JPH0617300A - 電気化学加工方法及び装置 - Google Patents
電気化学加工方法及び装置Info
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F7/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高効率な電気化学加工方法及び装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】 被加工物（５）の被加工面（５’）を加工す
るために、該被加工面に対向する表面をもつ電極（２
０）を設置し、被加工物の被加工面と電極の表面との間
に形成される間隙に電解液を供給し、被加工物の被加工
面から材料を除去するために、電気分解を生じさせるよ
うに電極から電解液を経て被加工面へ電流を流すことと
する方法において、電極と被加工物を被加工面に沿って
相対的に平行に移動せしめ、電極の表面は上記移動の方
向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被加工面と対
応する形をなし、上記移動の周期中に電極を被加工物の
被加工面のどの部分にも対向せしめる。
ることを目的とする。 【構成】 被加工物（５）の被加工面（５’）を加工す
るために、該被加工面に対向する表面をもつ電極（２
０）を設置し、被加工物の被加工面と電極の表面との間
に形成される間隙に電解液を供給し、被加工物の被加工
面から材料を除去するために、電気分解を生じさせるよ
うに電極から電解液を経て被加工面へ電流を流すことと
する方法において、電極と被加工物を被加工面に沿って
相対的に平行に移動せしめ、電極の表面は上記移動の方
向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被加工面と対
応する形をなし、上記移動の周期中に電極を被加工物の
被加工面のどの部分にも対向せしめる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被加工物の被加工面を加
工する電気化学加工方法及びそのための装置に関するも
のである。
工する電気化学加工方法及びそのための装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】被加工物の被加工面を加工するために、
該被加工面に対向する表面をもつ電極を設置し、被加工
物の被加工面と電極の表面との間に形成される間隙に電
解液を供給し、被加工物の被加工面から材料を除去する
ために、電気分解を生じさせるように電極から電解液を
経て被加工面へ電流を流すこととする方法及び装置が従
来知られている。
該被加工面に対向する表面をもつ電極を設置し、被加工
物の被加工面と電極の表面との間に形成される間隙に電
解液を供給し、被加工物の被加工面から材料を除去する
ために、電気分解を生じさせるように電極から電解液を
経て被加工面へ電流を流すこととする方法及び装置が従
来知られている。
【０００３】この従来の手法にあっては、電極の表面は
被加工物の被加工面と同じ大きさになっていて、電極を
被加工物の被加工面に近づけて配置し、電極の表面の形
を被加工面に写すように形成されるようになっている。
電気分解のプロセスは多くの気泡を発生するので、毎回
非常に短いパルス電流を流す都度、その直後に電極を被
加工物から離して気泡を逃がしているのが実情である。
このプロセスは数回繰り返されて行われる。
被加工物の被加工面と同じ大きさになっていて、電極を
被加工物の被加工面に近づけて配置し、電極の表面の形
を被加工面に写すように形成されるようになっている。
電気分解のプロセスは多くの気泡を発生するので、毎回
非常に短いパルス電流を流す都度、その直後に電極を被
加工物から離して気泡を逃がしているのが実情である。
このプロセスは数回繰り返されて行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の手法で
は、限定された非常に短いパルス電流によって加工する
ので、加工時間が短く作業能率が低いという欠点があ
る。さらに、正確な加工をするには、非常に大きな容量
の電源を必要とし、また、電極と被加工物の被加工面と
の間に非常に高い電流密度を作らねばならない。かかる
電流密度は被加工面全体に作らねばならない。
は、限定された非常に短いパルス電流によって加工する
ので、加工時間が短く作業能率が低いという欠点があ
る。さらに、正確な加工をするには、非常に大きな容量
の電源を必要とし、また、電極と被加工物の被加工面と
の間に非常に高い電流密度を作らねばならない。かかる
