JPH06176326A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH06176326A JPH06176326A JP5192231A JP19223193A JPH06176326A JP H06176326 A JPH06176326 A JP H06176326A JP 5192231 A JP5192231 A JP 5192231A JP 19223193 A JP19223193 A JP 19223193A JP H06176326 A JPH06176326 A JP H06176326A
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- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部からの影響に感応せず、わずかな測定電
流でもいかなるバルクハウゼン雑音も生じない安定な磁
気抵抗素子を有する磁気ヘッドを提供する。 【構成】 磁気ヘッドは、少なくとも１つの磁気抵抗層
９とヘッド面５に達する変換用のギャップとを有する多
層構造体を具える。磁気抵抗層はその２つの端部分9a及
び9b間に位置する能動中央部分を有し、この中央部分に
等ポテンシャル細条13を設け、磁気抵抗層の長手方向に
延在する磁化軸を有する硬質磁気材料層15を前記の端部
分に対向し且つこれら端部分から離間して設け、これら
端部分と硬質磁気材料層15との間に電気絶縁材料の非磁
性スペーサ層17を存在させる。
流でもいかなるバルクハウゼン雑音も生じない安定な磁
気抵抗素子を有する磁気ヘッドを提供する。 【構成】 磁気ヘッドは、少なくとも１つの磁気抵抗層
９とヘッド面５に達する変換用のギャップとを有する多
層構造体を具える。磁気抵抗層はその２つの端部分9a及
び9b間に位置する能動中央部分を有し、この中央部分に
等ポテンシャル細条13を設け、磁気抵抗層の長手方向に
延在する磁化軸を有する硬質磁気材料層15を前記の端部
分に対向し且つこれら端部分から離間して設け、これら
端部分と硬質磁気材料層15との間に電気絶縁材料の非磁
性スペーサ層17を存在させる。
Description
【０００１】本発明は、磁気記録媒体上の情報を表わす
磁界を検出する磁気ヘッドであって、この磁気ヘッドは
ヘッド面と、磁気異方性材料の少なくとも１つの磁気抵
抗層を有する多層構造体とを具え、前記の磁気抵抗層は
その２つの端部分間に位置する磁気抵抗素子を構成し、
この磁気抵抗素子は一方の端部分から他方の端部分に向
いた長手軸線を有するとともにこの長手軸線に対し少な
くともほぼ平行に延在する磁化容易軸を有し、この磁気
抵抗素子の一方の面側に、前記の長手軸線に対しある角
度で延在する少なくとも１つの等ポテンシャル細条を有
する層が設けられている当該磁気ヘッドに関するもので
ある。
磁界を検出する磁気ヘッドであって、この磁気ヘッドは
ヘッド面と、磁気異方性材料の少なくとも１つの磁気抵
抗層を有する多層構造体とを具え、前記の磁気抵抗層は
その２つの端部分間に位置する磁気抵抗素子を構成し、
この磁気抵抗素子は一方の端部分から他方の端部分に向
いた長手軸線を有するとともにこの長手軸線に対し少な
くともほぼ平行に延在する磁化容易軸を有し、この磁気
抵抗素子の一方の面側に、前記の長手軸線に対しある角
度で延在する少なくとも１つの等ポテンシャル細条を有
する層が設けられている当該磁気ヘッドに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】この種類の磁気ヘッドは米国特許第 4,0
52,748号明細書に記載されており、既知である。この既
知の磁気ヘッドは磁気異方性材料より成る細長状の磁気
抵抗素子を有し、この磁気抵抗素子はこの素子の長手方
向に延在する磁化容易軸と、この磁化容易軸に対し少な
くともほぼ平行に延在する規定の磁化方向とを有してい
る。磁気抵抗素子を電流源又は電圧源に接続するための
接点が、互いに反対側に配置された２つの端部分に設け
られている。又、磁気抵抗素子は充分に導電性の等ポテ
ンシャル細条を有し、これら等ポテンシャル細条は磁気
抵抗素子の長手軸線に対し最小30°、最大60°の角度で
配置されている。動作中等ポテンシャル細条は、磁気抵
抗素子に供給される測定電流を磁化容易軸に対しある角
度で磁気抵抗素子中を強制的に流し、縦方向のバイアス
を発生させる。前記の角度は実際には約45°である。磁
気ヘッドに沿って移動する記録担体の情報を有する磁界
による影響の下で、磁気抵抗素子の、等ポテンシャル細
