JPH06194410A - バーンイン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】装置の大幅な複雑化や大型化等を招くことな
く、バーンイン装置の不良解析の能率を向上させる。 【構成】バーンイン・ボード１の端子ａとヒューズ３と
の間に電流計５を介装するとともに、端子ｂとドライバ
２との間に電流計６を介装し、電流計５の表示値と電源
Ｖ_DDの電圧とから、端子ａ及び端子ｃ間の電気抵抗を測
定し、電流計６の表示値と端子ｂに正常な電圧が印加さ
れているか否かを監視するための電圧計４の表示値とか
ら、端子ｂ及び端子ｃ間の電気抵抗を測定する。そし
て、それら測定された電気抵抗値に基づいて、バーンイ
ン・ボード又はこれに実装されているＩＣチップに不良
が発生していることを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣチップを過負荷
状態で稼働させてスクリーニングを行うバーンイン装置
の改良に関し、特に、不良解析の能率向上等を図ったも
のである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣチップの初期不良発生率の低減等を
図るためのスクリーニングの一方法としてバーンインが
あり、バーンインを実行するバーンイン装置は、一般に
複数個のＩＣチップが実装されたバーンイン・ボードを
複数枚搭載し、所定温度（例えば、１２５℃），所定電
圧（例えば、７Ｖ）の過負荷状態でＩＣチップを稼働可
能に構成されている。

【０００３】図２は従来のバーンイン装置の構成の一部
分を示していて、一枚のバーンイン・ボード１に電源Ｖ
_DDやクロック信号ＣＬＫを供給する部分の回路図であ
る。即ち、かかるバーンイン・ボード１は三つの端子
ａ，ｂ及びｃを有していて、端子ａが電源Ｖ_DDに接続さ
れ、端子ｂがクロック信号ＣＬＫに応じて駆動するドラ
イバ２の出力側に接続され、端子ｃが接地に接続されて
いる。そして、端子ａ及び電源Ｖ_DD間には、バーンイン
・ボード１に実装された不良ＩＣチップの破壊時等に生
じる過大電流対策としてヒューズ３が設けられている。
また、ドライバ２の出力側には、バーンイン・ボード１
に正しい電圧が印加されているか否かを監視するために
電圧計４が設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示したような従来の構成にあっては、バーンイン中にバ
ーンイン・ボード１やＩＣチップに生じた不良は、ヒュ
ーズ３の断線又は電圧計４の表示値から検出することに
なるが、ヒューズ３が断線するレベル以下の大電流はこ
のヒューズ３によっては検出することはできないし、バ
ーンイン・ボード１又はこれに実装されたＩＣチップの
電気的特性が変化してもドライバ２の駆動能力によって
カバーされて多少の変化は電圧計４には現れないので、
極めて重大な異常でなければバーンイン中に検出するこ
とができなかった。換言すれば、電流の多少の上昇でヒ
ューズ３が断線したり、バーンイン・ボード１等の多少
の電気的特性の変化によってクロック信号の電圧値が変
動してしまうようでは、バーンイン自体が頻繁に中断さ
れて能率が著しく低下してしまうのである。

【０００５】そして、バーンイン・ボード１自体の機能
チェックは一般にボード・チェッカーと呼ばれる装置に
よって行われるのであるが、かかるチェックをバーンイ
ンの度に行うと大きな負担となるため、通常は定期的な
検査によって行われていた。従って、定期的な検査の合
間にバーンイン・ボード１に不良が生じてもそれを検出
することはできなかった。

【０００６】つまり、上記従来の構成にあっては、バー
ンイン中にＩＣチップに不良が生じても、バーンイン・
ボードにＩＣチップを実装した状態でその不良を検出す
ることができないから、不良の原因がＩＣチップ自体に
あるのか、ＩＣチップの誤挿入等にあるのか、バーンイ
ン・ボード１にあるのか、或いはバーンイン装置にある
のか識別するのが困難であった。即ち、ＩＣチップに不
良が生じた場合には、不良の原因がバーンイン・ボード
にあるか識別するために、そのＩＣチップが実装されて
いたバーンイン・ボードの機能チェックが必要であるの
に、不良が生じたＩＣチップが同時にバーンイン装置に
搭載されていた多数のバーンイン・ボードの内のいずれ
のバーンイン・ボードに実装されていたかを知るには、
バーンイン・ボード毎にＩＣを識別するという面倒な作
業を行わなければならないし、その作業を行わない場合
には、ＩＣチップに不良が確認された後に使用した全て
のバーンイン・ボードの機能チェックを行わなければな
らないからである。特に、ＩＣチップの不良の原因がＩ
Ｃチップの誤挿入等にある場合には、ＩＣチップをバー
ンイン・ボードから取り外した後にその原因を知ること
は非常に困難である。

【０００７】なお、バーンイン装置自体にボード・チェ
ッカーのような機能を持たせることも考えられるが、装
置の構成が複雑になるし、バーンインの度にボードのチ
ェックを行うことはたとえ同一装置内であっても長時間
を要することとなり、コストのアップ等を招いてしまう
ため現実的な解決策ではない。本発明は、このような従
来の技術における未解決の課題に着目してなされたもの
であって、過大な負担をかけることなく、ＩＣチップを
実装した状態のバーンイン・ボードの不良のチェックを
可能とすることにより、不良解析を容易に行うことがで
きるバーンイン装置を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るバーンイン装置は、ＩＣチップを実装
してバーンイン装置に搭載されるバーンイン・ボードの
所定端子間の電気抵抗を、そのバーンイン・ボードを搭
載した状態で測定可能な抵抗測定手段を設けている。

【０００９】

【作用】抵抗測定手段が、ＩＣチップを実装した状態の
バーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗を測定する
と、バーンイン・ボード及びこれに実装されているＩＣ
チップ全体の電気抵抗が測定されることになる。そし
て、所定端子間の電気抵抗値は、正常な場合には所定の
範囲内に収まっているはずであるから、その所定の範囲
から外れた場合には、バーンイン・ボード又はこれに実
装されているＩＣチップに不良が生じたと判断できる。

【００１０】従って、バーンイン終了後には、その抵抗
測定手段の測定結果から異常が生じていると判断された
バーンイン・ボード及びそれに実装されていたＩＣチッ
プのみを検査すれば、不良が生じたＩＣチップの特定
と、その原因がＩＣチップにあるのか、バーンイン・ボ
ードにあるのか、或いはバーンイン装置にあるのかの確
認とが行える。

【００１１】そして、ＩＣチップを実装した状態のバー
ンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗に基づいてバー
ンイン・ボード及びこれに実装されたＩＣチップの不良
を検出する構成であるから、不良の検出のためだけにボ
ード・チェッカーのように長時間を要することもない
し、バーンインの開始前，実行中及び実行後のいずれで
あっても不良の検出が行える。

【００１２】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例を示す図であり、バー
ンイン装置の構成の一部分を示していて、一枚のバーン
イン・ボード１に電源Ｖ_DDやクロック信号ＣＬＫを供給
する部分の回路図である。なお、従来の構成と同等の構
成には、同じ符号を付しその重複する説明は省略する。

【００１３】即ち、本実施例にあっては、バーンイン・
ボード１の端子ａとヒューズ３との間に電流計５を介装
するとともに、バーンイン・ボード１の端子ｂとドライ
バ２との間に電流計６を介装した。従って、電源Ｖ_DDに
接続された端子ａと接地に接続された端子ｃとの間の電
気抵抗は、電流計５の表示値及び電源Ｖ_DDの電圧値から
知ることができる。また、ドライバ２に接続された端子
ｂと端子ｃとの間の電気抵抗は、電圧計４及び電流計６
の表示値から知ることができる。

【００１４】そして、端子ａと端子ｃとの間の電気抵抗
及び端子ｂと端子ｃとの間の電気抵抗は、このバーンイ
ン・ボード１及びこれに実装されているＩＣチップに不
良が生じていなければ、所定の範囲内に収まるはずであ
るから、それら電気抵抗を監視することにより、このバ
ーンイン・ボード１又はこれに実装されているＩＣチッ
プに不良が生じたことを検出することができる。

【００１５】しかも、かかる不良の検出は、バーンイン
の開始前，実行中及び実行後のいずれにおいても行うこ
とができる。従って、バーンインの実行前に行えば、例
えば不良ＩＣチップの混入やＩＣチップの誤挿入、或い
は既に故障しているバーンイン・ボード等を容易に発見
することができる。また、バーンインの実行中や実行後
に行えば、多数搭載されているバーンイン・ボードの
内、いずれのバーンイン・ボードにおいてバーンインの
最中に不良が生じたかを発見することができるし、その
バーンイン・ボードがバーンイン装置内のどこに搭載さ
れていたかも知ることができるから、バーンイン・ボー
ドの異常やバーンイン装置の異常を早期に且つ容易に発
見することができる。

【００１６】そして、不良が発生しているバーンイン・
ボードが特定されれば、先ず、その不良がＩＣチップに
あるのか、バーンイン・ボードにあるのか、或いはバー
ンイン装置にあるのかを容易に特定することができる
し、例えば、ＩＣチップに不良が生じている場合でも、
ＩＣチップ自体に原因があるのか、バーンイン・ボード
に原因があるのかの特定も容易に行える。

【００１７】さらに、本実施例の構成であれば、従来の
構成に比べても特に大幅な設計変更等は不要であり、装
置の大幅な複雑化，大型化等をも招くことがないから、
従来の問題点を現実的なレベルで解決することができ
る。なお、バーンイン・ボード１に過大電流が流れた場
合にはヒューズ３の断線により対処し、端子ｂに正常な
電圧が印加されているか否かは電圧計４の表示値により
確認する点に関しては、従来と同様である。

【００１８】ここで、本実施例では、電流計５，６及び
電圧計４によって、抵抗測定手段が構成される。なお、
上記実施例では、端子ａ及び端子ｃ間の電気抵抗と、端
子ｂ及び端子ｃ間の電気抵抗を測定する構成としている
が、場合によっては何れか一方であってもよい。

【００１９】また、上記実施例では、印加された電圧に
対する電流を測定して抵抗値を測定しているが、決めら
れた電流を供給するバーンイン装置であれば電圧計を設
けて抵抗値を測定可能とすればよい。さらに、特に図示
はしないが、電流計５，６及び電圧計４の測定値をマイ
クロコンピュータ等に供給し、所定の演算処理を実行し
て抵抗値を算出し、その算出結果をＣＲＴ等に表示した
り、特に抵抗値の大きな変動が生じた場合には警報ラン
プを点滅させる等の構成としてもよい。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
バーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗を、そのバ
ーンイン・ボードをバーンイン装置に搭載した状態で測
定可能としたため、装置の大幅な複雑化や大型化等を招
くことなく、バーンインの開始前，実行中及び実行後の
いずれにおいても不良を検出することが可能であるか
ら、例えば不良ＩＣチップの混入やＩＣチップの誤挿
入、或いは既に故障しているバーンイン・ボード等を容
易に発見することができ、バーンイン・ボードの異常や
バーンイン装置の異常を早期に且つ容易に発見すること
ができ、そして、不良がＩＣチップにあるのか、バーン
イン・ボードにあるのか、或いはバーンイン装置にある
のかを容易に特定することができるし、例えば、ＩＣチ
ップに不良が生じている場合でも、ＩＣチップ自体に原
因があるのか、バーンイン・ボードに原因があるのかの
特定も容易に行えるという種々の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す回路図である。

【図２】従来の構成を示す回路図である。

【符号の説明】

１ バーンイン・ボード ２ ドライバ ３ ヒューズ ４ 電圧計 ５，６ 電流計

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣチップを実装してバーンイン装置に
   搭載されるバーンイン・ボードの所定端子間の電気抵抗
   を、そのバーンイン・ボードを搭載した状態で測定可能
   な抵抗測定手段を設けたことを特徴とするバーンイン装
   置。