JPH0617891B2 - 酸素濃度検出素子 - Google Patents
酸素濃度検出素子Info
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- JPH0617891B2 JPH0617891B2 JP59140016A JP14001684A JPH0617891B2 JP H0617891 B2 JPH0617891 B2 JP H0617891B2 JP 59140016 A JP59140016 A JP 59140016A JP 14001684 A JP14001684 A JP 14001684A JP H0617891 B2 JPH0617891 B2 JP H0617891B2
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、例えば自動車用エンジンの電子的制御を実
行する場合に、このエンジンの運転状況に対応する排気
ガス中の酸素濃度の状態を測定検出する、限界電流値を
測定するようにした酸素濃度検出素子に関する。
行する場合に、このエンジンの運転状況に対応する排気
ガス中の酸素濃度の状態を測定検出する、限界電流値を
測定するようにした酸素濃度検出素子に関する。
［発明の背景技術］ 限界電流値を測定して測定ガス中の酸素濃度を検出する
素子としては、酸素イオン伝導性金属酸化物を板状にし
た固定電解質素子を用いる状態で構成されている。この
固体電解質素子の両面部分にはそれぞれ電極が設定され
るもので、この両電極間に電圧を印加設定し、この電極
間に電流を流すように構成することによって、ガス雰囲
気中の酸素をイオンとして一方の電極から他方の電極に
向けて、上記固体電解質素子中に拡散させている。この
ような状態で、上記電極間に印加される電圧値を変化さ
せても、この電極相互間に流れる電流値が変化しない領
域が存在するもので、この領域における電流が限界電流
値とされるものである。この限界電流値は、上記固体電
解質素子中に拡散される酸素イオンの量に対応する状態
となるものであり、したがって限界電流が発生するよう
に所定の電圧を上記電極間に印加設定し、その時の限界
電流値を測定することによって測定ガス中の酸素濃度を
知ることができるようになる。
素子としては、酸素イオン伝導性金属酸化物を板状にし
た固定電解質素子を用いる状態で構成されている。この
固体電解質素子の両面部分にはそれぞれ電極が設定され
るもので、この両電極間に電圧を印加設定し、この電極
間に電流を流すように構成することによって、ガス雰囲
気中の酸素をイオンとして一方の電極から他方の電極に
向けて、上記固体電解質素子中に拡散させている。この
ような状態で、上記電極間に印加される電圧値を変化さ
せても、この電極相互間に流れる電流値が変化しない領
域が存在するもので、この領域における電流が限界電流
値とされるものである。この限界電流値は、上記固体電
解質素子中に拡散される酸素イオンの量に対応する状態
となるものであり、したがって限界電流が発生するよう
に所定の電圧を上記電極間に印加設定し、その時の限界
電流値を測定することによって測定ガス中の酸素濃度を
知ることができるようになる。
従来、このような限界電流値を測定する酸素濃度検出素
子にあっては、板状あるいはコップ状に成型したセラミ
ック焼結体によって固体電解質が構成されるものであ
り、この焼結体の表面部分に電極を形成するようにして
構成しているものである。
子にあっては、板状あるいはコップ状に成型したセラミ
ック焼結体によって固体電解質が構成されるものであ
り、この焼結体の表面部分に電極を形成するようにして
構成しているものである。
このような焼結体でなる固体電解質物質を用いた酸素濃
度検出素子にあっては、この固体電解質物質の強度が不
足する状態にあるため、その板厚状態を薄く構成するこ
とが困難な状態にある。この固体電解質物質の厚さは薄
くした方が内部抵抗が低い状態にあり、検出素子作動温
度を低くすることができるが、上記のような強度の点か
ら固体電解質物質の厚さを薄くすることが困難な状態に
ある。
度検出素子にあっては、この固体電解質物質の強度が不
足する状態にあるため、その板厚状態を薄く構成するこ
とが困難な状態にある。この固体電解質物質の厚さは薄
くした方が内部抵抗が低い状態にあり、検出素子作動温
度を低くすることができるが、上記のような強度の点か
ら固体電解質物質の厚さを薄くすることが困難な状態に
ある。
また、固体電解質物質の厚さを充分に薄い状態に構成で
きないものであるため、酸素濃度検出作動温度を例えば
７００℃以上の高温状態に設定することが要求されるよ
うになり、大きな容量のヒータを付加しなければならな
い。このため、構造的に複雑な状態となると共に、その
ヒータのための消費電力も大きなものとなる。
きないものであるため、酸素濃度検出作動温度を例えば
７００℃以上の高温状態に設定することが要求されるよ
うになり、大きな容量のヒータを付加しなければならな
い。このため、構造的に複雑な状態となると共に、その
ヒータのための消費電力も大きなものとなる。
［発明の目的］ この発明は上記のような点に鑑みなされたもので、固体
電解質を充分に薄い状態で構成することができ、応答性
に優れたものとすると共にヒータ等の構成も充分に簡略