条間に位置する、各部分の抵抗値は磁化方向が磁気抵抗
素子中の電流方向とどの程度一致しているかに応じて減
少したり増大したりする。従って、主として、バイアス
されていない磁気抵抗ヘッドによる直線的再生が可能と
なる。磁気抵抗素子の動作特性の直線性を改善するため
には、補助磁界を与えるようにしうる。
52,748号明細書に記載されており、既知である。この既
知の磁気ヘッドは磁気異方性材料より成る細長状の磁気
抵抗素子を有し、この磁気抵抗素子はこの素子の長手方
向に延在する磁化容易軸と、この磁化容易軸に対し少な
くともほぼ平行に延在する規定の磁化方向とを有してい
る。磁気抵抗素子を電流源又は電圧源に接続するための
接点が、互いに反対側に配置された２つの端部分に設け
られている。又、磁気抵抗素子は充分に導電性の等ポテ
ンシャル細条を有し、これら等ポテンシャル細条は磁気
抵抗素子の長手軸線に対し最小30°、最大60°の角度で
配置されている。動作中等ポテンシャル細条は、磁気抵
抗素子に供給される測定電流を磁化容易軸に対しある角
度で磁気抵抗素子中を強制的に流し、縦方向のバイアス
を発生させる。前記の角度は実際には約45°である。磁
気ヘッドに沿って移動する記録担体の情報を有する磁界
による影響の下で、磁気抵抗素子の、等ポテンシャル細
条間に位置する、各部分の抵抗値は磁化方向が磁気抵抗
素子中の電流方向とどの程度一致しているかに応じて減
少したり増大したりする。従って、主として、バイアス
されていない磁気抵抗ヘッドによる直線的再生が可能と
なる。磁気抵抗素子の動作特性の直線性を改善するため
には、補助磁界を与えるようにしうる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば装置の
外部に磁石が存在したり、装置が高温度にさらされたり
して装置が外部の影響を受けるために、磁気抵抗素子の
磁化の調整方向が妨害され、磁気ヘッドの動作が劣化す
るおそれがあるということを確かめた。又、測定電流が
小さいと、縦方向のバイアスは等ポテンシャル細条が存
在する為に、バルクハウゼン雑音を阻止するにはあまり
にも低くなりすぎるということをも確かめた。本発明の
目的は、外部の影響に感応せず、小さな測定電流におい
てもいかなるバルクハウゼン雑音をも生ぜしめない前述
した種類の磁気ヘッドを提供せんとするにある。
外部に磁石が存在したり、装置が高温度にさらされたり
して装置が外部の影響を受けるために、磁気抵抗素子の
磁化の調整方向が妨害され、磁気ヘッドの動作が劣化す
るおそれがあるということを確かめた。又、測定電流が
小さいと、縦方向のバイアスは等ポテンシャル細条が存
在する為に、バルクハウゼン雑音を阻止するにはあまり
にも低くなりすぎるということをも確かめた。本発明の
目的は、外部の影響に感応せず、小さな測定電流におい
てもいかなるバルクハウゼン雑音をも生ぜしめない前述
した種類の磁気ヘッドを提供せんとするにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明、磁気記録媒体上
の情報を表わす磁界を検出する磁気ヘッドであって、こ
の磁気ヘッドはヘッド面と、磁気異方性材料の少なくと
も１つの磁気抵抗層を有する多層構造体とを具え、前記
の磁気抵抗層はその２つの端部分間に位置する磁気抵抗
素子を構成し、この磁気抵抗素子は一方の端部分から他
方の端部分に向いた長手軸線を有するとともにこの長手
軸線に対し少なくともほぼ平行に延在する磁化容易軸を
有し、この磁気抵抗素子の一方の面側に、前記の長手軸
線に対しある角度で延在する少なくとも１つの等ポテン
シャル細条を有する層が設けられている当該磁気ヘッド
において、前記の多層構造体は、少なくとも１つの等ポ
テンシャル細条を有する前記の層側とは反対の磁気抵抗
素子の側で且つ各端部分に対向して、磁気抵抗素子の長
手軸線に対し平行に延在する磁化軸を有する硬質磁気材
料の層を具えており、各端部分とこれに対向する硬質磁
気材料の層との間に電気絶縁材料の非磁性スペーサ層が
存在していることを特徴とする。
の情報を表わす磁界を検出する磁気ヘッドであって、こ
の磁気ヘッドはヘッド面と、磁気異方性材料の少なくと
も１つの磁気抵抗層を有する多層構造体とを具え、前記
の磁気抵抗層はその２つの端部分間に位置する磁気抵抗
素子を構成し、この磁気抵抗素子は一方の端部分から他
方の端部分に向いた長手軸線を有するとともにこの長手
軸線に対し少なくともほぼ平行に延在する磁化容易軸を
有し、この磁気抵抗素子の一方の面側に、前記の長手軸
線に対しある角度で延在する少なくとも１つの等ポテン
