JPH06181114A - 酸化物磁性材料とその製造方法 - Google Patents

酸化物磁性材料とその製造方法

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JPH06181114A JP4334278A JP33427892A JPH06181114A JP H06181114 A JPH06181114 A JP H06181114A JP 4334278 A JP4334278 A JP 4334278A JP 33427892 A JP33427892 A JP 33427892A JP H06181114 A JPH06181114 A JP H06181114A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 機械的強度の向上と焼結温度によるインダク
タンスの変化量も減少するとともに素子の品質向上する
ことができるという種々の利点を有する低温焼結が可能
な酸化物磁性材料とその製造方法を提供すること。 【構成】 酸化物磁性材料は,化学組成比がa(Ni
(1-x) ・Cux )O・bZnO・cFe2 O3 (ここ
で,a+b+c=100,0.15≦x≦0.70,0
≦b≦37,35≦c≦49.5)で示される。この酸
化物磁性材料は,成形用粉末中に含まれる5μmを越え
る粒子の混在比を5vol%以下の範囲となるように調
整し,上記化学組成となるように成形用粉末を混合して
粉末冶金法により製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,酸化物磁性材料に関
し,詳しくは,低温焼成が可能な酸化物軟磁性材料とそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来,酸化物磁性材料は,金属材料に比
べ電気抵抗が高いことから,高周波用材料として使用さ
れてきている。中でも,スピネル型フェライトは,優れ
た軟磁性を示し,かつ安価な原料を使用し,粉末冶金法
により容易に焼結体が得られることから,最も頻繁に高
周波用材料として使用されている。
【0003】近年,これら高周波用材料を使用した装置
は,高周波化により,小型軽量化が著しく進行してい
る。
【0004】したがって,これらの装置に使用されるイ
ンダクタンス素子も小型軽量化が要求されてきている。
加えて,自動装着がより容易となる形状に素子を製造す
る必要が生じている。このような素子は,いわゆる表面
実装部品と呼ばれている。
【0005】したがって,これらインダクタンス素子の
構成も,従来のようなバルキーな素子に比べ著しく微細
であることが必要となっている。
【0006】この様な表面実装部品の有用な製造法のひ
とつに,各構成材料の粉末を分散したスラリーを使用
し,印刷等によって各回路を構成した成形体を,焼成し
て,インダクタンス素子を形成する方法がある。この方
法の場合,電気導体部と磁性フェライト部が独立して形
成されている。
【0007】従来から使用されているフェライト粉末成
形体の焼結温度は,1050〜1400℃である。した
がって,これらの粉末を使用した場合,それらの焼結温
度に対して,導体部は焼結しており,かつ破断せず,磁
性フェライト部への拡散も抑制されていなければならな
い。
【0008】また,磁性フェライト部と電気導体部を接
触して構成する場合,磁性フェライト部を構成するフェ
ライト材料は高電気抵抗体となる必要がある。
【0009】以上のことから,高周波用インダクタンス
素子の磁性フェライト部及び電気導体部の各材料を選択
すると,磁性フェライト部用の材料としてはNi系フェ
ライトが,電気導体部としてはAg−Pd合金が有用で
あると判断できる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら,上記高
周波用インダクタンス素子の電気導体部に用いるAg−
Pd合金において,Pdは極めて高価であり,かつ電気
抵抗が増加するので,含有量を減少させることが望まし
い。したがって,Agのみで電気導体部を構成すること
ができれば,工業上極めて有用となる。
【0011】ところで,Ag単独で電気導体部を焼結に
よって構成するには,磁性フェライト部のフェライト材
料の焼結温度を900℃以下とする必要がある。この時
のフェライト材料の焼結状態は,素子の特性(インダク
タンス,インピーダンス等)が環境によって変化するこ
とは好ましくないので,吸水性のない状態とすること,