化することができ、例えば自動車用エンジンの排気ガス
中の酸素濃度の状態を効果的に検出し、エンジンの電子
的制御が充分な応答性をもって効果的に実行されるよう
にする酸素濃度検出素子を提供しようとするものであ
る。
電解質を充分に薄い状態で構成することができ、応答性
に優れたものとすると共にヒータ等の構成も充分に簡略
化することができ、例えば自動車用エンジンの排気ガス
中の酸素濃度の状態を効果的に検出し、エンジンの電子
的制御が充分な応答性をもって効果的に実行されるよう
にする酸素濃度検出素子を提供しようとするものであ
る。
［発明の概要］ この発明に係る酸素濃度検出素子は、周面に発熱体の設
定された柱状に構成されたセラミックヒータの外周面
に、酸素を通過させることができるようにポーラス状に
構成された絶縁膜を形成し、この絶縁膜の外周にメッキ
による多孔質構造の第１の電極を形成する。この第１の
電極の外周の特に先端発熱部分に対応する部分には固体
電解質膜を溶射により形成し、この固体電解質膜の外周
には前記固体電解質膜の一部が検出部として露出される
ようにして絶縁層を形成し、この絶縁層の外周には前記
検出部において前記固体電解質膜に接するようにしたメ
ッキによる多孔質構造の第２の電極を形成し、この電極
の外周に酸素拡散抵抗層が形成されるようにしている。
定された柱状に構成されたセラミックヒータの外周面
に、酸素を通過させることができるようにポーラス状に
構成された絶縁膜を形成し、この絶縁膜の外周にメッキ
による多孔質構造の第１の電極を形成する。この第１の
電極の外周の特に先端発熱部分に対応する部分には固体
電解質膜を溶射により形成し、この固体電解質膜の外周
には前記固体電解質膜の一部が検出部として露出される
ようにして絶縁層を形成し、この絶縁層の外周には前記
検出部において前記固体電解質膜に接するようにしたメ
ッキによる多孔質構造の第２の電極を形成し、この電極
の外周に酸素拡散抵抗層が形成されるようにしている。
したがって、このように構成される酸素濃度検出素子に
よれば、外周部に対応して発熱体の設定されたセラミッ
クヒータに対して強度部材としても作用する絶縁膜を介
して第１の電極がメッキ形成され、さらにこの第１の電
極の外周に検出部を残して形成された絶縁層を介して第
２のメッキ電極が形成される。このため、固体電解質膜
を充分に薄く構成しても、柱状のセラミックヒータの外
周に充分な強度が設定されるようにして保持設定される
ものであり、機械的振動等に対して充分な耐久性が得ら
れる。
よれば、外周部に対応して発熱体の設定されたセラミッ
クヒータに対して強度部材としても作用する絶縁膜を介
して第１の電極がメッキ形成され、さらにこの第１の電
極の外周に検出部を残して形成された絶縁層を介して第
２のメッキ電極が形成される。このため、固体電解質膜
を充分に薄く構成しても、柱状のセラミックヒータの外
周に充分な強度が設定されるようにして保持設定される
ものであり、機械的振動等に対して充分な耐久性が得ら
れる。
特に、セラミックヒータとの間に充分に薄く構成するこ
との可能な絶縁膜を介して固体電解質膜が設定されるも
ので、セラミックヒータの発熱部からの熱が、この固体
電解質膜に対して均一に且つ効率良く伝達されるもの
で、充分に小型化すると共に、動作特性の安定化された
酸素濃度検出素子を構成することができる。
との可能な絶縁膜を介して固体電解質膜が設定されるも
ので、セラミックヒータの発熱部からの熱が、この固体
電解質膜に対して均一に且つ効率良く伝達されるもの
で、充分に小型化すると共に、動作特性の安定化された
酸素濃度検出素子を構成することができる。
［発明の実施例］ 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第１図はその断面構造を示すもので、例えば円柱状のセ
ラミックヒータ11を備える。このヒータ11は、第２図の
（Ａ）に示すように未焼成のアルミナシート111に対し
てＰｔ等の耐熱性金属のペーストをスクリーン印刷して
ヒータパターン112を形成することによって構成され
る。そして、このようにヒータパターン112の形成され
たアルミナシート111は、同図の（Ｂ）に示すような未
焼成棒状のアルミナ中軸113の外周に対して巻付け設定
し、これを一体焼成して同図の（Ｃ）に示すようなセラ
ミックヒータ11を完成するもので、この場合上記ヒータ
パターン112の両端部分に対応して例えばニッケル線等
によるリード線114、115をロー付け設定するものであ
る。この場合、（Ｂ）図に示されるようにアルミナ中軸
113の端部分に一対の溝114aおよび115aを形成し、この
溝114aおよび115aに対して上記リード線114および115を
ロー付け設定し、その外周に対して（Ａ）図に示したア
ルミナシート111を巻付け設定するものである。
第１図はその断面構造を示すもので、例えば円柱状のセ
ラミックヒータ11を備える。このヒータ11は、第２図の
（Ａ）に示すように未焼成のアルミナシート111に対し
てＰｔ等の耐熱性金属のペーストをスクリーン印刷して
ヒータパターン112を形成することによって構成され
る。そして、このようにヒータパターン112の形成され
たアルミナシート111は、同図の（Ｂ）に示すような未
焼成棒状のアルミナ中軸113の外周に対して巻付け設定
