JPH06187356A

JPH06187356A - 生産管理システム

Info

Publication number: JPH06187356A
Application number: JP33600892A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Yoshizawa; 正浩吉沢
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: NTT Inc
Priority date: 1992-12-16
Filing date: 1992-12-16
Publication date: 1994-07-08

Abstract

(57)【要約】【目的】重要度の高いロットと重要度の低いロットと
が混在する製造工程のスケジュール精度を向上させる。【構成】本発明の生産管理システムでは、全部のロッ
トを、一度に全工程スケジュールせずに、優先度または
重要度の高いロットのみをまずスケジュールして、長期
間の処理予定を作成する。次いで、優先度と重要度とも
に低いロットは、単にデータをデータベース１９に格納
するための擬似処理予定を作成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体部
品、衣料品、自動車等の各種工業製品の製造を管理する
生産管理システムに関するものである。ここでいう、製
造の管理は、複数の品種からなる製品の、それぞれの
処理工程や緊急度に応じて製造順序を決めるスケジュー
リング、製造の進捗状況の監視、製造時の処理デー
タの取得、を含むものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの製造工程を例にとって以下に従
来の生産管理システムを説明する。図４は、ＬＳＩの製
造手順の概略を説明した図である。単結晶ウェハの上
に、酸化膜／窒化膜等の絶縁膜の膜付け、熱処理による
拡散、フォトリソグラフィによるパタンの形成、蒸着や
スパッタによる膜付け、エッチング、イオン注入による
不純物の導入、スクライブ（分割）、マウント、ボンデ
ィング等の技術が、少なくとも１回、多いものは何十回
と用いられながら、半導体基板上に機能が作り込まれ、
ＬＳＩの製造が行われる。また、それぞれの技術は、さ
らにいくつかの処理に細分化される。例えば、フォトリ
ソグラフィ技術は、図４の左に示したように、（ａ）感
光剤であるレジストの塗布、（ｂ）マスク合わせ／露
光、（ｃ）現像によるパタン形成、（ｄ）エッチングに
よる加工、等の処理からなり、このような処理単位を通
常『工程』と呼ぶ。これら工程を数百回繰り返し行っ
て、ＬＳＩは作られる。この製造工程の手順の一覧が、
図５に示すような『工程表』であり、処理順に、使用装
置、処理条件（レシピ）等が記述してある。

【０００３】この工程表は、ロット（処理単位：通常は
カセット単位、枚葉処理では１枚単位）ごとに指定し、
この工程表通りに順番に処理を行うことで、ＬＳＩの製
造が可能である。ここで特徴的なことは、この工程の中
で、同じ装置が処理条件を変えて何回も用いられること
である。また、異なる品種のものを製造する場合には、
同じ工程でも異なる処理条件で製造が行われる。ここで
いう処理条件（レシピ）は、熱処理を行う温度やガス流
量、露光時の使用マスク等の製造条件だけでなく、寸法
測定の位置等の検査条件をも含むものである。

【０００４】一方、処理実行データを取得し、モニタす
ることは、製品の不良を未然に防ぐだけでなく、故障時
の原因解析にも役立つ。従って、検査データを含めた処
理データを取得することが必須となる。ここで、この処
理データは、装置から自動収集されるのが望ましいが、
必ずしも自動である必要はない。この装置データ・検査
データの収集にあたっては、同一装置が、工程表内で何
回も使用されるので、そのデータが、どのロットのどの
工程（工程表の中の何番目の工程）のデータであるかを
示すキー（ワード）情報を付加してデータベースへ格納
する。このキー情報としては、スケジューリングにより
作成した処理予定を用いるのが簡便である。すなわち、
ロット処理時にバーコードリーダにより、そのロットを
認識させ、その処理予定をネットワーク通信により受信
し、処理データと合わせてデータベースへ格納する方法
である。または、磁気カード等をロットと一緒に搬送
し、そのカードを読ませて、キー情報を読出し、処理デ
ータと合わせてデータベースへ格納する方法がある。こ
れらは、いずれも、ロットの進捗管理を兼ねることがで
きるという特徴がある。このような、ライン管理の手順
としては、図６のようなものがある。スケジュール結果
を、予定表の形でライン内に配置した計算機に配り、作
業者はこの予定表による作業指示書に基づいて処理を実
行する。その処理データ等の実行記録を、製造・検査装
置から直接送信するオンラインデータ収集、またはオペ
レータが端末から行うオフラインの進行通知により、ス
ケジューラへフィードバックして進捗を管理するととも
に、次のスケジュール時にその進捗状況を反映させる。