シャル細条を有する層が設けられている当該磁気ヘッド
において、前記の多層構造体は、少なくとも１つの等ポ
テンシャル細条を有する前記の層側とは反対の磁気抵抗
素子の側で且つ各端部分に対向して、磁気抵抗素子の長
手軸線に対し平行に延在する磁化軸を有する硬質磁気材
料の層を具えており、各端部分とこれに対向する硬質磁
気材料の層との間に電気絶縁材料の非磁性スペーサ層が
存在していることを特徴とする。
【０００５】端部分に対し完全に対向し且つ端部分から
離間して存在する硬質磁気材料の層は磁気抵抗素子に静
磁気的に結合される。従って、磁気抵抗素子中に存在す
る縦方向の磁界が、特に磁気抵抗層の端部分の近くに存
在しうる磁区壁の移動を抑止し、磁気抵抗素子の磁化の
調整方向をそのまま維持する。本発明による磁気ヘッド
は特定のいかなる技術的な条件を課することはない。こ
のことは、少数の比較的簡単な処理工程により磁気ヘッ
ドを製造しうるということを意味する。硬質磁気材料と
してはコバルト−プラチナの合金が極めて適していると
いうことを実験により確かめた。硬質磁気材料の保磁力
Ｈc は通常生じる妨害磁界の大きさと関連して最小500
Ｏe の値を有する必要があり、500 及び1000Ｏe 間の値
にするのが好ましい。非磁性で電気絶縁性のスペーサ層
に対する材料としてはAl2O3 又はSiO2とするのが好まし
い酸化物を用いることができる。
離間して存在する硬質磁気材料の層は磁気抵抗素子に静
磁気的に結合される。従って、磁気抵抗素子中に存在す
る縦方向の磁界が、特に磁気抵抗層の端部分の近くに存
在しうる磁区壁の移動を抑止し、磁気抵抗素子の磁化の
調整方向をそのまま維持する。本発明による磁気ヘッド
は特定のいかなる技術的な条件を課することはない。こ
のことは、少数の比較的簡単な処理工程により磁気ヘッ
ドを製造しうるということを意味する。硬質磁気材料と
してはコバルト−プラチナの合金が極めて適していると
いうことを実験により確かめた。硬質磁気材料の保磁力
Ｈc は通常生じる妨害磁界の大きさと関連して最小500
Ｏe の値を有する必要があり、500 及び1000Ｏe 間の値
にするのが好ましい。非磁性で電気絶縁性のスペーサ層
に対する材料としてはAl2O3 又はSiO2とするのが好まし
い酸化物を用いることができる。
【０００６】本発明による磁気ヘッドの例では、硬質磁
気材料を２つの非磁性層間に介在させ、これら非磁性層
の一方を前記のスペーサとする。他方の非磁性層は、多
層構造体を磁性基板上に設ける場合に特に重要となるも
のである。非磁性層はSiO2又はAl2O3 とするのが好まし
い酸化物とすることができる。多層構造体が基板上に設
けられている例では、多層構造体が基板側から見て、非
磁性層と、硬質磁気材料の層と、スペーサ層と、磁気抵
抗層と、少なくとも１つの等ポテンシャル細条を有する
層とを順次に有しているようにする。この実際例は優れ
た特性を有するもので、比較的簡単に製造しうる。非磁
性層はSiO2又はAl2O3 とするのが好ましい酸化物としう
る。技術的な点から有利な例では、少なくとも１つの等
ポテンシャル細条を有する前記の層に、各々が１つの端
部分から延在する導電接続細条が設けられているように
する。これら導電接続細条は磁気抵抗層の端部分と相俟
って電気接点を形成するもので、電流源又は電圧源に接
続するための接点が設けられている。製造中同じ一つの
処理工程で設けられる導電接続細条及び１つ又は複数の
等ポテンシャル細条は、技術的な理由で２つの薄肉なＭ
ｏ（モリブデン）の層間に延在させるのが好ましいＡｕ
（金）の層を以って構成するのが好ましい。
気材料を２つの非磁性層間に介在させ、これら非磁性層
の一方を前記のスペーサとする。他方の非磁性層は、多
層構造体を磁性基板上に設ける場合に特に重要となるも
のである。非磁性層はSiO2又はAl2O3 とするのが好まし
い酸化物とすることができる。多層構造体が基板上に設
けられている例では、多層構造体が基板側から見て、非
磁性層と、硬質磁気材料の層と、スペーサ層と、磁気抵
抗層と、少なくとも１つの等ポテンシャル細条を有する
層とを順次に有しているようにする。この実際例は優れ
た特性を有するもので、比較的簡単に製造しうる。非磁
性層はSiO2又はAl2O3 とするのが好ましい酸化物としう
る。技術的な点から有利な例では、少なくとも１つの等
ポテンシャル細条を有する前記の層に、各々が１つの端
部分から延在する導電接続細条が設けられているように
する。これら導電接続細条は磁気抵抗層の端部分と相俟
って電気接点を形成するもので、電流源又は電圧源に接
続するための接点が設けられている。製造中同じ一つの
