JPH0618089A - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
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- JPH0618089A JPH0618089A JP4172560A JP17256092A JPH0618089A JP H0618089 A JPH0618089 A JP H0618089A JP 4172560 A JP4172560 A JP 4172560A JP 17256092 A JP17256092 A JP 17256092A JP H0618089 A JPH0618089 A JP H0618089A
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- fluid supply
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H1/00—Water heaters, e.g. boilers, continuous-flow heaters or water-storage heaters
- F24H1/10—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium
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- F24H1/10—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium
- F24H1/12—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium in which the water is kept separate from the heating medium
- F24H1/121—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium in which the water is kept separate from the heating medium using electric energy supply
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Central Heating Systems (AREA)
- Steam Or Hot-Water Central Heating Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 石英ガラスにて構成した加熱容器２ａを用い
た流体加熱装置において小型化を図ることができるよう
にする。 【構成】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置にお
いて、加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内に収容
し、これら加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内で
分離し、流体供給調整部３を加熱部２の側方に配置した
構成となっている。
た流体加熱装置において小型化を図ることができるよう
にする。 【構成】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置にお
いて、加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内に収容
し、これら加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内で
分離し、流体供給調整部３を加熱部２の側方に配置した
構成となっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主として純水や薬液の
加熱に用いられる流体加熱装置で、半導体製造用洗浄液
温調装置、薬液温調装置、メッキ液温調装置さらに食品
製造用液温調装置等に適用されるものある。
加熱に用いられる流体加熱装置で、半導体製造用洗浄液
温調装置、薬液温調装置、メッキ液温調装置さらに食品
製造用液温調装置等に適用されるものある。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用洗浄液温調装置としては、
被加熱流体の汚染防止の観点から、加熱容器の材質に石
英ガラスを用い、加熱源のヒータも直接液体に接触しな
いように、石英ガラス管内に設置する構造のものが多
い。また加熱効率の向上の観点からニクロム線ヒータを
加熱源に用いる方式に代わりハロゲンランプを利用する
方式も多くなっている。
被加熱流体の汚染防止の観点から、加熱容器の材質に石
英ガラスを用い、加熱源のヒータも直接液体に接触しな
いように、石英ガラス管内に設置する構造のものが多
い。また加熱効率の向上の観点からニクロム線ヒータを
加熱源に用いる方式に代わりハロゲンランプを利用する
方式も多くなっている。
【０００３】そして従来の上記流体加熱装置で、図１
（Ａ）に示すように、石英ガラス容器ａとヒータｂを組
合わせたものとしては、実開平２−５２４３７号公報に
示されたものがあり、また図１（Ｂ）に示すように、加
熱器の加熱能力を増大させるために、石英ガラスによる
二重管加熱容器Ｃの中空内管にヒータを配置した加熱容
器を複数個連結して流体を連続に加熱できるようにした
連続加熱器の従来技術としては、実開昭６２−２２４６
２号公報に示されたものがある。さらに、加熱能力の増
大を図った連続加熱装置の他の先行技術としては、図２