【０００５】同一品種のものが大量に生産される量産ラ
インでは、各装置に処理待ちで溜っている滞留ロットの
中から、古いものを順番に処理していく（ファーストイ
ン・ファーストアウト）山積み方式や、到着ロットの過
不足を目に見えるように表示する看板方式等が生産方法
として使用されることが多い。順次、処理した結果が、
どのロットのどの工程のものかの情報を、その場で、キ
ー入力あるいはバーコードによる読取り等で付加して、
データをデータベースに格納する。しかし、この場合、
個々のロットの各工程の処理予定は把握できないので、
納期管理、ＴＡＴ（ロットが完成するまでにかかる日
数）を制御するのは困難であり、納期の管理、制御がで
きない。

【０００６】近年、ＬＳＩに限らず、多品種・少量生産
の需要が高まっているため、一つの製造ラインで、何品
種もの製品が生産されるようになった。これらの製品
は、その生産量が異なるだけでなく、品種ごとに重要
度、処理の優先度が異なる。例えば、ＡＳＩＣＬＳＩと
呼ばれる生産ラインでは、図７に示すように、処理の優
先度、重要度の異なる何品種ものロットが存在する。特
注品や特殊仕様の製品は、生産量が少なく、設計・製造
のコストが高いので重要度が高くなるが、メモリや汎用
品等の量産品は重要度が低くなる。ＡＳＩＣの中でも、
フルカスタムやスタンダードセルを用いたＬＳＩは、基
板工程から専用のマスクパタンを用いる必要があるの
で、その重要度は高い。通常、重要度はロットの投入時
に決まる。しかし、ゲートアレイＬＳＩでは、基板は共
通で、配線工程のみ、カスタマイズするので、ゲートア
レイの基板作成段階ではその重要度は低いが、配線工程
に入ると、重要度があがる。一方、優先度は、同じ装置
で処理待ちとなった場合に、どちらを先に処理させるか
を示すもので、納期までの余裕で決まる。このため、当
初は納期まで十分な余裕が見込まれたので優先度の低か
ったロットが、途中で予定より遅れたので優先度を上げ
る必要が生じる。逆に、途中で余裕ができ、優先度を下
げる場合もある。このように、優先度は、ロットの処理
が進捗するにつれて変わる。優先度や重要度の高いロッ
ト（以下では進捗制御ロットと称する）の完成日を制御
して納期に遅れないようにするため、なおかつデータ取
得のためのキー情報を作成するためには、ロットの進捗
を監視して、日に一度程度の定期スケジューリングと装
置のトラブルやロット進捗遅れ等に伴う非定期のスケジ
ューリングをスケジューラにより実行して処理予定を逐
次更新していくことが必要である。すなわち、生産管理
システムはロットの進行状況を監視し、その処理結果に
基づいて、どのロットを先に処理するかの優先度を変更
し、すでに処理された以降のスケジューリングを、装置
の稼動状況（故障等の情報）、メンテナンス状況、ある
いはオペレータの稼動状況等を考慮して、実行してい
く。

【０００７】このような、処理予定の作成方法として
は、例えば、処理優先度の高いロットから順番に、工程
表を参照して次の工程の装置と処理時間を認識し、その
装置が使用可能な時間帯を稼動予定から調べ、空き時間
帯にその工程を割り当てる方法がある。ここで、処理装
置は１台とは限らないので、同種の空いている装置へ割
り振る。この処理を、他のロットや次の工程にも順次行
っていく。その結果、装置の稼動予定には、処理予定が
入り、稼動可能時間が制限される。その空き時間帯に、
より優先度の低いロットの処理予定を割り振る。同じよ
うに、オペレータの予定も同時に空きを見ながら作成す
ることも可能である。この場合、その装置を使用できる
オペレータも複数存在する（他の装置のオペレータと重
複している場合もある）。このように、処理可能な装置
とオペレータの組合せは何通りもあるため、実際に稼動
可能な組合せをチェックしながら処理予定を作成するの
に要するメモリ容量、計算時間は、ロット数や装置台数
（オペレータを考慮する場合は、さらにオペレータ数）
の増加とともに増大する。特にロット数が多いと多大な
メモリ容量と計算時間を必要とする。通常のラインで
は、重要度や優先度の高いロット以外に、重要度と優先
度ともに高くない量産品のロットが流れる。この割合は
製造ラインによって、異なるが、例えば、重要ロットの
数倍〜数十倍の量産ロットが流れることが多い。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このようなラインで、
生産計画を作成するため、長期間にわたって全ロットの
全工程をスケジュール対象とするのは、計算機のメモリ
等の制約や、計算時間の問題で実質的には不可能であ
る。一方、一部のロットのみスケジュールしたのでは、
他のロットの処理予定がないので、処理予定をキー情報
としたデータ格納ができなくなる。