処理工程で設けられる導電接続細条及び１つ又は複数の
等ポテンシャル細条は、技術的な理由で２つの薄肉なＭ
ｏ（モリブデン）の層間に延在させるのが好ましいＡｕ
（金）の層を以って構成するのが好ましい。
【０００７】硬質磁気材料層を磁気抵抗層の両端部分に
対向して設け、これら硬質磁気材料層を磁気抵抗層に磁
気的に結合させること自体は米国特許第 5,005,096号明
細書から既知であるということに注意すべきである。し
かし、この米国特許明細書から既知の薄膜磁気ヘッド
は、本発明による磁気ヘッドと比べると異なる種類のも
ので、全く異なる構造を有するものである。この既知の
磁気ヘッドの場合、前記の端部分間には、等ポテンシャ
ル細条の無い磁気抵抗センサが配置されており、この既
知の磁気ヘッドは等ポテンシャル細条の代わりに軟磁性
層を有し、この軟磁性層は磁気抵抗層の下側に且つこの
磁気抵抗層と平行に延在ししかも非磁性層により磁気抵
抗層から分離されている。軟磁性層は、センサを直線性
にするために磁気抵抗センサ中に横方向のバイアス磁界
を発生させる。磁気抵抗層の上側に延在する硬質磁気材
料層と前記の端部分との間には非磁性で導電性の材料、
すなわちCr, Ｗ，Nb又はTaより成るスペーサ層が存在し
ている。硬質磁気材料層はこれら硬質磁気材料層上に設
けられた導電性の接続細条と導電性のスペーサ層との間
の電気的な導体としても作用する。従って、接続細条は
硬質磁気材料層とスペーサ層とを介して磁気抵抗層に導
電的に接続されている。
対向して設け、これら硬質磁気材料層を磁気抵抗層に磁
気的に結合させること自体は米国特許第 5,005,096号明
細書から既知であるということに注意すべきである。し
かし、この米国特許明細書から既知の薄膜磁気ヘッド
は、本発明による磁気ヘッドと比べると異なる種類のも
ので、全く異なる構造を有するものである。この既知の
磁気ヘッドの場合、前記の端部分間には、等ポテンシャ
ル細条の無い磁気抵抗センサが配置されており、この既
知の磁気ヘッドは等ポテンシャル細条の代わりに軟磁性
層を有し、この軟磁性層は磁気抵抗層の下側に且つこの
磁気抵抗層と平行に延在ししかも非磁性層により磁気抵
抗層から分離されている。軟磁性層は、センサを直線性
にするために磁気抵抗センサ中に横方向のバイアス磁界
を発生させる。磁気抵抗層の上側に延在する硬質磁気材
料層と前記の端部分との間には非磁性で導電性の材料、
すなわちCr, Ｗ，Nb又はTaより成るスペーサ層が存在し
ている。硬質磁気材料層はこれら硬質磁気材料層上に設
けられた導電性の接続細条と導電性のスペーサ層との間
の電気的な導体としても作用する。従って、接続細条は
硬質磁気材料層とスペーサ層とを介して磁気抵抗層に導
電的に接続されている。
【０００８】更に他の種類の薄膜磁気ヘッドが米国特許
第 4,639,806号明細書から知られていることにも注意す
べきであり、この場合、薄肉の硬質磁気材料層が強磁性
薄膜（ＭＲ素子）の端部分上に直接設けられている。こ
のＭＲ素子は薄肉の硬質磁気材料層と結合される。薄肉
の硬質磁気材料層には電気導体が設けられ、これら導体
が薄肉の硬質磁気材料層を経てＭＲ素子に電気的に接続
されている。本発明は本発明による磁気ヘッドの製造方
法にも関するものである。本発明による磁気ヘッドの製
造方法は、非磁性層と、硬質磁気材料の少なくとも１つ
の層と、非磁性電気絶縁スペーサ層と、磁気抵抗層と、
少なくとも１つの等ポテンシャル細条を形成する層とを
順次に形成することを特徴とする。この方法によれば、
安定な磁気抵抗素子が設けられた信頼性のある磁気ヘッ
ドをわずかな処理工程で製造しうる。
第 4,639,806号明細書から知られていることにも注意す
べきであり、この場合、薄肉の硬質磁気材料層が強磁性
薄膜（ＭＲ素子）の端部分上に直接設けられている。こ
のＭＲ素子は薄肉の硬質磁気材料層と結合される。薄肉
の硬質磁気材料層には電気導体が設けられ、これら導体
が薄肉の硬質磁気材料層を経てＭＲ素子に電気的に接続
されている。本発明は本発明による磁気ヘッドの製造方
法にも関するものである。本発明による磁気ヘッドの製
造方法は、非磁性層と、硬質磁気材料の少なくとも１つ
の層と、非磁性電気絶縁スペーサ層と、磁気抵抗層と、
少なくとも１つの等ポテンシャル細条を形成する層とを
順次に形成することを特徴とする。この方法によれば、
安定な磁気抵抗素子が設けられた信頼性のある磁気ヘッ
ドをわずかな処理工程で製造しうる。
【０００９】
【実施例】図１〜３に示す本発明の実施例の薄膜磁気ヘ
ッドは非磁性材料、例えばAl2O3TiC より成る基板１を
