JPH0617869B2 - 同位体分析装置 - Google Patents
同位体分析装置Info
- Publication number
- JPH0617869B2 JPH0617869B2 JP14879590A JP14879590A JPH0617869B2 JP H0617869 B2 JPH0617869 B2 JP H0617869B2 JP 14879590 A JP14879590 A JP 14879590A JP 14879590 A JP14879590 A JP 14879590A JP H0617869 B2 JPH0617869 B2 JP H0617869B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- isotope
- isotopes
- semiconductor laser
- item
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、複数の同位体が混在する試料物質に光を照射
し、その光吸収スペクトルから同位体の比率を求める同
位体分析装置に関する。
し、その光吸収スペクトルから同位体の比率を求める同
位体分析装置に関する。
自然界には同位体が僅かに存在し、この同位体の変化を
トレースすることにより、医学分野では病気の診断、農
業分野では光合成の研究や植物の代謝作用の研究、地球
科学分野では生態系の捕捉に利用できる。 このような用途の安定同位体の分析装置として、従来か
ら使用されている装置の一例が第4図に示されている。
同図の装置は赤外域の光吸収スペクトルを利用した装置
で、図中の1は可視から赤外域の発光波長範囲の広いラ
ンプ、2は試料セル、3は試料ガス導入口、4は試料ガ
ス排出口、5は分散型分光器、6はミラー、7は回折格
子、8はスリット、9は検知器である。 この装置で、試料ガスは試料ガス導入口3から試料セル
2内に導入され、試料ガス排出口4より排出される。ラ
ンプ1から出た光は試料セル2に入射し、試料セル2内
の試料ガスと相互作用して一部が共鳴吸収される。残余
の光が試料セル2を通過して分散型分光器5に入り、ミ
ラー6でビーム方向が変えられ、回折格子7に照射され
る。回折格子7により波長分散がされ、スリット8で波
長選択がされて検知器9で選択された波長の光強度が検
知される。ここで回折格子7の角度をθ方向に連続的に
回転することにより選択波長が変えられ、試料の光吸収
スペクトルが測定できる。 このような分析に使われる同位体として、窒素、酸素、
炭素がある。なかでも窒素は、比較的長い半減期の放射
性同位体が存在しないため、質量数が14の窒素(以下
「14N」と記す。)と質量数が15の窒素(以下「15N」と記
す。)の安定同位体が測定の対象となることが多い。こ
の14N と15N は質量差があるので、極僅かに光吸収周波
数が異なる。そのため14N を含んだ窒素化合物と15N を
含んだ窒素化合物の光吸収スペクトルを同時に測定し、
両者の比を求めることにより安定同位体の変化がトレー
スできる。 測定にあたって、一般に窒素は、予めアンモニアNH3 や
二酸化窒素NO2 等の窒素化合物化されて試料セル2に導
入される。その窒素化合物のスペクトルが測定されるこ
とになる。 大気中での同位体ガスの光吸収スペクトル幅は0.03cm-1
程度であり、このスペクトル形状を正確に測定するには
0.003cm-1程度のスペクトル分解能が必要である。
同位体ガス相互の光吸収スペクトルは非常に隣接してい
るので、相互のスペクトルが影響を受けないためにも、
高いスペクトル分解能が必要である。また、試料ガス中
には同位体ガス以外にも多くの不純物を含んでおり、そ
の不純物も光を吸収するので、不純物の光吸収スペクト
ルが同位体ガスの近辺に存在すると影響を受け測定誤差
となる。この不純物の影響を極力除去するためにもスペ
クトル分解能を高くする必要がある。しかも、一般に同
位体は大気中に極微量含まれているので、高いスペクト
ル分解能を損なうことなく、高感度で同位体を検出する
必要がある。
トレースすることにより、医学分野では病気の診断、農
業分野では光合成の研究や植物の代謝作用の研究、地球
科学分野では生態系の捕捉に利用できる。 このような用途の安定同位体の分析装置として、従来か
ら使用されている装置の一例が第4図に示されている。
同図の装置は赤外域の光吸収スペクトルを利用した装置
で、図中の1は可視から赤外域の発光波長範囲の広いラ
ンプ、2は試料セル、3は試料ガス導入口、4は試料ガ
ス排出口、5は分散型分光器、6はミラー、7は回折格
子、8はスリット、9は検知器である。 この装置で、試料ガスは試料ガス導入口3から試料セル
2内に導入され、試料ガス排出口4より排出される。ラ
ンプ1から出た光は試料セル2に入射し、試料セル2内
の試料ガスと相互作用して一部が共鳴吸収される。残余
の光が試料セル2を通過して分散型分光器5に入り、ミ
ラー6でビーム方向が変えられ、回折格子7に照射され
る。回折格子7により波長分散がされ、スリット8で波
