JPH0618436A - Inspection unit of printed circuit board - Google Patents

Inspection unit of printed circuit board

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JPH0618436A
JPH0618436A JP19627092A JP19627092A JPH0618436A JP H0618436 A JPH0618436 A JP H0618436A JP 19627092 A JP19627092 A JP 19627092A JP 19627092 A JP19627092 A JP 19627092A JP H0618436 A JPH0618436 A JP H0618436A
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image
circuit board
printed circuit
hole
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Tetsuo Hoki
哲夫 法貴
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To detect a defect in and around a through hole aright without a large memory capacity. CONSTITUTION:A forbidden area image signal FS being obtained by operating a logical product (OR) of a pattern image signal PS of a printed circuit board 1 to be a reference, a reference image signal MS being secured by operating a logical sum (OR) of a hole image signal HS and an expanded hole image signal EHS which is lowered in the picture element density of the hole image signal HS, is used for setting a forbidden area in a comparison inspection at a comparing check part 21. Any defect in and around the through hole 4 will in no case be overlooked without requiring a large memory capacity for a forbidden are memory 19.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板の配線
パターンの欠陥の検査を行う、プリント基板の検査装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board inspection apparatus for inspecting a wiring pattern on a printed circuit board for defects.

【0002】[0002]

【従来の技術】図9はプリント基板の部分斜視図であ
る。プリント基板1は絶縁性基板2の表面、又は表裏両
面に導電性の配線パターン3を有している。プリント基
板1には、更に回路部品を実装する、或は表裏の配線パ
ターンを接続する等の目的でスルーホール4が設けられ
ている。配線パターン3は、ライン部分5と、スルーホ
ール4の周囲に形成されるランド6とを含んでいる。な
お、図9および後述する他の図において、図示の便宜上
ランド6の形状を四角形としているが、他の形状例えば
円形であることも一般的である。
2. Description of the Related Art FIG. 9 is a partial perspective view of a printed circuit board. The printed circuit board 1 has a conductive wiring pattern 3 on the surface of the insulating substrate 2 or both front and back surfaces. The printed board 1 is provided with through holes 4 for the purpose of mounting circuit components or connecting wiring patterns on the front and back. The wiring pattern 3 includes a line portion 5 and a land 6 formed around the through hole 4. Note that, in FIG. 9 and other drawings described later, the shape of the land 6 is a quadrangle for convenience of illustration, but other shapes such as a circle are also common.

【0003】図10は、ランド6とその周辺の平面図で
ある。プリント基板1は、図10(a)に示すように、
スルーホール4がランド6の中央に位置するように設計
される。しかしながら、製品としてのプリント基板1
は、例えば図10(b)に示すように、スルーホール4
が設計された位置から、ある程度ずれているのが通常で
ある。ところで、スルーホール4がミニバイアホールと
呼ばれる小径のスルーホールである場合には、この小径
のスルーホール4の位置ずれは、プリント基板1の機能
に支障を与えるものはではなく、この位置ずれのために
プリント基板1を不良と判定すべきではない。なお、以
下の説明においては、実装用のスルーホールと導通用の
スルーホールとを区別することなく、単にスルーホール
4と表現する。
FIG. 10 is a plan view of the land 6 and its surroundings. The printed circuit board 1 is, as shown in FIG.
The through hole 4 is designed to be located at the center of the land 6. However, the printed circuit board 1 as a product
Is, for example, as shown in FIG.
The position is usually deviated from the designed position to some extent. By the way, when the through-hole 4 is a small-diameter through-hole called a mini via hole, the positional deviation of the small-diameter through-hole 4 does not hinder the function of the printed circuit board 1. Therefore, the printed circuit board 1 should not be determined to be defective. In the following description, the mounting through-hole and the conduction through-hole will be simply referred to as the through-hole 4 without distinction.

【0004】プリント基板1の配線パターン3等の検査
を行う方法の1つとして、比較法が知られる。この比較
法は、基準とすべきプリント基板1(第1のプリント基
板)の画像と、検査すべきプリント基板1(第2のプリ
ント基板)の画像とを重ね合わせて比較し、所定程度以
上の差異が有る場合に、その差異の部分を欠陥と判定す
る方法である。
A comparison method is known as one of the methods for inspecting the wiring pattern 3 of the printed circuit board 1. In this comparison method, an image of the printed circuit board 1 (first printed circuit board) to be used as a reference and an image of the printed circuit board 1 (second printed circuit board) to be inspected are superposed and compared, and a predetermined level or more is determined. When there is a difference, it is a method of determining the difference portion as a defect.

【0005】上述のスルーホール4の位置ずれを不良検
出の対象から除外するために、従来のプリント基板の検
査装置は、プリント基板1の画像において、スルーホー
ル4に相当する領域を検査対象から除外する禁止領域と
する方法が採られている(例えば、特開平1−1804
04号公報)。前記の比較法による検査装置では、基準
とすべきプリント基板1と検査すべきプリント基板1の
双方の画像において、この禁止領域を設定する必要があ
る。このため比較法による検査装置では、基準とすべき
プリント基板1の画像(基準画像)を表現する画像信号
(基準画像信号)とともに、基準画像における禁止領域
を表現する画像信号(禁止領域画像信号)をもメモリへ
記憶する必要がある。
In order to exclude the above-mentioned displacement of the through hole 4 from the defect detection target, the conventional printed circuit board inspection apparatus excludes the region corresponding to the through hole 4 in the image of the printed circuit board 1 from the inspection target. A method for setting a prohibited area is adopted (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-1804).
No. 04 publication). In the inspection apparatus based on the comparison method described above, it is necessary to set this prohibited area in both images of the printed circuit board 1 to be the reference and the printed circuit board 1 to be inspected. Therefore, in the inspection apparatus based on the comparison method, an image signal (reference image signal) representing an image of the printed circuit board 1 to be used as a reference (reference image signal) and an image signal representing a prohibited area in the reference image (inhibited area image signal) Must also be stored in memory.

【0006】このとき、もしも禁止領域画像信号におけ
る画像分解能を基準画像信号における画像分解能と同一
に設定するならば、基準画像信号を記憶するメモリの容
量(記憶容量)と同一の容量を有する禁止領域画像信号
を記憶するメモリを用意する必要が生じる。このこと
は、検査装置の著しい費用高をもたらす。
At this time, if the image resolution in the prohibited area image signal is set to be the same as the image resolution in the reference image signal, the prohibited area having the same capacity as the memory (storage capacity) for storing the reference image signal. It becomes necessary to prepare a memory for storing the image signal. This results in a significant cost of the inspection device.