し、これを一体焼成して同図の（Ｃ）に示すようなセラ
ミックヒータ11を完成するもので、この場合上記ヒータ
パターン112の両端部分に対応して例えばニッケル線等
によるリード線114、115をロー付け設定するものであ
る。この場合、（Ｂ）図に示されるようにアルミナ中軸
113の端部分に一対の溝114aおよび115aを形成し、この
溝114aおよび115aに対して上記リード線114および115を
ロー付け設定し、その外周に対して（Ａ）図に示したア
ルミナシート111を巻付け設定するものである。
このように構成された柱状のセラミックヒータ11の外周
部分には、絶縁性金属酸化物による多孔質層とされる絶
縁膜12を形成する。この膜12は、外側から引き込んだ酸
素を通過させるためにポーラス状に構成されているもの
で、例えば粒度５０〜１００μ程のアルミナ、マグネシ
ア−アルミナスピネル等の電気的絶縁性粉末をプラズマ
溶射することによって形成される。そして、この絶縁膜
12の外周部分には、Ｐｔによる正側となる第１の電極13
を薄膜状にして形成するもので、この電極13は化学メッ
キによって形成され、雰囲気ガスが自由に通過できるよ
うに多孔質構造とされているものである。
部分には、絶縁性金属酸化物による多孔質層とされる絶
縁膜12を形成する。この膜12は、外側から引き込んだ酸
素を通過させるためにポーラス状に構成されているもの
で、例えば粒度５０〜１００μ程のアルミナ、マグネシ
ア−アルミナスピネル等の電気的絶縁性粉末をプラズマ
溶射することによって形成される。そして、この絶縁膜
12の外周部分には、Ｐｔによる正側となる第１の電極13
を薄膜状にして形成するもので、この電極13は化学メッ
キによって形成され、雰囲気ガスが自由に通過できるよ
うに多孔質構造とされているものである。
このように構成された第１の電極13の外側の例えば上記
ヒータ11の先端部分に対応する部分には、固体電解質膜
14を形成する。この固体電解質膜14を構成する材料は、
ＺｒＯ2９０〜９５モル％、Ｙ2Ｏ3５〜１０モル％等で
なるものであり、このような材料を混合、粉砕、造粒、
仮焼した粒度１〜２０μ程の粉末を、５０ＫＷ以上の高
エネルギーでプラズマ溶射し、厚さ１００μ程の緻密な
膜として付着設定されるものである。
ヒータ11の先端部分に対応する部分には、固体電解質膜
14を形成する。この固体電解質膜14を構成する材料は、
ＺｒＯ2９０〜９５モル％、Ｙ2Ｏ3５〜１０モル％等で
なるものであり、このような材料を混合、粉砕、造粒、
仮焼した粒度１〜２０μ程の粉末を、５０ＫＷ以上の高
エネルギーでプラズマ溶射し、厚さ１００μ程の緻密な
膜として付着設定されるものである。
このように固体電解質膜14の形成されたヒータ11の外周
部に対しては、電気的絶縁層15を溶射形成するもので、
この絶縁層15は上記固体電解質膜14の一部を酸素濃度測
定検出部16として残す状態で上記第１の電解13部分を含
む状態で形成設定されている。そして、この絶縁層15の
外周部に対しては、上記検出部16を含む状態でガスの通
過を許容する多孔質な状態の負側の第２の電極17を形成
するもので、この電極17は上記第１の電極13と同様な状
態で化学メッキによって形成される。このような第２の
電極17の外周面には、さらに酸素拡散抵抗層18を設ける
もので、この抵抗層18はマグネシア−アルミナスピネル
等の化学的、熱的に安定な材料をプラズマ溶射すること
によって形成される。
部に対しては、電気的絶縁層15を溶射形成するもので、
この絶縁層15は上記固体電解質膜14の一部を酸素濃度測
定検出部16として残す状態で上記第１の電解13部分を含
む状態で形成設定されている。そして、この絶縁層15の
外周部に対しては、上記検出部16を含む状態でガスの通
過を許容する多孔質な状態の負側の第２の電極17を形成
するもので、この電極17は上記第１の電極13と同様な状
態で化学メッキによって形成される。このような第２の
電極17の外周面には、さらに酸素拡散抵抗層18を設ける
もので、この抵抗層18はマグネシア−アルミナスピネル
等の化学的、熱的に安定な材料をプラズマ溶射すること
によって形成される。
このようにして酸素濃度検出素子の本体部分が構成され
るもので、この本体部分の上記固体電解質膜14を形成し
た先端部分に対する基端部分に対しては、鍔状になるよ
うな状態で金属性のステム19をロ−付けして取付け設定
する。このステム19は上記第１の電極13の外周部分に対
して嵌め合せ設定されているもので、この第１の電極13
の導出端子としても作用する状態とされるものである。
また、第２の電極17に対応する部分には、この電極17の
導出端子部となる状態で金属リング20を取付け設定する
もので、このリング20に対してはリード線21を接続し、
このリード線21は絶縁碍子22で絶縁保護する状態で上記
ステム19を貫通するようにしてヒータ11の基端部に導出
するもので、これによりヒータ11のリード線114、115、
第１の電極13の導出端子（ステム19）、第２の電極17の
導出リード線21の設定される酸素濃度検出素子23が構成
されるものである。
るもので、この本体部分の上記固体電解質膜14を形成し
た先端部分に対する基端部分に対しては、鍔状になるよ