電流密度は被加工面全体に作らねばならない。
【０００５】本発明は従来の上述の欠点を解消し上記の
種のものにおいて、より効率の高い電気化学加工方法及
びそのための装置を提供することを目的とする。
種のものにおいて、より効率の高い電気化学加工方法及
びそのための装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段、作用及び発明の効果】本
発明によれば、上記目的は、その加工方向に関し、被加
工物の被加工面を加工するために、該被加工面に対向す
る表面をもつ電極を設置し、被加工物の被加工面と電極
の表面との間に形成される間隙に電解液を供給し、被加
工物の被加工面から材料を除去するために、電気分解を
生じさせるように電極から電解液を経て被加工面へ電流
を流すこととする方法において、電極と被加工物を被加
工面に沿って相対的に平行に移動せしめ、電極の表面は
上記移動の方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の
被加工面と対応する形をなし、上記移動の周期中に電極
を被加工物の被加工面のどの部分にも対向せしめること
ことにより達成される。
発明によれば、上記目的は、その加工方向に関し、被加
工物の被加工面を加工するために、該被加工面に対向す
る表面をもつ電極を設置し、被加工物の被加工面と電極
の表面との間に形成される間隙に電解液を供給し、被加
工物の被加工面から材料を除去するために、電気分解を
生じさせるように電極から電解液を経て被加工面へ電流
を流すこととする方法において、電極と被加工物を被加
工面に沿って相対的に平行に移動せしめ、電極の表面は
上記移動の方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の
被加工面と対応する形をなし、上記移動の周期中に電極
を被加工物の被加工面のどの部分にも対向せしめること
ことにより達成される。
【０００７】また、これを実施するための装置に関して
は、被加工物の被加工面を加工するために、被加工物の
被加工面に対向する表面をもつ電極と、被加工物の被加
工面とこれに対向する電極の表面との間に形成される間
隙に電解液を供給する手段と、被加工面からの材料を除
去するために電気分解を生じさせるように電極から電解
液を経て被加工面へ電流を流すための手段とを有するも
のにおいて、電極と被加工面に沿って相対的に平行に周
期的に移動せしめる手段を有し、電極の表面は上記移動
方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被加工面と
実質的に対応する形をなしていることにより達成され
る。
は、被加工物の被加工面を加工するために、被加工物の
被加工面に対向する表面をもつ電極と、被加工物の被加
工面とこれに対向する電極の表面との間に形成される間
隙に電解液を供給する手段と、被加工面からの材料を除
去するために電気分解を生じさせるように電極から電解
液を経て被加工面へ電流を流すための手段とを有するも
のにおいて、電極と被加工面に沿って相対的に平行に周
期的に移動せしめる手段を有し、電極の表面は上記移動
方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被加工面と
実質的に対応する形をなしていることにより達成され
る。
【０００８】かかる本発明によれば、自動的に行われる
周期的な電極と被加工物との間の相対的移動の度に、被
加工物の被加工面から除去される材料と発生する気泡が
逃がされてきれいにされると共に放電も行われる。さら
に、互いの面が相対移動するので、電極の寸法精度が低
くともその影響を消去するので、この移動の方向におい
ては電極の表面は精度良く作られている必要はない。勿
論、移動自体は精度を要する。本発明では、電極表面の
上記移動方向における寸法（大きさ）は周方向における
被加工物の寸法よりも小さくすることができるので、電
流は被加工物の被加工面の一部のみに流れるようにな
り、高電流密度を得るために高い容量の電源を用意する
必要はない。電流が連続的に一定値で流れ、あるいは従
来の方法のパルスよりもずっと長いパルスが可能なの
で、加工時間が長くなり高い作業能率が得られる。勿
論、本発明による方法では、被加工物のすべての面を加
工できるのではなく、移動する電極に対向する面のみが
加工され得る。
周期的な電極と被加工物との間の相対的移動の度に、被
加工物の被加工面から除去される材料と発生する気泡が
逃がされてきれいにされると共に放電も行われる。さら
に、互いの面が相対移動するので、電極の寸法精度が低
くともその影響を消去するので、この移動の方向におい