長選択がされて検知器9で選択された波長の光強度が検
知される。ここで回折格子7の角度をθ方向に連続的に
回転することにより選択波長が変えられ、試料の光吸収
スペクトルが測定できる。 このような分析に使われる同位体として、窒素、酸素、
炭素がある。なかでも窒素は、比較的長い半減期の放射
性同位体が存在しないため、質量数が14の窒素(以下
「14N」と記す。)と質量数が15の窒素(以下「15N」と記
す。)の安定同位体が測定の対象となることが多い。こ
の14N と15N は質量差があるので、極僅かに光吸収周波
数が異なる。そのため14N を含んだ窒素化合物と15N を
含んだ窒素化合物の光吸収スペクトルを同時に測定し、
両者の比を求めることにより安定同位体の変化がトレー
スできる。 測定にあたって、一般に窒素は、予めアンモニアNH3 や
二酸化窒素NO2 等の窒素化合物化されて試料セル2に導
入される。その窒素化合物のスペクトルが測定されるこ
とになる。 大気中での同位体ガスの光吸収スペクトル幅は0.03cm-1
程度であり、このスペクトル形状を正確に測定するには
0.003cm-1程度のスペクトル分解能が必要である。
同位体ガス相互の光吸収スペクトルは非常に隣接してい
るので、相互のスペクトルが影響を受けないためにも、
高いスペクトル分解能が必要である。また、試料ガス中
には同位体ガス以外にも多くの不純物を含んでおり、そ
の不純物も光を吸収するので、不純物の光吸収スペクト
ルが同位体ガスの近辺に存在すると影響を受け測定誤差
となる。この不純物の影響を極力除去するためにもスペ
クトル分解能を高くする必要がある。しかも、一般に同
位体は大気中に極微量含まれているので、高いスペクト
ル分解能を損なうことなく、高感度で同位体を検出する
必要がある。
上記した従来の分析装置では、分解能を高くするために
はスリット8の幅を非常に狭くしなければならない。し
かし、それを狭くすると光強度が弱くなり感度が低下す
るという相反する関係がある。従来の分析装置では最高
分解能は0.3cm-1程度までであり、ガスの光吸収スペ
クトル幅より10倍以上広いので、同位体相互の光吸収
スペクトルの影響を受け、不純物の光吸収スペクトルの
影響により測定誤差を生じて正確なスペクトル形状を測
定できないという問題がある。またランプ1から出た光
をスリット8で選択し、極一部の光のみしか利用してい
ないので感度が低いという問題がある。 本発明は、これらの問題点を除去し、同位体相互や不純
物、外乱の影響を受けることなく、正確かつ高感度に同
位体比がトレースできる同位体分析装置を提供するもの
である。
はスリット8の幅を非常に狭くしなければならない。し
かし、それを狭くすると光強度が弱くなり感度が低下す
るという相反する関係がある。従来の分析装置では最高
分解能は0.3cm-1程度までであり、ガスの光吸収スペ
クトル幅より10倍以上広いので、同位体相互の光吸収
スペクトルの影響を受け、不純物の光吸収スペクトルの
影響により測定誤差を生じて正確なスペクトル形状を測
定できないという問題がある。またランプ1から出た光
をスリット8で選択し、極一部の光のみしか利用してい
ないので感度が低いという問題がある。 本発明は、これらの問題点を除去し、同位体相互や不純
物、外乱の影響を受けることなく、正確かつ高感度に同
位体比がトレースできる同位体分析装置を提供するもの
である。
上記課題を解決するための同位体分析装置を発明するに
あたり、本発明の発明者は、装置の光源として半導体レ
ーザを使用することを想起して調査、研究した結果、以
下のうような知見を得た。 AlGaAs系または InGaAsP系材料を用いた近赤外域の半導
体レーザは、光通信や光情報処理用として研究、開発さ
れ、小型、高効率、高信頼性になっている。鉛塩系材料
の赤外域半導体レーザは常温で発振しないため液体ヘリ
ウムや液体窒素等による大型の冷却機が必要となるが、
近赤外域の半導体レーザは常温で発振しペルチェ素子を
用いて半導体レーザの温度を制御すれば波長可変光源と
なる。このような実用上優れた特長を持つ近赤外域の半
導体レーザを用いれば装置全体が非常に小型化でき、取
扱いが容易でかつ信頼性の高い装置が実現できる。 上記の知見の下になされた本発明の第1発明の同位体分
析装置は、第1図に示すように、光吸収スペクトル強度
比から複数の同位体が混在する被検物の同位体比を検出
する同位体分析装置において、該複数の同位体が同一振
動状態および同一回転状態で吸収するスペクトルの波長
を発光する近赤外域の半導体レーザ10と、該半導体レ
ーザ10に周波数変調をかける周波数変調手段13と、該
半導体レーザ10から該複数の同位体が混在する被検物
を通過したレーザ光を検出する光検出器16と、該周波
数変調手段13の変調周波数と該光検出器16で検出し
た前記レーザ光の信号周波数の整合を検出するロックイ
ン増幅器19を有し、その整合性のある信号から前記被
検物の光吸収スペクトル強度比を検出することを特徴と
する。 同じく第2発明の同位体分析装置は、第2図に示すよう