うな状態で金属性のステム19をロ−付けして取付け設定
する。このステム19は上記第１の電極13の外周部分に対
して嵌め合せ設定されているもので、この第１の電極13
の導出端子としても作用する状態とされるものである。
また、第２の電極17に対応する部分には、この電極17の
導出端子部となる状態で金属リング20を取付け設定する
もので、このリング20に対してはリード線21を接続し、
このリード線21は絶縁碍子22で絶縁保護する状態で上記
ステム19を貫通するようにしてヒータ11の基端部に導出
するもので、これによりヒータ11のリード線114、115、
第１の電極13の導出端子（ステム19）、第２の電極17の
導出リード線21の設定される酸素濃度検出素子23が構成
されるものである。
第３図は上記のように構成される酸素濃度検出素子23を
用いた酸素濃度検出装置の構成を示しているもので、円
筒状にしたハウジング30の段部分31に対して上記ステム
19が乗せられる状態で設定する。この場合、上記ステム
19はセラミック絶縁板33を介してハウジング30の段部分
31に対して載置設定されるようになっているもので、こ
のハウジング30は金属製フランジ34を一体にして備え、
このフランジ34によって図では示されないエンジンの排
気管に対して取付けられるようにされている。
用いた酸素濃度検出装置の構成を示しているもので、円
筒状にしたハウジング30の段部分31に対して上記ステム
19が乗せられる状態で設定する。この場合、上記ステム
19はセラミック絶縁板33を介してハウジング30の段部分
31に対して載置設定されるようになっているもので、こ
のハウジング30は金属製フランジ34を一体にして備え、
このフランジ34によって図では示されないエンジンの排
気管に対して取付けられるようにされている。
このようにハウジング30内に設定される検出素子23のス
テム19に対しては、このステム19を段部分31に対して押
し付けるようにしてスプリング35を設定し、このスプリ
ング35を金属パイプ36で押え込むようにする。この場
合、上記スプリング35および金属パイプ36は、電気的に
検出素子23のステム19に対して接続設定され、第１の電
極13の導出端子として作用する状態とされる。
テム19に対しては、このステム19を段部分31に対して押
し付けるようにしてスプリング35を設定し、このスプリ
ング35を金属パイプ36で押え込むようにする。この場
合、上記スプリング35および金属パイプ36は、電気的に
検出素子23のステム19に対して接続設定され、第１の電
極13の導出端子として作用する状態とされる。
そして、このような金属パイプ36の外周部には、一体的
となる状態でアルミナ等のセラミック絶縁管37を設定
し、この絶縁管37は保護用外管38内に設定されるように
するもので、この外管38は上記ハウジング30に対してか
しめることによって結合して、上記検出素子23がハウジ
ング30内に収納設定され、スプリング35によって固定保
持されるようにする。この場合、検出素子23部からのリ
ード線21、114、115は金属パイプ36内を通る状態で引き
出され、また前記第１の電極13に接続される状態となる
金属パイプ36に対してはリード線39を溶接によって接続
設定し、これらリード線21、114、115および39は金属パ
イプ36に対して設定されるゴムパッキング40で固定設定
して取り出すものであり、外部コネクタに対して接続す
るアッセンブリとする。
となる状態でアルミナ等のセラミック絶縁管37を設定
し、この絶縁管37は保護用外管38内に設定されるように
するもので、この外管38は上記ハウジング30に対してか
しめることによって結合して、上記検出素子23がハウジ
ング30内に収納設定され、スプリング35によって固定保
持されるようにする。この場合、検出素子23部からのリ
ード線21、114、115は金属パイプ36内を通る状態で引き
出され、また前記第１の電極13に接続される状態となる
金属パイプ36に対してはリード線39を溶接によって接続
設定し、これらリード線21、114、115および39は金属パ
イプ36に対して設定されるゴムパッキング40で固定設定
して取り出すものであり、外部コネクタに対して接続す
るアッセンブリとする。
そして、上記ハウジング30に設定される検出素子23の検
出部分は、上記ハウジング30から突出する状態に設定さ
れるもので、この検出素子23部分に対応して、多数の透
孔を形成したカバー41が取付け設定される。そして、フ
ランジ34によって例えばこの検出装置をエンジンの排気
管に対して取付け設定した場合、上記カバー41に対応す
る部分が上記排気管の中に設定され、排気ガスが酸素濃
度検出素子23に対して作用する状態に設定され、この検
出素子23が排気カス雰囲気中に設定されるようにして使
用するものである。
出部分は、上記ハウジング30から突出する状態に設定さ
れるもので、この検出素子23部分に対応して、多数の透
孔を形成したカバー41が取付け設定される。そして、フ
ランジ34によって例えばこの検出装置をエンジンの排気
管に対して取付け設定した場合、上記カバー41に対応す
る部分が上記排気管の中に設定され、排気ガスが酸素濃
度検出素子23に対して作用する状態に設定され、この検
出素子23が排気カス雰囲気中に設定されるようにして使
