるようになっている。上記オイルタンク１０は、タ
ンク内オイル温度を均一化するための攪拌装置１２、初
期温度調整を目的とした電熱ヒーター１３、オイル冷却
用水冷チューブ１４およびオイル温度計１５を備え、オ
イルを所定の温度に制御する機能を有している。１６、
１７は溝ローラＡ、Ｂのオイル排出口近傍に設けたオイ
ル温度計、１８はオイルタンク１０内のオイル温度制御
装置、１９は溝ローラ温度制御装置である。２０は圧力
計、２１は圧力制御弁、２２、２３はオイル流量調整
弁、２４は冷却水流量調整弁である。
すなわち、オイルタンク１０内で所定の温度に制御され
たオイルは、ポンプ１１によって吸引・昇圧し、圧力制
御弁２１で一定圧力にコントロールし、各溝ローラＡ、
Ｂに分配された流量調整弁２２、２３を経由して供給さ
れる。。溝ローラに供給されたオイルは、入側の軸受６
−１→金属スリーブ１→金属スリーブ固定ボルト２６→
出側の軸受６−２を通流する間に、入側の軸受６−１、
金属スリーブ１および出側の軸受６−２を冷却してオイ
ル排出口８より排出する。この時、オイル排出口近傍に
設けたオイル温度計１６、１７によりオイル温度が測定
され、溝ローラ温度制御装置１９にて設定温度との差が
検出され、オイルタンク１０の温度が設定温度になるよ
うオイル温度制御装置１８よってタンク１０内のオイル
温度が制御される。また同時に、オイル温度流量調整弁
２２、２３が制御されて所定流量のオイルが各溝ローラ
Ａ、Ｂにに供給される。
たオイルは、ポンプ１１によって吸引・昇圧し、圧力制
御弁２１で一定圧力にコントロールし、各溝ローラＡ、
Ｂに分配された流量調整弁２２、２３を経由して供給さ
れる。。溝ローラに供給されたオイルは、入側の軸受６
−１→金属スリーブ１→金属スリーブ固定ボルト２６→
出側の軸受６−２を通流する間に、入側の軸受６−１、
金属スリーブ１および出側の軸受６−２を冷却してオイ
ル排出口８より排出する。この時、オイル排出口近傍に
設けたオイル温度計１６、１７によりオイル温度が測定
され、溝ローラ温度制御装置１９にて設定温度との差が
検出され、オイルタンク１０の温度が設定温度になるよ
うオイル温度制御装置１８よってタンク１０内のオイル
温度が制御される。また同時に、オイル温度流量調整弁
２２、２３が制御されて所定流量のオイルが各溝ローラ
Ａ、Ｂにに供給される。
実施例 一方向高速ワイヤソーにこの発明方法を適用し、シリコ
ンインゴット８インチ径を２００枚同時切断した場合の
切断条件および切断精度を第１表に、オイル排出口近傍
の軸受温度の推移を第３図に、それぞれ示す。
ンインゴット８インチ径を２００枚同時切断した場合の
切断条件および切断精度を第１表に、オイル排出口近傍
の軸受温度の推移を第３図に、それぞれ示す。
第３図から明らかなごとく、温度制御なしの従来方式で
は、軸受の温度が飽和温度に達するのに長時間かかるた
め、第１表に示すごとく軸の伸びによりウエハの厚みバ
ラツキや反りが大きい。
は、軸受の温度が飽和温度に達するのに長時間かかるた
め、第１表に示すごとく軸の伸びによりウエハの厚みバ
ラツキや反りが大きい。
これに対し、本発明方法によれば、軸受で発生した熱を
オイルで直接吸収するため軸受および溝ローラ全体の温
度変化が小さく、ウエハ精度が向上するとともに、軸受
が飽和温度に達する時間が短くなり運転開始から切断開
始までの時間が短縮された。
オイルで直接吸収するため軸受および溝ローラ全体の温
度変化が小さく、ウエハ精度が向上するとともに、軸受
が飽和温度に達する時間が短くなり運転開始から切断開
始までの時間が短縮された。
発明の効果 以上説明したごとく、この発明方法によれば、以下に記
載する効果を奏する。
載する効果を奏する。
(1) 樹脂スリーブのみを直接的に冷却するのではな
く、熱発生源である軸受部の温度を一定に制御し、ひい
ては金属スリーブの温度を一定にすることによって金属
スリーブの軸方向の膨張が抑制されるので、切断加工中
に樹脂スリーブが軸方向に移動するのを防止でき、高い
切断精度が得られる。
く、熱発生源である軸受部の温度を一定に制御し、ひい
ては金属スリーブの温度を一定にすることによって金属
スリーブの軸方向の膨張が抑制されるので、切断加工中
に樹脂スリーブが軸方向に移動するのを防止でき、高い
切断精度が得られる。
(2) 樹脂スリーブは金属スリーブからの間接冷却によ
り冷却されるので、必ずしも樹脂スリーブを冷却構造と
する必要がない。これにより、樹脂スリーブの溝の削り
代が制約されることがなく、樹脂スリーブの入替え頻度
が極めて少なく、経済的である。
り冷却されるので、必ずしも樹脂スリーブを冷却構造と
する必要がない。これにより、樹脂スリーブの溝の削り
代が制約されることがなく、樹脂スリーブの入替え頻度
が極めて少なく、経済的である。
(3) 冷却オイルは所定の温度にコントロールされて溝
ローラに供給されるため、溝ローラが飽和温度に達する
時間を短縮することができ、かつ初期温度と飽和温度と
の差も非常に小さくなるので、ウエハ精度の向上および
稼働率のアツプがはかられる。
ローラに供給されるため、溝ローラが飽和温度に達する
時間を短縮することができ、かつ初期温度と飽和温度と
の差も非常に小さくなるので、ウエハ精度の向上および
稼働率のアツプがはかられる。
第１図はこの発明方法の実施に用いる溝ローラの構造例
を示す断面図、第２図は同上溝ローラの温度制御系の一
例を示す概略図、第３図はこの発明の実施例における軸
受温度の推移を示す図、第４図は従来の溝ローラを示す
断面図、第５図はこの発明の対象とするワイヤソーによ