有し、この基板上に多層構造体が設けられ、基板とは反
対側でこの多層構造体上に非磁性材料、例えばAl2O3TiC
より成るブロック３が設けられている。磁気ヘッドは磁
気記録媒体７、特に磁気テープをｘ方向に案内するヘッ
ド面５を有している。基板１とブロック３との間に延在
する多層構造体は磁気異方性材料、例えばNi-Fe より成
る磁気抵抗層９を有し、この磁気抵抗層はその両端部分
9a及び9b間で細長状磁気抵抗素子11を構成し、この細長
状磁気抵抗素子は一方の端部分から他方の端部分に延在
する縦方向の長手軸線11a を有する。磁気抵抗素子11
（以後簡単の為にＭＲ素子と略記する）は長手軸線11a
に対し平行に延在する磁化容易軸Ｍ1 を有する。磁化方
向をベクトルＭで表わす。磁気抵抗素子11の一方の側11
bには複数の等ポテンシャル細条13を有する例えばＡｕ
の導電層13a が設けられている。これらの等ポテンシャ
ル細条は長手軸線11a に対し45°の角度で延在する。導
電層13a は２つの接続細条13a1及び13a2を有し、これら
接続細条に電流源または電圧源を接続しうる。動作中は
５〜10mAの小さな測定電流が用いられる。
ッドは非磁性材料、例えばAl2O3TiC より成る基板１を
有し、この基板上に多層構造体が設けられ、基板とは反
対側でこの多層構造体上に非磁性材料、例えばAl2O3TiC
より成るブロック３が設けられている。磁気ヘッドは磁
気記録媒体７、特に磁気テープをｘ方向に案内するヘッ
ド面５を有している。基板１とブロック３との間に延在
する多層構造体は磁気異方性材料、例えばNi-Fe より成
る磁気抵抗層９を有し、この磁気抵抗層はその両端部分
9a及び9b間で細長状磁気抵抗素子11を構成し、この細長
状磁気抵抗素子は一方の端部分から他方の端部分に延在
する縦方向の長手軸線11a を有する。磁気抵抗素子11
（以後簡単の為にＭＲ素子と略記する）は長手軸線11a
に対し平行に延在する磁化容易軸Ｍ1 を有する。磁化方
向をベクトルＭで表わす。磁気抵抗素子11の一方の側11
bには複数の等ポテンシャル細条13を有する例えばＡｕ
の導電層13a が設けられている。これらの等ポテンシャ
ル細条は長手軸線11a に対し45°の角度で延在する。導
電層13a は２つの接続細条13a1及び13a2を有し、これら
接続細条に電流源または電圧源を接続しうる。動作中は
５〜10mAの小さな測定電流が用いられる。
【００１０】多層構造体は、端部分9a及び9bから離間し
且つこれら端部分に対向して位置する硬質磁気材料、例
えばCo-Pt より成る層15をも有している。等ポテンシャ
ル細条13を有する層側とは反対のＭＲ素子の側に位置す
る硬質磁気材料層15の磁化軸Ｍ2 は長手軸線11a に対し
平行に延在し、これら硬質磁気材料層は図３にＮ（北
極）及びＳ（南極）で示すように永久磁化されている。
従って、層15の磁化方向はＭＲ素子11の調整磁化方向
（ベクトルＭ）に一致する。硬質磁気材料層15及び磁気
抵抗層９間には、電気絶縁材料、例えばSiO2より成る非
磁性スペーサ層17が存在する。基板１及び硬質磁気材料
層15間には例えばAl2O3 又はSiO2の非磁性層19が存在す
る。多層構造体は更に、ヘッド面５に隣接する第１磁束
ガイド20a と、この第１磁束ガイドから離間した第２磁
束ガイド20b とを有する軟磁性材料、例えばNiFe又はAl
FeSiより成る一対の磁束ガイドを具えている。これら２
つの磁束ガイド間に存在するスペース21はＭＲ素子11に
より橋絡されており、第１磁束ガイド20a は情報を有す
る磁界を磁気記録媒体７からＭＲ素子11に向けるのに用
いられる。スペース21内には、ＭＲ素子11と磁束ガイド
20a 及び20b との間及び磁束ガイド20a 及び20b と第３
磁束ガイド20c との間で絶縁材料、例えばSiO2が設けら
れている。
且つこれら端部分に対向して位置する硬質磁気材料、例
えばCo-Pt より成る層15をも有している。等ポテンシャ
ル細条13を有する層側とは反対のＭＲ素子の側に位置す
る硬質磁気材料層15の磁化軸Ｍ2 は長手軸線11a に対し
平行に延在し、これら硬質磁気材料層は図３にＮ（北
極）及びＳ（南極）で示すように永久磁化されている。
従って、層15の磁化方向はＭＲ素子11の調整磁化方向
（ベクトルＭ）に一致する。硬質磁気材料層15及び磁気
抵抗層９間には、電気絶縁材料、例えばSiO2より成る非
磁性スペーサ層17が存在する。基板１及び硬質磁気材料
層15間には例えばAl2O3 又はSiO2の非磁性層19が存在す
る。多層構造体は更に、ヘッド面５に隣接する第１磁束