【０００９】そこで、本発明の目的は、進捗を制御しな
ければいけない優先度または重要度の高いロットが、優
先度と重要度ともに高くない量産品に混在しているよう
なラインにおいて、スケジューラにおける上記スケジュ
ーリング（キー情報の作成）時の処理時間の短縮と使用
メモリの低減を図り、これによって、ラインの進捗管
理、優先度や重要度の高いロットの完成日予測を正確に
行うことができる生産管理システムを提供することにあ
る。また、本発明の他の目的は、他の量産ロットについ
ても、処理予定を作成し、この処理予定情報をキー情報
としたデータ格納が、全ロットで同じ手順で行え、特
に、ライン全体の製造ロット数、品種数が多い製造ライ
ンへの適応を可能とする生産管理システムを提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、製造条件、製造順序等を示す工程
表と、生産設備を構成する各製造装置の稼動予定表か
ら、製造対象のロットごと、前記製造装置ごとの処理予
定を作成するスケジューラと、前記製造装置から処理デ
ータを受信し、該処理データに処理予定内のキー情報を
付加してデータベースへ格納する手段とを有する生産管
理システムにおいて、上記スケジューラは、前記ロット
の各々について、優先度または重要度が高く進捗を制御
する進捗制御ロットであるか否かを示す区別情報、使用
する工程表を示す名前または記号、処理済の最終工程を
示す名前または記号を含むロット管理テーブルと、前記
稼動予定表、工程表に基づいて、前記進捗制御ロットの
処理予定を予め作成する処理予定作成部と、前記ロット
管理テーブル内の最終工程と、工程表を認識して、前記
工程表の一部を切り出した擬似処理予定を作成可能な擬
似処理予定作成部と、前記データベースへ格納する手段
から処理予定要求を受けた場合には、処理予定要求の対
象のロットが進捗制御ロットか否かを前記ロットの色別
情報管理テーブルにより認識し、当該ロットが進捗制御
ロットであれば上記処理予定作成部で作成した該当ロッ
トの処理予定を、前記データベースへ格納する手段へ返
信し、当該ロットが進捗制御ロットでなければ、前記擬
似処理予定作成部を起動し、前記擬似処理予定作成部に
おいて作成された擬似処理予定を、当該データベースへ
格納する手段へ返信する通信制御部とを具えたことを特
徴とする。

【００１１】

【作用】本発明の生産管理システムでは、全部のロット
を、全工程スケジュールせずに、優先度または重要度の
高いロットのみをまずスケジュールして、長期間の処理
予定を作成する。次いで、たとえば優先度と重要度とも
に低い他のロットは、データ格納のためのキー情報の作
成のために擬似的に処理予定を作成している。このた
め、スケジュール作成時に大幅な使用メモリ削減が可能
であるため、大量のロットのスケジューリングが可能で
ある。また、できあがった処理予定は、進捗を制御しな
ければならないロットについては、長期の計画が反映さ
れたものとなっている。また、他の量産ロットも、全ロ
ット分、データ納期用のキー情報が作成できている。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００１３】図１は生産管理システムの機能構成を示
す。

【００１４】図１においてスケジューラ１は、キーボー
ド、表示装置等の周辺機器を備えた汎用計算機（コンピ
ュータ）を用いることができる。製造装置等の設備予定
１２，工程表（図５参照）後述の処理予定１４およびロ
ット管理テーブルはスケジューラ（汎用計算機）１内の
メモリまたはフロッピーディスクに格納される。通信制
御部１６、たとえば製造検査の装置２０，２１と接続
し、通信プロトコル等を用いて情報の授受を行う。この
情報の授受製造・検査装置２０，２１側は内蔵の装置制
御プログラム１７，１８を実行して、スケジューラ１と
情報の授受を行う。なお製造・検査装置に制御装置を内
蔵せず、別途、設ける場合は、この制御装置が装置制御
プログラム１７，１８を実行する。