に示すように、石英ガラスからなる外管ｅ内に複数の内
管ｆを配し、この各円管ｆ内にハロゲンランプからなる
ヒータを取出し自在に設置した加熱容器ｇを複数個直列
に配置したものがある。
（Ａ）に示すように、石英ガラス容器ａとヒータｂを組
合わせたものとしては、実開平２−５２４３７号公報に
示されたものがあり、また図１（Ｂ）に示すように、加
熱器の加熱能力を増大させるために、石英ガラスによる
二重管加熱容器Ｃの中空内管にヒータを配置した加熱容
器を複数個連結して流体を連続に加熱できるようにした
連続加熱器の従来技術としては、実開昭６２−２２４６
２号公報に示されたものがある。さらに、加熱能力の増
大を図った連続加熱装置の他の先行技術としては、図２
に示すように、石英ガラスからなる外管ｅ内に複数の内
管ｆを配し、この各円管ｆ内にハロゲンランプからなる
ヒータを取出し自在に設置した加熱容器ｇを複数個直列
に配置したものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術にあっ
ては、（１）不均一加熱の問題、（２）大型化の問題、
（３）液溜まりの問題等があり、これら個々の問題点を
以下に説明する。
ては、（１）不均一加熱の問題、（２）大型化の問題、
（３）液溜まりの問題等があり、これら個々の問題点を
以下に説明する。
【０００５】（１）不均一加熱 被加熱流体の汚染防止の上で石英ガラスを用いることは
実開平２−５２４３７号公報（図１）で示すように不可
欠であるが、この場合、加熱容器が加熱と被洗浄物の処
理槽を兼ねているため、加熱容器の大型化や流体の加熱
が不均一になるなどの問題がある。
実開平２−５２４３７号公報（図１）で示すように不可
欠であるが、この場合、加熱容器が加熱と被洗浄物の処
理槽を兼ねているため、加熱容器の大型化や流体の加熱
が不均一になるなどの問題がある。
【０００６】（２）大型化 加熱容器の加熱の高効率化と小型化を図るためには、ま
ず加熱容器の数を増やす方法があるが、図１（Ｂ）に示
される実開昭６２−２２４６２号公報のものにあって
は、加熱容器間を結ぶ配管が長いため、加熱容器を複数
個並べた場合は全体の高さが増えてしまう問題がある。
また図２にす構成のものにあっては、加熱容器としては
石英ガラスの外管内ｅの複数の内管ｆを配し、その中に
ヒータを設置した構造にして加熱容器単体としての大出
力化を図り、この加熱容器ｇを複数個隣接配置して連続
加熱ができるようにして大容量の流体の加熱を実現して
いるが、この連続隣接配置方法も加熱容器間のピッチが
大きく、加熱装置全体の容積を増やし、装置の大型化を
招くという問題がある。
ず加熱容器の数を増やす方法があるが、図１（Ｂ）に示
される実開昭６２−２２４６２号公報のものにあって
は、加熱容器間を結ぶ配管が長いため、加熱容器を複数
個並べた場合は全体の高さが増えてしまう問題がある。
また図２にす構成のものにあっては、加熱容器としては
石英ガラスの外管内ｅの複数の内管ｆを配し、その中に
ヒータを設置した構造にして加熱容器単体としての大出
力化を図り、この加熱容器ｇを複数個隣接配置して連続
加熱ができるようにして大容量の流体の加熱を実現して
いるが、この連続隣接配置方法も加熱容器間のピッチが
大きく、加熱装置全体の容積を増やし、装置の大型化を
招くという問題がある。
【０００７】（３）液溜まり 図２に示すものにあっては、各加熱容器ｇが水平状に設
置されているため、各加熱容器ｇの上面に気泡が溜まり
やすく、特に液が沸騰した際に、多量に発生する気泡が
流出しにくく危険であった。また加熱容器内に液溜まり
もできやすく、被加熱流体の汚染の点でも問題がある。
一方図１（Ｂ）に示す実開昭６２−２２４６２号公報の
ものは、加熱容器内の流れを円滑にし、気泡の逃げや液
溜りの防止のために、加熱容器を傾斜して設置している
が、この従来例のものにあっては、複数個の加熱容器を
並べる場合、各加熱容器の傾斜がジグザグ状になって同
じ向きでないため、各加熱容器間のピッチが大きくな
り、スペースをとる問題がある。
置されているため、各加熱容器ｇの上面に気泡が溜まり
やすく、特に液が沸騰した際に、多量に発生する気泡が
流出しにくく危険であった。また加熱容器内に液溜まり
もできやすく、被加熱流体の汚染の点でも問題がある。
一方図１（Ｂ）に示す実開昭６２−２２４６２号公報の
ものは、加熱容器内の流れを円滑にし、気泡の逃げや液
溜りの防止のために、加熱容器を傾斜して設置している
が、この従来例のものにあっては、複数個の加熱容器を
並べる場合、各加熱容器の傾斜がジグザグ状になって同
じ向きでないため、各加熱容器間のピッチが大きくな
り、スペースをとる問題がある。
【０００８】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、被加熱流体を汚染することなく、高効率で流体を
連続的に加熱できるようにする観点からハロゲンランプ
と石英ガラスによる加熱容器の構成を踏襲しつつ、クリ
ーンルーム内での使用を前提に、加熱装置としての小型
化を図り、特に加熱能力の増大の際に顕在化する装置の
大型化の問題を回避でき、また加熱容器及び配管系での
液溜りの問題を回避でき、さらにヒータの寿命を長くす
ることができるようにした流体加熱装置を提供すること
を目的とするものである。
ので、被加熱流体を汚染することなく、高効率で流体を
連続的に加熱できるようにする観点からハロゲンランプ
と石英ガラスによる加熱容器の構成を踏襲しつつ、クリ
ーンルーム内での使用を前提に、加熱装置としての小型
化を図り、特に加熱能力の増大の際に顕在化する装置の
大型化の問題を回避でき、また加熱容器及び配管系での
液溜りの問題を回避でき、さらにヒータの寿命を長くす