ガイド20a と、この第１磁束ガイドから離間した第２磁
束ガイド20b とを有する軟磁性材料、例えばNiFe又はAl
FeSiより成る一対の磁束ガイドを具えている。これら２
つの磁束ガイド間に存在するスペース21はＭＲ素子11に
より橋絡されており、第１磁束ガイド20a は情報を有す
る磁界を磁気記録媒体７からＭＲ素子11に向けるのに用
いられる。スペース21内には、ＭＲ素子11と磁束ガイド
20a 及び20b との間及び磁束ガイド20a 及び20b と第３
磁束ガイド20c との間で絶縁材料、例えばSiO2が設けら
れている。
【００１１】本発明よる磁気ヘッドはわずかな処理工程
で実現しうる。本発明による方法では基板１を出発材料
とし、この基板上に、非磁性層19と、硬質磁気材料の２
つの層１5 と、スペーサ層17と、磁気抵抗層９と、等ポ
テンシャル細条13を形成する層13a とを順次に設ける。
絶縁層を設けた後磁束ガイド20a ，20b 及び20c を設
け、これに接着剤層23を設け、最後に基板とは反対側の
ブロック３を設ける。多層構造体の一部を構成する層は
既知の薄膜技術により設けることができる。例えば蒸着
又はスパッタリングを用いることができる。リトグラフ
法を用いることもできる。ブロック３を設けた後、ヘッ
ド面５を例えば研磨により形成しうる。
で実現しうる。本発明による方法では基板１を出発材料
とし、この基板上に、非磁性層19と、硬質磁気材料の２
つの層１5 と、スペーサ層17と、磁気抵抗層９と、等ポ
テンシャル細条13を形成する層13a とを順次に設ける。
絶縁層を設けた後磁束ガイド20a ，20b 及び20c を設
け、これに接着剤層23を設け、最後に基板とは反対側の
ブロック３を設ける。多層構造体の一部を構成する層は
既知の薄膜技術により設けることができる。例えば蒸着
又はスパッタリングを用いることができる。リトグラフ
法を用いることもできる。ブロック３を設けた後、ヘッ
ド面５を例えば研磨により形成しうる。
【００１２】本発明は図示の実施例に限定されないこと
に注意すべきである。例えば、磁気記録媒体上に存在す
る複数の磁気トラックを同時に走査するために、本発明
による磁気ヘッドには基板に対し互いに隣接して配置し
た複数のＭＲ素子を設けることができる。又、前記のコ
バルト−プラチナ(Co-Pt) の合金の代わりに他の硬質磁
気材料を用いることもできる。本発明による手段は、例
えばNiZnフェライトよりなる磁性基板を有する磁気ヘッ
ドに用いることもできること勿論である。
に注意すべきである。例えば、磁気記録媒体上に存在す
る複数の磁気トラックを同時に走査するために、本発明
による磁気ヘッドには基板に対し互いに隣接して配置し
た複数のＭＲ素子を設けることができる。又、前記のコ
バルト−プラチナ(Co-Pt) の合金の代わりに他の硬質磁
気材料を用いることもできる。本発明による手段は、例
えばNiZnフェライトよりなる磁性基板を有する磁気ヘッ
ドに用いることもできること勿論である。
【図１】本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】図１のII-II 線上を断面とし矢の方向に見た断
面図である。
面図である。
【図３】図２のIII-III 線上を断面とし矢の方向に見た
断面図である。
断面図である。
１ 基板 ３ ブロック ５ ヘッド面 ７ 磁気記録媒体 ９ 磁気抵抗層 9a，9b 端部分 11 磁気抵抗素子 13 等ポテンシャル細条 13a 導電層 13a1，13a2 接続細条 15 硬質磁気材料層 17 非磁性スペーサ層 19 非磁性層 20a 第１磁束ガイド 20b 第２磁束ガイド
Claims (7)
- 【請求項１】 磁気記録媒体上の情報を表わす磁界を検
出する磁気ヘッドであって、この磁気ヘッドはヘッド面
と、磁気異方性材料の少なくとも１つの磁気抵抗層を有
する多層構造体とを具え、前記の磁気抵抗層はその２つ
の端部分間に位置する磁気抵抗素子を構成し、この磁気
抵抗素子は一方の端部分から他方の端部分に向いた長手
軸線を有するとともにこの長手軸線に対し少なくともほ
ぼ平行に延在する磁化容易軸を有し、この磁気抵抗素子
の一方の面側に、前記の長手軸線に対しある角度で延在
する少なくとも１つの等ポテンシャル細条を有する層が
設けられている当該磁気ヘッドにおいて、 前記の多層構造体は、少なくとも１つの等ポテンシャル
細条を有する前記の層側とは反対の磁気抵抗素子の側で
且つ各端部分に対向して、磁気抵抗素子の長手軸線に対
し平行に延在する磁化軸を有する硬質磁気材料の層を具
えており、各端部分とこれに対向する硬質磁気材料の層