に、光吸収スペクトル強度比から複数の同位体が混在す
る被検物の同位体比を検出する同位体分析装置におい
て、該複数の同位体が同一振動状態および同一回転状態
で吸収するスペクトルの波長を発光する近赤外域の半導
体レーザ10と、該被検物を入れるシュタルクセル20
と、該シュタルクセル20内の電極21に変調電圧をか
ける周波数変調手段23と、該半導体レーザ10から該
複数の同位体が混在する被検物を通過したレーザ光を検
出する光検出器と、該周波数変調手段23の変調周波数
と該光検出器16で検出した前記レーザ光の信号周波数
の整合を検出するロックイン増幅器19を有し、その整
合性のある信号から前記被検物の光吸収スペクトル強度
比を検出することを特徴とする。 同じく第3発明は、前記半導体レーザ10からのレーザ
光を分岐する手段14と、該分岐手段14により分岐され
て標準被検物を通過したレーザ光を検出する検出手段1
8を有し、第1発明または第2発明の同位体分析装置で
検出された前記被検物の光吸収スペクトル強度比と検出
手段18による検出信号とが比較可能なことを特徴とす
る。 前記半導体レーザ10が波長掃引することにより該複数
の同位体の同一振動状態および同一回転状態で吸収する
スペクトルの複数波長を発光することが可能である。 また前記半導体レーザ10が複数設けられ、前記複数の
同位体の同一振動状態および同一回転状態で吸収するス
ペクトルの波長を夫々発光し、その発光レーザ光が交互
に被検物を通過するものであってもよい。
あたり、本発明の発明者は、装置の光源として半導体レ
ーザを使用することを想起して調査、研究した結果、以
下のうような知見を得た。 AlGaAs系または InGaAsP系材料を用いた近赤外域の半導
体レーザは、光通信や光情報処理用として研究、開発さ
れ、小型、高効率、高信頼性になっている。鉛塩系材料
の赤外域半導体レーザは常温で発振しないため液体ヘリ
ウムや液体窒素等による大型の冷却機が必要となるが、
近赤外域の半導体レーザは常温で発振しペルチェ素子を
用いて半導体レーザの温度を制御すれば波長可変光源と
なる。このような実用上優れた特長を持つ近赤外域の半
導体レーザを用いれば装置全体が非常に小型化でき、取
扱いが容易でかつ信頼性の高い装置が実現できる。 上記の知見の下になされた本発明の第1発明の同位体分
析装置は、第1図に示すように、光吸収スペクトル強度
比から複数の同位体が混在する被検物の同位体比を検出
する同位体分析装置において、該複数の同位体が同一振
動状態および同一回転状態で吸収するスペクトルの波長
を発光する近赤外域の半導体レーザ10と、該半導体レ
ーザ10に周波数変調をかける周波数変調手段13と、該
半導体レーザ10から該複数の同位体が混在する被検物
を通過したレーザ光を検出する光検出器16と、該周波
数変調手段13の変調周波数と該光検出器16で検出し
た前記レーザ光の信号周波数の整合を検出するロックイ
ン増幅器19を有し、その整合性のある信号から前記被
検物の光吸収スペクトル強度比を検出することを特徴と
する。 同じく第2発明の同位体分析装置は、第2図に示すよう
に、光吸収スペクトル強度比から複数の同位体が混在す
る被検物の同位体比を検出する同位体分析装置におい
て、該複数の同位体が同一振動状態および同一回転状態
で吸収するスペクトルの波長を発光する近赤外域の半導
体レーザ10と、該被検物を入れるシュタルクセル20
と、該シュタルクセル20内の電極21に変調電圧をか
ける周波数変調手段23と、該半導体レーザ10から該
複数の同位体が混在する被検物を通過したレーザ光を検
出する光検出器と、該周波数変調手段23の変調周波数
と該光検出器16で検出した前記レーザ光の信号周波数
の整合を検出するロックイン増幅器19を有し、その整
合性のある信号から前記被検物の光吸収スペクトル強度
比を検出することを特徴とする。 同じく第3発明は、前記半導体レーザ10からのレーザ
光を分岐する手段14と、該分岐手段14により分岐され
て標準被検物を通過したレーザ光を検出する検出手段1
8を有し、第1発明または第2発明の同位体分析装置で
検出された前記被検物の光吸収スペクトル強度比と検出
手段18による検出信号とが比較可能なことを特徴とす
る。 前記半導体レーザ10が波長掃引することにより該複数
の同位体の同一振動状態および同一回転状態で吸収する
スペクトルの複数波長を発光することが可能である。 また前記半導体レーザ10が複数設けられ、前記複数の
同位体の同一振動状態および同一回転状態で吸収するス
ペクトルの波長を夫々発光し、その発光レーザ光が交互
に被検物を通過するものであってもよい。
上記の構成の装置で、被検物が14NH3 と15NH3 の混合物
である場合を例に挙げてその作用を説明する。 近赤外域での14NH3 の光吸収スペクトルは、波数6568.4
1cm-1、6548.62cm-1、6528.77cm-1 近辺で特に強い。同じ
く15NH3 の光吸収スペクトルは、波数6556.10c
m-1、6536.48cm-1、6516.29cm-1で特に