用するものである。
すなわち、上記のようにして使用される検出装置を構成
する酸素濃度検出素子23にあって、その第１の電極13と
第２の電極17との間に電圧を印加設定することによっ
て、正の第１の電極13から固体電解質膜14を介して負の
第２の電極17に向けて電流が流れる。これは、固体電解
質膜14が酸素導電性の電解質であるため、上記雰囲気ガ
スから拡散抵抗層18を通ってきた酸素分子が、負の第２
の電極17部分でイオン化し、固体電解質膜14を流れて第
１の電極13に向かう動きに基づいた発生するものであ
る。
する酸素濃度検出素子23にあって、その第１の電極13と
第２の電極17との間に電圧を印加設定することによっ
て、正の第１の電極13から固体電解質膜14を介して負の
第２の電極17に向けて電流が流れる。これは、固体電解
質膜14が酸素導電性の電解質であるため、上記雰囲気ガ
スから拡散抵抗層18を通ってきた酸素分子が、負の第２
の電極17部分でイオン化し、固体電解質膜14を流れて第
１の電極13に向かう動きに基づいた発生するものであ
る。
ここで、上記第１および第２の電極13および17の間の電
圧を順次増加するように変化設定してみると、上記酸素
分子の移動が拡散抵抗層18が存在するために制限され、
上記印加電圧を変化させても電流変化が生じない領域が
現れるようになる。このときの電流を限界電流Ｉｌと称
されるものであり、この限界電流値がこの検出素子23の
検出信号として使用されるようになるものである。ここ
で、限界電流Ｉｌは次のように表現される。
圧を順次増加するように変化設定してみると、上記酸素
分子の移動が拡散抵抗層18が存在するために制限され、
上記印加電圧を変化させても電流変化が生じない領域が
現れるようになる。このときの電流を限界電流Ｉｌと称
されるものであり、この限界電流値がこの検出素子23の
検出信号として使用されるようになるものである。ここ
で、限界電流Ｉｌは次のように表現される。
Ｉｌ≒（４ＦＤｏ2／ＲＴ）Ｓ／ｌ・Ｐｏ2 ……（１） 但し、Ｆ：ファラディ定数 Ｒ：気体定数 Ｄｏ2：酸素拡散定数 Ｔ：絶対温度 Ｓ：電極面積 ｌ：拡散抵抗層有効拡散距離 Ｐｏ2：酸素分圧 この限界電流値は検出ガスの酸素濃度に応じて変化する
ようになるものであり、したがって一定電圧を第１およ
び第２の電極13および17の間に印加設定し、そのときの
限界電流値を測定するようにすれば、その検出ガス中の
酸素濃度が測定されるようになるものである。
ようになるものであり、したがって一定電圧を第１およ
び第２の電極13および17の間に印加設定し、そのときの
限界電流値を測定するようにすれば、その検出ガス中の
酸素濃度が測定されるようになるものである。
このような酸素濃度検出素子23をＯ2−Ｎ2系のモデルガ
スの中に設定して、温度６００℃で測定実験してみたと
ころ、第４図および第５図に示すような結果を得た。す
なわち、印加電圧Ｖと電流値の関係は、第４図に示すよ
うに酸素濃度にそれぞれ対応してフラットな形状を持つ
ようになり、電極間電圧０．７Ｖの状態で限界電流値は
第５図のように酸素濃度に対して直線的な関係が得られ
た。
スの中に設定して、温度６００℃で測定実験してみたと
ころ、第４図および第５図に示すような結果を得た。す
なわち、印加電圧Ｖと電流値の関係は、第４図に示すよ
うに酸素濃度にそれぞれ対応してフラットな形状を持つ
ようになり、電極間電圧０．７Ｖの状態で限界電流値は
第５図のように酸素濃度に対して直線的な関係が得られ
た。
なお、上記実施例に示される酸素濃度検出素子23におい
て、拡散抵抗層18は第２の電極17の保護も兼ねるように
図で示すよりもさらに上方まで延長形成してもよいもの
であり、また絶縁層12および15はプラズマ溶射によらず
ディッピング等の方法で製造してもよい。また、第１お
よび第２の電極13および17も化学メッキに限らず、電気
メッキ、スパッタリング、ペースト焼付け等の方法によ
って形成するようにしてもよいものである。
て、拡散抵抗層18は第２の電極17の保護も兼ねるように
図で示すよりもさらに上方まで延長形成してもよいもの
であり、また絶縁層12および15はプラズマ溶射によらず
ディッピング等の方法で製造してもよい。また、第１お
よび第２の電極13および17も化学メッキに限らず、電気
メッキ、スパッタリング、ペースト焼付け等の方法によ
って形成するようにしてもよいものである。
さらに、固体電解質膜14の材質は、上記例に示したもの
に限らず適宜その目的に対応した材料が使用されるもの
で、例えばＺｒＯ2−ＹｂＯ3、−ＣａＯ系、またさらに
他の酸素イオン導電性金属酸化物によって構成してもよ
いものである。
に限らず適宜その目的に対応した材料が使用されるもの
で、例えばＺｒＯ2−ＹｂＯ3、−ＣａＯ系、またさらに
他の酸素イオン導電性金属酸化物によって構成してもよ
いものである。
［発明の効果］ 以上のようにこの発明に係る酸素濃度検出素子にあって
は、固体電解質膜を充分に薄膜状に構成することができ
るものであり、この場合にあってもこの固体電解質膜は
セラミックヒータによって充分に強度が設定される状態
で保持設定されるものである。したがって、この固体電
解質膜における内部抵抗が充分に低減できるものであ
り、この検出素子の作動温度を効果的に低下設定できる
ようになる。そして、この固体電解質膜の充分に薄い状
態で構成できるようになった結果、この検出素子を容易
に小型化して構成できるようになり、エンジン機構に対
して簡単に取付け設定して使用できるようになる。そし
て、特に固体電解質膜がヒータに対して直接的に接触す
るような状態で構成できるものであるため、このヒータ
による固体電解質膜に対する加熱効果が良好な状態とな
り、ヒータ電力が低減され、またその耐久性も確実に向
上されるようになるものである。
は、固体電解質膜を充分に薄膜状に構成することができ
るものであり、この場合にあってもこの固体電解質膜は
セラミックヒータによって充分に強度が設定される状態
で保持設定されるものである。したがって、この固体電
解質膜における内部抵抗が充分に低減できるものであ
り、この検出素子の作動温度を効果的に低下設定できる
ようになる。そして、この固体電解質膜の充分に薄い状
態で構成できるようになった結果、この検出素子を容易
に小型化して構成できるようになり、エンジン機構に対
して簡単に取付け設定して使用できるようになる。そし
て、特に固体電解質膜がヒータに対して直接的に接触す
るような状態で構成できるものであるため、このヒータ
による固体電解質膜に対する加熱効果が良好な状態とな
り、ヒータ電力が低減され、またその耐久性も確実に向
上されるようになるものである。
第１図はこの発明の一実施例に係る酸素濃度検出素子を
説明する断面構成図、第２図の（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞ
れ上記検出素子を構成するセラミックヒータの構成状態
を説明する図、第３図は上記検出素子を使用した検出装
置の構成を説明する断面図、第４図および第５図はそれ
ぞれ上記検出素子の動作特性を説明する図である。 11……セラミックヒータ、12、15……絶縁層、13、17…
…第１および第２の電極、14……固体電解質膜、18……
拡散抵抗層。
説明する断面構成図、第２図の（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞ
れ上記検出素子を構成するセラミックヒータの構成状態
を説明する図、第３図は上記検出素子を使用した検出装
置の構成を説明する断面図、第４図および第５図はそれ
ぞれ上記検出素子の動作特性を説明する図である。 11……セラミックヒータ、12、15……絶縁層、13、17…
…第１および第２の電極、14……固体電解質膜、18……
拡散抵抗層。
Claims (1)
- 【請求項１】外周に対応して発熱体の設定された柱状の
セラミックヒータと、 このセラミックヒータの外周面に形成された多孔質構造
の酸素を通過させるための多孔質層と、 この多孔質層の外周面に形成した多孔質構造の第１の電
極と、 この第１の電極の外周部に形成した固体電解質膜と、 この固体電解質層の外周に形成した絶縁層と、 この絶縁層に前記固体電解質膜の一部が露出されるよう
に開口形成し検出部と、 前記絶縁層の外周に、前記検出部の固体電解質膜の露出
部を含む状態で形成された多孔質構造の第２の電極と、 この第２の電極の外周部に形成した酸素拡散抵抗層とを
具備し、 前記固体電解質膜に対応する部分を測定ガス雰囲気中に
設定するようにしたことを特徴とする酸素濃度検出素
子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140016A JPH0617891B2 (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 酸素濃度検出素子 |
| US06/751,729 US4642174A (en) | 1984-07-06 | 1985-07-03 | Apparatus for determining the oxygen content in gases |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140016A JPH0617891B2 (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 酸素濃度検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118854A JPS6118854A (ja) | 1986-01-27 |
| JPH0617891B2 true JPH0617891B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=15258972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59140016A Expired - Lifetime JPH0617891B2 (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 酸素濃度検出素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4642174A (ja) |
| JP (1) | JPH0617891B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108963U (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-10 | ||
| JPS61158883A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 被覆膜付きジルコニア基焼結体 |
| JPH0515092Y2 (ja) * | 1985-09-28 | 1993-04-21 | ||
| JPS6293653A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-30 | Ngk Insulators Ltd | 加熱センサ |
| US5074988A (en) * | 1986-02-20 | 1991-12-24 | Raychem Corporation | Apparatus for monitoring an electrolyte |
| US4908119A (en) * | 1986-09-01 | 1990-03-13 | Nippondenso Co., Ltd. | Apparatus for determining oxygen concentration |
| US4773376A (en) * | 1986-11-10 | 1988-09-27 | Japan Electronic Control Systems Co., Ltd. | Oxygen gas concentration-detecting apparatus and air-fuel ratio-controlling apparatus using same in internal combustion engine |
| US4915814A (en) * | 1987-09-30 | 1990-04-10 | Hitachi, Ltd. | Sensor for measurement of air/fuel ratio and method of manufacturing |
| US5310575A (en) * | 1987-11-03 | 1994-05-10 | Robert Bosch Gmbh | Method of making a porous ceramic protective layer on an electrode of an electrochemical sensor for exposure to hot gas |
| DE3737215A1 (de) * | 1987-11-03 | 1989-05-24 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer messfuehler |
| JPH0631422Y2 (ja) * | 1988-07-30 | 1994-08-22 | 日本碍子株式会社 | 酸素センサの端部構造 |
| JP2786507B2 (ja) * | 1990-03-22 | 1998-08-13 | 日本碍子株式会社 | 酸素センサ |
| JPH0513359U (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-23 | タキロン株式会社 | ごみ取り装置 |
| US6824661B2 (en) | 1999-09-23 | 2004-11-30 | Ceramphysics, Inc. | Combined oxygen and NOx sensor |
| US6592731B1 (en) | 1999-09-23 | 2003-07-15 | Ceramphysics, Inc. | Amperometric oxygen sensor |
| EP1191333B1 (en) * | 2000-07-31 | 2007-10-03 | NGK Spark Plug Company Limited | Multi-layer gas sensor element and gas sensor comprising the same |
| JP4204773B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2009-01-07 | 株式会社日立製作所 | 空燃比検出装置 |
| JP3782031B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2006-06-07 | 株式会社日立製作所 | 空燃比検出装置 |
| US20090050480A1 (en) * | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Exhaust gas sensor |
| US20090050479A1 (en) * | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Exhaust gas sensor |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1015827A (en) * | 1974-11-18 | 1977-08-16 | General Motors Corporation | Air/fuel ratio sensor having catalytic and noncatalytic electrodes |
| US4040930A (en) * | 1976-02-05 | 1977-08-09 | Uop Inc. | Oxygen sensor |
| JPS5315886A (en) * | 1976-07-28 | 1978-02-14 | Nippon Denso Co Ltd | Oxygen concentration detector |
| JPS5625408Y2 (ja) * | 1976-08-23 | 1981-06-16 | ||
| JPS5381191A (en) * | 1976-12-25 | 1978-07-18 | Toyota Motor Co Ltd | Oxygen concentration sensor |
| US4111778A (en) * | 1977-12-05 | 1978-09-05 | Bendix Autolite Corporation | Protection assembly and ground for gas constituent sensor |
| DE2907032C2 (de) * | 1979-02-23 | 1984-06-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Polarographischer Sauerstoffmeßfühler für Gase, insbesondere für Abgase von Verbrennungsmotoren |
| DE2909452C2 (de) * | 1979-03-10 | 1986-12-18 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen |
| JPS55155859A (en) * | 1979-05-25 | 1980-12-04 | Towa Kogyo Kk | Method of waterproofing |
| DE3023337A1 (de) * | 1980-06-21 | 1982-01-14 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen, insbesondere in abgasen von brennkraftmaschinen |
| JPS5940898B2 (ja) * | 1980-12-01 | 1984-10-03 | 日立金属株式会社 | 超硬合金およびその製造方法 |
| JPS57144454A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-07 | Nissan Motor Co Ltd | Production of oxygen concentration detecting element |
| JPS57166554A (en) * | 1981-04-08 | 1982-10-14 | Nippon Denso Co Ltd | Preparation of oxygen concentration sensor |
| JPS5824855A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-14 | Nippon Denso Co Ltd | 酸素濃度検出器 |
| JPS58166252A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Toyota Motor Corp | セラミツクヒ−タ付酸素センサ素子及びその製造方法 |
| JPS5967454A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Nippon Denso Co Ltd | 酸素濃度検出器 |
| JPS59166854A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-20 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 限界電流式酸素センサ |
| US4512871A (en) * | 1983-05-09 | 1985-04-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Oxygen sensor with heater |
-
1984
- 1984-07-06 JP JP59140016A patent/JPH0617891B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-07-03 US US06/751,729 patent/US4642174A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6118854A (ja) | 1986-01-27 |
| US4642174A (en) | 1987-02-10 |
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