ることができるようにした流体加熱装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る流体加熱装置は、純水や薬液の加熱に
用いる流体加熱装置において、加熱部２と流体供給調整
部３とを箱体１内に収容し、これら加熱部２と流体供給
調整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加
熱部２の側方に配置し、または流体供給調整部３を加熱
部２の側方から上下方向にわたって配置した構成となっ
ている。そして上記加熱部２と流体供給調整部３との間
に遮熱板４を介装する。また加熱部２の下流側に気泡分
離除去装置１９を介装する。また加熱部２は両端を側板
５，５にて閉じた筒状の外管６内に、側板５，５を貫通
して内管７を設け、さらに外管６に流入管８と流出管９
とを設け、かつ石英ガラスからなる加熱容器２ａの上記
内管７内にヒータを挿入した構成からなり、流体供給調
整部３は加熱部２に流体を供給する管路で、かつ開閉
弁、流量計、温度センサ、安全弁、継手配管等よりなっ
ている。また加熱部２の加熱容器２ａをその軸心が上下
方向に傾斜するようにして配置すると共に、この傾斜し
て配置される加熱容器２ａの外筒６の低い方の端部下面
に流入管８を、また高い方の端部上面に流出管９のそれ
ぞれの基端部を接続すると共に、上記流入管８と流出管
９をそれぞれの下流側が高くなるように傾斜させた構成
となっている。さらに加熱容器２ａを複数個用いる場合
において、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱
容器２ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向
にオフセットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方
の加熱容器２ａの流入管８を接続する。また、加熱容器
２ａの外筒６に接続する流入管８と流出管９のそれぞれ
の基端部を、外筒６の接線方向に向けて接続し、かつ流
入管８、流出管９の外筒６との接合部の管壁面を曲面と
してある。そしてさらに、加熱容器２ａの内管７内に挿
入するヒータにハロゲンランプ１０を用い、このハロゲ
ンランプ１０の両端のシール部が内管７より完全に露出
させると共に、この両端部をばね状支持具１２にて内管
７に支持した構成となっている。
に、本発明に係る流体加熱装置は、純水や薬液の加熱に
用いる流体加熱装置において、加熱部２と流体供給調整
部３とを箱体１内に収容し、これら加熱部２と流体供給
調整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加
熱部２の側方に配置し、または流体供給調整部３を加熱
部２の側方から上下方向にわたって配置した構成となっ
ている。そして上記加熱部２と流体供給調整部３との間
に遮熱板４を介装する。また加熱部２の下流側に気泡分
離除去装置１９を介装する。また加熱部２は両端を側板
５，５にて閉じた筒状の外管６内に、側板５，５を貫通
して内管７を設け、さらに外管６に流入管８と流出管９
とを設け、かつ石英ガラスからなる加熱容器２ａの上記
内管７内にヒータを挿入した構成からなり、流体供給調
整部３は加熱部２に流体を供給する管路で、かつ開閉
弁、流量計、温度センサ、安全弁、継手配管等よりなっ
ている。また加熱部２の加熱容器２ａをその軸心が上下
方向に傾斜するようにして配置すると共に、この傾斜し
て配置される加熱容器２ａの外筒６の低い方の端部下面
に流入管８を、また高い方の端部上面に流出管９のそれ
ぞれの基端部を接続すると共に、上記流入管８と流出管
９をそれぞれの下流側が高くなるように傾斜させた構成
となっている。さらに加熱容器２ａを複数個用いる場合
において、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱
容器２ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向
にオフセットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方
の加熱容器２ａの流入管８を接続する。また、加熱容器
２ａの外筒６に接続する流入管８と流出管９のそれぞれ
の基端部を、外筒６の接線方向に向けて接続し、かつ流
入管８、流出管９の外筒６との接合部の管壁面を曲面と
してある。そしてさらに、加熱容器２ａの内管７内に挿
入するヒータにハロゲンランプ１０を用い、このハロゲ
ンランプ１０の両端のシール部が内管７より完全に露出
させると共に、この両端部をばね状支持具１２にて内管
７に支持した構成となっている。
【００１０】
【作 用】加熱部２と流体供給調整部３とが箱体１内で
横方向及び上下方向に分離配置されて、薄い箱体１内に
収納される。そしてこの両者間に介装した遮熱板にてそ
れぞれが断熱される。そして流体中の気泡は気泡分離除
去装置１９にて分離除去される。また加熱部３を流れる
流体は常に上方向へ傾斜して流れることにより、途中に
滞溜したり、気泡が溜まることなく流れる。また加熱部
３の各加熱容器２ａ内へ流入する流体は加熱容器２ａの
接線方向に流入される。各加熱容器２ａでのヒータとし
て用いたハロゲンランプ１０は、その両端部の熱上昇が
防止されると共に容易に脱着できるように装着される。
横方向及び上下方向に分離配置されて、薄い箱体１内に
収納される。そしてこの両者間に介装した遮熱板にてそ
れぞれが断熱される。そして流体中の気泡は気泡分離除
去装置１９にて分離除去される。また加熱部３を流れる
流体は常に上方向へ傾斜して流れることにより、途中に
滞溜したり、気泡が溜まることなく流れる。また加熱部
３の各加熱容器２ａ内へ流入する流体は加熱容器２ａの