【0007】このため、例えば特開平1−180404
号公報に記載の従来の検査装置では、禁止領域画像信号
における画像分解能を基準画像信号よりも粗くして、禁
止領域画像信号を記憶するメモリの記憶容量を節約する
方法が採られている。この検査装置では図11に示す配
線パターン3及びスルーホール4を含む基準画像におい
て、図中の点線で囲まれる矩形の各領域を画像の最小単
位(画素)とし、スルーホール4に対応する画像として
禁止領域7が設定される。禁止領域7の画素は配線パタ
ーン3、及びスルーホール4の画素に比べて粗大であ
り、このため禁止領域7は図中の斜線で示すような、ス
ルーホール4の外部にはみ出した領域を占める。
Therefore, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-180404
In the conventional inspection apparatus described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-242242, a method is adopted in which the image resolution of the prohibited area image signal is made coarser than that of the reference image signal to save the storage capacity of the memory for storing the prohibited area image signal. In this inspection apparatus, in the reference image including the wiring pattern 3 and the through hole 4 shown in FIG. 11, each rectangular area surrounded by the dotted line in the drawing is set as the minimum unit (pixel) of the image, and as an image corresponding to the through hole 4. The prohibited area 7 is set. The pixels in the prohibited area 7 are coarser than the pixels in the wiring pattern 3 and the through holes 4, so that the prohibited area 7 occupies an area outside the through hole 4 as shown by the hatched area in the drawing.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】近年において、配線パ
ターン3の高密度化が進められており、隣接する配線パ
ターン3同士の間隔が狭くなる傾向にある。このため、
例えば図11に示すように、スルーホール4に隣接して
配置されたライン部分5aに、禁止領域7との重なりを
生じることがある。一方、配線パターン3の高密度化の
結果、図12に示すように、検査すべきプリント基板1
において、例えばランド6と隣接するライン部分5aと
の間に欠陥の1種であるパターンショート部8が生じ易
くなっている。この検査すべきプリント基板1の画像
(検査対象画像)と基準画像とを比較するときに、禁止
領域7が上述のようにライン部分5aと一部重なりを有
する場合には、当該パターンショート部8が禁止領域7
の中に含まれるために、欠陥検出の対象から除外されて
しまう。すなわち、従来の検査装置は、スルーホール4
の近傍におけるパターンショート部8などの欠陥を見逃
すという問題点を有していた。
In recent years, the density of the wiring patterns 3 has been increased, and the spacing between the adjacent wiring patterns 3 tends to be narrowed. For this reason,
For example, as shown in FIG. 11, the line portion 5 a disposed adjacent to the through hole 4 may overlap the prohibited area 7. On the other hand, as a result of increasing the density of the wiring patterns 3, as shown in FIG.
In, for example, the pattern short-circuit portion 8 which is one kind of defect is easily generated between the land 6 and the adjacent line portion 5a. When comparing the image of the printed circuit board 1 to be inspected (image to be inspected) with the reference image, if the prohibited area 7 partially overlaps the line portion 5a as described above, the pattern short-circuit portion 8 concerned. Is prohibited area 7
Therefore, it is excluded from the defect detection target. That is, the conventional inspection device has the through hole 4
There is a problem that defects such as the pattern short-circuit portion 8 in the vicinity of are missed.

【0009】この発明は、従来の装置が有する上記の欠
点を解消することを目指したもので、大きな記憶容量を
必要とせず、しかもスルーホールの近傍における欠陥を
見逃すことがなく、かつスルーホールの位置ずれを欠陥
と判定することがない、プリント基板の検査装置を提供
することを目的とする。
The present invention is intended to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional device, does not require a large storage capacity, does not miss defects in the vicinity of the through hole, and is It is an object of the present invention to provide a printed circuit board inspection device that does not determine a positional deviation as a defect.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この発明にかかるプリン
ト基板の検査装置は、基準とすべき第1のプリント基板
の画像と検査すべき第2のプリント基板の画像とを比較
することにより、前記第2のプリント基板が有する配線
パターンにおける欠陥を検出する、プリント基板の検査
装置であって、(a)前記第1のプリント基板の画像を
読み取って、当該第1のプリント基板が有する配線パタ
ーンの画像を表現し、画素単位で2値信号を有する第1
のパターン画像信号と、前記第1のプリント基板が有す
るスルーホールの画像を表現し、前記画素単位で2値信
号を有する第1のホール画像信号と、を得るとともに、
前記第2のプリント基板の画像を読み取って、当該第2
のプリント基板が有する配線パターンの画像を表現し、
前記画素単位で2値信号を有する第2のパターン画像信
号と、前記第2のプリント基板が有するスルーホールの
画像を表現し、前記画素単位で2値信号を有する第2の
ホール画像信号と、を得る画像読取手段と、(b)前記
第1のパターン画像信号と前記第1のホール画像信号と
の論理和を演算して基準画像信号を得る、第1の論理和
演算手段と、(c)前記第1のホール画像信号を、前記
画素よりも密度の低い画素単位で2値信号を有する拡大
ホール画像信号に変換する、画素密度変換手段と、
(d)前記基準画像信号を記憶する第1の記憶手段と、
(e)前記拡大ホール画像信号を記憶する第2の記憶手
段と、(f)前記基準画像信号を前記第1の記憶手段か
ら読み出し、かつ前記拡大ホール画像信号を前記第2の
記憶手段から読み出し、これらの前記基準画像信号と前
記拡大ホール画像信号との論理積を演算して、禁止領域
画像信号を得る論理積演算手段と、(g)前記第2のパ
ターン画像信号と前記第2のホール画像信号との論理和
を演算して検査対象画像信号を得る、第2の論理和演算
手段と、(h)前記基準画像信号と前記検査対象画像信
号との排他的論理和を演算して、差分画像信号を得て、
更に当該差分画像信号が表現する画像領域の中で、前記
禁止領域画像信号が表現する第1の禁止領域及び前記第
2のホール画像信号が表現する第2の禁止領域を除いた
領域において、所定の画素数の画素を含むオペレータを
包含する部分がある場合に、当該部分を欠陥と判定し、
欠陥を示す判定信号を出力する比較検査手段と、を備え
る。
A printed circuit board inspection apparatus according to the present invention compares the image of a first printed circuit board to be a reference with the image of a second printed circuit board to be inspected, and A printed circuit board inspection device for detecting a defect in a wiring pattern of a second printed circuit board, comprising: (a) reading an image of the first printed circuit board to determine a wiring pattern of the first printed circuit board; A first which represents an image and has a binary signal on a pixel-by-pixel basis
And a first hole image signal that expresses an image of a through hole included in the first printed circuit board and has a binary signal in the pixel unit,
By reading the image on the second printed circuit board,
Representing the image of the wiring pattern of the printed circuit board of
A second pattern image signal having a binary signal in the pixel unit, and a second hole image signal having a binary signal in the pixel unit that expresses an image of a through hole included in the second printed circuit board; And (c) first logical sum calculating means for calculating a logical sum of the first pattern image signal and the first hole image signal to obtain a reference image signal, and (c) ) Pixel density conversion means for converting the first hole image signal into an enlarged hole image signal having a binary signal in a pixel unit having a lower density than the pixel,
(D) first storage means for storing the reference image signal,
(E) second storage means for storing the enlarged hall image signal, and (f) reading the reference image signal from the first storage means and reading the enlarged hall image signal from the second storage means. A logical product calculating means for calculating a logical product of the reference image signal and the enlarged hole image signal to obtain a prohibited area image signal, (g) the second pattern image signal and the second hole Second logical sum calculating means for calculating a logical sum with the image signal to obtain an inspection target image signal; and (h) calculating an exclusive logical sum of the reference image signal and the inspection target image signal, Get the difference image signal,
Further, in the image area represented by the difference image signal, a predetermined area is excluded in the area excluding the first forbidden area represented by the forbidden area image signal and the second forbidden area represented by the second hole image signal. If there is a part that includes an operator that includes the number of pixels of, it is determined that the part is defective,
A comparison inspection unit that outputs a determination signal indicating a defect.