ては電極の表面は精度良く作られている必要はない。勿
論、移動自体は精度を要する。本発明では、電極表面の
上記移動方向における寸法（大きさ）は周方向における
被加工物の寸法よりも小さくすることができるので、電
流は被加工物の被加工面の一部のみに流れるようにな
り、高電流密度を得るために高い容量の電源を用意する
必要はない。電流が連続的に一定値で流れ、あるいは従
来の方法のパルスよりもずっと長いパルスが可能なの
で、加工時間が長くなり高い作業能率が得られる。勿
論、本発明による方法では、被加工物のすべての面を加
工できるのではなく、移動する電極に対向する面のみが
加工され得る。
【０００９】本発明による好ましい加工の形態は対称的
に環状面の加工である。電極と被加工物は軸線まわりに
相対的に回転され、被加工物の環状面の一部にのみ対向
する電極が用いられる。その一例としては、玉軸受等の
ころがり軸受の軌道面の研摩が挙げられる。本発明によ
ると加工された表面の表面粗さは非常に小さく、粗さの
波形の頂部が丸みをもっており、研摩による表面あるい
はその下層において残留応力が生じない。さらには、研
摩に起因する表面下での材料の組織の変化もない。これ
は、精度の高い軸受の寿命を長くすることとなる。
に環状面の加工である。電極と被加工物は軸線まわりに
相対的に回転され、被加工物の環状面の一部にのみ対向
する電極が用いられる。その一例としては、玉軸受等の
ころがり軸受の軌道面の研摩が挙げられる。本発明によ
ると加工された表面の表面粗さは非常に小さく、粗さの
波形の頂部が丸みをもっており、研摩による表面あるい
はその下層において残留応力が生じない。さらには、研
摩に起因する表面下での材料の組織の変化もない。これ
は、精度の高い軸受の寿命を長くすることとなる。
【００１０】本発明において、被加工物の被加工面から
除去される材料の量に応じて、電極そして／あるいは被
加工物を互いの方向に近接移動できるようになっている
ことが好ましい。こうすることにより、加工の間、電極
と被加工面との距離を最も好ましい値に維持することが
できる。
除去される材料の量に応じて、電極そして／あるいは被
加工物を互いの方向に近接移動できるようになっている
ことが好ましい。こうすることにより、加工の間、電極
と被加工面との距離を最も好ましい値に維持することが
できる。
【００１１】
【実施例】以下、添付図面にもとづき本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１２】図１は被加工物としての玉軸受の軌道輪の
軌道面を研摩するのに好適な装置を示す。この装置は図
１そして図２に示される装置の各部を支持するためのフ
レーム１を有している。
軌道面を研摩するのに好適な装置を示す。この装置は図
１そして図２に示される装置の各部を支持するためのフ
レーム１を有している。
【００１３】本実施例装置の心臓部は液槽２内にあり、
該液槽２はガラスあるいはプレキシガラスのような電気
絶縁材料でできており、上部はカバー３がシールされた
状態で設けられている。運転中は、上記液槽２は硝酸ナ
トリウム溶液等の電解液で満たされており、電解液は供
給部そして排出部（図示せず）を経てそれぞれ一定量の
もとに供給そして排出され、好ましくは、清浄・フィル
タ手段を含む循環系を経て循環する。液槽２の底部に
は、該液槽２中に被加工物としての玉軸受の軌道輪（外
輪）５を正確に位置付けるためのクランプ装置４が設け
られている。このクランプ装置４は駆動装置６によって
作動する。液槽２とクランプ装置４は、フレーム１上の
Ｙスライド８と該Ｙスライド８の上にあるＸスライド９
とを有する位置出しテーブル７を備えている。上記Ｘス
ライド９は該Ｘスライド９上に固定された液槽２を支持
している。この位置出しテーブル７によって、液槽２と
クランプ装置４は水平面内で位置が移動できる。それに
対し、カバー３は上記液槽とクランプ装置の移動中に静
止位置に留まる。そのために、液槽２とカバー３は互い
に固定されてはおらず、液槽２はシール１０を介してカ
バー３の下面に対して移動可能にシールされている。ク
ランプ装置４は縦方向にも調整可能となっている。
該液槽２はガラスあるいはプレキシガラスのような電気
絶縁材料でできており、上部はカバー３がシールされた
状態で設けられている。運転中は、上記液槽２は硝酸ナ
トリウム溶液等の電解液で満たされており、電解液は供
給部そして排出部（図示せず）を経てそれぞれ一定量の
もとに供給そして排出され、好ましくは、清浄・フィル
タ手段を含む循環系を経て循環する。液槽２の底部に
は、該液槽２中に被加工物としての玉軸受の軌道輪（外
輪）５を正確に位置付けるためのクランプ装置４が設け