強い。これら近赤外域での光吸収スペクトルは、ガスを
成している分子が基底状態から励起状態へ遷移した時の
分子の振動、回転状態の変化を表わしている。14NH3の
波数6568.41cm-1における光吸収スペクトルと、
15NH3の波数6556.10cm-1における光吸収スペク
トルは、同一振動、同一回転状態の変化で光を吸収して
いる。14NH3 の波数6548.62cm-1における光吸収
スペクトルに15NH3 の波数6536.48cm-1における
光吸収スペクトル、および14NH3 の波数6528.77
cm-1における光吸収スペクトルと15NH3 の波数651
6.29cm-1における光吸収スペクトルもそれぞれ同一
振動、同一回転状態の変化で光を吸収している。光吸収
スペクトルは電場、温度等の外乱の影響を受け僅かに変
化するが同一振動、同一回転状態の光吸収スペクトルを
測定すれば同一の影響を受けるので外乱の影響を除去で
きる。前記した14NH3 と15NH3 の光吸収スペクトルを夫
々比較すると、相互に近隣には存在してないので、これ
ら同位体どうしが光吸収スペクトルの影響を受けること
がない。 したがって前記の装置で、14NH3 と15NH3 の光吸収スペ
クトル強度比を検出することができる。
である場合を例に挙げてその作用を説明する。 近赤外域での14NH3 の光吸収スペクトルは、波数6568.4
1cm-1、6548.62cm-1、6528.77cm-1 近辺で特に強い。同じ
く15NH3 の光吸収スペクトルは、波数6556.10c
m-1、6536.48cm-1、6516.29cm-1で特に
強い。これら近赤外域での光吸収スペクトルは、ガスを
成している分子が基底状態から励起状態へ遷移した時の
分子の振動、回転状態の変化を表わしている。14NH3の
波数6568.41cm-1における光吸収スペクトルと、
15NH3の波数6556.10cm-1における光吸収スペク
トルは、同一振動、同一回転状態の変化で光を吸収して
いる。14NH3 の波数6548.62cm-1における光吸収
スペクトルに15NH3 の波数6536.48cm-1における
光吸収スペクトル、および14NH3 の波数6528.77
cm-1における光吸収スペクトルと15NH3 の波数651
6.29cm-1における光吸収スペクトルもそれぞれ同一
振動、同一回転状態の変化で光を吸収している。光吸収
スペクトルは電場、温度等の外乱の影響を受け僅かに変
化するが同一振動、同一回転状態の光吸収スペクトルを
測定すれば同一の影響を受けるので外乱の影響を除去で
きる。前記した14NH3 と15NH3 の光吸収スペクトルを夫
々比較すると、相互に近隣には存在してないので、これ
ら同位体どうしが光吸収スペクトルの影響を受けること
がない。 したがって前記の装置で、14NH3 と15NH3 の光吸収スペ
クトル強度比を検出することができる。
以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。 第1図は本発明の第1発明を適用する同位体分析装置の
実施例のブロック図を示すものである。同図で10は近
赤外域の半導体レーザ、11は半導体レーザ10の波数
を掃引するための温度制御部、12は半導体レーザ10
の光出力を制御するための電流制御部、13は電流制御
部12に変調周波数を与える発振器、14はレーザ光を
透過光と反射光に分けるビームスプリッタ、15はミラ
ー、16および18は光検出器、19は光検出器16の
検出周波数と発振器13の発振周波数との同期が取れた
信号のみを検出するロックイン増幅器である。2は 14N
H3ガスと 15NH3ガスが混在する試料ガスを収納するセ
ル、3は試料ガス導入口、4は試料ガス排出口である。
また17は 14NH3ガス50%と 15NH3ガス50%が封入されて
いる参照セルである。 上記した装置で、近赤外域の半導体レーザ10は、常温
で連続発振し、半導体レーザの温度または駆動電流を掃
引することにより波長可変光源となる。半導体レーザ1
0の発光波数は、温度制御部11により温度を制御され
て、第3図に示すように、波数6568.41cm-1と6
556.10cm-1近辺を交互に掃引される。半導体レー
ザ10の駆動電流は、発振器13の信号で電流制御部1
2により電流変調され僅かに周波数変調がかけられてい
る。このように波数掃引、周波数変調された半導体レー
ザ10からのレーザ光は、ビームスプリッタ14で透過
光と反射光に分けられ、透過光は試料セル2に入射す
る。その入射レーザ光はセル内に混在する 14NH3ガスお
よび 15NH3ガスと相互作用し吸収される。試料セル2か
らの出射レーザ光は、光検出器16で検出される。光検
出器16で検出された光信号は、ロックイン増幅器19
で発振器13と同期の取れた信号のみが検出される。そ
の結果、半導体レーザ10の光強度のドリフトが除去で
き、 S/N比の良い信号が検出できる。このようにして検
出された光信号は、光吸収強度の1次微分となってい
る。したがって、波数6568.41cm-1と6556.