【0011】[0011]

【作用】この発明による検査装置では、基準とすべき第
1のプリント基板の第1のパターン画像信号と第1のホ
ール画像信号の論理和を演算して得られる基準画像信号
と、第1のホール画像信号の画素密度を低くした拡大ホ
ール画像信号と、の論理積を演算して得られる禁止領域
画像信号を、比較検査手段での比較検査における禁止領
域の設定に用いる。このため、スルーホールの近傍にお
ける欠陥を見逃すことがない。
In the inspection apparatus according to the present invention, the reference image signal obtained by calculating the logical sum of the first pattern image signal of the first printed circuit board and the first hole image signal to be the reference, and the first image signal The prohibited area image signal obtained by calculating the logical product of the expanded hole image signal in which the pixel density of the hole image signal is lowered is used for setting the prohibited area in the comparison inspection by the comparison inspection means. Therefore, the defect in the vicinity of the through hole is not overlooked.

【0012】この発明による検査装置では更に、基準と
すべき第1のプリント基板と検査すべき第2のプリント
基板の双方における、パターン画像信号とホール画像信
号の論理和同士を互いに比較検査し、しかも禁止領域は
双方のスルーホールに相当する領域をも含んでいる。こ
のため、スルーホールの位置ずれを誤って欠陥であると
判定することがない。
In the inspection apparatus according to the present invention, further, the logical sums of the pattern image signal and the hole image signal on both the first printed circuit board to be the reference and the second printed circuit board to be inspected are compared and inspected. Moreover, the prohibited area also includes areas corresponding to both through holes. Therefore, the displacement of the through hole is not mistakenly determined to be a defect.

【0013】また、この発明による検査装置では、第1
のホール画像信号の画素密度を変換して画素密度を低く
した拡大ホール画像信号を禁止領域の設定に用いるの
で、禁止領域を設定するために設けられる第2の記憶手
段の記憶容量を基準画像信号を記憶する第1の記憶手段
の記憶容量よりも小さく設定することができる。
In the inspection apparatus according to the present invention, the first
Since the enlarged hole image signal in which the pixel density of the hole image signal is converted to reduce the pixel density is used for setting the prohibited area, the storage capacity of the second storage means provided for setting the prohibited area is set to the reference image signal. Can be set smaller than the storage capacity of the first storage means for storing

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

<1.画像読取り手段>図1はこの発明の実施例におけ
る、プリント基板の検査装置の全体ブロック図である。
このプリント基板の検査装置は、プリント基板1の検査
対象画像を、その基準画像と比較することにより、プリ
ント基板1の検査を実行する。
<1. Image Reading Unit> FIG. 1 is an overall block diagram of a printed circuit board inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
This printed circuit board inspection device executes the inspection of the printed circuit board 1 by comparing the inspection target image of the printed circuit board 1 with the reference image thereof.

【0015】プリント基板1は、水平に移動する機構を
備えた搬送テーブル10の上に載置される。光学ヘッド
11は、搬送テーブル10の移動に伴って走査しつつ、
配線パターン3及びスルーホール4を有するプリント基
板1の表面を光学的に読み取る。光学ヘッド11は、走
査に伴って配線パターン3、及びスルーホール4の有無
によってそれぞれ強度に顕著な差異が現れるアナログ電
気信号PSa、HSaを出力し、A/D変換部12及び
13へ送信する。A/D変換部12及び13は、これら
のアナログ電気信号PSa、HSaを、走査方向に沿っ
て配列する微小領域(画素)毎にデジタル電気信号に変
換し、それぞれ2値化処理部14、及び15へ送信す
る。2値化処理部14、及び15は、これらのデジタル
電気信号を各々所定の閾値と比較し、その結果に基づい
て値”1”及び”0”の2つの値を有する、デジタル的
なパターン画像信号PS、及びホール画像信号HSへと
変換する。これにより、パターン画像信号PSは、例え
ば配線パターン3の存在する領域では値”1”を有し、
存在しない領域では値”0”を有する。同様にホール画
像信号HSは、例えばスルーホール4の存在する領域で
は値”1”を有し、存在しない領域では値”0”を有す
る。これらの結果、パターン画像信号PS、及びホール
画像信号HSは、各々読み取られた配線パターン3、及
びスルーホール4の画像を表現する。プリント基板1の
画像を読み取って、パターン画像信号PS及びホール画
像信号HSを得る装置の詳細は、例えば同一出願人によ
る特開平4−76444号公報に開示されている。
The printed circuit board 1 is placed on a carrier table 10 having a horizontally moving mechanism. The optical head 11 scans as the transport table 10 moves,
The surface of the printed circuit board 1 having the wiring pattern 3 and the through holes 4 is optically read. The optical head 11 outputs the analog electric signals PSa and HSa, which are significantly different in intensity depending on the presence or absence of the wiring pattern 3 and the through hole 4 in accordance with the scanning, and transmit the analog electric signals PSa and HSa to the A / D converters 12 and 13. The A / D conversion units 12 and 13 convert these analog electric signals PSa and HSa into digital electric signals for each minute region (pixel) arranged along the scanning direction, and the binarization processing unit 14 and, respectively. Send to 15. The binarization processing units 14 and 15 compare these digital electric signals with a predetermined threshold value, respectively, and have a digital pattern image having two values "1" and "0" based on the result. The signal PS and the hall image signal HS are converted. As a result, the pattern image signal PS has the value “1” in the area where the wiring pattern 3 exists,
It has the value "0" in non-existing regions. Similarly, the hole image signal HS has a value “1” in the area where the through hole 4 exists and a value “0” in the area where it does not exist. As a result, the pattern image signal PS and the hole image signal HS represent the read images of the wiring pattern 3 and the through holes 4, respectively. Details of a device for reading the image of the printed circuit board 1 to obtain the pattern image signal PS and the hole image signal HS are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-76444 by the same applicant.