との間に電気絶縁材料の非磁性スペーサ層が存在してい
ることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気ヘッドにおいて、
前記の硬質磁気材料が実質的にコバルト−プラチナの合
金であることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の磁気ヘッドにお
いて、前記の非磁性スペーサ層が実質的にAl2O3 または
SiO2を有していることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか一項に記載の磁
気ヘッドにおいて、前記の硬質磁気材料が２つの非磁性
層間に挟まれており、これら２つの非磁性層の一方が前
記の非磁性スペーサ層であることを特徴とする磁気ヘッ
ド。 - 【請求項５】 多層構造体が基板上に設けられている請
求項１〜３のいずれか一項に記載の磁気ヘッドにおい
て、多層構造体が基板側から見て、非磁性層と、硬質磁
気材料の層と、スペーサ層と、磁気抵抗層と、少なくと
も１つの等ポテンシャル細条を有する層とを順次に有し
ていることを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか一項に記載の磁
気ヘッドにおいて、少なくとも１つの等ポテンシャル細
条を有する前記の層に、各々が１つの端部分から延在す
る導電接続細条が設けられていることを特徴とする磁気
ヘッド。 - 【請求項７】 請求項５又は６に記載の磁気ヘッドを製
造するに当たり、 非磁性層と、硬質磁気材料の少なくとも１つの層と、非
磁性電気絶縁スペーサ層と、磁気抵抗層と、少なくとも
１つの等ポテンシャル細条を形成する層とを順次に形成
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL92202435:1 | 1992-08-06 | ||
| EP92202435 | 1992-08-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176326A true JPH06176326A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=8210833
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5192231A Pending JPH06176326A (ja) | 1992-08-06 | 1993-08-03 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JP2002002106U Pending JP2002000024U (ja) | 1992-08-06 | 2002-04-15 | 磁気ヘッド |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002002106U Pending JP2002000024U (ja) | 1992-08-06 | 2002-04-15 | 磁気ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6028749A (ja) |
| JP (2) | JPH06176326A (ja) |
| KR (1) | KR200156789Y1 (ja) |
| DE (1) | DE69315271T2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6223420B1 (en) * | 1998-12-04 | 2001-05-01 | International Business Machines Corporation | Method of making a read head with high resistance soft magnetic flux guide layer for enhancing read sensor efficiency |
| EP1965604A1 (en) * | 2005-12-22 | 2008-09-03 | Frey Co., Ltd. | Magnetostrictive device |
| US7872564B2 (en) * | 2007-11-16 | 2011-01-18 | Infineon Technologies Ag | Integrated lateral short circuit for a beneficial modification of current distribution structure for xMR magnetoresistive sensors |