すなわち,フェライト焼結体中に存在する空孔が閉孔状
態であることが好ましい。
【0012】他方,この閉孔状態になると,焼結体の機
械的強度が向上したり,焼結温度によるインダクタンス
の変化量も減少するといった利点もある。
【0013】以上については,素子の特性上の問題につ
いてのみ述べたが,低温で焼結が可能となることは,焼
結エネルギーを著しく低減できるばかりでなく,焼結設
備費も大幅に低減できることになり,工業上極めて有用
となる。
【0014】また,前述の素子において,Ag導体部と
磁性フェライト部の夫々の材料を一体焼結するために,
各材料の界面では反応が生ずる。そのため,Ag導体部
の電気抵抗が変動することになり,インダクタ素子やイ
ンピーダンス素子としての特性値がばらつく原因とな
る。
【0015】したがって,このAg導体部の電気抵抗の
ばらつきの減少は,素子の品質を向上することになり,
工業上極めて有益となる。
【0016】そこで,本発明の技術的課題は,低温焼結
により機械的強度の向上と焼結温度によるインダクタン
スの変化量も減少するとともに素子の品質を向上させる
ことができる酸化物磁性材料とその製造方法を提供する
ことにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明者らは,種々検討
を重ねた結果,Ni,Cu,Zn,Feの酸化物を主成
分として含有するスピネル型フェライト焼結体におい
て,化学組成比をa(Ni(1-x) ・Cux )O・bZn
O・cFe2 O3 とし,ここで,a+b+c=100,
0.15≦x≦0.70,0≦b≦37,35≦c≦4
9.5とし,このフェライト材料に酸化ジルコニウム
(ZrO2 )を0〜0.35wt%(0を含まず)含有
することにより,900℃以下の焼結温度でも吸水性の
ないフェライト焼結体が製造でき,しかもAg導体と一
体焼結してインダクタを形成する際,導体の電気抵抗の
ばらつきを減少できることを発見した。
【0018】本発明によれば,Ni,Cu,Zn,Fe
の酸化物を主成分として含有するスピネル型フェライト
焼結体において,化学組成比がa(Ni(1-x) ・C
ux )O・bZnO・cFe2 O3 (ここで,a+b+
c=100,0.15≦x≦0.70,0≦b≦37,
35≦c≦49.5)で示されることを特徴とする酸化
物磁性材料が得られる。
【0019】本発明によれば,前記酸化物磁性材料にお
いて,更に,酸化ジルコニウム(ZrO2 )を0〜0.
35wt%(0を含まず)含有することを特徴とする酸
化物磁性材料が得られる。
【0020】本発明によれば,Ni,Cu,Zn,Fe
の酸化物を主成分として含有するスピネル型フェライト
焼結体を粉末冶金法によって製造する方法において,前
記焼結体の化学組成比がa(Ni(1-x) ・Cux )O・
bZnO・cFe2O3 (ここで,a+b+c=10
0,0.15≦x≦0.70,0≦b≦37,35≦c
≦49.5)となるように成形用粉末を混合するととも
に,当該成形用粉末中に含まれる5μmを越える粒子の
混在比を5vol%以下の範囲となるように調整するこ
とを特徴とする酸化物磁性材料の製造方法が得られる。
【0021】ここで,本発明のフェライト材料に関する
各範囲を設定する基準として,次に示す様な特性を設定
した。
【0022】まず,吸水性については,焼結体の密度d
iとそのフェライト材のX線密度dx(X線回折より求
めた格子定数とフェライト元素の構成組成より求めた密
度,空孔が零に相当する。)との比が90%以上では,
フェライト焼結体は非吸水性となることが確認されてい
る。
【0023】また,フェライト材料の電気絶縁性とし
て,直流比抵抗ρDCは1×107 Ω・cm以上が望まし
い。
【0024】また,軟磁性材料としては,インダクタン
スを高くとるためには比透磁率μが高い方が望ましい
が,これは使用周波数帯によって,それぞれ要求される
値が異なる。したがってμは任意な値をとれることも極
めて有用な条件となるので,ここでは特に規定しないこ
とにした。
【0025】また,軟磁性材料の損失係数tanδは小
さいほど良いことになるが,本発明ではtanδが顕著
に増加しない領域を有用な範囲に設定した。また,本発
明では,μ及びtanδは100kHzにて評価するこ
とにした。
【0026】また,本発明では,di/dxを評価する
圧粉体の成形条件として,成形圧力を一般的な1ton
/cm2 とした。
【0027】ここで,本発明のフェライト材料の化学組