【0016】<2.基準とすべきプリント基板の画像の
処理>基準とすべきプリント基板1の画像を読み取る場
合には、データセレクタSEL1、SEL2は共に接点
aへ接続される。その結果、パターン画像信号PS及び
ホール画像信号HSは論理和演算部16(第1の論理和
演算手段)へ入力され、更にホール画像信号HSは同時
に画素密度変換部17(画素密度変換手段)へも入力さ
れる。図2(a)は、基準とすべきプリント基板1の配
線パターン3及びスルーホール4の一例を示す平面図で
ある。この例ではスルーホール4はランド6の中央の位
置から偏心している。この例のプリント基板1に対して
得られる、パターン画像信号PS及びホール画像信号H
Sが表現する画像の、図2(a)に対応する部分の平面
図をそれぞれ図2(b)、及び(c)に示す。画像を描
いた以下の図において、斜線を施した部分は、対応する
画像信号が値”1”を有する領域、そうでない部分は
値”0”を有する領域を表わしている。
<2. Processing of Printed Circuit Board Image to be Referenced> When the image of the printed circuit board 1 to be used as a reference is read, both the data selectors SEL1 and SEL2 are connected to the contact a. As a result, the pattern image signal PS and the hole image signal HS are input to the OR operation unit 16 (first OR operation unit), and the hole image signal HS is simultaneously input to the pixel density conversion unit 17 (pixel density conversion unit). Is also entered. FIG. 2A is a plan view showing an example of the wiring pattern 3 and the through hole 4 of the printed circuit board 1 to be the reference. In this example, the through hole 4 is eccentric from the center position of the land 6. The pattern image signal PS and the hole image signal H obtained for the printed circuit board 1 of this example
2B and 2C are plan views of a portion of the image represented by S corresponding to FIG. 2A, respectively. In the following figures depicting an image, the shaded areas represent areas where the corresponding image signal has the value "1", and the other areas represent the area having the value "0".

【0017】論理和演算部16は、パターン画像信号P
Sとホール画像信号HSの論理和を演算して、基準画像
信号MSとして出力する。図3(a)は基準画像信号M
Sが表現する画像を示す平面図である。基準画像信号M
Sは、パターン画像信号PS又はホール画像信号HSの
少なくとも一方が値”1”を有する領域において値”
1”を有する。出力された基準画像信号MSは、参照画
像メモリ18(第1の記憶手段)に記憶される。
The logical sum operation unit 16 receives the pattern image signal P.
The logical sum of S and the hall image signal HS is calculated and output as the reference image signal MS. FIG. 3A shows a reference image signal M
It is a top view which shows the image which S represents. Reference image signal M
S is a value "in a region where at least one of the pattern image signal PS and the hole image signal HS has a value" 1 ".
1 ″. The output standard image signal MS is stored in the reference image memory 18 (first storage unit).

【0018】画素密度変換部17は、入力されたホール
画像信号HSを、このホール画像信号HSの画素密度よ
りも粗い密度の画素毎に2値信号を有する画像信号に変
換し、拡大ホール画像信号EHSとして出力する。その
結果、拡大ホール画像信号EHSが表現する画像は図3
(b)に示す通りとなる。図3(b)において点線に囲
まれた矩形の各1は、拡大ホール画像信号EHSの画素
を表わしている。拡大ホール画像信号EHSの画素密度
は、ホール画像信号HSの画素密度にくらべて粗く設定
されている。このため、拡大ホール画像信号EHSが表
現する画像において値”1”を有する、スルーホール4
に対応する領域EHIはスルーホール4の外部にはみ出
した領域を占める。拡大ホール画像信号EHSは、禁止
領域メモリ19(第2の記憶手段)に記憶される。
The pixel density conversion unit 17 converts the input Hall image signal HS into an image signal having a binary signal for each pixel having a density lower than the pixel density of the Hall image signal HS, and an enlarged Hall image signal. Output as EHS. As a result, the image represented by the enlarged hall image signal EHS is shown in FIG.
It becomes as shown in (b). In FIG. 3B, each rectangle surrounded by a dotted line represents a pixel of the enlarged hall image signal EHS. The pixel density of the enlarged hall image signal EHS is set coarser than the pixel density of the hall image signal HS. Therefore, the through hole 4 having the value "1" in the image represented by the enlarged hole image signal EHS
The area EHI corresponding to the area occupies an area protruding outside the through hole 4. The enlarged hall image signal EHS is stored in the prohibited area memory 19 (second storage means).

【0019】参照画像メモリ18及び禁止領域メモリ1
9には、好ましくはいわゆるRAMなどの、書き込み可
能で、しかも書き込み及び読み出し速度の高い記憶媒体
を使用する。上述のように、拡大ホール画像信号EHS
の画素密度は基準画像信号MSの画素密度に比べて低く
設定されているので、禁止領域メモリ19は参照画像メ
モリ18に比べて、記憶容量は小さくてよいという利点
がある。例えば、拡大ホール画像信号EHSの画素密度
は、基準画像信号MSの画素密度の数10分の1に設定
される。この場合には、禁止領域メモリ19の記憶容量
は参照画像メモリ18の数10分の1でよい。このた
め、参照画像メモリ18に加えて新たに禁止領域メモリ
19を設けるための費用は、参照画像メモリ18自体の
費用に比べて無視し得る。
Reference image memory 18 and prohibited area memory 1
As the storage medium 9, a writable storage medium having a high writing and reading speed, such as a so-called RAM, is preferably used. As described above, the enlarged hall image signal EHS
Since the pixel density of is set lower than the pixel density of the standard image signal MS, the prohibited area memory 19 has an advantage that the storage capacity may be smaller than that of the reference image memory 18. For example, the pixel density of the enlarged hall image signal EHS is set to one tenth of the pixel density of the reference image signal MS. In this case, the storage capacity of the prohibited area memory 19 may be one tenth of the reference image memory 18. Therefore, the cost for newly providing the prohibited area memory 19 in addition to the reference image memory 18 can be ignored compared to the cost of the reference image memory 18 itself.

【0020】<3.検査すべきプリント基板の画像の処
理>基準とすべきプリント基板1の画像の読取りが終了
した後、検査すべきプリント基板1を搬送テーブル10
の上に載置して再度読取りを実行する。このとき、デー
タセレクタSEL1、SEL2は、共に接点bへ接続さ
れる。検査すべきプリント基板1のパターン画像信号P
S及びホール画像信号HSは、論理和演算部20(第2
の論理和演算手段)へ入力され、ホール画像信号HSは
同時に比較検査部21(比較検査手段)へも入力され
る。
<3. Processing of Printed Circuit Board Image to be Inspected> After reading the image of the printed circuit board 1 to be used as a reference, the printed circuit board 1 to be inspected is transferred to the transport table 10.
Place it on the top and read it again. At this time, the data selectors SEL1 and SEL2 are both connected to the contact b. The pattern image signal P of the printed circuit board 1 to be inspected
S and the Hall image signal HS are processed by the logical sum operation unit 20 (second
And the hall image signal HS is simultaneously input to the comparison inspection unit 21 (comparison inspection means).

【0021】一例として、検査すべきプリント基板1に
おいて、基準とすべきプリント基板1の図2(a)に示
した部分と比較すべき部分における、配線パターン3及
びスルーホール4が図12に示す通りであるとする。こ
の例ではプリント基板1は、欠陥としてのパターンショ
ート部8を有すると同時に、スルーホール4の位置がラ
ンド6の中で、基準とすべきプリント基板1の図2
(a)に示した部分とは異なる位置に偏心している。こ
の例のプリント基板1に対して得られる、パターン画像
信号PS及びホール画像信号HSが表現する画像の、図
12に対応する部分の平面図をそれぞれ図4(a)、及
び図4(b)に示す。
As an example, in the printed circuit board 1 to be inspected, the wiring patterns 3 and the through holes 4 are shown in FIG. 12 in the part to be compared with the part shown in FIG. 2 (a) of the printed circuit board 1 to be the reference. Suppose it is on the street. In this example, the printed circuit board 1 has a pattern short circuit portion 8 as a defect, and at the same time, the position of the through hole 4 in the land 6 is the reference of the printed circuit board 1 shown in FIG.
It is eccentric to a position different from the part shown in (a). 4A and 4B are plan views of a portion corresponding to FIG. 12 of an image represented by the pattern image signal PS and the hole image signal HS obtained on the printed circuit board 1 of this example, respectively. Shown in.

【0022】論理和演算部20は、パターン画像信号P
Sとホール画像信号HSの論理和を演算して、検査対象
画像信号OSとして出力する。図5は検査対象画像信号
OSが表現する画像を示す平面図である。検査対象画像
信号OSは、パターン画像信号PS又はホール画像信号
HSの少なくとも一方が値”1”を有する領域において
値”1”を有する。出力された検査対象画像信号OS
は、比較検査部21へ入力される。
The logical sum operation unit 20 receives the pattern image signal P
The logical sum of S and the hall image signal HS is calculated and output as the inspection target image signal OS. FIG. 5 is a plan view showing an image represented by the inspection target image signal OS. The inspection target image signal OS has the value “1” in the area where at least one of the pattern image signal PS and the hole image signal HS has the value “1”. Output inspection target image signal OS
Is input to the comparison inspection unit 21.

【0023】<4.比較検査部とその周辺部>比較検査
部21は、検査対象画像信号OSと基準画像信号MSと
を比較して所定以上の差異があれば、その部分を欠陥と
判定して、判定結果に対応した値を有する欠陥判定信号
JSを出力する。光学ヘッド11による検査すべきプリ
ント基板1の走査が進行するのに同期して、検査対象画
像信号OSが比較検査部21へ入力されると同時に、参
照画像メモリ18から基準画像信号MSが比較検査部2
1および論理積演算部22(論理積演算手段)へ入力さ
れ、更に禁止領域メモリ19から拡大ホール画像信号E
HSが論理積演算部22へ入力される。
<4. Comparison inspection unit and its peripheral part> The comparison inspection unit 21 compares the inspection target image signal OS with the reference image signal MS and if there is a difference of a predetermined value or more, determines that portion as a defect and responds to the determination result. The defect determination signal JS having the specified value is output. In synchronization with the scanning of the printed circuit board 1 to be inspected by the optical head 11, the inspection target image signal OS is input to the comparison inspection unit 21, and at the same time, the standard image signal MS is compared and inspected from the reference image memory 18. Part 2
1 and the logical product calculation unit 22 (logical product calculation means), and the enlarged hall image signal E from the prohibited area memory 19.
HS is input to the logical product calculation unit 22.

【0024】論理積演算部22は、基準画像信号MSと
拡大ホール画像信号EHSの論理積を演算し、その演算
結果を禁止領域画像信号FSとして出力する。図6は禁
止領域画像信号FSが表現する画像(禁止領域画像)を
示す平面図である。禁止領域画像信号FSは、基準画像
信号MS及び拡大ホール画像信号EHSの双方が値”
1”を有する領域に限って値”1”を有する。このため
禁止領域画像信号FSは、配線パターン3又はスルーホ
ール4のいずれも存在しない領域では、値”0”を有し
ている。禁止領域画像信号FSは比較検査部21へ入力
される。後述するように比較検査部21において、禁止
領域画像信号FSが値”1”を有する領域(禁止領域F
D1、第1の禁止領域)において検査が禁止される。
The logical product calculating section 22 calculates the logical product of the reference image signal MS and the enlarged hall image signal EHS, and outputs the calculation result as the prohibited area image signal FS. FIG. 6 is a plan view showing an image (prohibited area image) represented by the prohibited area image signal FS. In the prohibited area image signal FS, both the reference image signal MS and the enlarged hall image signal EHS have values "
The area having the value "1" has the value "1". Therefore, the prohibited area image signal FS has the value "0" in the area where neither the wiring pattern 3 nor the through hole 4 exists. The area image signal FS is input to the comparison inspection unit 21. In the comparison inspection unit 21, the area where the inhibition area image signal FS has the value "1" (inhibition area F as described later).
The inspection is prohibited in (D1, first prohibited area).

【0025】比較検査部21へ入力された検査対象画像
信号OSと基準画像信号MSは、差分検出部23へ入力
される。差分検出部23は、入力された検査対象画像信
号OSと基準画像信号MSの排他的論理和を演算し、そ
の演算結果を差分画像信号DISとして出力する。図7
は差分画像信号DISが表現する画像DIIを示す平面
図である。差分画像信号DISは、検査対象画像信号O
S及び基準画像信号MSの間で値が異なる領域におい
て、値”1”を有する。基準とすべきプリント基板1の
図2(a)に示す部分と、検査すべきプリント基板1の
図12に示す部分の間でスルーホール4の位置とパター
ンショート部8の有無とが異なっている。このため、差
分画像信号DISにおいては、スルーホール4がランド
6からはみ出した部分とパターンショート部8とにおい
て、値”1”を有している。図7に示す差分画像信号D
ISにおいて値”1”を有する領域の中で、欠陥と判定
すべき部分はパターンショート部8のみである。
The inspection object image signal OS and the reference image signal MS input to the comparison inspection unit 21 are input to the difference detection unit 23. The difference detection unit 23 calculates the exclusive OR of the input inspection object image signal OS and the reference image signal MS, and outputs the calculation result as the difference image signal DIS. Figure 7
FIG. 6 is a plan view showing an image DII represented by the differential image signal DIS. The differential image signal DIS is the inspection target image signal O
It has the value "1" in the region where the value differs between S and the reference image signal MS. The position of the through hole 4 and the presence or absence of the pattern short-circuit portion 8 are different between the portion of the printed board 1 to be the reference shown in FIG. 2A and the portion of the printed board 1 to be inspected shown in FIG. . Therefore, in the differential image signal DIS, the portion where the through hole 4 protrudes from the land 6 and the pattern short-circuit portion 8 have the value “1”. Difference image signal D shown in FIG.
In the area having the value “1” in IS, the pattern short-circuit portion 8 is the only portion to be determined as a defect.

【0026】差分画像信号DISは検査禁止設定部24
へ入力される。比較検査部21へ入力された禁止領域画
像信号FS及び検査すべきプリント基板1のホール画像
信号HSも同時に検査禁止設定部24へ入力される。検
査禁止設定部24は、禁止領域画像信号FSの反転信
号、ホール画像信号HSの反転信号、及び差分画像信号
DISの3つの信号の論理積を演算し、演算結果を補正
差分画像信号MDISとして出力する。補正差分画像信
号MDISは、図7に示す差分画像信号DISの値”
1”を有する領域の中で、禁止領域FD1及び検査すべ
きプリント基板1のホール画像信号HSが値”1”を有
する領域(禁止領域FD2、第2の禁止領域)を除外し
た領域に限って値”1”を有する。その結果、補正差分
画像信号MDISは、図8に示すように、パターンショ
ート部8においてのみ値”1”を有する。補正差分画像
信号MDISは判定部25へ入力される。
The differential image signal DIS is supplied to the inspection prohibition setting section 24.
Is input to. The prohibited area image signal FS input to the comparison inspection unit 21 and the hole image signal HS of the printed circuit board 1 to be inspected are also input to the inspection inhibition setting unit 24 at the same time. The inspection prohibition setting unit 24 calculates the logical product of three signals of the inversion signal of the prohibited area image signal FS, the inversion signal of the hall image signal HS, and the difference image signal DIS, and outputs the operation result as the corrected difference image signal MDIS. To do. The corrected differential image signal MDIS is the value of the differential image signal DIS shown in FIG.
In the area having 1 ”, the restricted area FD1 and the area where the hole image signal HS of the printed circuit board 1 to be inspected has the value“ 1 ”(the prohibited area FD2, the second prohibited area) are excluded. As a result, the corrected differential image signal MDIS has the value “1” only in the pattern short-circuit portion 8. The corrected differential image signal MDIS is input to the determination unit 25. .

【0027】判定部25は、入力される補正差分画像信
号MDISにオペレータOP(図8)を作用させて欠陥
の有無を判定する。すなわち判定部25は、補正差分画
像信号MDISにおいて値”1”を有する領域の中で、
所定の数の画素(例えば3画素x3画素)の塊(クラス
ター)であるオペレータOPに包含される部分があれ
ば、この部分を欠陥と判定する。図8に示す例では、パ
ターンショート部8はオペレータOPを包含するので、
パターンショート部8は欠陥と判定される。判定部25
は、判定結果に対応した値を有する欠陥判定信号JSを
出力する。欠陥判定信号JSは、例えば欠陥の有り及び
無しに対応して、それぞれ値”1”及び”0”の2値を
有する。
The determination section 25 applies the operator OP (FIG. 8) to the input corrected difference image signal MDIS to determine the presence / absence of a defect. That is, the determination unit 25 determines that in the area having the value “1” in the corrected difference image signal MDIS,
If there is a portion included in the operator OP, which is a cluster (cluster) of a predetermined number of pixels (for example, 3 pixels × 3 pixels), this portion is determined as a defect. In the example shown in FIG. 8, since the pattern short-circuit portion 8 includes the operator OP,
The pattern short section 8 is determined to be defective. Judgment unit 25
Outputs a defect determination signal JS having a value corresponding to the determination result. The defect determination signal JS has two values of “1” and “0”, respectively, corresponding to the presence or absence of a defect.

【0028】なお、差分検出部23及び判定部25の詳
細については、例えば同一出願人による特開昭62−1
40009号公報に開示されている。
The details of the difference detecting section 23 and the determining section 25 are described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 62-1 of the same applicant.
It is disclosed in Japanese Patent No. 40009.

【0029】以上のように、比較検査部21は比較検査
の対象から禁止領域FD1及び禁止領域FD2を除外す
る。このため、この実施例の検査装置ではスルーホール
4の位置ずれを欠陥と判定することがない。更に、禁止
領域FD1は論理積演算部22により、基準画像信号M
Sと拡大ホール画像信号EHSの論理積から得られるの
で、スルーホール4とこれに隣接するライン部分5aの
間の領域を含まない。このため、この実施例の装置は、
検査すべきプリント基板1におけるスルーホール4の近
傍における欠陥、例えばパターンショート部8を見逃す
ことなく欠陥と判定し得る。更に、拡大ホール画像信号
EHSの画素密度は基準画像信号MSの画素密度に比べ
て低く設定されるので、参照画像メモリ18に付加して
設置すべき禁止領域メモリ19の記憶容量は参照画像メ
モリ18に比べて十分に小さいものでよい。すなわち、
この実施例の装置では、新たに付加すべき大きな記憶容
量を必要とせず、しかもスルーホール4の位置ずれを欠
陥と判定することなく、更にスルーホール4の近傍にお
ける欠陥を見逃すことがない。
As described above, the comparison inspection unit 21 excludes the prohibited area FD1 and the prohibited area FD2 from the objects of the comparison inspection. Therefore, the inspection apparatus of this embodiment does not determine the positional deviation of the through hole 4 as a defect. Further, the prohibited area FD1 is processed by the AND operation unit 22 into the reference image signal M
Since it is obtained from the logical product of S and the enlarged hole image signal EHS, the area between the through hole 4 and the line portion 5a adjacent thereto is not included. Therefore, the device of this embodiment is
It is possible to determine a defect in the vicinity of the through hole 4 on the printed circuit board 1 to be inspected, for example, a defect without missing the pattern short-circuit portion 8. Further, since the pixel density of the enlarged hall image signal EHS is set lower than the pixel density of the standard image signal MS, the storage capacity of the prohibited area memory 19 to be additionally provided in the reference image memory 18 is the reference image memory 18. It should be sufficiently small compared to. That is,
In the device of this embodiment, a large storage capacity to be newly added is not required, the displacement of the through hole 4 is not judged as a defect, and the defect in the vicinity of the through hole 4 is not overlooked.

【0030】[0030]

【発明の効果】この発明の検査装置では、基準とすべき
第1のプリント基板の第1のパターン画像信号と第1の
ホール画像信号の論理和を演算して得られる基準画像信
号と、第1のホール画像信号の画素密度を低くした拡大
ホール画像信号と、の論理積を演算して得られる禁止領
域画像信号を、比較検査手段での比較検査における禁止
領域の設定に用いる。このため、スルーホールの近傍に
おける欠陥を見逃すことがない。
According to the inspection apparatus of the present invention, the reference image signal obtained by calculating the logical sum of the first pattern image signal of the first printed circuit board and the first hole image signal to be the reference, The forbidden area image signal obtained by calculating the logical product of the enlarged Hall image signal of which the pixel density of the No. 1 hole image signal is low is used for setting the forbidden area in the comparison inspection by the comparison inspection means. Therefore, the defect in the vicinity of the through hole is not overlooked.

【0031】この発明の検査装置では更に、基準とすべ
き第1のプリント基板と検査すべき第2のプリント基板
の双方における、パターン画像信号とホール画像信号の
論理和同士を互いに比較検査し、しかも禁止領域は双方
のスルーホールに相当する領域をも含んでいる。このた
め、スルーホールの位置ずれを誤って欠陥であると判定
することがない。
In the inspection apparatus of the present invention, further, the logical sums of the pattern image signal and the hole image signal on both the first printed circuit board to be the reference and the second printed circuit board to be inspected are compared and inspected. Moreover, the prohibited area also includes areas corresponding to both through holes. Therefore, the displacement of the through hole is not mistakenly determined to be a defect.

【0032】また、この発明の検査装置では、第1のホ
ール画像信号の画素密度を変換して画素密度を低くした
拡大ホール画像信号を禁止領域の設定に用いるので、禁
止領域を設定するために設けられる第2の記憶手段の記
憶容量を基準画像信号を記憶する第1の記憶手段の記憶
容量よりも小さく設定することができる。
Further, in the inspection apparatus of the present invention, the enlarged hole image signal in which the pixel density of the first hole image signal is converted to lower the pixel density is used for setting the prohibited area, so that the prohibited area is set. The storage capacity of the provided second storage means can be set smaller than the storage capacity of the first storage means for storing the reference image signal.

【0033】すなわち、この発明の検査装置は、大きな
記憶容量を必要とせず、しかもスルーホールの近傍にお
ける欠陥の見逃しを防止し、かつスルーホールの位置ず
れを欠陥と誤判定することを防止する効果を有してい
る。
That is, the inspection apparatus of the present invention does not require a large storage capacity, prevents the defect near the through hole from being overlooked, and prevents the misalignment of the position of the through hole from being erroneously determined as a defect. have.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例における検査装置の全体ブロ
ック図である。
FIG. 1 is an overall block diagram of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】基準とすべきプリント基板及びその画像を示す
部分平面図である。
FIG. 2 is a partial plan view showing a printed circuit board to be a reference and an image thereof.

【図3】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分平
面図である。
FIG. 3 is a partial plan view showing an image of a printed circuit board to be a reference.

【図4】検査すべきプリント基板及びその画像を示す部
分平面図である。
FIG. 4 is a partial plan view showing a printed circuit board to be inspected and its image.

【図5】検査すべきプリント基板の画像を示す部分平面
図である。
FIG. 5 is a partial plan view showing an image of a printed circuit board to be inspected.

【図6】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分平
面図である。
FIG. 6 is a partial plan view showing an image of a printed circuit board to be a reference.

【図7】差分画像信号が表現する画像を示す部分平面図
である。
FIG. 7 is a partial plan view showing an image represented by a differential image signal.