10cm-1の波数近辺での両検出信号のピーク値または吸
収の面積を求めて吸収量の比を求めれば、セル2内に混
在する 14NH3ガスと 15NH3ガスの比、すなわち同位体比
が求められる。 ビームスプリッタ14で反射されたレーザ光は、ミラー
15で参照セル17に導入され、セル内に50%ずつ混在
する 15NH3ガスおよび 14NH3ガスと相互作用し吸収され
る。参照セル17を透過したレーザ光は検出器18で検
出される。検出器18で検出された信号よりNH3 スペク
トルテーブルを参照し、前記で求めた同位体比をより正
確に求めることができる。 なお上記実施例では半導体レーザ10を1個で温度制御
して両ペアの波数近辺を掃引するようにしたが、半導体
レーザを2個用いて両ペアの波数のレーザ光を同時に発
振させ、交互に試料セル2内に入射させてもよい。 第2図は本発明の第2発明を適用する同位体分析装置の
実施例のブロック図を示すものである。同図で20は
14NH3ガスと 15NH3ガスが混在する試料ガスを収納して
いるシュタルクセル、21はシュタルクセル20内の平
行電極、23は平行電極21に交流電圧を印加するため
の発振器である。その他の構成は、第1図に示した構成
と同一であり、同一符号を付してあるので再度の説明を
省略する。この実施例では、半導体レーザ10に周波数
変調をかけることなく、セル20内の平行電極21に発
振器23から交流電圧をかけ、この交流電圧信号と同期
の取れた信号のみがロックイン増幅器19で検出され
る。 電気双極子モーメントを有する分子が電場中に置かれる
とシュタルク効果によりポテンシャル・エネルギーが変
化し、光吸収周波数が変化する。 NH3は強い電気双極子
モーメントを有しており電場中に置かれると光吸収周波
数は大きく変化する。従って、平行電極の両端に交流電
圧をかければその電圧に従って光吸収周波数は変化す
る。その結果、前記第1図に示した実施例で半導体レー
ザ10に周波数変調をかけたのと同様な効果が得られ
る。 半導体レーザ10は、制御部11で温度を制御されて、
第3図に示すように波数6568.41cm-1と655
6.10cm-1近辺を交互に掃引される。また電流制御部
12により適度な光出力となるように半導体レーザ10
の駆動電流は制御されている。このように波長掃引され
た半導体レーザ10からのレーザ光は、ビームスプリッ
タ14で透過光と反射光に分けられる。透過光はシュタ
ルクセル20に入射し、セル20内のガスと相互作用し
吸収される。平行電極21には発振器23により交流電
圧がかけられている。シュタルクセル20からの出射光
は光検出器16で検出される。 したがって第1図に示す実施例の装置と同様な検出効果
が得られる。 なお上記の各実施例で、試料ガスとして 14NH3ガスと
15NH3ガスを使用して半導体レーザ10の発光波数を6
568.41cm-1と6556.10cm-1近辺を交互に掃
引させたが、試料ガスが変わらなければ同一振動、同一
回転状態の波数6548.62cm-1と6536.48cm
-1の組み合わせ、または波数6528.77cm-1と65
16.26cm-1の組み合わせでその波数近辺を交互に掃
引してもよい。 このように 14NH3ガスおよび 15NH3ガスの夫々光吸収強
度の強いスペクトルを測定することができ、同位体相互
の吸収の影響を受けることがなく、外乱の影響を除去で
きる。スペクトル幅0.0003〜0.003cm-1と発
振スペクトル幅が非常に狭いうえに、小型で信頼性の高
い近赤外域の半導体レーザを波長可変光源として使用
し、同一振動、回転モードの両ペアの波数のスペクトル
をロックイン増幅器19で測定しているため、スペクト
ル形状を正確に測定できる。 また、同一振動、同一回転状態のスペクトル測定による
同位体の分析は、上記実施例に示した窒素以外の同位体
分析、例えば炭素同位体、水素同位体分析にも適用でき
る。
実施例のブロック図を示すものである。同図で10は近
赤外域の半導体レーザ、11は半導体レーザ10の波数
を掃引するための温度制御部、12は半導体レーザ10
の光出力を制御するための電流制御部、13は電流制御
部12に変調周波数を与える発振器、14はレーザ光を
透過光と反射光に分けるビームスプリッタ、15はミラ
ー、16および18は光検出器、19は光検出器16の
検出周波数と発振器13の発振周波数との同期が取れた
信号のみを検出するロックイン増幅器である。2は 14N
H3ガスと 15NH3ガスが混在する試料ガスを収納するセ
ル、3は試料ガス導入口、4は試料ガス排出口である。
また17は 14NH3ガス50%と 15NH3ガス50%が封入されて
いる参照セルである。 上記した装置で、近赤外域の半導体レーザ10は、常温
で連続発振し、半導体レーザの温度または駆動電流を掃
引することにより波長可変光源となる。半導体レーザ1
0の発光波数は、温度制御部11により温度を制御され
て、第3図に示すように、波数6568.41cm-1と6
556.10cm-1近辺を交互に掃引される。半導体レー
ザ10の駆動電流は、発振器13の信号で電流制御部1
2により電流変調され僅かに周波数変調がかけられてい
る。このように波数掃引、周波数変調された半導体レー
ザ10からのレーザ光は、ビームスプリッタ14で透過
光と反射光に分けられ、透過光は試料セル2に入射す
る。その入射レーザ光はセル内に混在する 14NH3ガスお
よび 15NH3ガスと相互作用し吸収される。試料セル2か
らの出射レーザ光は、光検出器16で検出される。光検
