JPH06193580A - 回転ベーンポンプ - Google Patents
回転ベーンポンプInfo
- Publication number
- JPH06193580A JPH06193580A JP35907892A JP35907892A JPH06193580A JP H06193580 A JPH06193580 A JP H06193580A JP 35907892 A JP35907892 A JP 35907892A JP 35907892 A JP35907892 A JP 35907892A JP H06193580 A JPH06193580 A JP H06193580A
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- JP
- Japan
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- housing
- gas
- vane pump
- rotary vane
- airtight chamber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハウジング内の真空度が低い場合にも、ハウ
ジング内を通過する気体がハウジング側壁の軸穴に挿通
したロータの回転軸周囲の隙間を通してハウジング外部
に漏れ出すのを防ぐことのできる回転ベーンポンプを得
る。 【構成】 ハウジング側壁20a外部に、ハウジング側
壁20aに開口した軸穴22に挿通したロータの回転軸
10周囲の隙間30a、30bに連通すると共に、ハウ
ジング20外部に連通した気密室60を、ロータの回転
軸10周囲の隙間30a、30bを覆うようにして設け
て、その気密室60を回転ベーンポンプの気体吸入口側
真空系92にオリフィス80を介して連通する。
ジング内を通過する気体がハウジング側壁の軸穴に挿通
したロータの回転軸周囲の隙間を通してハウジング外部
に漏れ出すのを防ぐことのできる回転ベーンポンプを得
る。 【構成】 ハウジング側壁20a外部に、ハウジング側
壁20aに開口した軸穴22に挿通したロータの回転軸
10周囲の隙間30a、30bに連通すると共に、ハウ
ジング20外部に連通した気密室60を、ロータの回転
軸10周囲の隙間30a、30bを覆うようにして設け
て、その気密室60を回転ベーンポンプの気体吸入口側
真空系92にオリフィス80を介して連通する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、有毒ガス等の気体を移
送するための移送ポンプに使用される回転ベーンポンプ
に関する。
送するための移送ポンプに使用される回転ベーンポンプ
に関する。
【0002】
【従来の技術】図5と図6に示したような、複数枚のベ
ーン(図示せず)を摺動自在に嵌挿したロータ12をハ
ウジング20内に偏心させて回転自在に支持してなる回
転ベーンポンプが周知である。
ーン(図示せず)を摺動自在に嵌挿したロータ12をハ
ウジング20内に偏心させて回転自在に支持してなる回
転ベーンポンプが周知である。
【0003】この回転ベーンポンプによれば、ハウジン
グ20内でロータ12を回転させることにより、ハウジ
ング20に備えた気体吸入口(図示せず)から気体をハ
ウジング20内に吸入して、ハウジング20内で圧縮
し、その圧縮した気体をハウジング20に備えた気体吐
出口(図示せず)からハウジング20外部に吐き出すこ
とができる。
グ20内でロータ12を回転させることにより、ハウジ
ング20に備えた気体吸入口(図示せず)から気体をハ
ウジング20内に吸入して、ハウジング20内で圧縮
し、その圧縮した気体をハウジング20に備えた気体吐
出口(図示せず)からハウジング20外部に吐き出すこ
とができる。
【0004】この回転ベーンポンプにおいては、ハウジ
ング側壁20aに開口した軸穴22にロータの回転軸1
0をその周囲に隙間30a、30bをあけて挿通してい
る。ロータの回転軸10端部は、ハウジング側壁20a
外部に備えた軸受け部40にベアリング42を介して回
転自在に支持している。軸受け部40は、軸穴22周囲
のハウジング側壁20a外部に放射状に複数本起立させ
て備えたリブ50を介してハウジング側壁20a外部に
固定している。
ング側壁20aに開口した軸穴22にロータの回転軸1
0をその周囲に隙間30a、30bをあけて挿通してい
る。ロータの回転軸10端部は、ハウジング側壁20a
外部に備えた軸受け部40にベアリング42を介して回
転自在に支持している。軸受け部40は、軸穴22周囲
のハウジング側壁20a外部に放射状に複数本起立させ
て備えたリブ50を介してハウジング側壁20a外部に
固定している。
【0005】この回転ベーンポンプでは、図6に矢印で
示したように、ロータ12をその回転軸10と共に時計
回りに回転させた場合に、軸穴22に挿通したロータの
回転軸10周囲の上側の隙間30aに当たるハウジング
20に備えた気体吸入口(図示せず)側に位置する隙間
30aを通して、ハウジング20外部の外気等の気体が
ハウジング20内に吸入される。それと共に、軸穴22
に挿通したロータの回転軸10周囲の下側の隙間30b
に当たるハウジング20に備えた気体吐出口(図示せ
ず)側に位置する隙間30bを通して、ハウジング20