【図8】補正差分画像信号が表現する画像を示す部分平
面図である。
FIG. 8 is a partial plan view showing an image represented by a corrected difference image signal.

【図9】プリント基板の部分斜視図である。FIG. 9 is a partial perspective view of a printed circuit board.

【図10】ランドとその周辺を示す部分平面図である。FIG. 10 is a partial plan view showing a land and its periphery.

【図11】基準とすべきプリント基板の画像を示す部分
平面図である。
FIG. 11 is a partial plan view showing an image of a printed circuit board to be a reference.

【図12】検査すべきプリント基板の部分平面図であ
る。
FIG. 12 is a partial plan view of a printed circuit board to be inspected.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プリント基板 3 配線パターン 4 スルーホール 16 論理和演算部(第1の論理和演算手段) 17 画素密度変換部(画素密度変換手段) 18 参照画像メモリ(第1の記憶手段) 19 禁止領域メモリ(第2の記憶手段) 20 論理和演算部(第2の論理和演算手段) 21 比較検査部(比較検査手段) 22 論理積演算部(論理積演算手段) PS パターン画像信号 HS ホール画像信号 MS 基準画像信号 EHS 拡大ホール画像信号 FS 禁止領域画像信号 OS 検査対象画像信号 DIS 差分画像信号 FD1 禁止領域(第1の禁止領域) FD2 禁止領域(第2の禁止領域) OP オペレータ JS 欠陥判定信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 printed circuit board 3 wiring pattern 4 through hole 16 logical sum operation part (first logical sum operation means) 17 pixel density conversion part (pixel density conversion means) 18 reference image memory (first storage means) 19 prohibited area memory ( Second storage means) 20 Logical sum calculation section (second logical sum calculation means) 21 Comparison inspection section (comparison inspection means) 22 Logical product calculation section (logical product calculation means) PS pattern image signal HS Hall image signal MS reference Image signal EHS Enlarged hall image signal FS Prohibited area image signal OS Inspection target image signal DIS Differential image signal FD1 Prohibited area (First prohibited area) FD2 Prohibited area (Second prohibited area) OP Operator JS Defect judgment signal

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基準とすべき第1のプリント基板の画像
と検査すべき第2のプリント基板の画像とを比較するこ
とにより、前記第2のプリント基板が有する配線パター
ンにおける欠陥を検出する、プリント基板の検査装置で
あって、(a)前記第1のプリント基板の画像を読み取
って、当該第1のプリント基板が有する配線パターンの
画像を表現し、画素単位で2値信号を有する第1のパタ
ーン画像信号と、前記第1のプリント基板が有するスル
ーホールの画像を表現し、前記画素単位で2値信号を有
する第1のホール画像信号と、を得るとともに、前記第
2のプリント基板の画像を読み取って、当該第2のプリ
ント基板が有する配線パターンの画像を表現し、前記画
素単位で2値信号を有する第2のパターン画像信号と、
前記第2のプリント基板が有するスルーホールの画像を
表現し、前記画素単位で2値信号を有する第2のホール
画像信号と、を得る画像読取手段と、(b)前記第1の
パターン画像信号と前記第1のホール画像信号との論理
和を演算して基準画像信号を得る、第1の論理和演算手
段と、(c)前記第1のホール画像信号を、前記画素よ
りも密度の低い画素単位で2値信号を有する拡大ホール
画像信号に変換する、画素密度変換手段と、(d)前記
基準画像信号を記憶する第1の記憶手段と、(e)前記
拡大ホール画像信号を記憶する第2の記憶手段と、
(f)前記基準画像信号を前記第1の記憶手段から読み
出し、かつ前記拡大ホール画像信号を前記第2の記憶手
段から読み出し、これらの前記基準画像信号と前記拡大
ホール画像信号との論理積を演算して、禁止領域画像信
号を得る論理積演算手段と、(g)前記第2のパターン
画像信号と前記第2のホール画像信号との論理和を演算
して検査対象画像信号を得る、第2の論理和演算手段
と、(h)前記基準画像信号と前記検査対象画像信号と
の排他的論理和を演算して、差分画像信号を得て、更に
当該差分画像信号が表現する画像領域の中で、前記禁止
領域画像信号が表現する第1の禁止領域及び前記第2の
ホール画像信号が表現する第2の禁止領域を除いた領域
において、所定の画素数の画素を含むオペレータを包含
する部分がある場合に、当該部分を欠陥と判定し、欠陥
を示す判定信号を出力する比較検査手段と、を備えるプ
リント基板の検査装置。
1. A defect in a wiring pattern of the second printed circuit board is detected by comparing an image of a first printed circuit board to be a reference with an image of a second printed circuit board to be inspected. A printed circuit board inspection apparatus, comprising: (a) a first printed circuit board image is read to represent an image of a wiring pattern of the first printed circuit board, and a binary signal is provided for each pixel. And a first hole image signal that expresses an image of a through hole included in the first printed circuit board and that has a binary signal in the pixel unit. A second pattern image signal having a binary signal for each pixel, which is obtained by expressing the image of the wiring pattern of the second printed circuit board by reading the image;
An image reading unit that expresses an image of a through hole included in the second printed circuit board and obtains a second hole image signal having a binary signal for each pixel, and (b) the first pattern image signal. And (1) a first OR image calculating means for obtaining a reference image signal by calculating a logical OR of the first hole image signal and the first hole image signal, and (c) the first hole image signal having a lower density than the pixel. Pixel density conversion means for converting into a magnified Hall image signal having a binary signal on a pixel-by-pixel basis, (d) first storage means for storing the reference image signal, and (e) storing the magnified Hall image signal. Second storage means,
(F) The reference image signal is read from the first storage means, the enlarged hall image signal is read from the second storage means, and the logical product of the reference image signal and the enlarged hall image signal is obtained. A logical product calculating means for calculating and obtaining a prohibited area image signal; and (g) calculating a logical sum of the second pattern image signal and the second hole image signal to obtain an inspection target image signal. And (h) an exclusive logical sum of the reference image signal and the inspection target image signal to obtain a difference image signal, and further to calculate an image area of the image region represented by the difference image signal. Among them, an operator including a predetermined number of pixels is included in an area excluding the first forbidden area represented by the forbidden area image signal and the second forbidden area represented by the second hole image signal. If there is a part Determines the portion as a defect inspection apparatus of a printed board and a comparison inspection means for outputting a determination signal indicating a defect.
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