出器16で検出された光信号は、ロックイン増幅器19
で発振器13と同期の取れた信号のみが検出される。そ
の結果、半導体レーザ10の光強度のドリフトが除去で
き、 S/N比の良い信号が検出できる。このようにして検
出された光信号は、光吸収強度の1次微分となってい
る。したがって、波数6568.41cm-1と6556.
10cm-1の波数近辺での両検出信号のピーク値または吸
収の面積を求めて吸収量の比を求めれば、セル2内に混
在する 14NH3ガスと 15NH3ガスの比、すなわち同位体比
が求められる。 ビームスプリッタ14で反射されたレーザ光は、ミラー
15で参照セル17に導入され、セル内に50%ずつ混在
する 15NH3ガスおよび 14NH3ガスと相互作用し吸収され
る。参照セル17を透過したレーザ光は検出器18で検
出される。検出器18で検出された信号よりNH3 スペク
トルテーブルを参照し、前記で求めた同位体比をより正
確に求めることができる。 なお上記実施例では半導体レーザ10を1個で温度制御
して両ペアの波数近辺を掃引するようにしたが、半導体
レーザを2個用いて両ペアの波数のレーザ光を同時に発
振させ、交互に試料セル2内に入射させてもよい。 第2図は本発明の第2発明を適用する同位体分析装置の
実施例のブロック図を示すものである。同図で20は
14NH3ガスと 15NH3ガスが混在する試料ガスを収納して
いるシュタルクセル、21はシュタルクセル20内の平
行電極、23は平行電極21に交流電圧を印加するため
の発振器である。その他の構成は、第1図に示した構成
と同一であり、同一符号を付してあるので再度の説明を
省略する。この実施例では、半導体レーザ10に周波数
変調をかけることなく、セル20内の平行電極21に発
振器23から交流電圧をかけ、この交流電圧信号と同期
の取れた信号のみがロックイン増幅器19で検出され
る。 電気双極子モーメントを有する分子が電場中に置かれる
とシュタルク効果によりポテンシャル・エネルギーが変
化し、光吸収周波数が変化する。 NH3は強い電気双極子
モーメントを有しており電場中に置かれると光吸収周波
数は大きく変化する。従って、平行電極の両端に交流電
圧をかければその電圧に従って光吸収周波数は変化す
る。その結果、前記第1図に示した実施例で半導体レー
ザ10に周波数変調をかけたのと同様な効果が得られ
る。 半導体レーザ10は、制御部11で温度を制御されて、
第3図に示すように波数6568.41cm-1と655
6.10cm-1近辺を交互に掃引される。また電流制御部
12により適度な光出力となるように半導体レーザ10
の駆動電流は制御されている。このように波長掃引され
た半導体レーザ10からのレーザ光は、ビームスプリッ
タ14で透過光と反射光に分けられる。透過光はシュタ
ルクセル20に入射し、セル20内のガスと相互作用し
吸収される。平行電極21には発振器23により交流電
圧がかけられている。シュタルクセル20からの出射光
は光検出器16で検出される。 したがって第1図に示す実施例の装置と同様な検出効果
が得られる。 なお上記の各実施例で、試料ガスとして 14NH3ガスと
15NH3ガスを使用して半導体レーザ10の発光波数を6
568.41cm-1と6556.10cm-1近辺を交互に掃
引させたが、試料ガスが変わらなければ同一振動、同一
回転状態の波数6548.62cm-1と6536.48cm
-1の組み合わせ、または波数6528.77cm-1と65
16.26cm-1の組み合わせでその波数近辺を交互に掃
引してもよい。 このように 14NH3ガスおよび 15NH3ガスの夫々光吸収強
度の強いスペクトルを測定することができ、同位体相互
の吸収の影響を受けることがなく、外乱の影響を除去で
きる。スペクトル幅0.0003〜0.003cm-1と発
振スペクトル幅が非常に狭いうえに、小型で信頼性の高
い近赤外域の半導体レーザを波長可変光源として使用
し、同一振動、回転モードの両ペアの波数のスペクトル
をロックイン増幅器19で測定しているため、スペクト
ル形状を正確に測定できる。 また、同一振動、同一回転状態のスペクトル測定による
同位体の分析は、上記実施例に示した窒素以外の同位体
分析、例えば炭素同位体、水素同位体分析にも適用でき
る。
以上、詳細に説明したように、本発明を適用する同位体
分析装置は、小型で信頼性の高い近赤外域の半導体レー
ザを波長可変光源として使用し、複数の同位体の同一振
動、回転モードの波数のスペクトルを測定しているた
め、同位体相互間、不純物、外乱の影響を受けることな
く正確、高感度に窒素同位体比がトレースできる。
分析装置は、小型で信頼性の高い近赤外域の半導体レー
ザを波長可変光源として使用し、複数の同位体の同一振
動、回転モードの波数のスペクトルを測定しているた
め、同位体相互間、不純物、外乱の影響を受けることな
く正確、高感度に窒素同位体比がトレースできる。
第1図は本発明を適用する同位体分析装置の実施例のブ
ロック図、第2図は本発明を適用する同位体分析装置の
別な実施例のブロック図、第3図は半導体レーザの温度
と発振波数の関係を示す図、第4図は従来の同位体分析
装置の一例を示すブロック図である。 1……ランプ、2……試料セル、 3……試料ガス導入口、4……試料ガス排出口 5……分散型分光器、6、15……ミラー 7……回折格子、8……スリット 9、16、18……光検出器、10……半導体レーザ 11……温度制御部、12……電流制御部 13、23……発振器、14……ビームスプリッタ 17……参照セル、19……ロックイン増幅器 20……シュタルクセル、21……平行電極