成比において,xの範囲を0.15〜0.70としたの
は,xが0.15以上では,di/dxが90%以上,
ρDCが107 Ω・cm以上を示し,一方,xが0.70
を越えるとtanδが著しく増加する傾向を示すからで
ある。
【0028】また,本発明のフェライト材料の化学組成
比において,bを0〜37としたのは,bが37以下で
di/dxが90%以上を示し,bの増加によりμが著
しく向上するからである。
【0029】また,本発明のフェライト材料の化学組成
比において,cを35〜49.5としたのは,cが4
9.5以下でdi/dxが90%以上を示し,cが35
以下でtanδが著しく増加する傾向を示すからであ
る。
【0030】また,本発明においてフェライト材料に含
有するZrO2 の含有量を0〜0.35wt%としたの
は,ZrO2 を含有することによりフェライト材と一体
焼結したAg導体の電気抵抗のばらつきが減少するが,
0.35wt%以上のZrO2 の含有ではフェライト材
の焼結性が低下し,di/dxが90%以下となるから
である。
【0031】また,本発明の酸化物磁性材料の製造方法
において,成形用粉末中に占める5μm以上の粒子の混
在比が5vol%以下と限定したのは,この範囲内で,
di/dxが90%以上となるからである。
【0032】以上の特性の範囲は900℃焼結で得た試
料で実施したものであり,フェライト材のρDCは本発明
の設定範囲では,全て107 Ω・cm以上となってい
る。
【0033】尚,成形圧力を増加して成形すれば,di
/dxは向上するものであるが,本発明では,一般的な
成形条件であることが工業的に有用になると判断したの
で,成形圧力増加の効果を含めた範囲には,特に限定さ
れるものではない。
【0034】
【実施例】以下,本発明の実施例について説明する。
【0035】(実施例1)化学組成比が28(Ni0.7
・Cu0.3 )O・25ZnO・47Fe2 O3 となるよ
うに,酸化鉄(α−Fe2 O3 )と酸化ニッケル(Ni
O)と酸化第2銅(CuO)及び酸化亜鉛(ZnO)の
粉末を原料とし,これに対し,酸化ジルコニウム(Zr
O2 )の添加量が0,0.1,0.2,0.3,0.
4,0.5wt%となるように平均粒径約0.2μmの
粉末を秤量し,ステンレス製ボールミルにて20時間湿
式混合した。
【0036】次に,これら原料混合粉末を800℃で大
気中にて2時間仮焼した後,ボールミルにて3時間湿式
粉砕し,成形用粉末とした。これら粉末の比表面積をB
ET法にて測定したところ,約3m2 /gであった。
【0037】次に,これら粉砕粉末にPVAを3wt%
湿式混合した後,成形圧1ton/cm2 で長さ30m
mで幅5mmで厚さ1mmの板状に成形した。
【0038】次に,この成形体の板面に,市販されてい
る銀ペースト(粉末粒度3μm以下)をシルクスクリー
ン印刷にて,幅400μm,厚さ40μmで,成形体の
幅方向に30本印刷した。
【0039】次に,この印刷面を別のフェライト成形体
で覆い,大気中,徐熱,炉冷にて,900℃で2時間保
持し,焼結した。
【0040】次に,これら成形体内部に形成された銀導
体の直流抵抗を測定した。その結果を図1に示す。
【0041】図1に示すように,ZrO2 の添加により
銀導体の直流電気抵抗のバラツキ(σn-1 )は著しく減
少している。また,直流電気抵抗の平均値(バーR)も
明らかに減少している。したがって,Ni−Cu−Zn
系フェライトにZrO2 を含有することにより,インダ
クタの品質は著しく向上することがわかる。
【0042】(実施例2)実施例1で得たバインダー混
合成形用粉末を使用し,成形圧1ton/cm2で外径
約20mm,内径約12mm,高さ約8mmの成形体と
なるように,金型を使用して圧縮成形した。次に,これ
ら成形体を,大気中,徐熱,炉冷にて,900℃で2時
間保持し,焼結した。
【0043】次に,これら焼結体に直径0.26mmの
絶縁被覆銅線を10回巻線した後,YHP社製インピー
ダンスアナライザーを用いて100kHzでの比透磁率
μと損失係数tanδを測定した。また,フェライト焼
結体の直流比抵抗ρDCは試料上下底面を約1mm研削し
た後,ブリッヂを用いて測定した。また,焼結体の密度
比di/dxは,焼結体の密度diをアルキメデス法で
測定し,一方dxをX線回折法より求めた格子定数とフ
ェライトの原子比より算出した値(X線密度)より求め
ている。その結果を図2に示す。
【0044】図2で示すように,ZrO2 添加量が0.