| FR2955942B1 (fr) * | 2010-01-29 | 2013-01-04 | Centre Nat Rech Scient | Magnetometre integre et son procede de fabrication |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4052748A (en) * | 1974-04-01 | 1977-10-04 | U.S. Philips Corporation | Magnetoresistive magnetic head |
| NL7611522A (nl) * | 1976-10-19 | 1978-04-21 | Philips Nv | Magnetoweerstand leeskop met onderdrukking van thermischhe ruis. |
| US4639806A (en) * | 1983-09-09 | 1987-01-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film magnetic head having a magnetized ferromagnetic film on the MR element |
| US4903158A (en) * | 1988-07-28 | 1990-02-20 | Eastman Kodak Company | MR head with complementary easy axis permanent magnet |
| JPH02168408A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-06-28 | Hitachi Ltd | 記録再生用磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| US5005096A (en) * | 1988-12-21 | 1991-04-02 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive read transducer having hard magnetic shunt bias |
| NL8902569A (nl) * | 1989-10-17 | 1991-05-16 | Philips Nv | Dunnefilm magneetkop. |
| EP0551603B1 (en) * | 1991-12-05 | 1998-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-resistive head |
-
1993
- 1993-07-15 KR KR2019930013000U patent/KR200156789Y1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-29 DE DE69315271T patent/DE69315271T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-08-02 US US08/101,324 patent/US6028749A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-08-03 JP JP5192231A patent/JPH06176326A/ja active Pending
-
2002
- 2002-04-15 JP JP2002002106U patent/JP2002000024U/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69315271T2 (de) | 1998-05-07 |
| JP2002000024U (ja) | 2002-10-31 |
| US6028749A (en) | 2000-02-22 |
| KR200156789Y1 (ko) | 1999-09-01 |
| KR940006298U (ko) | 1994-03-22 |
| DE69315271D1 (de) | 1998-01-02 |
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