る切断状況を示す概略斜視図である。 １……金属スリーブ ２……主油路 ３−１、３−２……潤滑油路 ４−１、４−２……軸受カバー ５−１、５−２……パッキン ６−１、６−２……軸受 ７……オイル供給口 ８……オイル排出口 １０……オイルタンク １１……ポンプ １２……攪拌装置 １３……電熱ヒーター １４……水冷チューブ １５、１６、１７……温度計 １８……オイル温度制御装置 １９……溝ローラ温度制御装置 ２０……圧力計 ２１……圧力制御弁 ２２、２３……オイル流量調整弁 ２４……冷却水流量調整弁 ２５……樹脂スリーブ ２６……金属スリーブ固定ボルト ２７……ベアリング軸 Ａ、Ｂ……溝ローラ
を示す断面図、第２図は同上溝ローラの温度制御系の一
例を示す概略図、第３図はこの発明の実施例における軸
受温度の推移を示す図、第４図は従来の溝ローラを示す
断面図、第５図はこの発明の対象とするワイヤソーによ
る切断状況を示す概略斜視図である。 １……金属スリーブ ２……主油路 ３−１、３−２……潤滑油路 ４−１、４−２……軸受カバー ５−１、５−２……パッキン ６−１、６−２……軸受 ７……オイル供給口 ８……オイル排出口 １０……オイルタンク １１……ポンプ １２……攪拌装置 １３……電熱ヒーター １４……水冷チューブ １５、１６、１７……温度計 １８……オイル温度制御装置 １９……溝ローラ温度制御装置 ２０……圧力計 ２１……圧力制御弁 ２２、２３……オイル流量調整弁 ２４……冷却水流量調整弁 ２５……樹脂スリーブ ２６……金属スリーブ固定ボルト ２７……ベアリング軸 Ａ、Ｂ……溝ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−80544（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−59558（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−17984（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭52−12954（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭51−45038（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】金属スリーブの外周に樹脂スリーブを嵌装
した構造の多溝ローラを複数個所定間隔で配し、ローラ
の溝にワイヤを多数回巻付けて走行させつつ被切断材を
ワイヤに押し当てて切断するワイヤソーによる切断方法
であって、前記多溝ローラの金属スリーブ内に冷却オイ
ルを通過させ、少なくとも多溝ローラの中心軸となる金
属スリーブ固定ボルト、該固定ボルトに嵌装された金属
スリーブおよびローラ両端部の軸受を冷却するととも
に、冷却後のオイル温度を多溝ローラ出口側で測定し、
測定値と設定温度との差を求め、オイル供給系において
前記温度差に応じてオイル温度を制御し、所定温度にな
ったオイルを多溝ローラに供給しながら切断することを
特徴とするワイヤソーによる切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61095443A JPH0616985B2 (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | ワイヤソ−における切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61095443A JPH0616985B2 (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | ワイヤソ−における切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62251063A JPS62251063A (ja) | 1987-10-31 |
| JPH0616985B2 true JPH0616985B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=14137833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61095443A Expired - Fee Related JPH0616985B2 (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | ワイヤソ−における切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616985B2 (ja) |
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| WO2012110102A1 (en) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device, method of building a wire web in a wire saw device and method for operating a wire saw device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5711020Y2 (ja) * | 1974-10-01 | 1982-03-03 | ||
| JPS5212954A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Houjiyou Seianshiyo Kk | Method of producing raw rean jam |
-
1986
- 1986-04-24 JP JP61095443A patent/JPH0616985B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62251063A (ja) | 1987-10-31 |
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