られている。このクランプ装置４は駆動装置６によって
作動する。液槽２とクランプ装置４は、フレーム１上の
Ｙスライド８と該Ｙスライド８の上にあるＸスライド９
とを有する位置出しテーブル７を備えている。上記Ｘス
ライド９は該Ｘスライド９上に固定された液槽２を支持
している。この位置出しテーブル７によって、液槽２と
クランプ装置４は水平面内で位置が移動できる。それに
対し、カバー３は上記液槽とクランプ装置の移動中に静
止位置に留まる。そのために、液槽２とカバー３は互い
に固定されてはおらず、液槽２はシール１０を介してカ
バー３の下面に対して移動可能にシールされている。ク
ランプ装置４は縦方向にも調整可能となっている。
【００１４】カバー３は中間の電気絶縁パッキング１１
を介してサポート１２によって支持されている。該サポ
ート１２はフレーム１により支持されている。サポート
１２内には高精度の軸受装置１３と電気絶縁要素１４を
仲介して工具マンドレル１５が回転自在に支持されてい
る。該工具マンドレル１５は、フレーム１に取り付けら
れてベルトあるいはチェーン伝導装置１７により軸の回
転力を工具マンドレルに伝達するモータ１６によって回
転駆動を受ける。工具マンドレル１５と液槽２のカバー
３との間は液体シール１８によりシールされている。
を介してサポート１２によって支持されている。該サポ
ート１２はフレーム１により支持されている。サポート
１２内には高精度の軸受装置１３と電気絶縁要素１４を
仲介して工具マンドレル１５が回転自在に支持されてい
る。該工具マンドレル１５は、フレーム１に取り付けら
れてベルトあるいはチェーン伝導装置１７により軸の回
転力を工具マンドレルに伝達するモータ１６によって回
転駆動を受ける。工具マンドレル１５と液槽２のカバー
３との間は液体シール１８によりシールされている。
【００１５】工具マンドレル１５の下端には、球または
球セグメントの電極２０を保持する工具ホルダー１９が
取り付けられている。該電極２０は、電気化学の方法で
軸受の軌道輪５の内側軌道面５’（被加工面）を研摩す
るためのものである。この目的のために、電極２０は軸
受軌道輪５の軌道面５’と正確に適合する対向表面をな
すような断面形状を有している。工具ホルダー１９は、
好ましくは、工具マンドレル１５の回転中にあっても軸
受軌道輪との間隔を変更できるように工具マンドレル１
５に対して半径方向に調整できるのがよい。
球セグメントの電極２０を保持する工具ホルダー１９が
取り付けられている。該電極２０は、電気化学の方法で
軸受の軌道輪５の内側軌道面５’（被加工面）を研摩す
るためのものである。この目的のために、電極２０は軸
受軌道輪５の軌道面５’と正確に適合する対向表面をな
すような断面形状を有している。工具ホルダー１９は、
好ましくは、工具マンドレル１５の回転中にあっても軸
受軌道輪との間隔を変更できるように工具マンドレル１
５に対して半径方向に調整できるのがよい。
【００１６】電極はスライド接点２１を介して電源に接
続されており、電流が工具マンドレル１５そして電極２
０へと流れる。
続されており、電流が工具マンドレル１５そして電極２
０へと流れる。
【００１７】図示された上述の本実施例装置における電
気化学による研摩は次の要領でなされる。
気化学による研摩は次の要領でなされる。
【００１８】まず第一に、加工されるべき軸受の軌道輪
５がクランプ装置４にクランプされ、電極２０が軌道輪
５内に位置付けられる。次に、工具マンドレル１５と軌
道輪５が相対的に正確に同心となるように、位置出しテ
ーブル７のスライド８，９を調整する。軌道輪５に対す
る電極２０の高さも、例えばクランプ装置４によって調
整される。しかる後、電解液が液槽２に送り込まれ、工
具マンドレル１５が回転するようにセットされ、そして
スライド接点２１で整流された電圧が電極２０に印加さ
れる。
５がクランプ装置４にクランプされ、電極２０が軌道輪
５内に位置付けられる。次に、工具マンドレル１５と軌
道輪５が相対的に正確に同心となるように、位置出しテ
ーブル７のスライド８，９を調整する。軌道輪５に対す
る電極２０の高さも、例えばクランプ装置４によって調
整される。しかる後、電解液が液槽２に送り込まれ、工
具マンドレル１５が回転するようにセットされ、そして
スライド接点２１で整流された電圧が電極２０に印加さ
れる。
【００１９】軌道輪５が接地されているので、電流は電
極２０から電解液を通って軌道輪５へ流れる。電極２０
の半径外方表面と軸受の軌道輪５の軌道面５’との間の
間隙においては、電解反応が生じ、電極２０が軌道面
５’に沿って移動するとき、少量の材料が軌道輪の軌道
面５’全体から除去される。高速研摩を高精度のもとに