内から圧縮された気体がハウジング20外部に吐き出さ
れる。
示したように、ロータ12をその回転軸10と共に時計
回りに回転させた場合に、軸穴22に挿通したロータの
回転軸10周囲の上側の隙間30aに当たるハウジング
20に備えた気体吸入口(図示せず)側に位置する隙間
30aを通して、ハウジング20外部の外気等の気体が
ハウジング20内に吸入される。それと共に、軸穴22
に挿通したロータの回転軸10周囲の下側の隙間30b
に当たるハウジング20に備えた気体吐出口(図示せ
ず)側に位置する隙間30bを通して、ハウジング20
内から圧縮された気体がハウジング20外部に吐き出さ
れる。
【0006】この回転ベーンポンプにおいて、気体吸入
口側に設けた真空調整器(図示せず)を調整してハウジ
ング20内の真空度を低下させた場合には、気体吸入口
側の隙間30aを通してハウジング20内に吸い込まれ
る気体の吸入量が、気体吐出口側の隙間30bを通して
ハウジング20内からその外部に吐き出される気体の吐
出量に比べて、少なくなる。逆に、気体吸入口側に設け
た真空調整器(図示せず)を調整してハウジング20内
の真空度を高めた場合には、気体吸入口側の隙間30a
を通してハウジング20内に吸い込まれる気体の吸入量
が、気体吐出口側の隙間30bを通してハウジング20
内からその外部に吐き出される気体の吐出量に比べて、
多くなる。
口側に設けた真空調整器(図示せず)を調整してハウジ
ング20内の真空度を低下させた場合には、気体吸入口
側の隙間30aを通してハウジング20内に吸い込まれ
る気体の吸入量が、気体吐出口側の隙間30bを通して
ハウジング20内からその外部に吐き出される気体の吐
出量に比べて、少なくなる。逆に、気体吸入口側に設け
た真空調整器(図示せず)を調整してハウジング20内
の真空度を高めた場合には、気体吸入口側の隙間30a
を通してハウジング20内に吸い込まれる気体の吸入量
が、気体吐出口側の隙間30bを通してハウジング20
内からその外部に吐き出される気体の吐出量に比べて、
多くなる。
【0007】その結果、ハウジング20内の真空度を下
げた場合には、気体吸入口側の隙間30aを通してハウ
ジング20内に吸い込まれる気体の吸入量に比べて気体
吐出口側の隙間30bを通してハウジング20外部に吐
き出される気体の吐出量が優ることとなって、隙間30
a、30bを通してハウジング20内から気体が吐き出
される。逆に、ハウジング20内の真空度を高めた場合
には、気体吸入口側の隙間30aを通してハウジング2
0内に吸い込まれる気体の吸入量に比べて気体吐出口側
の隙間30bを通してハウジング20外部に吐き出され
る気体の吐出量が劣ることとなって、隙間30a、30
bを通してハウジング20外部からその内部に気体が吸
入される。
げた場合には、気体吸入口側の隙間30aを通してハウ
ジング20内に吸い込まれる気体の吸入量に比べて気体
吐出口側の隙間30bを通してハウジング20外部に吐
き出される気体の吐出量が優ることとなって、隙間30
a、30bを通してハウジング20内から気体が吐き出
される。逆に、ハウジング20内の真空度を高めた場合
には、気体吸入口側の隙間30aを通してハウジング2
0内に吸い込まれる気体の吸入量に比べて気体吐出口側
の隙間30bを通してハウジング20外部に吐き出され
る気体の吐出量が劣ることとなって、隙間30a、30
bを通してハウジング20外部からその内部に気体が吸
入される。
【0008】従って、回転ベーンポンプを用いて有毒ガ
ス等の気体を移送する場合には、ハウジング20内の真
空度を所定値以上に高めて、隙間30a、30bを通し
てハウジング20外部からその内部に気体を吸入し続け
ている。そして、ハウジング20内を通過する有毒ガス
等の気体が隙間30a、30bを通してハウジング20
外部に漏れ出すのを防いでいる。
ス等の気体を移送する場合には、ハウジング20内の真
空度を所定値以上に高めて、隙間30a、30bを通し
てハウジング20外部からその内部に気体を吸入し続け
ている。そして、ハウジング20内を通過する有毒ガス
等の気体が隙間30a、30bを通してハウジング20
外部に漏れ出すのを防いでいる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、回転ベーン
ポンプを用いて外部に漏れ出すと支障のある有毒ガス等
の気体を大量に移送した場合には、ハウジング20内の
真空度が所定値以下に低下して、気体吸入口側の隙間3
0aを通してハウジング20内に吸い込まれる気体の吸
入量が気体吐出口側の隙間30bを通してハウジング2
0内からその外部に吐き出される気体の吐出量より優っ
てしまい、隙間30a、30bを通してハウジング20
内を通過する有毒ガス等の気体がハウジング20外部に
漏れ出してしまった。
ポンプを用いて外部に漏れ出すと支障のある有毒ガス等
の気体を大量に移送した場合には、ハウジング20内の
真空度が所定値以下に低下して、気体吸入口側の隙間3
0aを通してハウジング20内に吸い込まれる気体の吸
入量が気体吐出口側の隙間30bを通してハウジング2
0内からその外部に吐き出される気体の吐出量より優っ
てしまい、隙間30a、30bを通してハウジング20
内を通過する有毒ガス等の気体がハウジング20外部に
漏れ出してしまった。