ロック図、第2図は本発明を適用する同位体分析装置の
別な実施例のブロック図、第3図は半導体レーザの温度
と発振波数の関係を示す図、第4図は従来の同位体分析
装置の一例を示すブロック図である。 1……ランプ、2……試料セル、 3……試料ガス導入口、4……試料ガス排出口 5……分散型分光器、6、15……ミラー 7……回折格子、8……スリット 9、16、18……光検出器、10……半導体レーザ 11……温度制御部、12……電流制御部 13、23……発振器、14……ビームスプリッタ 17……参照セル、19……ロックイン増幅器 20……シュタルクセル、21……平行電極
Claims (5)
- 【請求項1】光吸収スペクトル強度比から複数の同位体
が混在する被検物の同位体比を検出する同位体分析装置
において、該複数の同位体が同一振動状態および同一回
転状態で吸収するスペクトルの波長を発光する近赤外域
の半導体レーザと、該半導体レーザに周波数変調をかけ
る周波数変調手段と、該半導体レーザから該複数の同位
体が混在する被検物を通過したレーザ光を検出する光検
出器と、該周波数変調手段の変調周波数と該光検出器で
検出した前記レーザ光の信号周波数の整合を検出するロ
ックイン増幅器を有し、その整合性のある信号から前記
被検物の光吸収スペクトル強度比を検出することを特徴
とする同位体分析装置。 - 【請求項2】光吸収スペクトル強度比から複数の同位体
が混在する被検物の同位体比を検出する同位体分析装置
において、該複数の同位体が同一振動状態および同一回
転状態で吸収するスペクトルの波長を発光する近赤外域
の半導体レーザと、該被検物を入れるシュタルクセル
と、該シュタルクセル内の電極に変調電圧をかける周波
数変調手段と、該半導体レーザから該複数の同位体が混
在する被検物を通過したレーザ光を検出する光検出器
と、該周波数変調手段の変調周波数と該光検出器で検出
した前記レーザ光の信号周波数の整合を検出するロック
イン増幅器を有し、その整合性のある信号から前記被検
物の光吸収スペクトル強度比を検出することを特徴とす
る同位体分析装置。 - 【請求項3】前記半導体レーザからのレーザ光を分岐す
る手段と、該分岐手段により分岐されたレーザ光が標準
被検物を通過して検出される検出手段を有し、請求第1
項または第2項に記載の同位体分析装置で検出された前
記被検物の光吸収スペクトル強度比と検出手段による検
出信号とが比較可能なことを特徴とする同位体分析装
置。 - 【請求項4】前記半導体レーザが波長掃引することによ
り該複数の同位体の同一振動状態および同一回転状態で
吸収するスペクトルの複数波長を発光することを特徴と
する請求項第1項、第2項または3項に記載の同位体分
析装置。 - 【請求項5】前記半導体レーザが複数設けられ、前記複
数の同位体の同一振動状態および同一回転状態で吸収す
るスペクトルの波長を夫々発光し、その発光レーザ光が
交互に被検物を通過することを特徴とする請求項第1
項、第2項または第3項に記載の同位体分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14879590A JPH0617869B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 同位体分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14879590A JPH0617869B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 同位体分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442041A JPH0442041A (ja) | 1992-02-12 |
| JPH0617869B2 true JPH0617869B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=15460872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14879590A Expired - Fee Related JPH0617869B2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 同位体分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617869B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296922A (ja) * | 1992-04-16 | 1993-11-12 | Japan Radio Co Ltd | 炭素同位体分析装置 |
| US7324203B2 (en) * | 2005-02-08 | 2008-01-29 | General Electric Company | Method and apparatus for optical detection for multi-phase combustion systems |
| US8456738B2 (en) * | 2005-04-14 | 2013-06-04 | The United States Of America, As Represented By The Secretary, Department Of Health And Human Services | Ultrahigh-resolution fiber-optic confocal microscope and method |