接線方向に流入される。各加熱容器２ａでのヒータとし
て用いたハロゲンランプ１０は、その両端部の熱上昇が
防止されると共に容易に脱着できるように装着される。
【００１１】
【実 施 例】本発明の実施例を図３から図１０に基づ
いて説明する。図中１は流体加熱装置の箱体であり、こ
の箱体１内に、この箱体１の横方向一方側に、複数の加
熱容器２ａ，２ａを上下方向に直列に接続してなる加熱
部２があり、他方側に、この加熱部２の加熱容器２ａ，
２ａに流体を供給循環させるための流体供給調整部３が
配設してある。そしてこの両者間に遮熱板４が介装して
ある。
いて説明する。図中１は流体加熱装置の箱体であり、こ
の箱体１内に、この箱体１の横方向一方側に、複数の加
熱容器２ａ，２ａを上下方向に直列に接続してなる加熱
部２があり、他方側に、この加熱部２の加熱容器２ａ，
２ａに流体を供給循環させるための流体供給調整部３が
配設してある。そしてこの両者間に遮熱板４が介装して
ある。
【００１２】上記加熱部２の加熱容器２ａは図５から図
７に示すようになっており、両端を側板５，５で閉じた
円筒状に形成された外管６と、この外管６の両側板５，
５を貫通して外管６内に、これと同軸状に複数本配設し
た内管７と、外管６の下側下面に連設した流入管８と、
外管６の外側上面に連設した流出管９とからなってい
る。この加熱容器２ａの全ての構成部材は透明の石英ガ
ラスにて構成され、かつ溶接にてそれぞれが接合されて
いる。内管７の本数は外管６の径によって適宜選択さ
れ、かつ各内管６を覆う流体厚が略同一になるように配
置されている。
７に示すようになっており、両端を側板５，５で閉じた
円筒状に形成された外管６と、この外管６の両側板５，
５を貫通して外管６内に、これと同軸状に複数本配設し
た内管７と、外管６の下側下面に連設した流入管８と、
外管６の外側上面に連設した流出管９とからなってい
る。この加熱容器２ａの全ての構成部材は透明の石英ガ
ラスにて構成され、かつ溶接にてそれぞれが接合されて
いる。内管７の本数は外管６の径によって適宜選択さ
れ、かつ各内管６を覆う流体厚が略同一になるように配
置されている。
【００１３】流入管８と流出管９のそれぞれの基端部は
外管６の断面形状の縦方向中心軸と交る位置で、かつ流
入管８は外管６の下側一側端部に、流入管９は外管６の
上側他側端部にそれぞれ接続されている。そして両管
８，９とも上記縦方向中心軸の一側方に延設されてい
る。そしてこの両管８，９のそれぞれの基部は外管６の
横方向中心軸に対して互いに離れる方向に３〜５°に傾
斜した接線方向に向けてある。また両管８，９のそれぞ
れは上記基部より外管６に沿う方向で、互いに対向する
方向に湾曲折れ曲げられており、かつ流入管８にあって
は外管６の軸心に対して下方６〜８°にわたって傾斜さ
れており、流出管９にあっては外管６の軸心に対して上
方へ６〜８°にわたって傾斜されている。
外管６の断面形状の縦方向中心軸と交る位置で、かつ流
入管８は外管６の下側一側端部に、流入管９は外管６の
上側他側端部にそれぞれ接続されている。そして両管
８，９とも上記縦方向中心軸の一側方に延設されてい
る。そしてこの両管８，９のそれぞれの基部は外管６の
横方向中心軸に対して互いに離れる方向に３〜５°に傾
斜した接線方向に向けてある。また両管８，９のそれぞ
れは上記基部より外管６に沿う方向で、互いに対向する
方向に湾曲折れ曲げられており、かつ流入管８にあって
は外管６の軸心に対して下方６〜８°にわたって傾斜さ
れており、流出管９にあっては外管６の軸心に対して上
方へ６〜８°にわたって傾斜されている。
【００１４】上記加熱容器２ａの各内管７にヒータとな
るハロゲンランプ１０が挿入支持される。このハロゲン
ランプ１０の支持構造は図８に示すようになっていて、
ハロゲンランプ１０の両端のシール部１１が内管７より
完全に露出されるようになっており、そのシール部１１
の近傍の管壁がばね状支持具１２にて内管７の軸心部に
支持されている。ばね状支持具１２は例えば板ばねが用
いられ、折り曲げ中間部にハロゲンランプ１０の管壁を
挟持するヒータ支持部１２ａが設けられ、折り曲げ基端
部と両先端部が内管７の内面に当接する形状になってお
り、一方の先端部に内管７に設けた切欠７ａに係合する
突起１２ｂが設けられている。上記ばね状支持具１２の
形状は図１０に示すように種々の形状が考えられる。
るハロゲンランプ１０が挿入支持される。このハロゲン
ランプ１０の支持構造は図８に示すようになっていて、
ハロゲンランプ１０の両端のシール部１１が内管７より
完全に露出されるようになっており、そのシール部１１
の近傍の管壁がばね状支持具１２にて内管７の軸心部に
支持されている。ばね状支持具１２は例えば板ばねが用
いられ、折り曲げ中間部にハロゲンランプ１０の管壁を
挟持するヒータ支持部１２ａが設けられ、折り曲げ基端
部と両先端部が内管７の内面に当接する形状になってお
り、一方の先端部に内管７に設けた切欠７ａに係合する
突起１２ｂが設けられている。上記ばね状支持具１２の
形状は図１０に示すように種々の形状が考えられる。
【００１５】上記のように構成される各加熱容器２ａ，
２ａは図３に示すように、取付具１３により箱体１に取
付けられる。このとき、複数個の加熱容器２ａ，２ａを
用いる場合には図３に示すように上下に並べて配置す
る。このとき、各加熱容器２ａ，２ａは流出管９の基端
部を接続した方の端部が高くなるようにわずかに、かつ
同方向（平行）に傾斜させてある。この傾斜角は上記流
入管８、流出管９の傾斜度である６〜８°より小さな角
度、例えば３°の角度となっている。この傾斜角の３°
はハロゲンランプ１０の許容設置角度５°以下というハ
ロゲンランプ１０の使用条件を満たしており、また流入
管８と流出管９の姿勢も上記傾斜角度３°にて少しは相
殺されるがまだ３〜５°の傾斜が保たれることになり、
加熱容器２ａを通過する流体は全て上向きの同一の傾斜
角の流路を通過することになる。
２ａは図３に示すように、取付具１３により箱体１に取
付けられる。このとき、複数個の加熱容器２ａ，２ａを
用いる場合には図３に示すように上下に並べて配置す
る。このとき、各加熱容器２ａ，２ａは流出管９の基端
部を接続した方の端部が高くなるようにわずかに、かつ
同方向（平行）に傾斜させてある。この傾斜角は上記流
入管８、流出管９の傾斜度である６〜８°より小さな角
度、例えば３°の角度となっている。この傾斜角の３°
はハロゲンランプ１０の許容設置角度５°以下というハ
ロゲンランプ１０の使用条件を満たしており、また流入
管８と流出管９の姿勢も上記傾斜角度３°にて少しは相
殺されるがまだ３〜５°の傾斜が保たれることになり、
加熱容器２ａを通過する流体は全て上向きの同一の傾斜
角の流路を通過することになる。
【００１６】上記各加熱容器２ａ，２ａの相互は流入管
８と流出管９は通常の接続管にて接続される。そして最
下側（最上流側）の加熱容器２ａの流入管８は排水弁１
４、開閉弁１５、流量計１６等を介装した流入管路１７
に接続されている。一方最上側（最下流側）の加熱容器
２ａの流出管９は温度センサ１８を介して気泡分離除去
装置１９の流入管２０に接続されており、この気泡分離
除去装置１９の流出管２１に開閉弁２２を介装した流出
管路２３が接続してある。またこの流出管路２３の開閉
弁２２の上流側には開閉弁２４と安全弁２５を介装した
安全管路２６が接続してある。
８と流出管９は通常の接続管にて接続される。そして最
下側（最上流側）の加熱容器２ａの流入管８は排水弁１
４、開閉弁１５、流量計１６等を介装した流入管路１７
に接続されている。一方最上側（最下流側）の加熱容器
２ａの流出管９は温度センサ１８を介して気泡分離除去
装置１９の流入管２０に接続されており、この気泡分離
除去装置１９の流出管２１に開閉弁２２を介装した流出
管路２３が接続してある。またこの流出管路２３の開閉
弁２２の上流側には開閉弁２４と安全弁２５を介装した
安全管路２６が接続してある。
【００１７】上記流入管路１７及び流出管路２３はそれ
ぞれ加熱容器２ａの下側及び上側に位置され、かつ加熱
容器２ａの位置より側方へ延長され、また各管路内の開
閉弁、流量計、安全弁等の流体供給調整部３の各機器は
加熱部２に対して遮熱板４にて仕切られた箱体１の他側
方部に配置されている。
ぞれ加熱容器２ａの下側及び上側に位置され、かつ加熱
容器２ａの位置より側方へ延長され、また各管路内の開
閉弁、流量計、安全弁等の流体供給調整部３の各機器は
加熱部２に対して遮熱板４にて仕切られた箱体１の他側
方部に配置されている。
【００１８】上記各加熱容器２ａの流入管８と流出管９
は上記したように、縦方向中心軸に対して一側方へオフ
セットされているが、このオフセット量は流入管８と流
出管９に取付く接手管１３が外管６に干渉しない範囲で
最小にする。
は上記したように、縦方向中心軸に対して一側方へオフ
セットされているが、このオフセット量は流入管８と流
出管９に取付く接手管１３が外管６に干渉しない範囲で
最小にする。
【００１９】気泡分離除去装置１９は加熱容器２と略平
行となる角度で傾斜して取付けられており、かつこれの
流入管２０と流出管２１も加熱容器のそれと同じように
傾斜されており、この気泡分離除去装置１９においても
流体の通路は傾斜するようになっている。
行となる角度で傾斜して取付けられており、かつこれの
流入管２０と流出管２１も加熱容器のそれと同じように
傾斜されており、この気泡分離除去装置１９においても
流体の通路は傾斜するようになっている。
【００２０】上記加熱部２の遮熱板４の反対側にも他の
遮熱板４ａが対設してある。また上記各加熱容器２，２
の外周部は必要に応じて断熱材にて被覆する。
遮熱板４ａが対設してある。また上記各加熱容器２，２
の外周部は必要に応じて断熱材にて被覆する。
【００２１】上記構成において、流入管路１７より流入
した液体は流量計１６、開閉弁１５、排水弁１４を介し
て順次加熱容器２ａ，２ａを通り、この間に内管７内に
挿入されたハロゲンランプ１０にて加熱され、ついで気
泡分離除去装置１９で気泡が分離除去され、流出管路２
３の開閉弁２２を経て流出される。
した液体は流量計１６、開閉弁１５、排水弁１４を介し
て順次加熱容器２ａ，２ａを通り、この間に内管７内に
挿入されたハロゲンランプ１０にて加熱され、ついで気
泡分離除去装置１９で気泡が分離除去され、流出管路２
３の開閉弁２２を経て流出される。
【００２２】このとき、加熱容器２ａ，２ａがハロゲン
ランプ１０の許容設置角度の範囲で傾斜されており、し
かもこの加熱容器２の流入管８と流出管９もそれぞれの
下流側が高くなるように傾斜されていることにより、加
熱容器２ａ内を通る液体は、加熱容器２ａ内で液溜り及
び気泡溜りが生じることなくスムーズに流れる。そして
最後に気泡分離除去装置１９にてまとめて気泡が分離除
去される。また各加熱容器２の流入管８と流出管９の基
端部は加熱容器２の外管６の接線方向に接続されている
ことにより、加熱容器２の液体の流入、流出は旋回流と
なり効率よく加熱される。ヒータとなるハロゲンランプ
１０はばね状支持具１２をはずすことにより容易に交換
される。
ランプ１０の許容設置角度の範囲で傾斜されており、し
かもこの加熱容器２の流入管８と流出管９もそれぞれの
下流側が高くなるように傾斜されていることにより、加
熱容器２ａ内を通る液体は、加熱容器２ａ内で液溜り及
び気泡溜りが生じることなくスムーズに流れる。そして
最後に気泡分離除去装置１９にてまとめて気泡が分離除
去される。また各加熱容器２の流入管８と流出管９の基
端部は加熱容器２の外管６の接線方向に接続されている