【0010】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、ハウジング内の真空度を下げた状態で、回転
ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を大量に移送し
た場合等にも、ハウジング内を通過する有毒ガス等の気
体がハウジング側壁の軸穴に挿通したロータの回転軸周
囲の隙間を通してハウジング外部に漏れ出すのを防ぐこ
とのできる回転ベーンポンプを提供しようとするもので
ある。
たもので、ハウジング内の真空度を下げた状態で、回転
ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を大量に移送し
た場合等にも、ハウジング内を通過する有毒ガス等の気
体がハウジング側壁の軸穴に挿通したロータの回転軸周
囲の隙間を通してハウジング外部に漏れ出すのを防ぐこ
とのできる回転ベーンポンプを提供しようとするもので
ある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の回転ベーンポンプは、ベーンを嵌挿したロ
ータを収容したハウジング側壁に開口した軸穴に前記ロ
ータの回転軸をその周囲に隙間をあけて挿通して、その
回転軸端部を前記ハウジング外部に備えた軸受け部にベ
アリングを介して回転自在に支持してなる回転ベーンポ
ンプにおいて、前記ハウジング側壁外部に、前記ロータ
の回転軸周囲の隙間に連通すると共に、ハウジング外部
に連通した気密室を、前記ロータの回転軸周囲の隙間を
覆うようにして設けて、その気密室を回転ベーンポンプ
の気体吸入口側真空系にオリフィスを介して連通したこ
とを特徴としている。
に、本発明の回転ベーンポンプは、ベーンを嵌挿したロ
ータを収容したハウジング側壁に開口した軸穴に前記ロ
ータの回転軸をその周囲に隙間をあけて挿通して、その
回転軸端部を前記ハウジング外部に備えた軸受け部にベ
アリングを介して回転自在に支持してなる回転ベーンポ
ンプにおいて、前記ハウジング側壁外部に、前記ロータ
の回転軸周囲の隙間に連通すると共に、ハウジング外部
に連通した気密室を、前記ロータの回転軸周囲の隙間を
覆うようにして設けて、その気密室を回転ベーンポンプ
の気体吸入口側真空系にオリフィスを介して連通したこ
とを特徴としている。
【0012】本発明の回転ベーンポンプにおいては、気
密室内の気体を吸引、排除する補助真空ポンプを備える
ことを好適としている。
密室内の気体を吸引、排除する補助真空ポンプを備える
ことを好適としている。
【0013】
【作用】上記構成の回転ベーンポンプにおいては、ロー
タを回転させた際に、気密室内の気体が、気密室にオリ
フィスを介して連通した回転ベーンポンプの気体吸入口
側真空系を通してハウジング内に吸入し続けられる。そ
して、ハウジング内の真空度が低下した場合において
も、気密室内の気圧がハウジング外部の気圧より低く抑
えられる。
タを回転させた際に、気密室内の気体が、気密室にオリ
フィスを介して連通した回転ベーンポンプの気体吸入口
側真空系を通してハウジング内に吸入し続けられる。そ
して、ハウジング内の真空度が低下した場合において
も、気密室内の気圧がハウジング外部の気圧より低く抑
えられる。
【0014】そのため、ハウジング内の真空度を下げた
状態で、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を
移送した場合に、ロータの回転軸周囲の気体吸入口側の
隙間を通してハウジング内に吸入される気体の吸入量に
比べてロータの回転軸周囲の気体吐出口側の隙間を通し
てハウジング内からその外部に吐き出される気体の吐出
量が優った状態となって、ロータの回転軸周囲の隙間に
連通する気密室内にハウジング内を通過する気体が漏れ
出しても、上記のように、気密室内の気圧がハウジング
外部の気圧より低く抑えられているので、その気密室内
に漏れ出した気体が気密室を通してハウジング外部に漏
れ出すのが防止される。言い換えれば、気密室内に漏れ
出した有毒ガス等の気体がハウジング外部に漏れ出さず
に、ハウジング外部の大気等の気体が気密室に逆流入し
続ける。
状態で、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を
移送した場合に、ロータの回転軸周囲の気体吸入口側の
隙間を通してハウジング内に吸入される気体の吸入量に
比べてロータの回転軸周囲の気体吐出口側の隙間を通し
てハウジング内からその外部に吐き出される気体の吐出
量が優った状態となって、ロータの回転軸周囲の隙間に
連通する気密室内にハウジング内を通過する気体が漏れ
出しても、上記のように、気密室内の気圧がハウジング
外部の気圧より低く抑えられているので、その気密室内
に漏れ出した気体が気密室を通してハウジング外部に漏
れ出すのが防止される。言い換えれば、気密室内に漏れ
出した有毒ガス等の気体がハウジング外部に漏れ出さず
に、ハウジング外部の大気等の気体が気密室に逆流入し
続ける。
【0015】また、ハウジング内の真空度を高めた状態
で、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を移送
した場合は、ロータの回転軸周囲の気体吸入口側の隙間
を通してハウジング内に吸入される気体の吸入量に比べ