35wt%以下でdi/dxが90%以上を示してい
る。μ,tanδ,ρDCはインダクタンス用材料として
問題となる値は示していない。したがって,フェライト
材に含有されるZrO2 は0.35wt%以下とする必
要がある。
【0045】したがって,実施例1及び2から,フェラ
イト材に含有するZrO2 は0〜0.35wt%(0は
含まず)の範囲が工業的に有用であるといえる。
【0046】以上の実施例1及び2から判るように,N
i,Cu,Zn,Feの酸化物を主成分とする低温焼結
可能なスピネル型フェライト材料に,酸化ジルコニウム
(ZrO2 )を0〜0.35wt%(0を含まず)含有
することにより,銀導体との一体焼成による品質が優れ
た低温焼結可能な軟磁性酸化物磁性材料を工業的に有用
に製造することができる。また,酸化ジルコニウムの含
有は,必ずしもZrO2 の型で添加することが必須では
なく,他のジルコニウム化合物であっても仮焼や焼結の
過程で酸化ジルコニウムと形成し,フェライト材料中に
本発明の範囲の量が含有されるのであれば本発明の範囲
にある。
【0047】また,例えば,混合や粉砕の媒体として酸
化ジルコニウムを使用し,条件を選定することによって
もフェライト中のZrO2 含有量の調整が可能となる。
したがって,この製法であっても本発明の範囲となる。
【0048】(実施例3)化学組成比が28(Ni0.7
・Cu0.3 )O・25ZnO・47Fe2 O3 となるよ
うに,酸化鉄(α−Fe2 O3 )と酸化ニッケル(Ni
O)と酸化第2銅(CuO)及び酸化亜鉛(ZnO)を
原料とし,ボールミルにてエタノールを分散媒として,
2時間湿式混合した。次に,これら原料粉末を大気中に
て820℃で4時間仮焼した後,ボールミルにて0.5
〜5.0時間湿式粉砕し,下記に示した8種類の成形用
粉末を作製し,粉末の粒度分布をレーザ回折式測定装置
にて測定した。その結果,これら粉末中に占める粒径が
5μmを越える粒子の混在比が0,1.7,3.1,
4.6,6.0,7.4,8.8,10.7vol%と
なっていた。また,これら粉末の比表面積をBET法に
て測定したところ,1.6〜2.7m2 /gの範囲にあ
った。
【0049】次に,これら粉砕粉末にPVAを1wt%
湿式混合した後,成形圧1ton/cm2 で外径約20
mm,内径約12mm,高さ約8mmの成形体となるよ
うに,金型を使用して圧縮成形した。次に,これら成形
体を大気中,徐熱,炉冷にて,900℃で2時間保持
し,焼結した。
【0050】次に,これら焼結体に直径0.26mmの
絶縁被覆銅線を10回巻線した後,YHP社製インピー
ダンスアナラザーを用いて,100kHzでの比透磁率
μと損失係数tanδを測定した。また,フェライト焼
結体の直流比抵抗ρDCは試料上下底面を約1mm研削し
た後,ブリッヂを用いて測定した。また,焼結体の密度
比di/dxは,焼結体の密度diをアルキメデス法で
測定し,一方dxをX線回折より求めた格子定数とフェ
ライトの原子比より算出した値(X線密度)とにより求
めている。その結果を図3に示す。
【0051】図3から粉末中に占める5μm以上の粒子
の混在比が5vol%以下で,di/dxが90%以上
となり,また,ρDCは107 Ω・cm以上で,tanδ
は,10×10-3前後であり,著しい変化は見られな
い。したがって,5vol%以下の範囲が有用であるこ
とが判る。
【0052】以上の実施例3で説明したように,Ni,
Cu,Zn,Feの酸化物を主成分としして含有するス
ピネル型フェライト焼結体において,成形用粉末中に占
める5μmを越える粒子の混在比を5vol%以下の範
囲とすることで低温焼結特性の優れた軟磁性酸化物磁性
材料を工業的に有用に製造することができる。また,粉
末の仮焼,成形体の焼結を大気中で行なっているが,焼
結における生成物がスピネル型フェライトであれば,成
形用粉末の製法が,共沈法,噴霧焙焼法等を適用して
も,焼成雰囲気が大気中に比べ,酸化性であっても,還
元性であっても,本発明の範囲にある。また,粉末の混
合,粉砕においても,ボールミルのみに限定されるもの
でなく,媒体を円板やピン等で撹拌する方法等であって
もよい。また,圧粉体の製法についても特に限定される