ことにより、加熱容器２の液体の流入、流出は旋回流と
なり効率よく加熱される。ヒータとなるハロゲンランプ
１０はばね状支持具１２をはずすことにより容易に交換
される。
【００２３】上記実施例では、流体供給調整部３を加熱
部２の側方へ離間して配置した例を示したが、流体供給
調整部３は加熱部の側方から上下にわたって配置しても
よい。また上記実施例では、加熱部２を構成する加熱容
器２ａを２個用いた例を示したが、この加熱容器２ａは
１個でもよく、あるいは３個以上であってもよく、複数
個用いる場合は上記実施例で示したように上下方向に配
列する。また気泡分離除去装置１９は、加熱容器２ａの
直ぐ下流側に接続しないで、回路系の他の部分に介装す
るようにしてもよい。
部２の側方へ離間して配置した例を示したが、流体供給
調整部３は加熱部の側方から上下にわたって配置しても
よい。また上記実施例では、加熱部２を構成する加熱容
器２ａを２個用いた例を示したが、この加熱容器２ａは
１個でもよく、あるいは３個以上であってもよく、複数
個用いる場合は上記実施例で示したように上下方向に配
列する。また気泡分離除去装置１９は、加熱容器２ａの
直ぐ下流側に接続しないで、回路系の他の部分に介装す
るようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、加熱部２と流体供給調
整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加熱
部２の側方に、または側方と上下に配置したことによ
り、箱体１内に加熱部２と流体供給調整部３を収納して
なる流体加熱装置の薄型化を図ることができる。また箱
体１内での加熱部２と流体供給調整部３の組立性及び整
備性を向上することができる。
整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加熱
部２の側方に、または側方と上下に配置したことによ
り、箱体１内に加熱部２と流体供給調整部３を収納して
なる流体加熱装置の薄型化を図ることができる。また箱
体１内での加熱部２と流体供給調整部３の組立性及び整
備性を向上することができる。
【００２５】また上記加熱部２と流体供給調整部３との
間に遮熱板４を介装したことにより、箱体１内で加熱部
２と流体供給調整部３との間隔を狭くすることができて
装置の小型化を図ることができる。また加熱部の下流側
に気泡分離除去装置１９を介装したことにより、流体の
加熱時に生じる気泡が加熱部を流出する際に分離除去さ
れる。
間に遮熱板４を介装したことにより、箱体１内で加熱部
２と流体供給調整部３との間隔を狭くすることができて
装置の小型化を図ることができる。また加熱部の下流側
に気泡分離除去装置１９を介装したことにより、流体の
加熱時に生じる気泡が加熱部を流出する際に分離除去さ
れる。
【００２６】また、上記加熱部２の加熱容器２ａをその
軸心が上下方向に傾斜するようにして配置したことによ
り、加熱部を流れる流体は、この加熱部２の加熱容器２
ａ内で滞留することがなくなると共に、加熱容器２から
の気泡の流出が円滑に行なわれる。また傾斜して配置さ
れる加熱容器２ａの外筒６の低い方の端部下面に流入管
８を、また高い方の端部上面に流出管９のそれぞれの基
端部を接続すると共に、上記流入管８と流出管９をそれ
ぞれの下流側が高くなるように傾斜させたことにより、
加熱容器２ａに対する流入管８と流出管９のそれぞれの
接続部での流体の流通がスムーズに行なわれると共に、
この部分に気泡が溜まることがなくなる。
軸心が上下方向に傾斜するようにして配置したことによ
り、加熱部を流れる流体は、この加熱部２の加熱容器２
ａ内で滞留することがなくなると共に、加熱容器２から
の気泡の流出が円滑に行なわれる。また傾斜して配置さ
れる加熱容器２ａの外筒６の低い方の端部下面に流入管
８を、また高い方の端部上面に流出管９のそれぞれの基
端部を接続すると共に、上記流入管８と流出管９をそれ
ぞれの下流側が高くなるように傾斜させたことにより、
加熱容器２ａに対する流入管８と流出管９のそれぞれの
接続部での流体の流通がスムーズに行なわれると共に、
この部分に気泡が溜まることがなくなる。
【００２７】また加熱容器２ａを複数個用いる場合にお
いて、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱容器
２ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向にオ
フセットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方の加
熱容器２ａの流入管８を接続したことにより、加熱容器
２ａ相互の流入管８と流出管９の接続部を加熱容器２ａ
の側方で行なうことができ、これにより、複数の加熱容
器２ａを用いた場合に、各加熱容器２ａの上下方向の間
隔を小さくできて高さ方向の大きさを小さくすることが
できる。
いて、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱容器
２ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向にオ
フセットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方の加
熱容器２ａの流入管８を接続したことにより、加熱容器
２ａ相互の流入管８と流出管９の接続部を加熱容器２ａ
の側方で行なうことができ、これにより、複数の加熱容
器２ａを用いた場合に、各加熱容器２ａの上下方向の間
隔を小さくできて高さ方向の大きさを小さくすることが
できる。
【００２８】また加熱容器２ａの外筒６に接続する流入
管８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接触方
向に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外管６と
の接合部の管壁面を曲面にしたことより、加熱容器２ａ
への流体の流入、流出は加熱容器２ａの軸心に対して旋
回流となり、この加熱容器２ａ内での加熱効率を向上す
ることができる。そしてさらに、加熱容器２ａの内管７
内に挿入するヒータにハロゲンランプ１０を用い、この
ハロゲンランプ１０の両端のシール部が内管７より完全
に露出させると共に、この両端部をばね状支持具１２に
て内管７に支持したことにより、ハロゲンランプ１０の
シール部の冷却が十分になり、このハロゲンランプ１０
の寿命を長くすることができ、またこれの脱着を容易に
行なうことができる。
管８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接触方
向に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外管６と
の接合部の管壁面を曲面にしたことより、加熱容器２ａ
への流体の流入、流出は加熱容器２ａの軸心に対して旋
回流となり、この加熱容器２ａ内での加熱効率を向上す
ることができる。そしてさらに、加熱容器２ａの内管７
内に挿入するヒータにハロゲンランプ１０を用い、この
ハロゲンランプ１０の両端のシール部が内管７より完全
に露出させると共に、この両端部をばね状支持具１２に
て内管７に支持したことにより、ハロゲンランプ１０の
シール部の冷却が十分になり、このハロゲンランプ１０
の寿命を長くすることができ、またこれの脱着を容易に
行なうことができる。
【図１】（Ａ）は石英ガラス容器とヒータを組合わせた
従来例を示す断面図である。（Ｂ）は石英ガラスによる
二重管式加熱容器の内管内にヒータを配置した加熱容器
を複数個連結した従来例を示す断面図である。
従来例を示す断面図である。（Ｂ）は石英ガラスによる
二重管式加熱容器の内管内にヒータを配置した加熱容器
を複数個連結した従来例を示す断面図である。
【図２】石英ガラスによる外管内に複数の内管を配し、
この内管内にハロゲンランプを脱着自在に挿入するよう
にした従来例を示す断面図である。
この内管内にハロゲンランプを脱着自在に挿入するよう
にした従来例を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例の概略的な構成を示す破断正面
図である。
図である。
【図４】本発明の実施例の概略的な構成を示す破断側面
図である。
図である。
【図５】本発明にて用いられる加熱容器の一部破断正面
図である。
図である。
【図６】図５のＡ矢視図である。
【図７】図５のＢ矢視図である。
【図８】ハロゲンランプの支持構造部を示す断面図であ
る。
る。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図１０】ハロゲンランプを支持するばね状支持具の他
例を示す正面図である。
例を示す正面図である。
１…箱体、２…加熱部、２ａ…加熱容器、３…流体供給
調整部、４，４ａ…遮熱板、５…側板、６…外管、７…
内管、７ａ…切欠、８…流入管、９…流出管、１０…ハ
ロゲンランプ、１１…シール部、１２…ばね状支持具、
１２ａ…ヒータ支持部、１２ｂ…突起、１３…取付具、
１５，２２，２４…開閉弁、１６…流量計、１７…流入
管路、１８…温度センサ、１９…気泡分離除去装置、２
３…流出管路、２５…安全弁、２６…安全管路。
調整部、４，４ａ…遮熱板、５…側板、６…外管、７…
内管、７ａ…切欠、８…流入管、９…流出管、１０…ハ
ロゲンランプ、１１…シール部、１２…ばね状支持具、
１２ａ…ヒータ支持部、１２ｂ…突起、１３…取付具、
１５，２２，２４…開閉弁、１６…流量計、１７…流入
管路、１８…温度センサ、１９…気泡分離除去装置、２
３…流出管路、２５…安全弁、２６…安全管路。
Claims (9)
- 【請求項１】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置
において、加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内に
収容し、これら加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１
内で分離し、流体供給調整部３を加熱部２の側方に配置
したことを特徴とする流体加熱装置。 - 【請求項２】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置
において、加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内に
収容し、これら加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１
内で分離し、流体供給調整部３を加熱部２の側方から上
下方向にわたって配置したことを特徴とする流体加熱装
置。 - 【請求項３】 加熱部２と流体供給調整部３との間に遮
熱板４を介装したことを特徴とする請求項１記載の流体
加熱装置。 - 【請求項４】 加熱部の下流側に気泡分離除去装置１９
を介装したことを特徴とする請求項１記載の流体加熱装
置。 - 【請求項５】 加熱部２と流体供給調整部３とからなる
流体加熱装置において、加熱部２は両端を側板５，５に
て閉じた筒状の外管６内に、側板５，５を貫通して内管
７を設け、さらに外管６に流入管８と流出管９とを設
け、かつ石英ガラスからなる加熱容器２ａの上記内管７
内にヒータを挿入した構成からなり、流体供給調整部３
は加熱部２に流体を供給する管路で、かつ開閉弁、流量