てロータの回転軸周囲の気体吐出口側の隙間を通してハ
ウジング内からその外部に吐き出される気体の吐出量が
劣った状態となって、気密室及びロータの回転軸周囲の
隙間を通してハウジング外部の大気等の気体がハウジン
グ内に逆流入し続ける。
で、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の気体を移送
した場合は、ロータの回転軸周囲の気体吸入口側の隙間
を通してハウジング内に吸入される気体の吸入量に比べ
てロータの回転軸周囲の気体吐出口側の隙間を通してハ
ウジング内からその外部に吐き出される気体の吐出量が
劣った状態となって、気密室及びロータの回転軸周囲の
隙間を通してハウジング外部の大気等の気体がハウジン
グ内に逆流入し続ける。
【0016】言い換えれば、上記構成の回転ベーンポン
プにおいては、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の
気体を移送した場合に、ハウジング内の真空度の高低に
拘わらず、ロータの回転軸周囲の隙間及び気密室を通し
てハウジング内を通過する有毒ガス等の気体がハウジン
グ外部に漏れ出すのが防止される。
プにおいては、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス等の
気体を移送した場合に、ハウジング内の真空度の高低に
拘わらず、ロータの回転軸周囲の隙間及び気密室を通し
てハウジング内を通過する有毒ガス等の気体がハウジン
グ外部に漏れ出すのが防止される。
【0017】また、気密室内の気体を吸引、排除する補
助真空ポンプを備えた上記構成の回転ベーンポンプにあ
っては、ハウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポ
ンプの始動時において、気密室内からオリフィスを介し
て回転ベーンポンプの気体吸入口側真空系を通してハウ
ジン内に吸入する気体の吸入量が少なくて、気密室内の
気圧をハウジング外部の気圧より充分に低く抑えること
ができない際に、補助真空ポンプを用いて気密室内の気
体を吸引、排除して、気密室内の気圧をハウジング外部
の気圧より充分に低く抑えることができる。そして、ハ
ウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポンプの始動
時に、ハウジング内から気密室内に流出する有毒ガス等
の気体がハウジング外部に漏れ出すのを防止できる。
助真空ポンプを備えた上記構成の回転ベーンポンプにあ
っては、ハウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポ
ンプの始動時において、気密室内からオリフィスを介し
て回転ベーンポンプの気体吸入口側真空系を通してハウ
ジン内に吸入する気体の吸入量が少なくて、気密室内の
気圧をハウジング外部の気圧より充分に低く抑えること
ができない際に、補助真空ポンプを用いて気密室内の気
体を吸引、排除して、気密室内の気圧をハウジング外部
の気圧より充分に低く抑えることができる。そして、ハ
ウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポンプの始動
時に、ハウジング内から気密室内に流出する有毒ガス等
の気体がハウジング外部に漏れ出すのを防止できる。
【0018】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。図1ないし図3は本発明の回転ベーンポンプの好適
な実施例を示し、図1はその気密室周辺の拡大断面図、
図2は図1のA―A断面図、図3はその一部破断正面図
である。以下に、この回転ベーンポンプを説明する。
る。図1ないし図3は本発明の回転ベーンポンプの好適
な実施例を示し、図1はその気密室周辺の拡大断面図、
図2は図1のA―A断面図、図3はその一部破断正面図
である。以下に、この回転ベーンポンプを説明する。
【0019】図の回転ベーンポンプにおいては、ハウジ
ング側壁20a外部に、軸穴22に挿通したロータの回
転軸10周囲の隙間30a、30bに連通すると共に、
ハウジング20外部に連通した気密室60を、ロータの
回転軸10周囲の隙間30a、30bを覆うようにして
設けている。
ング側壁20a外部に、軸穴22に挿通したロータの回
転軸10周囲の隙間30a、30bに連通すると共に、
ハウジング20外部に連通した気密室60を、ロータの
回転軸10周囲の隙間30a、30bを覆うようにして
設けている。
【0020】具体的には、気密室60を、軸穴22周囲
のハウジング側壁20aと、その側壁20aにロータの
回転軸10周囲を囲むようにして起立させて備えた筒体
62と、その筒体62の外側開口部を覆う蓋体64とか
ら形成している。
のハウジング側壁20aと、その側壁20aにロータの
回転軸10周囲を囲むようにして起立させて備えた筒体
62と、その筒体62の外側開口部を覆う蓋体64とか
ら形成している。
【0021】筒体62は、ロータの回転軸10端部をベ
アリング42を介して回転自在に支持する軸受け部40
をハウジング側壁20aに固定する支持部材に兼用して
いる。
アリング42を介して回転自在に支持する軸受け部40
をハウジング側壁20aに固定する支持部材に兼用して
いる。
【0022】蓋体64中央には、遊挿穴66を開口し