【００１５】また、ここで、スケジュール作成部１１お
よび擬似スケジュール作成部１０は、実際にはスケジュ
ーラ１において実行されるソフトウェアプログラムおよ
びこれらのソフトウェアプログラムを実行するときの汎
用計算機を指す。スケジュール作成部１１および擬似ス
ケジュール作成部１０の処理内容については、後述す
る。

【００１６】このようなシステム構成において、優先
度、重要度の高い進捗制御ロットについては、完成日を
制御するために、スケジューラ１はロット管理テーブル
１５から処理済最終工程を認識し、スケジュール作成部
１１で、以降の工程を、工程表１３と、装置（およびオ
ペレータ）の稼動予定１２を参照してスケジュールし、
所定予定（装置／オペレータの処理予定やロットの処理
予定）１４を作成する。このスケジュールは、定期的に
行うものや、装置の異常、ロットの進捗遅れの検出等に
よる非定期のものが含まれる。ここでは、ロットの納期
予測等を行うため、長期間の処理予定を作成する。処理
予定の１項目は、それぞれ、どのロットの何番目の工程
で、使用装置、レシピ名は何か、処理予定時刻はいつか
等の情報からなる（図５参照）。ロットの処理時には、
スケジューラ１が装置制御プログラム１７からの処理予
定要求を受信すると、通信制御部１６が、ロット管理テ
ーブル１５内のロット区別（進捗制御ロットか否かの区
別−図２参照）を参照し、処理予定のロットが進捗制御
ロットの場合には、事前に作成した処理予定の中から該
当するロットの処理予定を検索し、その処理予定を装置
制御プログラム１７に送信する。装置制御プログラム１
７は、製造・検査装置２０，２１から送信されてくる処
理データに、上記処理予定の全部または一部からなるキ
ー情報を付加してデータベース１９へ格納する。このデ
ータベース１９へ格納するためのキー情報としては、ロ
ット名、使用工程表名、装置名、レシピ名等が用いられ
る。これらは、名前でなく番号でもよいことはいうまで
もない。一方、優先度および重要度ともに低いロットに
ついての処理方法は進捗制御ロットと異なる。これらの
ロットは、通常生産量が多く、ライン上に多数存在する
ロットである。これらのロットに対しては、事前の処理
予定作成を行わない。ロット処理時に、スケジューラ１
は、装置制御プログラム１７からの処理予定要求を受信
すると、通信制御部１６が、ロット管理テーブル１５を
参照して、そのロットが非進捗制御ロットであることを
認識する。この場合は、そのロットの処理済最終工程
と、工程表を認識し、こられのパラメータとして擬似ス
ケジュール作成部１０を起動する。擬似スケジュール作
成部１０は、工程表１３の中から必要な部分を抜き出し
て擬似処理予定を作成する。この擬似処理予定は、デー
タを取得する際のキー情報としてのみ用いるもので、ロ
ットの生産計画等の処理計画を示すものではない。ロッ
トの処理自体は、山積み方式で、ロット群Ａの処理の空
き時間に、正規の工程表に基づいて作成された作業指示
書（必ずしも紙に出力したものでなく、端末に表示した
ものであってもよい）に従って、順次実行していく。こ
の処理の中で、それがデータを取得する工程や進捗を管
理する工程（擬似工程表にある工程）の場合には、端末
（不図示）からの入力、あるいはバーコードや磁気カー
ド等を用いてロットや工程を認識させる方法等、重要度
の高いロットを処理する場合と同じ手順を用いて、その
処理結果をスケジューラ１やデータベース１９へ送信・
格納する。これによって、データの格納が実行されると
ともに、次のスケジューリング実行時には、その結果が
反映されて、処理が終了した工程はスケジューリング対
象からは外され、概略の進捗管理ができる。この方式に
よれば、重要度の低い非進捗制御ロットは、スケジュー
ル対象外であるので、スケジューリング情報を記憶して
おく必要がなく、従来全てのロットについてスケジュー
リングしていた場合に比べると、スケジュール作成に要
する時間やメモリを削減することが可能であり、オペレ
ータを考慮したスケジューリングや、システムの大量ロ
ットへの適用が可能となる。なおかつ、非進捗制御ロッ
トは、擬似工程表によりこれらのロットの処理データの
取得も効率的に行うことができる。

【００１７】図２に、ロット管理テーブル１５の具体例
を示す。各ロットごとに、ロット名、使用する工程表
名、進捗制御ロットであるか否かの区別、処理済最終工
程名の欄がある（名前の欄は、いずれも番号でもよいこ
とはいうまでもない）。ロット投入時に、ロット名、使
用する工程表、区別の欄を追加していく。ここでは、区
別欄がビット１のものが進捗制御ロット、ビット０が非
進捗制御ロットとしているが、さらに細かく、優先度を
付けて分類することも可能である。このロット管理テー
ブル１５を用いた通信制御部１６での処理手順を示すフ
ローを図３に示す。通信制御部１６は、装置制御プログ
ラム１７または不図示のユーザ端末から処理予定要求が
送られてきたら、その通信メッセージ内のロット名を読
込み、このロット管理テーブル内の区別欄を参照する。
区別欄がビット１（進捗制御ロット）であれば、該当ロ
ットの処理予定を検索し、当該装置制御プログラム１７
またはユーザ端末へ処理予定を送信する。区別欄がビッ
ト０であれば、擬似スケジュール作成部１０へ、ロット
名、工程表名、処理済最終工程名をパラメータとして渡
して、擬似スケジュール作成部１０を起動する。擬似ス
ケジュール作成部１０は、これを受けて、擬似スケジュ
ール（処理）予定を作成し、通信制御部１６へ送信し、
これを通信制御部１６が、装置制御プログラム１８また
はユーザ端末へ送信する。

【００１８】なお、ここでは、同一テーブルに区別欄を
設けてロットを区別しているが、非進捗制御ロットのみ
の管理テーブルを用意してもよい。この時には、通信制
御部１６は、装置制御プログラムまたはユーザ端末から
処理予定要求が送られてきたら、非進捗制御ロットの管
理テーブルを参照して、該当ロットがない場合は進捗制
御ロットと判断して処理予定を検索しにいくようにすれ
ばよい。または、進捗制御ロットと非進捗制御ロットを
別テーブルにすることも可能である。通信制御部１６
は、装置制御プログラム１７，１８またはユーザ端末か
ら処理予定要求が送られてきたら、最初に進捗制御ロッ
トの管理テーブル１５を参照して該当ロット名があれば
処理予定を検索する。該当ロット名がなければ、擬似ス
ケジュール作成部１０にロット名をパラメータとして渡
して擬似スケジュール作成部１０を起動し、擬似スケジ
ュール作成部１０が非進捗制御ロットの管理テーブルを
読みにいくようにすればよい。後者の場合には、通信制
御部１６が、ロット数の多い非進捗制御ロットの管理テ
ーブルを参照しなくてもよいので、処理が速くなる利点
がある。

【００１９】処理予定に従って、実際の処理が行われる
と、装置制御プログラム１７，１８またはユーザ端末か
ら処理終了報告が通信制御部１６へ報告される。この通
信を受けて、通信制御部１６は、ロット管理テーブル１
５の該当ロットの処理済最終工程の欄に、処理済工程を
記載する。従って、この欄を参照することにより、ロッ
トの進捗（現在位置）が確認できる。

【００２０】次に、擬似スケジュール（処理予定）の作
成について述べる。この擬似処理予定は、データ格納の
キー情報に使用するもので、処理する（処理した）装置
の工程が含まれるものであればよく、工程表１３の一部
を切り出して現在時刻を処理開始／終了予定として入力
したものとすればよい。ここで、全工程が確実にトラッ
キングされるラインにおいては、次の１工程のみの擬似
処理予定を作成すればよい。あるいは、どの製造または
検査あるいはその他装置の処理予定が要求されているか
を認識して、工程表の中で次にその装置が使用される工
程を擬似処理予定として作成する。トラッキングが、あ
る特定の工程のみ行われるラインでは、複数の工程の中
から、装置制御プログラムが該当装置のものを取り出し
て、あるいはユーザ端末でオペレータが指定して処理を
行う。この場合には、処理予定は１工程のみでなく、複
数の工程が必要であるので、擬似処理予定作成時に工程
表から複数（例えば１日分等）の工程分を切り出して、
擬似処理予定を作成すればよい。

【００２１】なお、図１に示した生産管理方法では、非
進捗制御ロットは、擬似処理予定しかないので、長期の
処理予定に基づく生産計画やロットの進捗管理、完成日
予測等がやりにくい。一方、全ロットを対象としてスケ
ジュールを実行するのは、メモリの制約等のため不可能
である。長期の所定予定を立て、かつ、そのスケジュー
リングに要する時間やメモリを低減する方法として、一
定間隔で抽出したロット（例えば１０ロットおき等：マ
ーカロットと呼ぶ）を、スケジュールの対象とすること
により、非進捗制御ロットも概略の進捗管理を行うこと
が可能である。ゲートアレイのように同一品種のロット
が多数ライン上に存在する場合に、Ｎロットおきに、マ
ーカロットとし、このロットについては、進捗制御ロッ
トとして長期の処理予定を作成する。この処理予定の作
成においては、ロットの投入時期、あるいは、当日の処
理開始工程の指定を行うことにより（ある時刻での終了
工程を通知してもよい）、実際のライン上の処理に則し
た処理予定を立てることができ、ライン上のロットの進
捗状況を管理することができる。一方、マーカロット以
外のロットについては、非進捗制御ロットとして本実施
例で述べた方法で擬似処理予定を作成する。ロットの処
理は、投入ロットの順に処理するものとしておく。すな
わち、同一工程で複数のロットが待ち状態になった場合
は、先に投入したロットを先に処理すると決めておけ
ば、前記２つのマーカロットの間にあるＮ−１個のロッ
トはこの２つのマーカロットの間にあり、概略のロット
の進行が管理できる。また、データの収集については、
通常のスケジュールを実施したロットと同じように処理
することができる。

【００２２】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明では、各
ロットが、進捗を管理する優先度または重要度が高い進
捗制御ロットであるか否かの区別をロット管理テーブル
から認識し、進捗制御ロットの場合には、生産計画・装
置等の稼動予定・工程表に基づいて、事前に作成した長
期予定に基づいて処理を実行する。従って、進捗制御ロ
ットの所定予定は、長期の計画が反映されたものとなっ
ているので、この処理予定に基づいて処理を実行するこ
とにより、正確な納期制御ができる。また、全ロットを
スケジュール対象とする従来システムに比べ、スケジュ
ール作成時に大幅な使用メモリ削減が可能であるため、
大量のロットのスケジューリングを実施することが可能
となる。一方、進捗制御ロット以外のロットの処理時に
は、ロット管理テーブルから使用する工程表を示す名前
または記号、処理済の最終工程を示す名前または記号を
読込み、最終工程と、工程表を認識して、処理工程の処
理予定を擬似的に作成して処理を実行し、テータを格納
し、ロット管理テーブルの最終工程欄を変更する。この
ように、進捗制御ロットでない他の量産ロットも、全ロ
ット分、データ格納用のキー情報が作成できているの
で、オペレータからみれば、進捗制御ロットと非進捗制
御ロットの区別にかかわらず、同じ処理手順で処理の実
行、データ格納が可能であり、操作ミスがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理システムの構成を示すブロッ
ク図である。

【図２】管理テーブルの一例を示す図である。

【図３】図１の通信制御部の処理手順を示すフローチャ
ートである。

【図４】ＬＳＩの製造手順の概略を説明した図である。

【図５】工程表の例を示した図である。

【図６】従来のＬＳＩの生産手順の概要を示した図であ
る。

【図７】進捗制御ロットを説明するための図である。

【符号の説明】

１スケジューラ１０擬似スケジュール作成部１１スケジュール作成部１５ロット管理テーブル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製造条件、製造順序等を示す工程表と、
生産設備を構成する各製造装置の稼動予定表から、製造
対象のロットごと、前記製造装置ごとの処理予定を作成
するスケジューラと、前記製造装置から処理データを受
信し、該処理データに処理予定内のキー情報を付加して
データベースへ格納する手段とを有する生産管理システ
ムにおいて、上記スケジューラは、前記ロットの各々について、優先度または重要度が高く
進捗を制御する進捗制御ロットであるか否かを示す区別
情報、使用する工程表を示す名前または記号、処理済の
最終工程を示す名前または記号を含むロット管理テーブ
ルと、前記稼動予定表、工程表に基づいて、前記進捗制御ロッ
トの処理予定を予め作成する処理予定作成部と、前記ロット管理テーブル内の最終工程と、工程表を認識
して、前記工程表の一部を切り出した擬似処理予定を作
成可能な擬似処理予定作成部と、前記データベースへ格納する手段から処理予定要求を受
けた場合には、処理予定要求の対象のロットが進捗制御
ロットか否かを前記ロットの色別情報管理テーブルによ
り認識し、当該ロットが進捗制御ロットであれば上記処
理予定作成部で作成した該当ロットの処理予定を、前記
データベースへ格納する手段へ返信し、当該ロットが進
捗制御ロットでなければ、前記擬似処理予定作成部を起
動し、前記擬似処理予定作成部において作成された擬似
処理予定を、当該データベースへ格納する手段へ返信す
る通信制御部とを具えたことを特徴とする生産管理シス
テム。