計、温度センサ、安全弁、継手配管等よりなることを特
徴とする流体加熱装置。 - 【請求項６】 加熱部２と流体供給調整部３とからなる
流体加熱装置において、加熱部２の加熱容器２ａをその
軸心が上下方向に傾斜するようにして配置すると共に、
この傾斜して配置される加熱容器２ａの外筒６の低い方
の端部下面に流入管８を、また高い方の端部上面に流出
管９のそれぞれの基端部を接続すると共に、上記流入管
８と流出管９をそれぞれの下流側が高くなるように傾斜
させたことを特徴とする流体加熱装置。 - 【請求項７】 加熱容器２ａを複数個用いる場合におい
て、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱容器２
ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向にオフ
セットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方の加熱
容器２ａの流入管８を接続したことを特徴とする請求項
６記載の流体加熱装置。 - 【請求項８】 加熱容器２ａの外筒６に接続する流入管
８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接線方向
に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外筒６との
接合部の管壁面を曲面としたことを特徴とする請求項６
記載の流体加熱装置。 - 【請求項９】 加熱容器２ａの内管７内に挿入するヒー
タにハロゲンランプ１０を用い、このハロゲンランプ１
０の両端のシール部が内管７より完全に露出させると共
に、この両端部をばね状支持具１２にて内管７に支持し
たことを特徴とする請求項５及び６記載の流体加熱装
置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04172560A JP3137272B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 流体加熱装置 |
| PCT/JP1993/000894 WO1994000720A1 (fr) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | Systeme de chauffage d'un fluide |
| GB9426175A GB2283805B (en) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | Fluid heating system |
| DE4392931A DE4392931B8 (de) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | Fluidheizvorrichtung |
| DE4392931T DE4392931T1 (de) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | Fluidheizvorrichtung |
| US08/356,247 US5740315A (en) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | Fluid heating apparatus |
| KR1019940704775A KR0171922B1 (ko) | 1992-06-30 | 1993-06-29 | 유체 가열 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04172560A JP3137272B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 流体加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618089A true JPH0618089A (ja) | 1994-01-25 |
| JP3137272B2 JP3137272B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=15944122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04172560A Expired - Lifetime JP3137272B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 流体加熱装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5740315A (ja) |
| JP (1) | JP3137272B2 (ja) |
| KR (1) | KR0171922B1 (ja) |
| DE (2) | DE4392931B8 (ja) |
| GB (1) | GB2283805B (ja) |
| WO (1) | WO1994000720A1 (ja) |
Cited By (2)
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| JP2010190467A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Itec Co Ltd | 加熱装置 |
| CN102313356A (zh) * | 2010-07-02 | 2012-01-11 | 株式会社Itec | 加热装置 |
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