て、その遊挿穴66にロータの回転軸10中途部をその
周囲に空隙70をあけて遊挿している。
て、その遊挿穴66にロータの回転軸10中途部をその
周囲に空隙70をあけて遊挿している。
【0023】軸受け部40胴部には、ベアリング42を
抱持した軸受け部40内側空間とハウジング20外部と
を連通する連通孔44を開口している。そして、その連
通孔44、軸受け部40内側空間及び遊挿穴66に挿通
したロータの回転軸10周囲の空隙70を介して、気密
室60をハウジング20外部に連通している。
抱持した軸受け部40内側空間とハウジング20外部と
を連通する連通孔44を開口している。そして、その連
通孔44、軸受け部40内側空間及び遊挿穴66に挿通
したロータの回転軸10周囲の空隙70を介して、気密
室60をハウジング20外部に連通している。
【0024】気密室60は、オリフィス80を介して回
転ベーンポンプの気体吸入口側真空系92に連通してい
る。ここで、気体吸入口側真空系92とは、回転ベーン
ポンプの気体吸入口90及びそれに連なる気体を吸い込
む弧状に抉られたハウジング20内周壁部分等をいう。
具体的には、図3に示したように、気密室60側壁を形
成している筒体62に気体の通路68を開口して、その
通路68を管路100を用いて回転ベーンポンプの気体
吸入口側真空系92の例えば気体吸入口90に連結して
いる。管路100中途部には、オリフィス80を備え
て、管路100の内径を小径に絞り、管路100内を通
過する気体の通過量を一定量以下に低く抑えている。
転ベーンポンプの気体吸入口側真空系92に連通してい
る。ここで、気体吸入口側真空系92とは、回転ベーン
ポンプの気体吸入口90及びそれに連なる気体を吸い込
む弧状に抉られたハウジング20内周壁部分等をいう。
具体的には、図3に示したように、気密室60側壁を形
成している筒体62に気体の通路68を開口して、その
通路68を管路100を用いて回転ベーンポンプの気体
吸入口側真空系92の例えば気体吸入口90に連結して
いる。管路100中途部には、オリフィス80を備え
て、管路100の内径を小径に絞り、管路100内を通
過する気体の通過量を一定量以下に低く抑えている。
【0025】加えて、図の回転ベーンポンプでは、気密
室60内の気体を吸引、排除する補助真空ポンプ110
を備えている。具体的には、例えば図3に示したよう
に、オリフィス80と気体吸入口側真空系92とを連結
している管路100中途部に、逆止弁102を備えてい
ると共に、同じ管路100中途部に、逆止弁102を跨
いで、バイパス管路120をその両端を管路100に連
通させて備えている。バイパス管路120中途部には、
補助真空ポンプ110を備えている。そして、補助真空
ポンプ110を作動させることにより、バイパス管路1
20及び管路100を通して気密室60内の気体を気体
吸入口側真空系92へと吸引、排除して、気密室60内
の気圧をハウジング20外部の気圧より低く抑えること
ができるようにしている。それと共に、逆止弁102に
より、補助真空ポンプ110を作動させた際に、気密室
60内から管路100に吸引、排除した気体が、バイパ
ス管路120とそれを連通した管路100中途部との間
をループ状に循環してしまい、管路100を通して気体
吸入口側真空系92へと吸引、排除されなくなるのを防
いだり、気体吸入口側真空系92を通過する有毒ガス等
の気体が、管路100を通して気密室60内に侵入し
て、ハウジング20外部に漏れ出すのを防いだりしてい
る。
室60内の気体を吸引、排除する補助真空ポンプ110
を備えている。具体的には、例えば図3に示したよう
に、オリフィス80と気体吸入口側真空系92とを連結
している管路100中途部に、逆止弁102を備えてい
ると共に、同じ管路100中途部に、逆止弁102を跨
いで、バイパス管路120をその両端を管路100に連
通させて備えている。バイパス管路120中途部には、
補助真空ポンプ110を備えている。そして、補助真空
ポンプ110を作動させることにより、バイパス管路1
20及び管路100を通して気密室60内の気体を気体
吸入口側真空系92へと吸引、排除して、気密室60内
の気圧をハウジング20外部の気圧より低く抑えること
ができるようにしている。それと共に、逆止弁102に
より、補助真空ポンプ110を作動させた際に、気密室
60内から管路100に吸引、排除した気体が、バイパ
ス管路120とそれを連通した管路100中途部との間
をループ状に循環してしまい、管路100を通して気体
吸入口側真空系92へと吸引、排除されなくなるのを防
いだり、気体吸入口側真空系92を通過する有毒ガス等
の気体が、管路100を通して気密室60内に侵入し
て、ハウジング20外部に漏れ出すのを防いだりしてい
る。
【0026】図1ないし図3に示した回転ベーンポンプ
は、以上のように構成している。
は、以上のように構成している。
【0027】次に、その使用例並びにその作用を説明す
る。
る。
【0028】回転ベーンポンプの気体吸入口90に有毒
ガス等の気体を移送する移送パイプ(図示せず)中途部
の一端を連結すると共に、その移送パイプ中途部の他端
を回転ベーンポンプの気体吐出口130に連結する。
ガス等の気体を移送する移送パイプ(図示せず)中途部
の一端を連結すると共に、その移送パイプ中途部の他端
を回転ベーンポンプの気体吐出口130に連結する。
【0029】次いで、ハウジング20内でベーン14を
嵌挿したロータ12をその回転軸10と共に回転させ
る。そして、気体吸入口側真空系92に気体をハウジン
グ20内に吸入する吸入力を生じさせる。
嵌挿したロータ12をその回転軸10と共に回転させ
る。そして、気体吸入口側真空系92に気体をハウジン
グ20内に吸入する吸入力を生じさせる。
【0030】すると、気密室60内の気体が、気密室6
0にオリフィス80を介して連通した回転ベーンポンプ
の気体吸入口側真空系92を通してハウジング20内に
吸入し続けられる。そして、気密室60内の気圧がハウ
ジング20外部の気圧より低く抑えられる。そして、ハ
ウジング20内の真空度を下げた状態で回転ベーンポン
プを運転した場合に、軸穴22に挿通したロータの回転
軸10周囲の隙間30a、30bを通してハウジング2
0内を通過する有毒ガス等の気体が気密室60に漏れ出
しても、その漏れ出した気体が気密室60を通してハウ
ジング20外部に漏れ出さずに、ハウジング20外部の
大気等の気体が気密室60に逆流入し続ける。また、ハ
ウジング20内の真空度を高めた状態で回転ベーンポン
プを運転した場合は、気密室60及び軸穴22に挿通し
たロータの回転軸10周囲の隙間30a、30bを通し
てハウジング20外部の大気等の気体がハウジング20
内に逆流入し続ける。そして、ハウジング20内の真空
度の高低に拘わらず、ハウジング20内を通過する有毒
ガス等の気体がハウジング20外部に漏れ出すのが防止
される。
0にオリフィス80を介して連通した回転ベーンポンプ
の気体吸入口側真空系92を通してハウジング20内に
吸入し続けられる。そして、気密室60内の気圧がハウ
ジング20外部の気圧より低く抑えられる。そして、ハ
ウジング20内の真空度を下げた状態で回転ベーンポン
プを運転した場合に、軸穴22に挿通したロータの回転
軸10周囲の隙間30a、30bを通してハウジング2
0内を通過する有毒ガス等の気体が気密室60に漏れ出
しても、その漏れ出した気体が気密室60を通してハウ
ジング20外部に漏れ出さずに、ハウジング20外部の
大気等の気体が気密室60に逆流入し続ける。また、ハ
ウジング20内の真空度を高めた状態で回転ベーンポン
プを運転した場合は、気密室60及び軸穴22に挿通し
たロータの回転軸10周囲の隙間30a、30bを通し
てハウジング20外部の大気等の気体がハウジング20
内に逆流入し続ける。そして、ハウジング20内の真空
度の高低に拘わらず、ハウジング20内を通過する有毒
ガス等の気体がハウジング20外部に漏れ出すのが防止
される。
【0031】それと共に、有毒ガス等の気体が移送パイ
プ内とそれを連結した気体吸入口90とを通してハウジ
ング20内に吸入されて、ハウジング20内で圧縮さ
れ、その圧縮された気体が気体吐出口130を通してそ
れに連結した移送パイプ内に送り出される。
プ内とそれを連結した気体吸入口90とを通してハウジ
ング20内に吸入されて、ハウジング20内で圧縮さ
れ、その圧縮された気体が気体吐出口130を通してそ
れに連結した移送パイプ内に送り出される。
【0032】また、回転ベーンポンプの始動時には、補
助真空ポンプ110を作動させて、気密室60内の気体
を気密室60外部に吸引、排除し続ける。
助真空ポンプ110を作動させて、気密室60内の気体
を気密室60外部に吸引、排除し続ける。
【0033】すると、ハウジング20内の真空度が未だ
低い回転ベーンポンプの始動時に、気体吸入口側真空系
92を通してハウジング20内に吸入される気体の吸入
力が弱くて、気体吸入口側真空系92に管路100及び
オリフィス80等を介して連通した気密室60内の気圧
がハウジング20外部の気圧より充分に低く抑えること
ができない状態において、補助真空ポンプ110により
補完的に気密室60内の気圧がハウジング20外部の気
圧より充分に低く抑えられる。そして、ハウジング20
内の真空度が未だ低い回転ベーンポンプの始動時に、ハ
ウジング20内から気密室60内に流出する有毒ガス等
の気体がハウジング20外部に漏れ出すのが防止され
る。
低い回転ベーンポンプの始動時に、気体吸入口側真空系
92を通してハウジング20内に吸入される気体の吸入
力が弱くて、気体吸入口側真空系92に管路100及び
オリフィス80等を介して連通した気密室60内の気圧
がハウジング20外部の気圧より充分に低く抑えること
ができない状態において、補助真空ポンプ110により
補完的に気密室60内の気圧がハウジング20外部の気
圧より充分に低く抑えられる。そして、ハウジング20
内の真空度が未だ低い回転ベーンポンプの始動時に、ハ
ウジング20内から気密室60内に流出する有毒ガス等
の気体がハウジング20外部に漏れ出すのが防止され
る。
【0034】この回転ベーンポンプにおいては、オリフ
ィス80の径を大径に設定して、気密室60内の気体を
大量に吸引、排除すると、その分、気体吸入口90を通
してハウジング20内に吸入する有毒ガス等の気体の吸
入量が減少して、回転ベーンポンプの性能が低下するの
で、回転ベーンポンプの定常運転時において、気密室6
0内の気圧がハウジング20外部の気圧以下となる最低
必要限度の吸引量の気体を気密室60内から吸引するよ
うに、オリフィス80の径は、極力小径に抑えるのが良
い。図4は、ハウジング20外部の気圧を0として、そ