| JP5314301B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2013-10-16 | 三菱重工業株式会社 | ガス濃度計測方法および装置 |
| JP2010032454A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ガス分析装置及びガス分析方法 |
| JP2012108156A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-06-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測方法および装置 |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP14879590A patent/JPH0617869B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0442041A (ja) | 1992-02-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105277503B (zh) | 基于两种量子级联激光光谱的多组分气体同时检测装置及方法 | |
| Franko et al. | Analytical thermal lens instrumentation | |
| US5929442A (en) | Apparatus for and method of analyzing carbon isotopes | |
| EP0624245B1 (en) | Diagnostic tests using near infrared laser absorption spectroscopy | |
| CN204924934U (zh) | 基于两种量子级联激光光谱的多组分气体同时检测装置 | |
| JP3059262B2 (ja) | ガス中の微量水分分析装置 | |
| US9110006B1 (en) | Frequency-feedback cavity enhanced spectrometer | |
| CN107091818B (zh) | 一种多气室复杂组分气体分析系统及方法 | |
| JPS6333643A (ja) | 光学分析法およびプログラム可能高速ランダム波長アクセスを有する装置 | |
| JP2522865B2 (ja) | 炭素同位体分析装置 | |
| JP3114959B2 (ja) | ガス濃度検出方法及びその装置 | |
| You et al. | Cubic nonlinear scanning for improved TDLAS-based methane concentration detection | |
| Wang et al. | Tri-frequency cavity ring-down spectroscopy for fast ppb-level CO2 measurement | |
| JPH05296922A (ja) | 炭素同位体分析装置 | |
| JPH08261922A (ja) | 微量気体検出方法 | |
| JPH0442041A (ja) | 同位体分析装置 | |
| Long et al. | Comparison of step-scan and rapid-scan approaches to the measurement of mid-infrared Fourier transform vibrational circular dichroism | |
| Tran | Acousto-optic tunable filter: a new generation onochromator and more | |
| Duan et al. | Dual-gas sensing technique based on direct absorption spectroscopy assisted wavelength modulation spectroscopy | |
| JPH0618411A (ja) | 炭素同位体分析装置 | |
| JP2876267B2 (ja) | 炭素同位体分析装置 | |
| RU1795737C (ru) | Лазерный газоанализатор для измерения содержания фтористого водорода в газовой среде | |
| JPH10185814A (ja) | 濃度測定装置 | |
| JPH04225142A (ja) | 光吸収測定方法 | |
| RU2453826C2 (ru) | Способ сравнения относительного содержания изотопомеров 12co2 и 13co2 в образцах газовых смесей и устройство для сравнения относительного содержания изотопомеров 12co2 и 13co2 в образцах газовых смесей |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |