JPH06189199A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH06189199A
JPH06189199A JP43A JP35537292A JPH06189199A JP H06189199 A JPH06189199 A JP H06189199A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 35537292 A JP35537292 A JP 35537292A JP H06189199 A JPH06189199 A JP H06189199A
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JP
Japan
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pixel
unit
solid
imaging device
frequency band
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JP43A
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Masayuki Uno
正幸 宇野
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/78—Readout circuits for addressed sensors, e.g. output amplifiers or A/D converters

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 増幅素子を有する画素を用いた増幅型固体撮
像装置において、増幅素子で発生する雑音を抑制し、明
るい被写体にも追従する広いダイナミックレンジをもた
せる。 【構成】 フォトダイオード1と、フォトダイオード1
にゲートを接続したn型MOSトランジスタ2と、フォ
トダイオード1と前記トランジスタ2のドレイン間に接
続した容量素子3及びリセット用n型MOSトランジス
タ5と、前記トランジスタ2のドレインに接続された負
荷用p型MOSトランジスタ4及びサンプルホールド用
n型MOSトランジスタ9を介在させた容量素子8とで
単位画素を構成し、前記トランジスタ4のゲートにバイ
アス電流を設定するバイアス回路35の出力電圧を印加
し、画素バイアス電流を制御して、画素の周波数帯域を
被写体の明るさに応じて変える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の画素で構成さ
れるフォトダイオードアレイを有するラインセンサ等の
固体撮像装置に関し、特に、各画素毎に増幅機能を備え
た増幅型固体撮像装置において、広いダイナミックレン
ジをもたせながら、雑音の発生を抑えて高S/Nが得ら
れるようにした固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固体撮像装置としては、MOS
型,CCD型等の各画素で発生した光電荷自体を転送し
て読み出す方式の固体撮像装置のほかに、各画素毎に増
幅機能を設け、各画素内で発生した光電荷に対応した増
幅出力を読み出す増幅型固体撮像装置が知られている。
【0003】この増幅機能を有する画素の構成の一例と
して、図14に示す構成のものが、特願平4−36922
号に開示されている。図14において、1はフォトダイオ
ードであり、2はn型MOSトランジスタで、ソースを
接地し、ドレインには負荷及び電流源として動作するp
型MOSトランジスタ4を接続することにより、ソース
接地型の増幅回路を構成している。そして、このソース
接地型増幅回路の入力端子、すなわちn型MOSトラン
ジスタ2のゲートにフォトダイオード1を接続し、ソー
ス接地型増幅回路の出力端子、すなわちn型MOSトラ
ンジスタ2のドレインから入力端子(n型MOSトラン
ジスタ2のゲート)に容量素子3を接続して帰還をかけ
ると共に、n型MOSトランジスタ2のゲートの初期電
位を設定するためのリセット用n型MOSトランジスタ
5を容量素子3と並列に接続する。そしてこの構成のも
のを画素(基本セル)とし、この画素を1次元又は2次
元的に配列したときにセンサが構成され、そして各画素
に読み出し画素を選択するための、シフトレジスタパル
スで駆動される選択用n型MOSトランジスタ6を設
け、該n型MOSトランジスタ6をONしたときに、信
号出力線7にn型MOSトランジスタ2のドレイン電圧
が現れるように構成している。
【0004】次に、このように構成した画素の動作につ
いて説明する。まず、リセット用n型MOSトランジス
タ5のゲートに印加されるリセットパルスφR を“H”
レベルとすると、容量素子3に蓄積された電荷がはき出
されて、リセット状態となる。この後、φR =“L”に
切り換えた時点から、フォトダイオード1で発生した光
電荷が容量素子3に蓄積し、n型MOSトランジスタ2
のドレイン電圧が蓄積された光電荷に応じて上昇する。
そして、この電圧を選択用n型MOSトランジスタ6を
ONして信号出力線7から読み出し、画素信号出力を出
力端子VOUT より出力する。
【0005】ところで、上記構成の増幅機能を有する画
素を備えたセンサにおいては、各画素の増幅用のn型M
OSトランジスタ2のばらつきにより、各画素のオフセ
ット電圧がばらつき、固定パターン雑音(FPN)が発
生する。これを抑えるため、図15に示すように、各画素
にFPN抑圧回路を設けた構成のものが、特願平4−3
6923号に開示されている。
【0006】図15において、Sは図14に示した画素と全
く同じ構成の単位画素である。そして、この画素出力部
は、入力容量素子11(容量値C1 )を介して、ソース接
地型のp型MOSトランジスタ16及びソースフォロアと
して動作するn型MOSトランジスタ19並びにそれらの
負荷として動作するn型MOSトランジスタ17,20で構
成される反転増幅回路の入力部、すなわちp型MOSト
ランジスタ16のゲートに接続されている。また反転増幅
回路の入力ノード25と出力ノード26の間に、パルスφT
で駆動されるp型MOSトランジスタ14を介して帰還容
量素子12(容量値C2 )が接続されている。また入力ノ
ード25に初期電圧を与え、入力容量素子11のクランプ動
作を行うスイッチング用p型MOSトランジスタ13が、
入力ノード25とp型MOSトランジスタ16のドレイン端
子間に設けられている。更に帰還容量素子12をリセット
し初期電圧を与えるためのp型MOSトランジスタ15
が、容量素子12とp型MOSトランジスタ14の接続点と
基準電圧源Vref との間に設けられている。そして、こ
の画素Sの後段に設けられた反転増幅回路によりFPN
の抑圧を計るようになっている。
【0007】次に、図16に示したタイミングチャートに
基づいて、図15に示したFPN抑圧回路を設けた画素の
動作について説明する。まず期間T1 では、画素S及び
抑圧回路のリセットを行っている。この後、リセット用
n型MOSトランジスタ5がOFFし、期間T2 から画
素における積分動作が行われる。この積分開始後、画素
出力ノード24の電位VP が落ち着いた後で、p型MOS
トランジスタ13,15がOFFし、p型MOSトランジス
タ14をONして、抑圧回路における容量素子12とスイッ
チング用p型MOSトランジスタ14による帰還系を接続
する。期間T3においても画素Sの積分動作は続けら
れ、それによって引き起こされるノード24の電位VP の
上昇は、ノード26に反転出力VOUT として現れる。一定
積分時間経過後、シフトレジスタからのパルスによりn
型MOSトランジスタ21をONして、反転出力VOUT を
信号出力線23に伝達する。
【0008】この動作において、入力容量素子11にクラ
ンプされる基準電圧は、期間T2 からT3 に切り換わる
時刻での画素出力(VP )の電位となる。この期間T2
からT3 に移る時点のVP の電位を基準とし、それから
増加した光積分による信号分VPSは、基準電圧Vref か
らの減少分として、(Vref −C1 /C2 ・VPS)で表
す電圧値としてノード26のVOUT に伝達される。その電
位を、シフトレジスタの走査により信号出力線23に伝達
し、読み出しを行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】以上述べた従来の画素
構成においては、帰還容量素子3により感度が決まるた
め、帰還容量素子3の容量値を小さくして感度を高めら
れると共に、図15で示した画素構成では、更にFPNの
抑圧ができ、更に画素Sのリセット動作により発生する
リセット雑音の除去もでき、なお且つC1 /C2 倍の増
幅も可能となり、高いS/Nが期待できる。
【0010】しかしながら、上記従来の画素構成には、
次に述べる問題があるため、S/Nが制限される。すな
わち、感度をあげると、n型MOSトランジスタ2のト
ランジスタ雑音も増幅されるためである。
【0011】図17に、図15に示した画素構成における積
分動作時の等価回路を示す。図17において、28は画素に
おけるn型MOSトランジスタ2等からなる増幅回路、
29は反転増幅回路を示し、C0 ,C1 ,C2 は図15にお
ける各容量素子3,11,12に相当する容量を示す。また
フォトダイオード1と並列に示されている容量Cd は、
フォトダイオード1の接合容量を示している。
【0012】この等価回路において、画素の増幅回路28
の入力部で発生した雑音電圧en は、次式(1)で示さ
れるように増幅されて、出力端子VOUT に発生する。 Vn =Cd /C0 ・C1 /C2 ・en ・・・・・(1)
【0013】ここで、Vn は出力端子VOUT における雑
音電圧を示している。この式(1)からわかるように、
感度を大きくする、すなわちC0 を小さくしてC1 /C
2 を大きくすることは、雑音電圧も増大することにつな
がり、結局は、この増幅段の入力で発生する雑音電圧に
よってS/Nが制限される。
【0014】この出力段の雑音電圧を小さくするには、
フォトダイオードの接合容量Cd を小さくすること、雑
音電圧en を小さくすることが必要となる。フォトダイ
オードの接合容量Cd を小さくするには、フォトダイオ
ードの基板側又はウェル側の濃度を低くすることで実現
できるが、これもラインセンサ,エリアセンサ等のよう
に、フォトダイオードがアレイ状に配置される場合は、
画素間分離等の問題により極端に小さくできない。
【0015】また雑音電圧en を小さくするには、デバ
イス自体の改良によりMOSトランジスタの雑音電圧を
小さくすることの他に、周波数帯域を狭くすることで改
善できる。しかしながら、一般にセンサで受光する被写
体の明るさは105 程度の広い範囲にわたるため、暗い被
写体を短い積分時間で撮像して、なお且つ明るい被写体
に対して正しい信号出力を得るためには、必然的に周波
数帯域を広くしなければならない。
【0016】例えば1ルクスの被写体を100 msecの積分
時間で撮像する場合、105 ルクスに対しては1μsec と
しなければならない。このため1μsec の積分時間に追
従するように画素内の帯域を設定する必要がある。
【0017】すなわち、暗い被写体を短い積分時間で撮
像するため感度をあげた場合、ダイナミックレンジを広
くとるためには画素の増幅器の帯域を広くしなければな
らず、また雑音を小さくするために増幅器の帯域を狭く
するには、ダイナミックレンジも狭くしなければならな
いという問題点がある。
【0018】本発明は、従来の画素内に増幅素子を有す
る画素を用いた増幅型固体撮像装置における上記問題点
を解消するためになされたもので、増幅素子で発生する
雑音を抑制しながら、なお且つ明るい被写体に対しても
正しく追従できるダイナミックレンジの広い固体撮像装
置を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明は、フォトダイオードと、該フォト
ダイオードで発生した電荷を蓄積する手段と、蓄積され
た光電荷を排出するリセット手段と、蓄積された光電荷
に対応した増幅出力を出力する増幅手段とを有する単位
画素を複数個配列したセンサアレイを備えた固体撮像装
置において、前記単位画素のフォトダイオードに入射す
る光量に対応して、前記増幅手段の周波数帯域を変える
手段を設けるものである。
【0020】このように構成することにより、周波数帯
域を変える手段により、暗い被写体に対しては帯域を狭
くして雑音電圧を小さくすると共に、明るい被写体に対
しては帯域を広くすることにより、画素の追従性を良好
にし、広いダイナミックレンジを確保することができ
る。
【0021】
【実施例】次に実施例について説明する。図1は、本発
明をラインセンサに適用した実施例を示す回路構成図で
ある。この実施例は、n個の画素で構成されるラインセ
ンサを示しており、図において、31-1,・・・ 31-nは画素
で、これらの画素は図12に示した従来の画素の構成にお
けるn型MOSトランジスタ2とp型MOSトランジス
タ4の各ドレインが接続されているソース接地型増幅回
路の出力ノードに、パルスφSHで駆動されるサンプルホ
ールド用n型MOSトランジスタ9を介して、容量素子
8を設けた構成となっている。そして、これらの各画素
の出力ノードは、選択用のn型MOSトランジスタ6を
介して信号出力線7に接続されている。また32は信号出
力線7上の残留電荷をリセットするためのn型MOSト
ランジスタで、33は同じく信号出力線7に接続された、
低い出力インピーダンスとするためのバッファであり、
該バッファ33の出力は出力端子VOUT に接続されてい
る。また34は各画素の選択用n型MOSトランジスタ6
を順次ONするためのシフトレジスタである。
【0022】そして各画素のp型MOSトランジスタ4
のソースは電源ラインVDDに共通に接続され、リセット
用のn型MOSトランジスタ5のゲートは、リセットパ
ルスφR の印加端子に共通に接続されている。またp型
MOSトランジスタ4のゲートは、各画素共通に接続さ
れ、バイアス回路35に接続されている。各画素のバイア
ス電流IBIASは、このバイアス回路35の出力電圧VBIAS
によって決定され、VBIASが低くなるとIBIASは大きく
なり、VBIASが電源電圧VDDに近づくとIBIASは小さく
なるようになっている。
【0023】本発明は、被写体の明るさにより画素の増
幅回路の周波数帯域を変えて、n型MOSトランジスタ
2で発生する雑音電圧を低減するものであり、この実施
例は、各画素に流れるバイアス電流を変化させることに
より、各画素の周波数帯域を変えるものである。各画素
の周波数帯域は、n型MOSトランジスタ2に流れるバ
イアス電流と負荷容量素子8によって決定される。バイ
アス電流を小さくすると帯域は狭くなり、バイアス電流
を大きくすると帯域は広くなる。したがって、被写体が
明るい場合には、バイアス電流を大きくして帯域を広く
し、被写体が暗い場合は、バイアス電流を小さくして帯
域を狭くすればよい。
【0024】図2は、図1に示した実施例の動作を説明
するためのタイミングチャートである。図2において、
期間T0 は、バイアス回路35の出力電圧VBIASの設定を
行う期間であり、このVBIASの設定は、被写体の明るさ
に応じて、明るいときはVBIASを低く、暗いときはV
BIASを高く設定する。また、この期間T0 で行った設定
は、画素出力の読み出しが終了するまでは変えないで一
定状態にしておく。次に期間T1 は、各画素をリセット
する期間であり、リセットパルスφR を“H”レベルと
して各画素のリセットを行う。
【0025】そしてφR =“L”となった時点から積分
が開始され、期間T2 の間、積分動作が続行される。一
定時間積分を行った後に、パルスφSHを“H”から
“L”にして期間T2 で積分された出力を容量素子8に
保持する。その後、期間T3 においてシフトレジスタ34
を駆動して、パルスφ1 ,・・・ φn を順次“H”レベル
として、各画素信号出力を読み出す。このときパルスφ
1 ,・・・ φn のいずれかが“H”レベルのとき、n型M
OSトランジスタ32のゲート電圧φRVを“L”レベルと
して画素出力を読み出した後、φRV=“H”として、信
号出力線7に残留した前画素出力の電荷をリセットし、
次の画素出力を読み出すようにしている。
【0026】容量素子8の容量値をCH 、信号出力線7
の寄生容量をCP 、画素の信号出力をVS とすると、出
力VOUT は次式(2)で表される。 VOUT =CH /(CH +CP )・VS ・・・・・(2)
【0027】したがって、出力のゲインは容量素子8の
容量値CH にのみ依存するため、この実施例における読
み出しでは、バイアス電流を変化させて各画素の周波数
帯域を変化させても、ゲインが一定の出力を得ることが
できる。
【0028】次に、バイアス回路について説明する。図
3は、バイアス回路の構成例を示す概念図で、このバイ
アス回路は、3種類の電流源41,42,43と、該電流源4
1,42,43をノード44に接続するための、制御信号
D0 ,D1 ,D2 で制御される3個のスイッチング素子
45,46,47と、電流値IBOに対応した電圧を発生する、
ゲート・ドレインが共通に接続されたp型MOSトラン
ジスタ48とで構成されている。
【0029】このように構成されたバイアス回路におい
て、電流源41,42,43の電流値I0,I1 ,I2 を、I
0 :I1 :I2 =1:9:90と設定すれば、p型MOS
トランジスタ48の電流値IBOは、制御信号D0 ,D1 ,
D2 によるスイッチング素子45,46,47の切り換えによ
り、最小電流値からその100 倍まで切り換えを行うこと
ができる。バイアス回路の出力電圧VBIASは電流値IBO
によって変化し、それにより各画素内のバイアス電流I
BIASも100 倍まで変化させることができる。
【0030】図4は、図3の概念図で示したバイアス回
路を、MOSトランジスタで実現した具体的な構成例を
示す回路構成図である。図4において、n型MOSトラ
ンジスタ51,52,53は、図3に示した電流源41,42,43
に対応するもので、各n型MOSトランジスタ51,52,
53のゲートサイズ比W/Lの比を変えることにより、重
み付けの異なった3種類の電流源が実現できる。また図
3におけるスイッチング素子45,46,47は、p型MOS
トランジスタ55,56,57で実現されている。なお、58は
n型MOSトランジスタ51,52,53とカレントミラー回
路を構成する基準電流回路である。
【0031】上記構成のバイアス回路において、制御信
号D0 ,D1 ,D2 によりバイアス出力電圧VBIASを制
御することができ、これにより画素内のバイアス電流I
BIASを変えることが可能である。図3,4に示した構成
例では、電流源を3種類設けたものを示したが、これは
被写体の明るさの範囲及びバイアス電流の設定のステッ
プ等に応じて、電流源の電流値の比及び個数は適切に設
定すればよい。
【0032】上記実施例においては、暗い被写体に対し
ては帯域を狭くして雑音電圧を小さくすると共に、明る
い被写体に対しては帯域を広くすることにより、画素の
追従性を良好にし、広いダイナミックレンジを確保でき
るようにする周波数帯域変更手段を備えたラインセンサ
を示したが、次にラインセンサ面上の明るさを判断する
手段を備えた実施例について説明する。
【0033】図5は、画素内の蓄積電荷の状態を知るた
めのモニター手段を設けたラインセンサの実施例を示す
回路構成図である。このラインセンサは、各基本画素61
-1,・・・ 61-nをn画素配置した構成をとり、基本的には
図1に示した実施例において説明した動作と同じ動作を
する。図1に示した実施例と異なる点は、各画素内にモ
ニター用のソースフォロアとして動作するn型MOSト
ランジスタ62を設けた点で、このモニター用n型MOS
トランジスタ62のゲートは、画素内のソース接地型増幅
回路の出力部に接続され、ドレインには電源電圧VDDが
印加され、ソースは各画素共通にソースライン63に接続
されて、電流源として動作するバイアス用n型MOSト
ランジスタ64のドレインに接続されている。またソース
ライン63は、更に、一方の入力端が基準電圧Vref に接
続されているコンパレータ65の他方の入力端に接続され
ている。そして、各画素の出力部にゲートが接続された
前記モニター用n型MOSトランジスタ62、及びバイア
ス用n型MOSトランジスタ64は、ピーク検出回路の構
成となっており、ソースライン63の電圧VM は、画素の
出力電圧のピーク値を示すようになっている。
【0034】上記のように構成したピーク値検出機能を
有するラインセンサにおいては、更に次のような手段を
設けることにより、センサ面上の明るさを検出し、バイ
アス電流IBIASを制御できるようになっている。すなわ
ち、図5に示すように、リセットパルスφR でリセット
され、画素の積分開始と共に動作し、コンパレータ65が
“L”レベルから“H”レベルに反転する時点、すなわ
ち画素出力電圧のピーク値VM が基準電圧Vref を超え
た時点に、カウントを終了するカウンタ66を設け、該カ
ウンタ66の値に応じて制御回路67により、バイアス回路
35を制御してバイアス電流IBIASを制御するようになっ
ている。
【0035】このように構成されたラインセンサは、次
のように動作が行われる。まずバイアス回路35によるバ
イアス電流IBIASの設定は、最小にして積分動作を行
う。このとき、センサ面が明るければ、コンパレータ65
が反転するまでの時間は短く、センサ面が暗ければ、反
転するまでの時間は長くなる。したがって、コンパレー
タ65の反転までの時間が基準となる時間より長い場合
は、そのまま積分動作を行い、一定積分時間経過後、積
分を終了し読み出しを行う。この積分時間の制御は、カ
ウンタ66の値をもとに行えば、効率よく行うことができ
る。
【0036】またコンパレータ65の反転までの時間が基
準時間より短い場合は、制御回路67により、バイアス回
路35をバイアス電流が大きくなるように設定して、再び
リセット動作を行い、再度積分動作を行う。
【0037】バイアス回路35におけるバイアスの設定が
2つの場合は、以上の動作でバイアス電流の切り換えが
行われる。また、バイアス回路35における設定が3つ以
上の場合は、積分開始からコンパレータ65が反転するま
での基準時間を、その設定に対応して設ければよい。そ
して、バイアス電流の小さい方から順次切り換えながら
積分を行うようにすればよい。
【0038】このような動作を行えば、センサ面上が暗
い場合、すなわち長い積分時間に対しては、1回の積分
動作で済み、明るい場合は、複数回の積分を行っても、
1回あたりの積分時間は短くて済むため、画素信号を読
み取るまでの時間を効率よく使用することができる。
【0039】図5に示した実施例におけるコンパレータ
65,カウンタ66,制御回路67は、画素と同一チップ上に
配置構成してもよいし、また外部回路として構成しても
よい。
【0040】次に、センサ面上の明るさを検知する他の
手段を用いた実施例を図6を用いて説明する。この実施
例は、図1に示した実施例に、モニター用のフォトダイ
オードを設けた構成のものである。図において、フォト
ダイオードアレイ71を構成する各フォトダイオードは、
図1に示した実施例のフォトダイオード1に相当し、そ
の次段のアンプ72は、画素内の増幅回路を表している。
このような構成のラインセンサに対して、フォトダイオ
ードアレイ71の近傍に、モニター用フォトダイオード73
を配置し、該フォトダイオード73の出力を対数圧縮型の
電流検出回路74により電圧出力とし、制御回路67に入力
するように構成されている。
【0041】このようなモニター用のフォトダイオード
73を、フォトダイオードアレイ71の近傍に配置すること
により、電流検出回路74の出力電圧でセンサ面上の明る
さを検出することができる。したがって電流検出回路74
の出力電圧に応じて、制御回路67によりバイアス回路35
を介してバイアス電流を設定することにより、センサ面
の明るさに応じたバイアス電流の設定が可能となる。
【0042】図6に示した実施例においては、モニター
用フォトダイオード73と画素群を構成するフォトダイオ
ードアレイ71とにおいて、極端に明るさが異なるような
光学系を用いる場合は、誤差が大きくなり実用できな
い。図7は、センサ面上の明るさを検出できるようにし
た他の実施例を示す回路構成図である。図7に示す実施
例において、図6に示した実施例と異なる点は、図6に
示した実施例ではモニター用のフォトダイオード73を設
けて光を検出していたのに対し、この実施例は、各画素
を構成するフォトダイオードアレイ71の基板側又はウェ
ル側に流れる光電流により、明るさを検出するように構
成している点である。この実施例による構成では、光電
流の向きが図6に示した実施例とは逆の向きとなり、電
流検出回路74においては負の電位が発生するが、動作
は、図6に示した実施例において説明したのと同様に、
電流検出回路74の出力電圧によりセンサ面上の明るさを
判定して、バイアス電流値の設定が行われる。
【0043】以上述べたように、種々の手段により、セ
ンサ面上の明るさを検出することにより、センサ面上の
明るさに応じたバイアス電流の設定を行うことができ
る。
【0044】以上述べた各実施例においては、センサ面
上の明るさに対応して画素の周波数帯域を変える手段と
して、各画素内のバイアス電流を変えて行う構成のもの
を示したが、各画素の周波数帯域は、前述のように負荷
容量素子8の容量値を変えても、変化させることができ
るため、バイアス電流は一定にしておき、負荷容量素子
8の容量値を切り換える手段を用いてもよい。しかし、
この画素構成における信号読み出し方式において、直接
容量値の切り換えにより周波数帯域を変えるとゲインも
変わるため、これを防ぐには、各画素の構成を、図8に
示すように、バッファとして動作するソースフォロア回
路を介して出力するように構成すればよい。
【0045】図8において、n型MOSトランジスタ81
はソースフォロアとして動作するものであり、画素出力
はこのn型MOSトランジスタ81を介して信号出力線7
に出力される。また82,83は容量値の切り換えを行うた
めのスイッチング用n型MOSトランジスタ及び容量素
子であり、n型MOSトランジスタ82のゲートに印加す
るパルスφC を“H”レベルとすると、容量素子83が付
加されて周波数帯域は狭くなり、φC =“L”とすると
周波数帯域は広くなる。以上のような画素構成を用いる
ことにより、負荷容量素子の容量値の切り換えにより周
波数帯域を変えても、ゲインには影響を与えない。
【0046】次に、図15に示した従来のFPN抑圧回路
を備えた画素構成、すなわち2段構成の増幅回路を有す
る画素構成に、本発明を適用した実施例を、図15を利用
して説明する。この場合も、前記各実施例と同様に、バ
イアス電流を切り換える手段と、負荷容量値の切り換え
手段のいずれかを用いればよい。
【0047】まず、バイアス電流の切り換えによる手段
を適用した場合について説明する。この場合は、図15に
示されている画素Sのp型MOSトランジスタ4のゲー
トに印加される電圧VBIAS1 を制御することにより実現
でき、その制御は前記各実施例と全く同様な手段で行う
ことができる。なお、この際、図15において示されてい
る反転増幅回路を構成するn型MOSトランジスタ17,
20の各ゲートに印加する電圧VBIAS2 は、常に一定値に
保持しておいてよい。またセンサ面の明るさを検出する
手段としても、図5の実施例で示したモニター用のソー
スフォロアとして動作するn型MOSトランジスタ62を
各画素に設ける手段、図6の実施例で示したフォトダイ
オードアレイの近傍にモニター用フォトダイオード73を
設ける手段、図7の実施例で示した各画素を構成するフ
ォトダイオードアレイの基板又はウェル側に流れる電流
を検出する手段を、同様に用いることができる。
【0048】次に、負荷容量素子の容量値の切り換えに
より周波数帯域を変える手段について説明する。この場
合、図9に示すように、図8に示した実施例と同様に、
入力容量素子11の入力部に容量値の切り換えを行うため
のスイッチング用n型MOSトランジスタ82及び容量素
子83を設けて、感度を変えずに帯域を切り換えるように
構成することもできるが、意図的に周波数帯域を切り換
えると同時に、感度を切り換える方が、次に説明するよ
うに効率がよい。
【0049】すなわち、センサ面が明るいときは、積分
時間が短くなるため、感度が高いと積分時間制御を行う
ため制御回路の応答速度を速めなければならない。した
がって、センサ面が明るいときは感度が低い方がよい。
またセンサ面が暗い場合は、感度が低いと、一定信号出
力レベルを得るためには、積分時間が非常に長くなるた
め、なるべく感度は高くしたい。これを周波数帯域との
関係で考えると、帯域を広くするときは感度を低く、帯
域を狭くするときは感度を高くすればよい。
【0050】図10に、以上述べた動作を実現するように
構成した実施例を示す。この実施例は、図15に示した従
来の構成において、帯域及び感度を切り換えるための容
量素子85(容量値C3 )とスイッチング用p型MOSト
ランジスタ86を、入力容量素子11(容量値C1 )に並列
に接続したものである。
【0051】このように構成した実施例において、p型
MOSトランジスタ86のゲート印加パルスφC を“L”
レベルとし、p型MOSトランジスタ86をONしたと
き、ノード24の負荷容量値は(C1 +C3 )となり、周
波数帯域は狭くなり、反転増幅回路及びn型MOSトラ
ンジスタ19,20で構成される2段目の増幅回路のゲイン
は、(C1 +C3 )/C2 となり高くなる。またφC =
“H”としてp型MOSトランジスタ86をOFFしたと
きは、帯域は広くなり、2段目の増幅回路のゲインはC
1 /C2 となり低くなる。このように、この実施例によ
れば、帯域及び感度を効率よく切り換えることが可能と
なる。
【0052】次に、図9,図10に示した実施例、及び図
15を用いて説明した実施例において、初段の画素Sの周
波数帯域を変えた場合、パルスφR 及びパルスφRCのタ
イミングを、どのように設定しなければならないかを、
図16に示したタイミングチャートを用いて説明する。図
16において、リセットパルスφR をOFF(“H”から
“L”)させてから、パルスφRCをOFF(“L”から
“H”)するまでの期間T2 において、ノード24の電位
VP は徐々に上昇しているが、これはリセットパルスφ
R のOFFにより、リセット用n型MOSトランジスタ
5がONからOFFするときに発生するフィード・スル
ーによる電荷分が、容量素子3(容量値C0 )に蓄積す
ることにより生じるものである。このフィード・スルー
によるノード24の電位VP の上昇が終わり、定常状態と
なった時点でパルスφRCを“H”レベルとするのが望ま
しい。
【0053】しかしながら前述のように、画素の帯域を
明るさに応じて変えると、このフィード・スルーによる
電位上昇の立ち上がり時間も変わってしまう。つまり帯
域を広くすると、立ち上がり時間は短くなり、帯域を狭
くすると、立ち上がり時間は長くなる。したがって、期
間T2 は帯域を狭くした立ち上がり時間に合わせなけれ
ばならないが、期間T2 が長くなり過ぎると、センサ面
上が明るい場合、期間T2 中に初段の画素Sが飽和して
しまう。このため、期間T2 は画素の帯域に応じて可変
となった方が望ましく、更に望ましくは、画素の帯域に
連動しながら、簡単な構成でパルスφRCのタイミングが
得られる方がよい。
【0054】図11に、各画素の周波数帯域をバイアス電
流を切り換えて変える方式を用いて構成したときのパル
スφRCのタイミング発生回路を示し、図12に負荷容量素
子の容量値を切り換えて帯域を切り換える方式を用いて
構成したときのパルスφRCのタイミング発生回路を示
す。
【0055】図11において、90は電流源として動作する
p型MOSトランジスタで、ゲートをバイアス出力電圧
VBIAS1 に接続することにより、各画素のバイアス電流
に対応した電流が流れるように構成されている。91はリ
セットパルスφR で駆動されるn型MOSトランジス
タ、92は容量素子、93,94,95,96はインバータ回路で
ある。また図12に示すタイミング発生回路では、パルス
φC により制御されるn型MOSトランジスタ98と容量
素子97が追加されている。なおインバータ回路93〜96の
代わりに、入力の一端を基準電圧に接続したコンパレー
タを用いることができる。
【0056】次に、図13に示したタイミングチャートを
用いて、これらのタイミング発生回路の動作を説明す
る。リセットパルスφR が“H”レベルのとき、n型M
OSトランジスタ91はONされているので、ノード100
はグランドレベルとなる。φR=“L”となると、電流
源用p型MOSトランジスタ90により、容量素子92(及
び97)が充電され、ノード100 の電位が上昇する。
【0057】図11に示したタイミング発生回路において
は、電流源用p型MOSトランジスタ90の電流値は各画
素のバイアス電流に連動しているため、画素の帯域が広
いときは電流値は大きく、ノード100 の上昇の傾きも急
となり、逆に画素の帯域が狭いと電流値は小さく、傾き
は緩やかになる。また図12に示したタイミング発生回路
では、画素の帯域が狭いときはパルスφC を“H”レベ
ルとし、帯域が広いときはパルスφC を“L”レベルと
することによって、同様の効果が得られる。
【0058】したがって、帯域が広いときは、リセット
パルスφR の立ち下がりからパルスφRCの立ち上がりま
では短くなり、逆に帯域が狭いときは、リセットパルス
φRの立ち下がりからパルスφRCの立ち上がりまでは長
くなる。つまり、画素の周波数帯域に応じて、パルスφ
RCの立ち上がりを変えることができる。
【0059】図11に示したタイミング発生回路では、電
流源用p型MOSトランジスタ90のバイアス電流は、画
素のバイアス電流にそのまま追従する。また図12に示し
たタイミング発生回路では、容量素子92と97の容量値の
比を、画素内で帯域を切り換えを行うための容量値の比
に合わせることにより、同様に追従させることができ
る。このようにして、画素の周波数帯域に応じて、パル
スφRCのタイミングを形成することができる。
【0060】上記図11,図12に示したタイミング発生回
路を用いることにより、図9及び図10に示した実施例、
並びに図15に示した従来例を用いて説明した実施例のよ
うに、増幅回路が2段構成となっている画素構成を用い
たセンサにおいても、広い明るさの範囲において、セン
サ面上の明るさに対応して、画素内の周波数帯域を変え
ることによって、S/Nを改善することが可能である。
【0061】
【発明の効果】以上実施例に基づいて説明したように、
本発明によれば、被写体の明るさに応じて画素の周波数
帯域を変えるように構成したので、広いダイナミックレ
ンジを保持させながら、画素内の増幅手段で発生する雑
音を最小限に抑え、高S/Nを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る固体撮像装置の実施例を示す回路
構成図である。
【図2】図1に示した実施例の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。
【図3】図1に示した実施例のバイアス回路の構成例を
示す概念図である。
【図4】図3に示したバイアス回路の具体的な構成を示
す回路構成図である。
【図5】センサ面上の明るさを検知する手段を備えた実
施例を示す回路構成図である。
【図6】センサ面上の明るさを検知する手段を備えた他
の実施例を示す回路構成図である。
【図7】センサ面上の明るさを検知する手段を備えた更
に他の実施例を示す回路構成図である。
【図8】本発明の他の実施例の一画素部分を示す図であ
る。
【図9】FPN抑圧回路をもつ画素を有する固体撮像装
置に本発明を適用した実施例の一画素部分を示す回路構
成図である。
【図10】FPN抑圧回路をもつ画素を有する固体撮像装
置に本発明を適用した他の実施例の一画素部分を示す回
路構成図である。
【図11】図9及び図10に示した実施例に用いるタイミン
グ発生回路の構成例を示す図である。
【図12】図9及び図10に示した実施例に用いるタイミン
グ発生回路の他の構成例を示す図である。
【図13】図11及び図12に示したタイミング発生回路の動
作を説明するためのタイミングチャートである。
【図14】従来の増幅機能を有する画素構成の一例を示す
回路構成図である。
【図15】従来のFPN抑圧回路をもつ画素構成の一例を
示す回路構成図である。
【図16】図15に示した構成例を説明するためのタイミン
グチャートである。
【図17】図15に示した構成例の積分動作時の等価回路を
示す図である。
【符号の説明】
1 フォトダイオード 2 n型MOSトランジスタ 3 容量素子 4 p型MOSトランジスタ 5 リセット用n型MOSトランジスタ 6 選択用n型MOSトランジスタ 7 信号出力線 8 負荷容量素子 9 サンプルホールド用n型MOSトランジスタ 11 入力容量素子 31-1,・・・ 31-n 画素 32 信号出力線リセット用n型MOSトランジスタ 33 バッファ 34 シフトレジスタ 35 バイアス回路

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フォトダイオードと、該フォトダイオー
    ドで発生した電荷を蓄積する手段と、蓄積された光電荷
    を排出するリセット手段と、蓄積された光電荷に対応し
    た増幅出力を出力する増幅手段とを有する単位画素を複
    数個配列したセンサアレイを備えた固体撮像装置におい
    て、前記単位画素のフォトダイオードに入射する光量に
    対応して、前記増幅手段の周波数帯域を変える手段を備
    えていることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記増幅手段の周波数帯域を変える手段
    は、前記単位画素のフォトダイオードに入射する光量を
    検出する手段と、該光量検出手段による検出信号に基づ
    いて前記増幅手段の周波数帯域を変える帯域変更部とで
    構成されていることを特徴とする請求項1記載の固体撮
    像装置。
  3. 【請求項3】 前記帯域変更部は、前記増幅手段に供給
    されるバイアス電流を変える手段で構成されていること
    を特徴とする請求項2記載の固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 前記帯域変更部は、前記増幅手段の出力
    部に接続された負荷容量素子の容量値を変える手段で構
    成されていることを特徴とする請求項2記載の固体撮像
    装置。
  5. 【請求項5】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイの近傍に設けたモニター用フォトダイオードと、該
    モニター用フォトダイオードで発生する光電流値を検出
    する回路とで構成し、積分開始時における光電流値に基
    づいて周波数帯域を設定するように構成したことを特徴
    とする請求項2,3,4のいずれか1項に記載の固体撮
    像装置。
  6. 【請求項6】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイを構成する単位画素の各フォトダイオードの共通化
    された基板又はウェルに流れる電流値を検出する回路で
    構成し、積分開始時における光電流値に基づいて周波数
    帯域を設定するように構成したことを特徴とする請求項
    2,3,4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  7. 【請求項7】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイの増幅出力のピーク値を検出する手段と、ピーク値
    検出手段による検出信号と基準値とを比較する比較手段
    と、画素のリセット後積分開始時から前記比較手段の出
    力反転時までの時間をカウントする手段と、該カウント
    手段の出力信号に応じて周波数帯域の設定を制御する制
    御部とで構成されていることを特徴とする請求項2,
    3,4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  8. 【請求項8】 フォトダイオードと該フォトダイオード
    で発生した電荷を蓄積する手段と蓄積された光電荷を排
    出する第1のリセット手段と蓄積された光電荷に対応し
    た増幅出力を出力する第1の増幅手段とからなる画素
    と、該画素の出力部に第1の容量素子を介して接続され
    た反転増幅回路と該反転増幅回路の入出力間の帰還系に
    接続された第2の容量素子と第1の容量素子のクランプ
    動作及び第2の容量素子のリセットを行うための1つ又
    は複数のスイッチング手段とからなる第2の増幅手段と
    で単位セルを構成し、該単位セルを複数個配列したセン
    サアレイを備えた固体撮像装置において、前記単位画素
    のフォトダイオードに入射する光量に対応して前記第1
    の増幅手段の周波数帯域を変える手段を備えていること
    を特徴とする固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 前記第1の増幅手段の周波数帯域を変え
    る手段は、前記画素のフォトダイオードに入射する光量
    を検出する手段と、該光量検出手段による検出信号に基
    づいて前記第1の増幅手段の周波数帯域を変える帯域変
    更部とで構成されていることを特徴とする請求項8記載
    の固体撮像装置。
  10. 【請求項10】 前記帯域変更部は、前記画素の出力部に
    接続された第1の容量素子の容量値を変える手段で構成
    され、前記第1の増幅手段の周波数帯域の変更に応じて
    前記第2の増幅手段のゲインも変更されるように構成さ
    れていることを特徴とする請求項9記載の固体撮像装
    置。
  11. 【請求項11】 前記帯域変更部は、前記第1の増幅手段
    に供給されるバイアス電流を変える手段で構成されてい
    ることを特徴とする請求項9記載の固体撮像装置。
  12. 【請求項12】 前記画素の第1のリセット手段を解除し
    てから、前記第2の増幅手段の第1の容量素子のクラン
    プ動作及び第2の容量素子のリセットを行うためのスイ
    ッチング手段を解除するまでの期間を、前記第1の増幅
    手段の周波数帯域の設定に対応して変えるタイミング設
    定手段を備えていることを特徴とする請求項8〜11のい
    ずれか1項に記載の固体撮像装置。
  13. 【請求項13】 前記タイミング設定手段は、容量素子
    と、該容量素子を充電する電流源と、前記容量素子の両
    端に接続され前記第1のリセット手段と同期して駆動さ
    れるスイッチング手段と、前記電流源と容量素子の接続
    点に入力部が接続されたインバータ又はコンパレータか
    らなる立ち下がりエッジを遅延する回路とで構成され、
    前記容量素子の容量値を前記第1の増幅手段の周波数帯
    域の設定に対応して変えるようにしたことを特徴とする
    請求項12記載の固体撮像装置。
  14. 【請求項14】 前記タイミング設定手段は、容量素子
    と、該容量素子を充電する電流源と、前記容量素子の両
    端に接続され前記第1のリセット手段と同期して駆動さ
    れるスイッチング手段と、前記電流源と容量素子の接続
    点に入力部が接続されたインバータ又はコンパレータか
    らなる立ち下がりエッジを遅延する回路とで構成され、
    前記電流源の電流値を前記第1の増幅手段の周波数帯域
    の設定に対応して変えるようにしたことを特徴とする請
    求項12記載の固体撮像装置。
  15. 【請求項15】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイの近傍に設けたモニター用フォトダイオードと、該
    モニター用フォトダイオードで発生する光電流値を検出
    する回路とで構成し、積分開始時における光電流値に基
    づいて周波数帯域を設定するように構成したことを特徴
    とする請求項9〜14のいずれか1項に記載の固体撮像装
    置。
  16. 【請求項16】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイを構成する各画素の各フォトダイオードの共通化さ
    れた基板又はウェルに流れる電流値を検出する回路で構
    成し、積分開始時における光電流値に基づいて周波数帯
    域を設定するように構成したことを特徴とする請求項9
    〜14のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  17. 【請求項17】 前記入射光量検出手段は、前記センサア
    レイの増幅出力のピーク値を検出する手段と、ピーク値
    検出手段による検出信号と基準値とを比較する比較手段
    と、画素のリセット後積分開始時から前記比較手段の出
    力反転時までの時間をカウントする手段と、該カウント
    手段の出力信号に応じて周波数帯域の設定を制御する制
    御部とで構成されていることを特徴とする請求項9〜14
    のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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