れより気圧が高い場合を正圧とし、それより気圧が低い
場合を負圧とした場合の、オリフィス80の径に対する
気密室60内の気圧と回転ベーンポンプのハウジング2
0内の真空度との相関関係を示しており、一点鎖線で示
したものはオリフィス80の径が小径過ぎる場合を示
し、実線で示したものはオリフィス80の径が適当な場
合を示し、破線で示したものはオリフィス80の径が大
径過ぎる場合を示している。
ィス80の径を大径に設定して、気密室60内の気体を
大量に吸引、排除すると、その分、気体吸入口90を通
してハウジング20内に吸入する有毒ガス等の気体の吸
入量が減少して、回転ベーンポンプの性能が低下するの
で、回転ベーンポンプの定常運転時において、気密室6
0内の気圧がハウジング20外部の気圧以下となる最低
必要限度の吸引量の気体を気密室60内から吸引するよ
うに、オリフィス80の径は、極力小径に抑えるのが良
い。図4は、ハウジング20外部の気圧を0として、そ
れより気圧が高い場合を正圧とし、それより気圧が低い
場合を負圧とした場合の、オリフィス80の径に対する
気密室60内の気圧と回転ベーンポンプのハウジング2
0内の真空度との相関関係を示しており、一点鎖線で示
したものはオリフィス80の径が小径過ぎる場合を示
し、実線で示したものはオリフィス80の径が適当な場
合を示し、破線で示したものはオリフィス80の径が大
径過ぎる場合を示している。
【0035】なお、回転ベーンポンプの始動時にロータ
の回転軸10周囲の隙間30a、30bを通してハウジ
ング20内から気密室60に流出する有毒ガス等の気体
が気密室60外部に若干漏れ出しても良い場合や、回転
ベーンポンプを停止させずに長期間に亙って連続運転す
る場合等においては、回転ベーンポンプの始動時に気密
室60内の気体を排除して、その気密室60内の気圧を
ハウジング20外部の気圧より低く抑えるための補助真
空ポンプ110は、備えずとも良い。
の回転軸10周囲の隙間30a、30bを通してハウジ
ング20内から気密室60に流出する有毒ガス等の気体
が気密室60外部に若干漏れ出しても良い場合や、回転
ベーンポンプを停止させずに長期間に亙って連続運転す
る場合等においては、回転ベーンポンプの始動時に気密
室60内の気体を排除して、その気密室60内の気圧を
ハウジング20外部の気圧より低く抑えるための補助真
空ポンプ110は、備えずとも良い。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の回転ベー
ンポンプによれば、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス
等の気体を移送した場合に、ハウジング内の真空度の高
低に拘わらずに、ハウジング内を通過する有毒ガス等の
気体が、ハウジング側壁の軸穴に挿通したロータの回転
軸周囲の隙間を通してハウジング外部に漏れ出すのを的
確に防ぐことができる。
ンポンプによれば、回転ベーンポンプを用いて有毒ガス
等の気体を移送した場合に、ハウジング内の真空度の高
低に拘わらずに、ハウジング内を通過する有毒ガス等の
気体が、ハウジング側壁の軸穴に挿通したロータの回転
軸周囲の隙間を通してハウジング外部に漏れ出すのを的
確に防ぐことができる。
【0037】また、気密室内の気体を吸引、排除する補
助真空ポンプを備えた本発明の回転ベーンポンプにあっ
ては、ハウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポン
プの始動時に、気密室内の気圧をハウジング外部の気圧
より低く抑えて、ハウジング側壁の軸穴に挿通したロー
タの回転軸周囲の隙間及び気密室内を通して有毒ガス等
の気体がハウジング内からその外部に漏れ出すのを的確
に防ぐことができる。
助真空ポンプを備えた本発明の回転ベーンポンプにあっ
ては、ハウジング内の真空度が未だ低い回転ベーンポン
プの始動時に、気密室内の気圧をハウジング外部の気圧
より低く抑えて、ハウジング側壁の軸穴に挿通したロー
タの回転軸周囲の隙間及び気密室内を通して有毒ガス等
の気体がハウジング内からその外部に漏れ出すのを的確
に防ぐことができる。
【図1】本発明の回転ベーンポンプの気密室周辺の拡大
断面図である。
断面図である。
【図2】図1のA―A断面図である。
【図3】本発明の回転ベーンポンプの一部破断正面図で
ある。
ある。
【図4】オリフィスの径に対する気密室内の気圧と回転
ベーンポンプのハウジング内の真空度との相関関係を示
す説明図である。
ベーンポンプのハウジング内の真空度との相関関係を示
す説明図である。
【図5】従来の回転ベーンポンプのロータの回転軸を挿
通した軸穴周辺の拡大断面図である。
通した軸穴周辺の拡大断面図である。
【図6】図5のB―B断面図である。
10 ロータの回転軸 12 ロータ 14 ベーン 20 ハウジング 20a ハウジング側壁 22 軸穴 30a、30b 隙間 40 軸受け部 42 ベアリング 44 連通孔 50 リブ 60 気密室 66 遊挿穴 70 空隙 80 オリフィス 90 気体吸入口 92 気体吸入口側真空系 100 管路 102 逆止弁 110 補助真空ポンプ 120 バイパス管路 130 気体吐出口
Claims (2)
- 【請求項1】 ベーンを嵌挿したロータを収容したハウ