行いたいときには、電極２０と軌道輪５との間に高密度
電流を流すのがよい。電極２０の有効面は非常に小さい
ので、小容量の電源による小電流でもこれは実行でき
る。電極２０は軌道輪５の軌道面５’に沿って移動し、
また両者の間の間隙の周方向長さが極めて短いので、気
泡と電解中に生じる材料の粒子は容易に電極の両側から
放散し、電流や電極での電解の中断を行うことなく放電
される。電流は一定値に維持してもよいが、パルス電流
とすることも可能である。電解中にあっては、材料は軌
道輪から除去されるが電極からは除去されないので、電
極はきわめて長い寿命をもち永久的に精度をもった表面
を保つ。発生する気泡のサイズは、液槽２内の電解液を
加圧することにより抑制できる。
極２０から電解液を通って軌道輪５へ流れる。電極２０
の半径外方表面と軸受の軌道輪５の軌道面５’との間の
間隙においては、電解反応が生じ、電極２０が軌道面
５’に沿って移動するとき、少量の材料が軌道輪の軌道
面５’全体から除去される。高速研摩を高精度のもとに
行いたいときには、電極２０と軌道輪５との間に高密度
電流を流すのがよい。電極２０の有効面は非常に小さい
ので、小容量の電源による小電流でもこれは実行でき
る。電極２０は軌道輪５の軌道面５’に沿って移動し、
また両者の間の間隙の周方向長さが極めて短いので、気
泡と電解中に生じる材料の粒子は容易に電極の両側から
放散し、電流や電極での電解の中断を行うことなく放電
される。電流は一定値に維持してもよいが、パルス電流
とすることも可能である。電解中にあっては、材料は軌
道輪から除去されるが電極からは除去されないので、電
極はきわめて長い寿命をもち永久的に精度をもった表面
を保つ。発生する気泡のサイズは、液槽２内の電解液を
加圧することにより抑制できる。
【００２０】玉軸受あるいは他の形式のころがり軸受の
内軌道輪を研摩する場合には、クランプ装置４によって
電極２０を静止して取り付け、工具マンドレル１５に対
して内軌道輪を固定させるのがよい。この方法によっ
て、内軌道輪の外周に形成された軌道面は静止せる電極
に沿って移動する。この場合、電圧は勿論反対の極性と
して電流が静止電極から移動せる内軌道輪に流れるよう
にすることができる。
内軌道輪を研摩する場合には、クランプ装置４によって
電極２０を静止して取り付け、工具マンドレル１５に対
して内軌道輪を固定させるのがよい。この方法によっ
て、内軌道輪の外周に形成された軌道面は静止せる電極
に沿って移動する。この場合、電圧は勿論反対の極性と
して電流が静止電極から移動せる内軌道輪に流れるよう
にすることができる。
【００２１】工具マンドレル１５は、その場合に応じて
毎分数回転から数千回転の範囲で回転させることができ
る。原則としては、研摩させるべき表面から１００μｍ
の深さまで材料を除去できる。軌道輪の表面とこれに対
する電極の表面との間の間隙は、常に例えば０．３ｍｍ
位に保っているのが望ましい。こうするためには、工具
ホルダー１９とこれに連結された駆動装置によって研摩
工程中、電極を工具マンドレルに向けて半径方向に、そ
して軸受軌道輪の軌道面からの材料の除去量に応じて軌
道輪５の軌道面に対して外方に移動するのがよい。その
結果、研摩の全工程にわたり最適な状態が得られる。
毎分数回転から数千回転の範囲で回転させることができ
る。原則としては、研摩させるべき表面から１００μｍ
の深さまで材料を除去できる。軌道輪の表面とこれに対
する電極の表面との間の間隙は、常に例えば０．３ｍｍ
位に保っているのが望ましい。こうするためには、工具
ホルダー１９とこれに連結された駆動装置によって研摩
工程中、電極を工具マンドレルに向けて半径方向に、そ
して軸受軌道輪の軌道面からの材料の除去量に応じて軌
道輪５の軌道面に対して外方に移動するのがよい。その
結果、研摩の全工程にわたり最適な状態が得られる。
【００２２】本発明は、上述そして図示された例に限定
されず、特許請求の範囲内において種々変形可能であ
る。例えば、本発明の方法及び装置によれば、他の被加
工物の半径面あるいは軸方向の面の加工も可能となる。
さらには、電極と被加工物は加工のために相対回転する
必要はない。原理的には直動振動を行ってもよい。液槽
２内に電解液を入れる代わりにあるいはこれに加えて、
被加工面とこれに対向する電極の表面との間に電解液を
噴射するノズルを設けるようにしてもよい。その場合、
電解液が高い流量となるようにすることができるので、
ノズルを電極と一対とすることが好ましい。
されず、特許請求の範囲内において種々変形可能であ
る。例えば、本発明の方法及び装置によれば、他の被加
工物の半径面あるいは軸方向の面の加工も可能となる。
さらには、電極と被加工物は加工のために相対回転する
必要はない。原理的には直動振動を行ってもよい。液槽
２内に電解液を入れる代わりにあるいはこれに加えて、
被加工面とこれに対向する電極の表面との間に電解液を
噴射するノズルを設けるようにしてもよい。その場合、
電解液が高い流量となるようにすることができるので、
ノズルを電極と一対とすることが好ましい。
【図１】本発明の一実施例装置の側面図である。
【図２】図１装置の要部を示す拡大縦断面図である。
２，３ 電解液を供給する手段 ４ ホルダー（クランプ装置） ５ 被加工物（軌道輪） ５’ 被加工面（軌道面） １５，１６，１７ 移動せしめる手段 １９ ホルダー ２０ 電極 ２１ 電流を流す手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ボー オロフ ヤコブソン オランダ国、 3706 テーヘー ツァイス ト、 フロエベラーン 12 (72)発明者 オイスタティオス イアンニデス オランダ国、 3706 テーベー ツァイス ト、 モンテスソリラーン ９ (72)発明者 フランク ペーター ヴァルドレ オランダ国、 2411 ペーカー ボーデグ ラーフェン、 マイエ 78
Claims (9)
- 【請求項１】 被加工物（５）の被加工面（５’）を加
工するために、該被加工面に対向する表面をもつ電極
（２０）を設置し、被加工物の被加工面と電極の表面と
の間に形成される間隙に電解液を供給し、被加工物の被
加工面から材料を除去するために、電気分解を生じさせ
るように電極から電解液を経て被加工面へ電流を流すこ
ととする方法において、電極と被加工物を被加工面に沿
って相対的に平行に移動せしめ、電極の表面は上記移動
の方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被加工面
と対応する形をなし、上記移動の周期中に電極を被加工
物の被加工面のどの部分にも対向せしめることを特徴と
する電気化学加工方法。 - 【請求項２】 対称な環状面を加工するために、電極と
被加工物は一つの軸線まわりに相対的に回転し、電極を
被加工物の被加工面の一部に対向せしめることとする請
求項１に記載の電気化学加工方法。 - 【請求項３】 電極と被加工物は、該被加工物の被加工
面の材料の除去量に応じて互いの方向に近接移動するこ
ととする請求項１または請求項２に記載の電気化学加工
方法。 - 【請求項４】 ころがり軸受の軌道輪の軌道面を研摩す
ることとする請求項１ないし請求項３のうちの一つに記
載の電気化学加工方法。 - 【請求項５】 被加工物（５）の被加工面（５’）を加
工するために、被加工物（５）の被加工面（５’）に対
向する表面をもつ電極（２０）と、被加工物（５）の被
加工面（５’）とこれに対向する電極（２０）の表面と
の間に形成される間隙に電解液を供給する手段（２，
３）と、被加工面からの材料を除去するために電気分解
を生じさせるように電極から電解液を経て被加工面へ電
流を流すための手段（２１）とを有するものにおいて、
電極と被加工面に沿って相対的に平行に周期的に移動せ
しめる手段（１５，１６，１７）を有し、電極の表面は
上記移動方向に対し直角な方向の断面にて被加工物の被
加工面（５’）と実質的に対応する形をなしていること
を特徴とする電気化学加工装置。 - 【請求項６】 移動方向における電極（２０）の面の長
さは、同方向の被加工物（５）の被加工面（５’）の長
さよりも短いこととする請求項５に記載の電気化学加工
装置。 - 【請求項７】 電極（２０）と被加工物（５）はそれぞ
れのホルダー（１９，４）に取り付け可能であり、周期
的な移動の間に駆動装置によって互いの方向に移動でき
るようになっていることとする請求項５または請求項６
に記載の電気化学加工装置。 - 【請求項８】 被加工物（５）の環状面（５’）を加工
するために、モータ（１６）により回転駆動を受け電極
（２０）もしくは被加工物（５）を保持するようになっ
ているマンドレル（１５）と、被加工物（５）もしくは
電極（２０）を保持するためのクランプ装置（４）とを
備えていることとする請求項５ないし請求項７のうちの
一つに記載の電気化学加工装置。 - 【請求項９】 玉軸受（５）の軌道輪の軌道面（５’）
を研摩するために、電極（２０）は金属球であることと
する請求項８に記載の電気化学加工装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9101379A NL9101379A (nl) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | Werkwijze en inrichting voor het elektro-chemisch bewerken, bijvoorbeeld polijsten, van een oppervlak van een voorwerp. |
| NL9101379 | 1991-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0617300A true JPH0617300A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=19859605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23517892A Pending JPH0617300A (ja) | 1991-08-13 | 1992-08-12 | 電気化学加工方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0527514A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0617300A (ja) |
| NL (1) | NL9101379A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1003232C2 (nl) * | 1996-05-30 | 1997-12-03 | Skf Ind Trading & Dev | Werkwijze voor het vervaardigen van een lagerring en een lager dat een dergelijke lagerring omvat. |
| NL1003233C2 (nl) | 1996-05-30 | 1997-12-03 | Skf Ind Trading & Dev | Werkwijze voor het vervaardigen van een lagerring en een lager dat een dergelijke lagerring omvat. |
| US7129160B2 (en) | 2002-08-29 | 2006-10-31 | Micron Technology, Inc. | Method for simultaneously removing multiple conductive materials from microelectronic substrates |
| US7153195B2 (en) | 2000-08-30 | 2006-12-26 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for selectively removing conductive material from a microelectronic substrate |
| US7153777B2 (en) | 2004-02-20 | 2006-12-26 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatuses for electrochemical-mechanical polishing |
| CN107907650B (zh) * | 2017-12-26 | 2023-07-18 | 郑州大学 | 一种基于电化学抛光的多层台阶构造夹具 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1497103A (en) * | 1975-08-04 | 1978-01-05 | Jumer J | Processing interior surfaces of vessels |
-
1991
- 1991-08-13 NL NL9101379A patent/NL9101379A/nl not_active Application Discontinuation
-
1992
- 1992-07-20 EP EP92202217A patent/EP0527514A1/en not_active Withdrawn
- 1992-08-12 JP JP23517892A patent/JPH0617300A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL9101379A (nl) | 1993-03-01 |
| EP0527514A1 (en) | 1993-02-17 |
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