ものでない。
【0053】尚,以上述べた実施例1,2及び3では化
学組成比が28(Ni0.7 ・Cu0. 3 )O・25ZnO
・47Fe2 O3 についてのみ述べたが,前述している
通りa(Ni(1-x) ・Cux )O・bZnO・cFe2
O3 において,a+b+c=100とし,0.15≦x
≦0.70,0≦b≦37,35≦c≦49.5の組成
範囲であれば成立するものである。また,実施例1,2
及び3においては,原料粉末として酸化物を使用してい
るが,必ずしもこれら酸化物に限定されるものでなく,
焼結体がスピネル型フェライトを構成するものであれ
ば,本発明の範囲にあることは,当業者であれば容易に
理解できる。また,Ni,Cu,Zn,Feを主成分と
して含有しているスピネル型フェライトであれば,他の
元素を含有したとしては本発明の範囲に含まれる。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように,本発明によれば,
低温焼結によって機械的強度の向上と焼結温度によるイ
ンダクタンスの変化量も減少するとともに素子の品質向
上することができるという種々の利点を有する低温焼結
が可能な低温焼結酸化物磁性材料とその製造方法を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1において,ZrO2 添加量と
フェライト焼結体中のAg導体の直流電気抵抗値(平均
値バーR,標準編差σn-1 )を示した図である。
【図2】本発明の実施例2において,ZrO2 添加量と
フェライト焼結体特性(μ,tanδ,ρDC,di/d
x)の関係を示した図である。
【図3】本発明の実施例3において,成形用粉末中に占
める5μmを越える粒子の混在比(vol%)と,焼結
体特性(μ,tanδ,ρDC,di/dx)の関係を示
した図である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Ni,Cu,Zn,Feの酸化物を主成
    分として含有するスピネル型フェライト焼結体におい
    て,化学組成比が,a(Ni(1-x) ・Cux )O・bZ
    nO・cFe2 O3 (ここで,a+b+c=100,
    0.15≦x≦0.70,0≦b≦37,35≦c≦4
    9.5)で示されることを特徴とする酸化物磁性材料。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の酸化物磁性材料におい
    て,更に,酸化ジルコニウム(ZrO2 )を0〜0.3
    5wt%(0を含まず)含有することを特徴とする酸化
    物磁性材料。
  3. 【請求項3】 Ni,Cu,Zn,Feの酸化物を主成
    分として含有するスピネル型フェライト焼結体を粉末冶
    金法によって製造する方法において,前記焼結体の化学
    組成比が,a(Ni(1-x) ・Cux )O・bZnO・c
    Fe2 O3 (ここで,a+b+c=100,0.15≦
    x≦0.70,0≦b≦37,35≦c≦49.5)と
    なるように成形用粉末を混合するとともに,当該成形用
    粉末中に含まれる5μmを越える粒子の混在比を5vo
    l%以下の範囲となるように調整することを特徴とする
    酸化物磁性材料の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7070732B2 (en) 1999-08-19 2006-07-04 Tdk Corporation Method for producing an oxide magnetic material

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US7070732B2 (en) 1999-08-19 2006-07-04 Tdk Corporation Method for producing an oxide magnetic material

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