ジング側壁に開口した軸穴に前記ロータの回転軸をその
周囲に隙間をあけて挿通して、その回転軸端部を前記ハ
ウジング外部に備えた軸受け部にベアリングを介して回
転自在に支持してなる回転ベーンポンプにおいて、前記
ハウジング側壁外部に、前記ロータの回転軸周囲の隙間
に連通すると共に、ハウジング外部に連通した気密室
を、前記ロータの回転軸周囲の隙間を覆うようにして設
けて、その気密室を回転ベーンポンプの気体吸入口側真
空系にオリフィスを介して連通したことを特徴とする回
転ベーンポンプ。 - 【請求項2】 気密室内の気体を吸引、排除する補助真
空ポンプを備えた請求項1記載の回転ベーンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4359078A JP2537766B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 回転ベ―ンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4359078A JP2537766B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 回転ベ―ンポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06193580A true JPH06193580A (ja) | 1994-07-12 |
| JP2537766B2 JP2537766B2 (ja) | 1996-09-25 |
Family
ID=18462631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4359078A Expired - Fee Related JP2537766B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 回転ベ―ンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537766B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008057900A1 (de) * | 2008-11-18 | 2010-05-20 | Krones Ag | Elektromotor für Flaschenverschließer |
| JP2013510988A (ja) * | 2009-11-11 | 2013-03-28 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用の耐腐食性軸シール装置 |
| EP2680407A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-01 | Alstom Technology Ltd | Electric machine |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57140590A (en) * | 1980-12-18 | 1982-08-31 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Rotary piston pump |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP4359078A patent/JP2537766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57140590A (en) * | 1980-12-18 | 1982-08-31 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Rotary piston pump |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008057900A1 (de) * | 2008-11-18 | 2010-05-20 | Krones Ag | Elektromotor für Flaschenverschließer |
| JP2013510988A (ja) * | 2009-11-11 | 2013-03-28 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用の耐腐食性軸シール装置 |
| EP2680407A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-01 | Alstom Technology Ltd | Electric machine |
| WO2014001221A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | Alstom Technology Ltd | Electric machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2537766B2 (ja) | 1996-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |