JPH06195775A - 記録再生方法およびその装置 - Google Patents
記録再生方法およびその装置Info
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- JPH06195775A JPH06195775A JP34375692A JP34375692A JPH06195775A JP H06195775 A JPH06195775 A JP H06195775A JP 34375692 A JP34375692 A JP 34375692A JP 34375692 A JP34375692 A JP 34375692A JP H06195775 A JPH06195775 A JP H06195775A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 記録再生方法およびその装置を、記録媒体に
加工を施してトラッキング溝を形成したりウォブリング
を行わずともトラッキング可能なようにする。 【構成】 記録再生装置１０では、再生時のトンネル電
圧Ｖt がバンドパスフィルタ２５に入力されて、トラッ
キング信号Ｔのみが取り出される。ここで、トラッキン
グ信号Ｔの周波数は、互いに隣接する記録ビット列ごと
に変化しているため、周波数の異なる第１および第２の
差信号が第１および第２の同調検波回路２７，２８から
それぞれ出力される。第１の差信号の出力レベルと第２
の差信号の出力レベルとがコンパレータ２９で比較され
ることにより、第１の差信号の出力レベルと第２の差信
号の出力レベルの大小関係からプローブ１１の記録ビッ
ト列からのずれ方向がわかるとともに、第１の差信号の
出力レベルと第２の差信号の出力レベルの差からプロー
ブ１１の記録ビット列からのずれ量がわかる。
加工を施してトラッキング溝を形成したりウォブリング
を行わずともトラッキング可能なようにする。 【構成】 記録再生装置１０では、再生時のトンネル電
圧Ｖt がバンドパスフィルタ２５に入力されて、トラッ
キング信号Ｔのみが取り出される。ここで、トラッキン
グ信号Ｔの周波数は、互いに隣接する記録ビット列ごと
に変化しているため、周波数の異なる第１および第２の
差信号が第１および第２の同調検波回路２７，２８から
それぞれ出力される。第１の差信号の出力レベルと第２
の差信号の出力レベルとがコンパレータ２９で比較され
ることにより、第１の差信号の出力レベルと第２の差信
号の出力レベルの大小関係からプローブ１１の記録ビッ
ト列からのずれ方向がわかるとともに、第１の差信号の
出力レベルと第２の差信号の出力レベルの差からプロー
ブ１１の記録ビット列からのずれ量がわかる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、記録再生方法およびそ
の装置に関し、特に、走査型トンネル顕微鏡の原理また
は原子間力顕微鏡の原理を応用した記録再生方法および
その装置に関する。
の装置に関し、特に、走査型トンネル顕微鏡の原理また
は原子間力顕微鏡の原理を応用した記録再生方法および
その装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度な記録再生方法としては、従来か
ら種々の方法が知られているが、その代表的なものとし
て、磁気を用いた記録再生方法と光を用いた記録再生方
法とがある。しかし、磁気を用いた記録再生方法では、
記録再生に使用する磁気ヘッドなどの装置上の制約か
ら、記録波長としては１μｍ程度が限界である。また、
光を用いた記録再生方法では、記録再生に使用する光の
ビーム径から、記録波長としては１〜０．５μｍ程度が
限界である。
ら種々の方法が知られているが、その代表的なものとし
て、磁気を用いた記録再生方法と光を用いた記録再生方
法とがある。しかし、磁気を用いた記録再生方法では、
記録再生に使用する磁気ヘッドなどの装置上の制約か
ら、記録波長としては１μｍ程度が限界である。また、
光を用いた記録再生方法では、記録再生に使用する光の
ビーム径から、記録波長としては１〜０．５μｍ程度が
限界である。
【０００３】これに対して、近年、水平分解能が数Å以
下および垂直分解能が１Å以下の高分解能で固体の表面
状態を分析できる走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）が開
発され(G. Binnig et al., Helvetica Physica Acta, 5
5, 726, 1982) 、走査型トンネル顕微鏡の原理を用いて
記録媒体表面上に凹凸または電子状態の変化をｎｍのオ
ーダーで記録再生する記録再生方法が、米国特許第４５
７５８２２号明細書，特開昭６３−１６１５５２号公報
および特開昭６３−１６１５５３号公報などで提案され
ている。かかる走査型トンネル顕微鏡の原理を利用した
従来の記録再生方法としては、たとえば、平坦でかつ表
面に導電層を有する記録媒体に高エネルギーのイオンビ
ームを照射してエッチングすることによりトラッキング
用溝を形成するとともに、そのイオンビーム強度を記録
信号に従って強度変調してくぼみを形成することにより
記録ビットを形成したのち、走査型トンネル顕微鏡の原
理を用いて記録信号を再生することで、約５０Ｇビット
／ｃｍ2 という高密度の記録再生を行うものが提案され
ている（特開平１−１５１０３５号公報）。
下および垂直分解能が１Å以下の高分解能で固体の表面
状態を分析できる走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）が開
発され(G. Binnig et al., Helvetica Physica Acta, 5
5, 726, 1982) 、走査型トンネル顕微鏡の原理を用いて
記録媒体表面上に凹凸または電子状態の変化をｎｍのオ
ーダーで記録再生する記録再生方法が、米国特許第４５
７５８２２号明細書，特開昭６３−１６１５５２号公報
および特開昭６３−１６１５５３号公報などで提案され
ている。かかる走査型トンネル顕微鏡の原理を利用した
従来の記録再生方法としては、たとえば、平坦でかつ表
面に導電層を有する記録媒体に高エネルギーのイオンビ
ームを照射してエッチングすることによりトラッキング
用溝を形成するとともに、そのイオンビーム強度を記録
信号に従って強度変調してくぼみを形成することにより
記録ビットを形成したのち、走査型トンネル顕微鏡の原
理を用いて記録信号を再生することで、約５０Ｇビット
／ｃｍ2 という高密度の記録再生を行うものが提案され
ている（特開平１−１５１０３５号公報）。
【０００４】また、走査型トンネル顕微鏡の技術を応用
した原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）も開発され(G. Binnig e
t al., Phy. Rev. Lett., 56, 930, 1986)、記録媒体の
表面の凹凸情報を得ることができるようになっている。
このような原子間力顕微鏡の原理を応用した記録再生装
置が、特開平１−２４５４４５号公報に開示されてい
る。
した原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）も開発され(G. Binnig e
t al., Phy. Rev. Lett., 56, 930, 1986)、記録媒体の
表面の凹凸情報を得ることができるようになっている。
このような原子間力顕微鏡の原理を応用した記録再生装
置が、特開平１−２４５４４５号公報に開示されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した走査型トンネ
ル顕微鏡の原理を応用した記録再生装置においては、記
録媒体上に形成される記録ビットが極めて小さく、これ
に対応したトラッキング方法が常に懸案となっており、
以下に示すようなトラッキング方法が提案されている。 （１）何らかの手段により記録媒体に加工を施し（たと
えば、直線上の溝を記録媒体上に形成し）、加工したも
のをトラッキング用のマーカーとして利用するトラッキ
ング方法。 （２）記録媒体基板の持つ原子配列などをそのままトラ
ッキング信号として検出するトラッキング方法。 （３）記録媒体上に形成された記録ビット上をプローブ
電極が走査する際に、プローブ電極をウォブリングする
ことによりトラッキングを行うトラッキング方法。
ル顕微鏡の原理を応用した記録再生装置においては、記
録媒体上に形成される記録ビットが極めて小さく、これ
に対応したトラッキング方法が常に懸案となっており、
以下に示すようなトラッキング方法が提案されている。 （１）何らかの手段により記録媒体に加工を施し（たと
えば、直線上の溝を記録媒体上に形成し）、加工したも
のをトラッキング用のマーカーとして利用するトラッキ
ング方法。 （２）記録媒体基板の持つ原子配列などをそのままトラ
ッキング信号として検出するトラッキング方法。 （３）記録媒体上に形成された記録ビット上をプローブ
電極が走査する際に、プローブ電極をウォブリングする
ことによりトラッキングを行うトラッキング方法。
【０００６】しかしながら、上記（１）および上記
（２）のトラッキング方法では、記録媒体に大きな制約
が課せられてしまうという問題がある。すなわち、記録
媒体を加工しようとすれば、記録媒体はその加工プロセ
スに耐えられるものでなければならないし、その加工形
状も極めて高精度でなければならない。また、基板の原
子配列を利用しようとすれば、結晶性の基板に限られて
しまう。一方、上記（３）のトラッキング方法では、プ
ローブを記録ビット列に垂直な方向に周期的に走査制御
する機構が必要となり、装置全体が複雑になるという問
題がある。
（２）のトラッキング方法では、記録媒体に大きな制約
が課せられてしまうという問題がある。すなわち、記録
媒体を加工しようとすれば、記録媒体はその加工プロセ
スに耐えられるものでなければならないし、その加工形
状も極めて高精度でなければならない。また、基板の原
子配列を利用しようとすれば、結晶性の基板に限られて
しまう。一方、上記（３）のトラッキング方法では、プ
ローブを記録ビット列に垂直な方向に周期的に走査制御
する機構が必要となり、装置全体が複雑になるという問
題がある。
【０００７】本発明の目的は、記録媒体に加工を施して
トラッキング溝を形成したりウォブリングを行わずとも
トラッキング可能な記録再生方法およびその装置を提供
することにある。
トラッキング溝を形成したりウォブリングを行わずとも
トラッキング可能な記録再生方法およびその装置を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の記録再生方法
は、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能
な記録媒体に沿ってプローブを相対的に走査させなが
ら、記録情報にトラッキング情報を重畳させた信号に応
じたパルス電圧を該プローブと該記録媒体との間に印加
することにより、該記録媒体上に記録ビット列を形成し
て、該記録媒体に前記記録情報および前記トラッキング
情報を記録し、前記記録ビット列が形成された前記記録
媒体に沿って前記プローブを相対的に走査させながら、
該プローブと該記録媒体との間に流れるトンネル電流を
検出し、該検出したトンネル電流から前記トラッキング
情報を再生し、該再生したトラッキング情報から前記プ
ローブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情
報を検出して、該検出したトラッキング制御情報に応じ
て前記プローブの再生時の走査を制御する。
は、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能
な記録媒体に沿ってプローブを相対的に走査させなが
ら、記録情報にトラッキング情報を重畳させた信号に応
じたパルス電圧を該プローブと該記録媒体との間に印加
することにより、該記録媒体上に記録ビット列を形成し
て、該記録媒体に前記記録情報および前記トラッキング
情報を記録し、前記記録ビット列が形成された前記記録
媒体に沿って前記プローブを相対的に走査させながら、
該プローブと該記録媒体との間に流れるトンネル電流を
検出し、該検出したトンネル電流から前記トラッキング
情報を再生し、該再生したトラッキング情報から前記プ
ローブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情
報を検出して、該検出したトラッキング制御情報に応じ
て前記プローブの再生時の走査を制御する。
【０００９】ここで、前記記録情報と前記トラッキング
情報とを時分割で重畳させてもよい。
情報とを時分割で重畳させてもよい。
【００１０】また、前記記録媒体上の互いに隣接するト
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
【００１１】または、本発明の記録再生方法は、非記録
状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体
に沿ってプローブを相対的に走査させながら、記録情報
にトラッキング情報を重畳させた信号に応じたパルス電
圧を該プローブと該記録媒体との間に印加することによ
り、該記録媒体上に記録ビット列を形成して、該記録媒
体に前記記録情報および前記トラッキング情報を記録
し、前記記録ビット列が形成された前記記録媒体に沿っ
て前記プローブを相対的に走査させながら、該プローブ
と該記録媒体との間に働く力を力−変位変換により変位
として検出し、該検出した変位から前記トラッキング情
報を再生し、該再生したトラッキング情報から前記プロ
ーブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情報
を検出して、該検出したトラッキング制御情報に応じて
前記プローブの再生時の走査を制御する。
状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体
に沿ってプローブを相対的に走査させながら、記録情報
にトラッキング情報を重畳させた信号に応じたパルス電
圧を該プローブと該記録媒体との間に印加することによ
り、該記録媒体上に記録ビット列を形成して、該記録媒
体に前記記録情報および前記トラッキング情報を記録
し、前記記録ビット列が形成された前記記録媒体に沿っ
て前記プローブを相対的に走査させながら、該プローブ
と該記録媒体との間に働く力を力−変位変換により変位
として検出し、該検出した変位から前記トラッキング情
報を再生し、該再生したトラッキング情報から前記プロ
ーブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情報
を検出して、該検出したトラッキング制御情報に応じて
前記プローブの再生時の走査を制御する。
【００１２】ここで、前記記録情報と前記トラッキング
情報とを時分割で重畳させてもよい。
情報とを時分割で重畳させてもよい。
【００１３】また、前記記録媒体上の互いに隣接するト
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
【００１４】本発明の記録再生装置は、プローブと、該
プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が
形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させるプロー
ブ走査手段と、記録情報にトラッキング情報を重畳させ
た信号に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒
体との間に印加することにより、該記録媒体上に記録ビ
ット列を形成して、該記録媒体に前記記録情報および前
記トラッキング情報を記録する情報記録手段と、前記プ
ローブと前記記録媒体との間に流れるトンネル電流を検
出するトンネル電流検出手段と、該トンネル電流検出手
段で検出された前記トンネル電流から前記記録媒体に記
録された前記トラッキング情報を再生し、該再生したト
ラッキング情報から前記プローブのトラッキング制御に
必要なトラッキング制御情報を検出するトラッキング制
御情報検出手段と、該トラッキング制御情報検出手段に
より検出された前記トラッキング制御情報に応じて前記
プローブ走査手段を制御する走査制御手段とを含む。
プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が
形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させるプロー
ブ走査手段と、記録情報にトラッキング情報を重畳させ
た信号に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒
体との間に印加することにより、該記録媒体上に記録ビ
ット列を形成して、該記録媒体に前記記録情報および前
記トラッキング情報を記録する情報記録手段と、前記プ
ローブと前記記録媒体との間に流れるトンネル電流を検
出するトンネル電流検出手段と、該トンネル電流検出手
段で検出された前記トンネル電流から前記記録媒体に記
録された前記トラッキング情報を再生し、該再生したト
ラッキング情報から前記プローブのトラッキング制御に
必要なトラッキング制御情報を検出するトラッキング制
御情報検出手段と、該トラッキング制御情報検出手段に
より検出された前記トラッキング制御情報に応じて前記
プローブ走査手段を制御する走査制御手段とを含む。
【００１５】ここで、前記情報記録手段が、前記記録情
報と前記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号
に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との
間に印加してもよい。
報と前記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号
に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との
間に印加してもよい。
【００１６】また、前記記録媒体上の互いに隣接するト
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
【００１７】または、本発明の記録再生装置は、プロー
ブと、該プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状
態変化が形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させ
るプローブ走査手段と、記録情報にトラッキング情報を
重畳させた信号に応じたパルス電圧を前記プローブと前
記記録媒体との間に印加することにより、該記録媒体上
に記録ビット列を形成して、該記録媒体に前記記録情報
および前記トラッキング情報を記録する情報記録手段
と、前記プローブと前記記録媒体との間に働く力を力−
変位変換により変位として検出する変位検出手段と、該
変位検出手段で検出された前記変位から前記記録媒体に
記録された前記トラッキング情報を再生し、該再生した
トラッキング情報から前記プローブのトラッキング制御
に必要なトラッキング制御情報を検出するトラッキング
制御情報検出手段と、該トラッキング制御情報検出手段
により検出された前記トラッキング制御情報に応じて前
記プローブ走査手段を制御する走査制御手段とを含む。
ブと、該プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状
態変化が形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させ
るプローブ走査手段と、記録情報にトラッキング情報を
重畳させた信号に応じたパルス電圧を前記プローブと前
記記録媒体との間に印加することにより、該記録媒体上
に記録ビット列を形成して、該記録媒体に前記記録情報
および前記トラッキング情報を記録する情報記録手段
と、前記プローブと前記記録媒体との間に働く力を力−
変位変換により変位として検出する変位検出手段と、該
変位検出手段で検出された前記変位から前記記録媒体に
記録された前記トラッキング情報を再生し、該再生した
トラッキング情報から前記プローブのトラッキング制御
に必要なトラッキング制御情報を検出するトラッキング
制御情報検出手段と、該トラッキング制御情報検出手段
により検出された前記トラッキング制御情報に応じて前
記プローブ走査手段を制御する走査制御手段とを含む。
【００１８】ここで、前記情報記録手段が、前記記録情
報と前記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号
に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との
間に印加してもよい。
報と前記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号
に応じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との
間に印加してもよい。
【００１９】また、前記記録媒体上の互いに隣接するト
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
ラック間で、前記トラッキング情報を異ならせてもよ
い。
【００２０】
【作用】本発明の記録再生方法は、非記録状態以外に１
種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体を用い、この
記録媒体とプローブとの間に、記録情報にトラッキング
情報を重畳させた信号に応じたパルス電圧を印加するこ
とにより、記録情報とともにトラッキング情報を含む記
録ビット列を記録媒体上に形成することができるため、
記録情報とトラッキング情報とを含むトンネル電流から
トラッキング情報のみを取り出して、プローブのトラッ
キング制御に必要なトラッキング制御情報（たとえば、
プローブの記録ビット列からのずれ方向およびずれ量）
を検出することができる。
種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体を用い、この
記録媒体とプローブとの間に、記録情報にトラッキング
情報を重畳させた信号に応じたパルス電圧を印加するこ
とにより、記録情報とともにトラッキング情報を含む記
録ビット列を記録媒体上に形成することができるため、
記録情報とトラッキング情報とを含むトンネル電流から
トラッキング情報のみを取り出して、プローブのトラッ
キング制御に必要なトラッキング制御情報（たとえば、
プローブの記録ビット列からのずれ方向およびずれ量）
を検出することができる。
【００２１】また、本発明の記録再生方法は、非記録状
態以外に１種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体を
用い、この記録媒体とプローブとの間に、記録情報にト
ラッキング情報を重畳させた信号に応じたパルス電圧を
印加することにより、記録情報とともにトラッキング情
報を含む記録ビット列を記録媒体上に形成することがで
きるため、記録情報とトラッキング情報とを含むプロー
ブの変位からトラッキング情報のみを取り出して、プロ
ーブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情報
を検出することができる。
態以外に１種類以上の状態変化が形成可能な記録媒体を
用い、この記録媒体とプローブとの間に、記録情報にト
ラッキング情報を重畳させた信号に応じたパルス電圧を
印加することにより、記録情報とともにトラッキング情
報を含む記録ビット列を記録媒体上に形成することがで
きるため、記録情報とトラッキング情報とを含むプロー
ブの変位からトラッキング情報のみを取り出して、プロ
ーブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情報
を検出することができる。
【００２２】本発明の記録再生装置は、情報記録手段
が、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能
な記録媒体上に、記録情報にトラッキング情報を重畳さ
せた信号に応じたパルス電圧をプローブと記録媒体との
間に印加することにより、記録ビット列を形成して、記
録媒体に録情報およびトラッキング情報を記録し、ま
た、トラッキング制御情報検出手段が、トンネル電流検
出手段で検出されたトンネル電流から記録媒体に記録さ
れたトラッキング情報を再生し、再生したトラッキング
情報からプローブのトラッキング制御に必要なトラッキ
ング制御情報を検出し、さらに、走査制御手段が、トラ
ッキング制御情報検出手段により検出されたトラッキン
グ制御情報に応じてプローブ走査手段を制御すること
で、本発明の第１の記録再生方法を実現することができ
る。
が、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成可能
な記録媒体上に、記録情報にトラッキング情報を重畳さ
せた信号に応じたパルス電圧をプローブと記録媒体との
間に印加することにより、記録ビット列を形成して、記
録媒体に録情報およびトラッキング情報を記録し、ま
た、トラッキング制御情報検出手段が、トンネル電流検
出手段で検出されたトンネル電流から記録媒体に記録さ
れたトラッキング情報を再生し、再生したトラッキング
情報からプローブのトラッキング制御に必要なトラッキ
ング制御情報を検出し、さらに、走査制御手段が、トラ
ッキング制御情報検出手段により検出されたトラッキン
グ制御情報に応じてプローブ走査手段を制御すること
で、本発明の第１の記録再生方法を実現することができ
る。
【００２３】また、本発明の記録再生装置は、情報記録
手段が、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成
可能な記録媒体上に、記録情報にトラッキング情報を重
畳させた信号に応じたパルス電圧をプローブと記録媒体
との間に印加することにより、記録ビット列を形成し
て、記録媒体に録情報およびトラッキング情報を記録
し、また、トラッキング制御情報検出手段が、変位検出
手段で検出された変位から記録媒体に記録されたトラッ
キング情報を再生し、再生したトラッキング情報からプ
ローブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情
報を検出し、さらに、走査制御手段が、トラッキング制
御情報検出手段により検出されたトラッキング制御情報
に応じてプローブ走査手段を制御することで、本発明の
第２の記録再生方法を実現することができる。
手段が、非記録状態以外に１種類以上の状態変化が形成
可能な記録媒体上に、記録情報にトラッキング情報を重
畳させた信号に応じたパルス電圧をプローブと記録媒体
との間に印加することにより、記録ビット列を形成し
て、記録媒体に録情報およびトラッキング情報を記録
し、また、トラッキング制御情報検出手段が、変位検出
手段で検出された変位から記録媒体に記録されたトラッ
キング情報を再生し、再生したトラッキング情報からプ
ローブのトラッキング制御に必要なトラッキング制御情
報を検出し、さらに、走査制御手段が、トラッキング制
御情報検出手段により検出されたトラッキング制御情報
に応じてプローブ走査手段を制御することで、本発明の
第２の記録再生方法を実現することができる。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２５】図１は、本発明の記録再生装置の第１の実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【００２６】記録再生装置１０は、以下の構成要素から
なる。
なる。
【００２７】（１）プローブ１１ プローブ１１は、記録媒体２上に記録情報およびトラッ
キング情報を記録する際および記録媒体２に記録された
記録情報およびトラッキング情報を再生する際に用いら
れる。また、プローブ１１は、プローブ１１と反対側に
Ｚ方向走査機構１３が取り付けられた片持ち梁１２によ
り支持されている。プローブ１１と記録媒体２との間の
距離は、ローパスフィルタ１５から入力されるトンネル
電圧Ｖtを一定値とするようにＺ方向制御回路１６がＺ
方向走査機構１３を図示Ｚ軸方向に駆動制御することに
より、常に一定に保たれている。なお、ローパスフィル
タ１５には、後述する電流電圧変換回路１４によってト
ンネル電流Ｊt から変換されたトンネル電圧Ｖt が入力
される。
キング情報を記録する際および記録媒体２に記録された
記録情報およびトラッキング情報を再生する際に用いら
れる。また、プローブ１１は、プローブ１１と反対側に
Ｚ方向走査機構１３が取り付けられた片持ち梁１２によ
り支持されている。プローブ１１と記録媒体２との間の
距離は、ローパスフィルタ１５から入力されるトンネル
電圧Ｖtを一定値とするようにＺ方向制御回路１６がＺ
方向走査機構１３を図示Ｚ軸方向に駆動制御することに
より、常に一定に保たれている。なお、ローパスフィル
タ１５には、後述する電流電圧変換回路１４によってト
ンネル電流Ｊt から変換されたトンネル電圧Ｖt が入力
される。
【００２８】（２）プローブ走査手段 ＸＹ走査機構１７は、プローブ１１を記録媒体２に沿っ
て相対的に走査させるプローブ走査手段として機能す
る。すなわち、記録媒体２が形成された基板１がＸＹ走
査機構１７上に載置されるとともにＸＹ走査機構１７に
よって図示Ｘ軸方向および図示Ｙ軸方向にそれぞれ走査
されることにより、プローブ１１が記録媒体２に沿って
相対的に走査される。
て相対的に走査させるプローブ走査手段として機能す
る。すなわち、記録媒体２が形成された基板１がＸＹ走
査機構１７上に載置されるとともにＸＹ走査機構１７に
よって図示Ｘ軸方向および図示Ｙ軸方向にそれぞれ走査
されることにより、プローブ１１が記録媒体２に沿って
相対的に走査される。
【００２９】（３）情報記録手段 バイアス発生回路２０，パルス発生回路２１および基準
信号発生回路２２は、記録情報にトラッキング情報を重
畳させた信号に応じたパルス電圧をプローブ１１と記録
媒体２との間に印加することにより、記録媒体２上に記
録ビット列を形成して、記録媒体２に記録情報およびト
ラッキング情報を記録する情報記録手段として機能す
る。なお、記録情報を示す記録信号ＳR は、後述するマ
イクロコンピュータ１９からパルス発生回路２１に入力
され、また、トラッキング情報を示すトラッキング信号
Ｔは、基準信号発生回路２２からパルス発生回路２１に
入力される。さらに、記録および再生の際に、０．１〜
１Ｖ程度のバイアス電圧がプローブ１１と記録媒体２と
の間にバイアス回路２０から印加されることにより、ト
ンネル電流Ｊt が設定値となるようにされる。
信号発生回路２２は、記録情報にトラッキング情報を重
畳させた信号に応じたパルス電圧をプローブ１１と記録
媒体２との間に印加することにより、記録媒体２上に記
録ビット列を形成して、記録媒体２に記録情報およびト
ラッキング情報を記録する情報記録手段として機能す
る。なお、記録情報を示す記録信号ＳR は、後述するマ
イクロコンピュータ１９からパルス発生回路２１に入力
され、また、トラッキング情報を示すトラッキング信号
Ｔは、基準信号発生回路２２からパルス発生回路２１に
入力される。さらに、記録および再生の際に、０．１〜
１Ｖ程度のバイアス電圧がプローブ１１と記録媒体２と
の間にバイアス回路２０から印加されることにより、ト
ンネル電流Ｊt が設定値となるようにされる。
【００３０】（４）トンネル電流検出手段 電流電圧変換回路１４は、プローブ１１と記録媒体２と
の間に流れるトンネル電流Ｊt を検出するトンネル電流
検出手段として機能する。ここで、電流電圧変換回路１
４は、プローブ１１から入力されるトンネル電流Ｊt を
トンネル電圧Ｖ t に変換する。
の間に流れるトンネル電流Ｊt を検出するトンネル電流
検出手段として機能する。ここで、電流電圧変換回路１
４は、プローブ１１から入力されるトンネル電流Ｊt を
トンネル電圧Ｖ t に変換する。
【００３１】（５）トラッキング制御情報検出手段 バンドパスフィルタ２５と変調回路２６と第１および第
２の同調検波回路２７，２８とコンパレータ２９とは、
トンネル電流検出手段で検出されたトンネル電流Ｊt か
ら記録媒体２に記録されたトラッキング情報を再生し、
再生したトラッキング情報からプローブ１１のトラッキ
ング制御に必要なトラッキング制御情報を検出するトラ
ッキング制御情報検出手段として機能する。なお、バン
ドパスフィルタ２５には、電流電圧変換回路１４によっ
てトンネル電流Ｊt から変換されたトンネル電圧Ｖt が
入力される。また、変調回路２６には、バンドパスフィ
ルタ２５を通過したトンネル電圧Ｖt のほか、基準信号
発生回路２２から基準信号Ｒが入力される。さらに、第
１および第２の同調検波回路２７，２８には、変調回路
２６の出力信号がそれぞれ入力され、第１の同調検波回
路２７の出力信号および第２の同調検波回路２８の出力
信号はそれぞれ、コンパレータ２９に入力される。
２の同調検波回路２７，２８とコンパレータ２９とは、
トンネル電流検出手段で検出されたトンネル電流Ｊt か
ら記録媒体２に記録されたトラッキング情報を再生し、
再生したトラッキング情報からプローブ１１のトラッキ
ング制御に必要なトラッキング制御情報を検出するトラ
ッキング制御情報検出手段として機能する。なお、バン
ドパスフィルタ２５には、電流電圧変換回路１４によっ
てトンネル電流Ｊt から変換されたトンネル電圧Ｖt が
入力される。また、変調回路２６には、バンドパスフィ
ルタ２５を通過したトンネル電圧Ｖt のほか、基準信号
発生回路２２から基準信号Ｒが入力される。さらに、第
１および第２の同調検波回路２７，２８には、変調回路
２６の出力信号がそれぞれ入力され、第１の同調検波回
路２７の出力信号および第２の同調検波回路２８の出力
信号はそれぞれ、コンパレータ２９に入力される。
【００３２】（６）走査制御手段 マイクロコンピュータ１９とＸＹ走査制御回路１８と
は、トラッキング制御情報検出手段によって検出された
トラッキング制御情報に応じてプローブ走査手段を制御
する走査制御手段として機能する。ここで、ＸＹ走査制
御回路１８は、トラッキング制御情報に基づいてマイク
ロコンピュータ１９から出力されるＸＹ走査制御信号に
従ってＸＹ走査機構１７を制御することにより、記録媒
体２上に形成された記録ビット列に沿ってプローブ１１
が正しく走査されるようにする。
は、トラッキング制御情報検出手段によって検出された
トラッキング制御情報に応じてプローブ走査手段を制御
する走査制御手段として機能する。ここで、ＸＹ走査制
御回路１８は、トラッキング制御情報に基づいてマイク
ロコンピュータ１９から出力されるＸＹ走査制御信号に
従ってＸＹ走査機構１７を制御することにより、記録媒
体２上に形成された記録ビット列に沿ってプローブ１１
が正しく走査されるようにする。
【００３３】（７）記録情報再生手段 ハイパスフィルタ２３と再生信号復調回路２４とは、ト
ンネル電流検出手段で検出されたトンネル電流Ｊt から
記録媒体２に記録された記録情報を再生する記録情報再
生手段として機能する。ここで、再生された記録情報
は、再生信号ＳPとして再生信号復調回路２４から出力
される。ここで、ハイパスフィルタ２３には、電流電圧
変換回路１４によってトンネル電流Ｊt から変換された
トンネル電圧Ｖt が入力される。また、再生信号復調回
路２４には、ハイパスフィルタ２３を通過したトンネル
電圧Ｖt が入力される。
ンネル電流検出手段で検出されたトンネル電流Ｊt から
記録媒体２に記録された記録情報を再生する記録情報再
生手段として機能する。ここで、再生された記録情報
は、再生信号ＳPとして再生信号復調回路２４から出力
される。ここで、ハイパスフィルタ２３には、電流電圧
変換回路１４によってトンネル電流Ｊt から変換された
トンネル電圧Ｖt が入力される。また、再生信号復調回
路２４には、ハイパスフィルタ２３を通過したトンネル
電圧Ｖt が入力される。
【００３４】次に、記録媒体２について詳しく説明す
る。
る。
【００３５】基板１上に形成された記録媒体２は、たと
えば、スクアリリュウムービス−６−オクチルアズレン
（以下、「ＳＯＡＺ」と称する。）からなる単分子膜を
ラングミュア・プロジェット法によって２層累積した累
積膜を作成し、該累積膜を金のエピタキシャル成長面上
に形成したものであり、非記録状態以外に２種類以上の
状態変化が形成可能な材料（すなわち、２種類以上のメ
モリ効果をもつ材料）からなるものである。
えば、スクアリリュウムービス−６−オクチルアズレン
（以下、「ＳＯＡＺ」と称する。）からなる単分子膜を
ラングミュア・プロジェット法によって２層累積した累
積膜を作成し、該累積膜を金のエピタキシャル成長面上
に形成したものであり、非記録状態以外に２種類以上の
状態変化が形成可能な材料（すなわち、２種類以上のメ
モリ効果をもつ材料）からなるものである。
【００３６】プローブ１１と記録媒体２との間に、パル
ス列を変調して作成された６Ｖのパルス電圧がパルス発
生回路２１から印加されると、１０ｎｍφ（１０ｐＡの
トンネル電流Ｊt が流れる大きさ）の記録ビットが、記
録媒体２上に形成される。なお、パルス電圧の印加を中
止しても、１０ｎｍφの記録ビットが記録媒体２上に形
成された状態（以下、「初期状態」と称する。）は保持
される。
ス列を変調して作成された６Ｖのパルス電圧がパルス発
生回路２１から印加されると、１０ｎｍφ（１０ｐＡの
トンネル電流Ｊt が流れる大きさ）の記録ビットが、記
録媒体２上に形成される。なお、パルス電圧の印加を中
止しても、１０ｎｍφの記録ビットが記録媒体２上に形
成された状態（以下、「初期状態」と称する。）は保持
される。
【００３７】初期状態の記録媒体２とプローブ１１との
間に、−８Ｖの電圧と＋１．５Ｖの電圧とをパルス発生
回路２１からパルス状に印加すると、１００ｎＡのトン
ネル電流Ｊt が流れるオン状態が生じる。このオン状態
は、初期状態と同様に、−８Ｖの電圧と＋１．５Ｖの電
圧との印加を中止しても保持されるが、５Ｖのパレス電
圧が記録媒体２とプローブ１１との間に印加されると、
初期状態に戻る。
間に、−８Ｖの電圧と＋１．５Ｖの電圧とをパルス発生
回路２１からパルス状に印加すると、１００ｎＡのトン
ネル電流Ｊt が流れるオン状態が生じる。このオン状態
は、初期状態と同様に、−８Ｖの電圧と＋１．５Ｖの電
圧との印加を中止しても保持されるが、５Ｖのパレス電
圧が記録媒体２とプローブ１１との間に印加されると、
初期状態に戻る。
【００３８】したがって、初期状態，オン状態および非
記録状態を利用することにより、記録情報とともにトラ
ッキング情報を重畳させて記録ビット列を記録媒体２上
に形成することができる。
記録状態を利用することにより、記録情報とともにトラ
ッキング情報を重畳させて記録ビット列を記録媒体２上
に形成することができる。
【００３９】図２は、記録情報とともにトラッキング情
報を重畳させて記録ビット列を記録媒体２上に形成する
方法を模式的に示す図である。
報を重畳させて記録ビット列を記録媒体２上に形成する
方法を模式的に示す図である。
【００４０】初期状態として、記録情報のみを示す各記
録ビットＢI が、同図（Ａ）に示す配列で記録媒体２上
にそれぞれ形成される。同図（Ｂ）に示す長波長のトラ
ッキング信号Ｔが記録媒体２上に印加されると、トラッ
キング信号Ｔが重畳された部分の各記録ビットＢI はそ
れぞれ、記録情報とトラッキング情報とが重畳された記
録ビットＢITとなる（同図（Ｃ）参照）。したがって、
同図（Ｃ）に示す記録ビット列は、記録情報のみを示す
記録ビットＢI が形成された部分（初期状態の部分）
と、記録情報とトラッキング情報とが重畳された記録ビ
ットＢITが形成された部分（オン状態の部分）と、いず
れの記録ビットも形成されていない部分（非記録状態の
部分）とからなるものとなる。
録ビットＢI が、同図（Ａ）に示す配列で記録媒体２上
にそれぞれ形成される。同図（Ｂ）に示す長波長のトラ
ッキング信号Ｔが記録媒体２上に印加されると、トラッ
キング信号Ｔが重畳された部分の各記録ビットＢI はそ
れぞれ、記録情報とトラッキング情報とが重畳された記
録ビットＢITとなる（同図（Ｃ）参照）。したがって、
同図（Ｃ）に示す記録ビット列は、記録情報のみを示す
記録ビットＢI が形成された部分（初期状態の部分）
と、記録情報とトラッキング情報とが重畳された記録ビ
ットＢITが形成された部分（オン状態の部分）と、いず
れの記録ビットも形成されていない部分（非記録状態の
部分）とからなるものとなる。
【００４１】トラッキング信号Ｔは基準信号発生回路２
２で発生されたのち、パルス発生回路２１に送られる。
パルス発生回路２１では、マイクロコンピュータ１９か
ら送られてくる記録信号ＳR に対応したパルス信号（６
Ｖのパルス電圧）と、記録信号ＳR およびトラッキング
信号Ｔに対応したパルス信号（−８Ｖの電圧と＋１．５
Ｖの電圧とからなるパルス状の電圧）とが、マイクロコ
ンピュータ１９からの指示に従って発生される。ここ
で、トラッキング信号Ｔは、互いに隣接する記録ビット
列で異る周波数を有する。すなわち、トラッキング信号
Ｔの周波数は、記録ビット列ごとに、周波数ＦT1＝ｆ，
周波数ＦT2＝ｆ＋Δｆ，周波数ＦT3＝ｆ＋３Δｆ，周波
数ＦT4＝ｆ＋２Δｆ，周波数ＦT1＝ｆ，……と変化す
る。
２で発生されたのち、パルス発生回路２１に送られる。
パルス発生回路２１では、マイクロコンピュータ１９か
ら送られてくる記録信号ＳR に対応したパルス信号（６
Ｖのパルス電圧）と、記録信号ＳR およびトラッキング
信号Ｔに対応したパルス信号（−８Ｖの電圧と＋１．５
Ｖの電圧とからなるパルス状の電圧）とが、マイクロコ
ンピュータ１９からの指示に従って発生される。ここ
で、トラッキング信号Ｔは、互いに隣接する記録ビット
列で異る周波数を有する。すなわち、トラッキング信号
Ｔの周波数は、記録ビット列ごとに、周波数ＦT1＝ｆ，
周波数ＦT2＝ｆ＋Δｆ，周波数ＦT3＝ｆ＋３Δｆ，周波
数ＦT4＝ｆ＋２Δｆ，周波数ＦT1＝ｆ，……と変化す
る。
【００４２】次に、記録再生装置１０の再生動作につい
て説明する。
て説明する。
【００４３】再生に際しては、ＸＹ走査機構１７により
プローブ１１を所望の記録ビット列に移動したのち、プ
ローブ１１と記録媒体２との間を流れるトンネル電流Ｊ
t の変化を検出する。検出されたトンネル電流Ｊt は、
電流電圧変換回路１４でトンネル電圧Ｖt に変換され
る。このとき、図２（Ｃ）に示した記録ビット列が記録
媒体２に形成されているとすると、電流電圧変換回路１
４で変換されたトンネル電圧Ｖt の波形は、図３（Ａ）
に示すようになる。したがって、トンネル電圧Ｖ t をハ
イパスフィルタ２３に入力してトンネル電圧Ｖt の長波
長のトラッキング信号Ｔの成分を除去することにより、
図３（Ｂ）に示すような記録信号ＳR の成分のみを取り
出すことができる。その結果、ハイパスフィルタ２３を
通過したトンネル電圧Ｖt を再生信号復調回路２４に入
力することにより、再生信号ＳP を作成することができ
る。
プローブ１１を所望の記録ビット列に移動したのち、プ
ローブ１１と記録媒体２との間を流れるトンネル電流Ｊ
t の変化を検出する。検出されたトンネル電流Ｊt は、
電流電圧変換回路１４でトンネル電圧Ｖt に変換され
る。このとき、図２（Ｃ）に示した記録ビット列が記録
媒体２に形成されているとすると、電流電圧変換回路１
４で変換されたトンネル電圧Ｖt の波形は、図３（Ａ）
に示すようになる。したがって、トンネル電圧Ｖ t をハ
イパスフィルタ２３に入力してトンネル電圧Ｖt の長波
長のトラッキング信号Ｔの成分を除去することにより、
図３（Ｂ）に示すような記録信号ＳR の成分のみを取り
出すことができる。その結果、ハイパスフィルタ２３を
通過したトンネル電圧Ｖt を再生信号復調回路２４に入
力することにより、再生信号ＳP を作成することができ
る。
【００４４】一方、トンネル電圧Ｖt をバンドパスフィ
ルタ２５に入力してトンネル電圧Ｖ t の短波長の記録信
号ＳR の成分を除去することにより、図３（Ｃ）に示す
ようなトラッキング信号Ｔの成分のみを取り出すことが
できる。このとき、トラッキング信号Ｔの周波数は、前
述したように、周波数ＦT1，周波数ＦT2，周波数ＦT3，
周波数ＦT4，周波数ＦT1……と互いに隣接する記録ビッ
ト列ごとに変化しているため、バンドパスフィルタ２５
で抽出したトラッキング信号Ｔの成分には、走査中の記
録ビット列に形成されているトラッキング信号Ｔの周波
数（たとえば、周波数ＦT1とする。）だけでなく、互い
に隣接する２つの記録ビット列にそれぞれ形成されてい
るトラッキング信号Ｔの周波数ＦT2，ＦT4も混入してく
る。走査中の記録ビット列に形成されているトラッキン
グ信号Ｔの周波数ＦT1と同じ周波数を有する基準信号Ｒ
とトラッキング信号Ｔとが変調回路２６において平衡変
調されたのち、変調回路２６の出力信号が第１および第
２の同調検波回路２７，２８にそれぞれ入力されること
により、周波数がＦT2−ＦT1＝Δｆの第１の差信号と周
波数がＦT4−ＦT1＝２Δｆの第２の差信号とが、第１お
よび第２の同調検波回路２７，２８からそれぞれ出力さ
れる。なお、第１の差信号と第２の差信号とはそれぞ
れ、第１および第２の同調検波回路２７，２８から検波
整流されたのち出力されたものである。第１の差信号の
出力レベルと第２の差信号の出力レベルとがコンパレー
タ２９で比較されることにより、第１の差信号の出力レ
ベルと第２の差信号の出力レベルの大小関係から、プロ
ーブ１１の記録ビット列からのずれ方向がわかるととも
に、第１の差信号の出力レベルと第２の差信号の出力レ
ベルの差から、プローブ１１の記録ビット列からのずれ
量がわかる。したがって、コンパレータ２９の出力信号
をマイクロコンピュータ１９を介してＸＹ走査制御回路
１８に入力することにより、前記ずれ方向と前記ずれ量
に応じてＸＹ走査機構１７を制御して、トラッキング制
御を精度よく行うことができる。
ルタ２５に入力してトンネル電圧Ｖ t の短波長の記録信
号ＳR の成分を除去することにより、図３（Ｃ）に示す
ようなトラッキング信号Ｔの成分のみを取り出すことが
できる。このとき、トラッキング信号Ｔの周波数は、前
述したように、周波数ＦT1，周波数ＦT2，周波数ＦT3，
周波数ＦT4，周波数ＦT1……と互いに隣接する記録ビッ
ト列ごとに変化しているため、バンドパスフィルタ２５
で抽出したトラッキング信号Ｔの成分には、走査中の記
録ビット列に形成されているトラッキング信号Ｔの周波
数（たとえば、周波数ＦT1とする。）だけでなく、互い
に隣接する２つの記録ビット列にそれぞれ形成されてい
るトラッキング信号Ｔの周波数ＦT2，ＦT4も混入してく
る。走査中の記録ビット列に形成されているトラッキン
グ信号Ｔの周波数ＦT1と同じ周波数を有する基準信号Ｒ
とトラッキング信号Ｔとが変調回路２６において平衡変
調されたのち、変調回路２６の出力信号が第１および第
２の同調検波回路２７，２８にそれぞれ入力されること
により、周波数がＦT2−ＦT1＝Δｆの第１の差信号と周
波数がＦT4−ＦT1＝２Δｆの第２の差信号とが、第１お
よび第２の同調検波回路２７，２８からそれぞれ出力さ
れる。なお、第１の差信号と第２の差信号とはそれぞ
れ、第１および第２の同調検波回路２７，２８から検波
整流されたのち出力されたものである。第１の差信号の
出力レベルと第２の差信号の出力レベルとがコンパレー
タ２９で比較されることにより、第１の差信号の出力レ
ベルと第２の差信号の出力レベルの大小関係から、プロ
ーブ１１の記録ビット列からのずれ方向がわかるととも
に、第１の差信号の出力レベルと第２の差信号の出力レ
ベルの差から、プローブ１１の記録ビット列からのずれ
量がわかる。したがって、コンパレータ２９の出力信号
をマイクロコンピュータ１９を介してＸＹ走査制御回路
１８に入力することにより、前記ずれ方向と前記ずれ量
に応じてＸＹ走査機構１７を制御して、トラッキング制
御を精度よく行うことができる。
【００４５】図４は、本発明の記録再生装置の第２の実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【００４６】本実施例の記録再生装置５０は、原子間力
顕微鏡の原理を応用したものであり、以下に示す点で、
図１に示した記録再生装置１０と異なる。
顕微鏡の原理を応用したものであり、以下に示す点で、
図１に示した記録再生装置１０と異なる。
【００４７】（１）記録媒体４２の表面形状の変化をプ
ローブ５１の変位として検出する変位検出手段として、
片持ち梁５２の図示Ｚ軸方向の変位を検出することによ
りプローブ５１の変位を検出するレーザ７０と光検出器
７１と位置検出回路７２とを含む。
ローブ５１の変位として検出する変位検出手段として、
片持ち梁５２の図示Ｚ軸方向の変位を検出することによ
りプローブ５１の変位を検出するレーザ７０と光検出器
７１と位置検出回路７２とを含む。
【００４８】（２）片持ち梁５２は、プローブ５１を支
持しているだけでなく、力−変位変換器としても機能す
るものであり、弾性体である片持ち梁５２のばね力によ
って、プローブ５１と記録媒体４２との間に働く力を変
位に変換する構造になっている。なお、片持ち梁５２
は、シリコンのエッチング技術を適用して作成できる。
すなわち、公知のシリコン結晶の異方性エッチングを利
用することにより、長さ１００μｍ，幅２０μｍおよび
厚さ１μｍのＳiＯ2の片持ち梁を形成することができ
る。また、ＳiＯ2表面には、導電性を付与するため、Ａ
ｕ膜が蒸着されている。
持しているだけでなく、力−変位変換器としても機能す
るものであり、弾性体である片持ち梁５２のばね力によ
って、プローブ５１と記録媒体４２との間に働く力を変
位に変換する構造になっている。なお、片持ち梁５２
は、シリコンのエッチング技術を適用して作成できる。
すなわち、公知のシリコン結晶の異方性エッチングを利
用することにより、長さ１００μｍ，幅２０μｍおよび
厚さ１μｍのＳiＯ2の片持ち梁を形成することができ
る。また、ＳiＯ2表面には、導電性を付与するため、Ａ
ｕ膜が蒸着されている。
【００４９】（３）バンドパスフィルタ６５と変調回路
６６と第１および第２の同調検波回路６７，６８とコン
パレータ６９とは、変位検出手段で検出された変位から
記録媒体４２に記録されたトラッキング情報を再生し、
再生したトラッキング情報からプローブ５１のトラッキ
ング制御に必要なトラッキング制御情報を検出するトラ
ッキング制御情報検出手段として機能する。ここで、バ
ンドパスフィルタ６５へは、位置検出回路７２の出力信
号が入力される。
６６と第１および第２の同調検波回路６７，６８とコン
パレータ６９とは、変位検出手段で検出された変位から
記録媒体４２に記録されたトラッキング情報を再生し、
再生したトラッキング情報からプローブ５１のトラッキ
ング制御に必要なトラッキング制御情報を検出するトラ
ッキング制御情報検出手段として機能する。ここで、バ
ンドパスフィルタ６５へは、位置検出回路７２の出力信
号が入力される。
【００５０】（４）ハイパスフィルタ６３は、変位検出
手段で検出された変位から記録媒体４２に記録された記
録情報を再生する記録情報再生手段として機能する。こ
こで、ハイパスフィルタ６３へは、位置検出回路７２の
出力信号が入力される。
手段で検出された変位から記録媒体４２に記録された記
録情報を再生する記録情報再生手段として機能する。こ
こで、ハイパスフィルタ６３へは、位置検出回路７２の
出力信号が入力される。
【００５１】（５）図１に示した再生信号復調回路２
４，ローパスフィルタ１５およびＺ方向制御回路１６を
含まない。
４，ローパスフィルタ１５およびＺ方向制御回路１６を
含まない。
【００５２】記録再生装置５０で使用される記録媒体４
２としては、公知のスプラット急冷法を用いて作成した
ガラス金属、具体的には、合金ガラスの一種であるＲｈ
−Ｚｒを用いる。なお、作成したガラス金属は、十分な
平坦度（０．１ｎｍ ｒｍｓ以下）を確保するため、Ａ
ｒ+ イオンなどの物理エッチングが施されている。
２としては、公知のスプラット急冷法を用いて作成した
ガラス金属、具体的には、合金ガラスの一種であるＲｈ
−Ｚｒを用いる。なお、作成したガラス金属は、十分な
平坦度（０．１ｎｍ ｒｍｓ以下）を確保するため、Ａ
ｒ+ イオンなどの物理エッチングが施されている。
【００５３】次に、記録再生装置５０の記録動作につい
て説明する。
て説明する。
【００５４】第１の書き込み条件として、プローブ５１
と記録媒体４２との間にバイアス回路６０を介して１．
０Ｖの電圧を与えてプローブ５１と記録媒体４２との間
に流すトンネル電流の大きさを１ｎＡ（走査型トンネル
顕微鏡で試料を観察する際に通常流される値）としたの
ち、トンネル電流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び
１ｎＡに戻すと、ガラス金属の表面がジュール熱により
溶融して、小さな記録ビットが形成される。このときの
記録ビットの大きさは、直径２０ｎｍおよび高さ５ｎｍ
となる。
と記録媒体４２との間にバイアス回路６０を介して１．
０Ｖの電圧を与えてプローブ５１と記録媒体４２との間
に流すトンネル電流の大きさを１ｎＡ（走査型トンネル
顕微鏡で試料を観察する際に通常流される値）としたの
ち、トンネル電流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び
１ｎＡに戻すと、ガラス金属の表面がジュール熱により
溶融して、小さな記録ビットが形成される。このときの
記録ビットの大きさは、直径２０ｎｍおよび高さ５ｎｍ
となる。
【００５５】また、第２の書き込み条件として、プロー
ブ５１と記録媒体４２との間にバイアス回路６０により
１．５Ｖの電圧を与えてプローブ５１と記録媒体４２と
の間に流すトンネル電流の大きさを１ｎＡとしたのち、
トンネル電流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び１ｎ
Ａに戻すことにより、同様にして記録ビットを形成する
と、投入されるエネルギーの違いにより、形成された記
録ビットの大きさは、直径３０ｎｍおよび高さ１０ｎｍ
となる。
ブ５１と記録媒体４２との間にバイアス回路６０により
１．５Ｖの電圧を与えてプローブ５１と記録媒体４２と
の間に流すトンネル電流の大きさを１ｎＡとしたのち、
トンネル電流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び１ｎ
Ａに戻すことにより、同様にして記録ビットを形成する
と、投入されるエネルギーの違いにより、形成された記
録ビットの大きさは、直径３０ｎｍおよび高さ１０ｎｍ
となる。
【００５６】そこで、第１の書き込み条件による記録状
態と第２の書き込み条件による記録状態と非記録状態と
を利用して、記録情報にトラッキング情報を重畳させた
記録ビット列を形成することができる。なお、このとき
形成される記録ビット列は、図２（Ｃ）に示したものと
同様のものとなる。
態と第２の書き込み条件による記録状態と非記録状態と
を利用して、記録情報にトラッキング情報を重畳させた
記録ビット列を形成することができる。なお、このとき
形成される記録ビット列は、図２（Ｃ）に示したものと
同様のものとなる。
【００５７】次に、記録再生装置５０の再生動作につい
て説明する。
て説明する。
【００５８】プローブ５１を所望の記録ビット列に移動
したのち、記録媒体４２に沿ってプローブ５１を相対的
に走査させながら、片持ち梁５２の変位を検出する。す
なわち、記録ビット列は、記録媒体４２の表面の凹凸情
報として、片持ち梁５２を変位させる。このときの片持
ち梁５２の図示Ｚ軸方向の位置の測定は、レーザ７０か
ら出射されたのち片持ち梁５２で反射されたレーザ光を
光検出器７１によって検出することにより行われる。光
検出器７１から出力される、片持ち梁５２の図示Ｚ軸方
向の位置を示す電気信号は位置検出回路７２に入力され
て、片持ち梁５２の変位量を示す電気信号に変換され
る。ここで、片持ち梁５２の変位量を示す電気信号に
は、再生信号ＳP のほかに長波長のトラッキング信号Ｔ
も含まれているため、片持ち梁５２の変位量を示す電気
信号をハイパスフィルタ６３に入力して、長波長のトラ
ッキング信号Ｔを除去することにより、再生信号ＳP を
取り出す。
したのち、記録媒体４２に沿ってプローブ５１を相対的
に走査させながら、片持ち梁５２の変位を検出する。す
なわち、記録ビット列は、記録媒体４２の表面の凹凸情
報として、片持ち梁５２を変位させる。このときの片持
ち梁５２の図示Ｚ軸方向の位置の測定は、レーザ７０か
ら出射されたのち片持ち梁５２で反射されたレーザ光を
光検出器７１によって検出することにより行われる。光
検出器７１から出力される、片持ち梁５２の図示Ｚ軸方
向の位置を示す電気信号は位置検出回路７２に入力され
て、片持ち梁５２の変位量を示す電気信号に変換され
る。ここで、片持ち梁５２の変位量を示す電気信号に
は、再生信号ＳP のほかに長波長のトラッキング信号Ｔ
も含まれているため、片持ち梁５２の変位量を示す電気
信号をハイパスフィルタ６３に入力して、長波長のトラ
ッキング信号Ｔを除去することにより、再生信号ＳP を
取り出す。
【００５９】片持ち梁５２の変位量を示す電気信号はバ
ンドパスフィルタ６５にも入力され、短波長の再生信号
ＳP が除去されてトラッキング信号Ｔのみが取り出され
る。ここで、トラッキング信号Ｔとして、前述した第１
の実施例の記録再生装置１０で用いたトラッキング信号
Ｔと同様のものを用いることにより、変調回路６６と第
１および第２の同調検波回路６７，６８とコンパレータ
６９とでプローブ５１の記録ビット列からのずれ方向お
よびずれ量を検出することができる。したがって、本実
施例の記録再生装置５０においても、検出したずれ方向
およびずれ量に応じてＸＹ走査制御回路５８でＸＹ走査
機構５７を制御することにより、記録媒体４２にトラッ
ッキング用の加工を施すことなく、また、ウォブリング
などの制御を行うことなく、精度よくトラッキング制御
を行いながら記録情報を読み出すことができる。
ンドパスフィルタ６５にも入力され、短波長の再生信号
ＳP が除去されてトラッキング信号Ｔのみが取り出され
る。ここで、トラッキング信号Ｔとして、前述した第１
の実施例の記録再生装置１０で用いたトラッキング信号
Ｔと同様のものを用いることにより、変調回路６６と第
１および第２の同調検波回路６７，６８とコンパレータ
６９とでプローブ５１の記録ビット列からのずれ方向お
よびずれ量を検出することができる。したがって、本実
施例の記録再生装置５０においても、検出したずれ方向
およびずれ量に応じてＸＹ走査制御回路５８でＸＹ走査
機構５７を制御することにより、記録媒体４２にトラッ
ッキング用の加工を施すことなく、また、ウォブリング
などの制御を行うことなく、精度よくトラッキング制御
を行いながら記録情報を読み出すことができる。
【００６０】図５は、本発明の記録再生装置の第３の実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【００６１】本実施例の記録再生装置110 は、記録情報
とトラッキング情報とを時分割で重畳させるものであ
る。すなわち、同期信号発生回路131 で同期信号を発生
するとともに、同期信号と位相が異なる２つの信号を第
１の移相器132 と第２の移相器133 とを用いてそれぞれ
発生し、同期信号とこの２つの信号をパルス発生回路12
1 に入力することにより、同期信号の一周期内をトラッ
キング情報のための時間領域と記録情報のための時間領
域とに分けて、プローブ111 にパルス電圧を印加する。
このとき用いる変調方式は、パルス位置変調方式であ
る。すなわち、基準となる位置からのずれ量によって情
報を伝達する。
とトラッキング情報とを時分割で重畳させるものであ
る。すなわち、同期信号発生回路131 で同期信号を発生
するとともに、同期信号と位相が異なる２つの信号を第
１の移相器132 と第２の移相器133 とを用いてそれぞれ
発生し、同期信号とこの２つの信号をパルス発生回路12
1 に入力することにより、同期信号の一周期内をトラッ
キング情報のための時間領域と記録情報のための時間領
域とに分けて、プローブ111 にパルス電圧を印加する。
このとき用いる変調方式は、パルス位置変調方式であ
る。すなわち、基準となる位置からのずれ量によって情
報を伝達する。
【００６２】記録再生装置110 の再生動作は、電流電圧
変換回路114 から出力されるトンネル電圧Ｖt を同期パ
ルス分離回路141 に入力し、トンネル電圧Ｖt から同期
パルスを分離したのち、記録情報のための時間領域とト
ラッキング情報のための時間領域とを第３の移相器142
および第４の移相器144 により区別することにより、第
１の復調パルス発生回路143 と再生信号復調回路124 と
で記録情報（再生信号ＳR ）を取り出すとともに、第２
の復調パルス発生回路145 でトラッキング情報を取り出
す。
変換回路114 から出力されるトンネル電圧Ｖt を同期パ
ルス分離回路141 に入力し、トンネル電圧Ｖt から同期
パルスを分離したのち、記録情報のための時間領域とト
ラッキング情報のための時間領域とを第３の移相器142
および第４の移相器144 により区別することにより、第
１の復調パルス発生回路143 と再生信号復調回路124 と
で記録情報（再生信号ＳR ）を取り出すとともに、第２
の復調パルス発生回路145 でトラッキング情報を取り出
す。
【００６３】記録媒体102 としては、公知のスプラット
急冷法を用いて作成したガラス金属、具体的には、合金
ガラスの一種であるＲｈ−Ｚｒを用いる。なお、作成し
たガラス金属は、十分な平坦度（０．１ｎｍ ｒｍｓ以
下）を確保するため、Ａｒ+イオンなどの物理エッチン
グが施されている。
急冷法を用いて作成したガラス金属、具体的には、合金
ガラスの一種であるＲｈ−Ｚｒを用いる。なお、作成し
たガラス金属は、十分な平坦度（０．１ｎｍ ｒｍｓ以
下）を確保するため、Ａｒ+イオンなどの物理エッチン
グが施されている。
【００６４】次に、記録再生装置110 の記録動作につい
て説明する。
て説明する。
【００６５】書き込み条件として、プローブ111 と記録
媒体102 との間にバイアス回路120を介して１．０Ｖの
電圧を与えてプローブ111 と記録媒体102 との間に流す
トンネル電流の大きさを１ｎＡとしたのち、トンネル電
流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び１ｎＡに戻す
と、ガラス金属の表面がジュール熱により溶融して、小
さな記録ビットが形成される。このときの記録ビットの
大きさは、直径２０ｎｍおよび高さ５ｎｍとなる。この
ようにして形成された記録ビット列の一例を図６（Ａ）
に示す。なお、このとき、他のパルスと区別するため、
同期パルスは連続して印加した。
媒体102 との間にバイアス回路120を介して１．０Ｖの
電圧を与えてプローブ111 と記録媒体102 との間に流す
トンネル電流の大きさを１ｎＡとしたのち、トンネル電
流の大きさを２００ｎＡとしたあと再び１ｎＡに戻す
と、ガラス金属の表面がジュール熱により溶融して、小
さな記録ビットが形成される。このときの記録ビットの
大きさは、直径２０ｎｍおよび高さ５ｎｍとなる。この
ようにして形成された記録ビット列の一例を図６（Ａ）
に示す。なお、このとき、他のパルスと区別するため、
同期パルスは連続して印加した。
【００６６】同期信号の一周期をＴ0 とすると、図６
（Ｂ）にＴ1 で示す部分がトラッキング情報のための時
間領域であり、Ｔ2 で示す部分が記録情報のための時間
領域である。記録情報は、基準となるパルス位置（図６
（Ｂ）の破線部）からのずれ量によって伝達される。
（Ｂ）にＴ1 で示す部分がトラッキング情報のための時
間領域であり、Ｔ2 で示す部分が記録情報のための時間
領域である。記録情報は、基準となるパルス位置（図６
（Ｂ）の破線部）からのずれ量によって伝達される。
【００６７】なお、本実施例の記録再生装置110 におい
ても、記録媒体102 上の互いに隣接するトラック間でト
ラッキング情報を異ならせることにより、前述した第１
の実施例の記録再生装置１０および第２の実施例の記録
再生装置５０と同様に、変調回路126 ，第１の同調検波
回路127 ，第２の同調検波回路128 およびコンパレータ
129 とでプローブ111 の記録ビット列からのずれ方向お
よびずれ量を検出することができる。したがって、本実
施例の記録再生装置110 においても、検出したずれ方向
およびずれ量に応じてＸＹ走査制御回路118 でＸＹ走査
機構117 を制御することにより、記録媒体102 にトラッ
ッキング用の加工を施すことなく、また、ウォブリング
などの制御を行うことなく、精度よくトラッキング制御
を行いながら記録情報を読み出すことができる。
ても、記録媒体102 上の互いに隣接するトラック間でト
ラッキング情報を異ならせることにより、前述した第１
の実施例の記録再生装置１０および第２の実施例の記録
再生装置５０と同様に、変調回路126 ，第１の同調検波
回路127 ，第２の同調検波回路128 およびコンパレータ
129 とでプローブ111 の記録ビット列からのずれ方向お
よびずれ量を検出することができる。したがって、本実
施例の記録再生装置110 においても、検出したずれ方向
およびずれ量に応じてＸＹ走査制御回路118 でＸＹ走査
機構117 を制御することにより、記録媒体102 にトラッ
ッキング用の加工を施すことなく、また、ウォブリング
などの制御を行うことなく、精度よくトラッキング制御
を行いながら記録情報を読み出すことができる。
【００６８】
【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次の効果を奏する。
ので、次の効果を奏する。
【００６９】記録情報とともにトラッキング情報を記録
媒体上に記録することができ、また、再生時に読み出し
た記録情報とトラッキング情報とが重畳した信号からト
ラッキング情報のみを取り出して、トラッキング制御情
報（たとえば、プローブの記録ビット列からのずれ方向
およびずれ量）を検出することができるため、記録媒体
にトラッッキング用の加工を施すことなく、また、ウォ
ブリングなどの制御を行うことなく、精度よくトラッキ
ング制御を行いながら記録情報を読み出すことができ
る。
媒体上に記録することができ、また、再生時に読み出し
た記録情報とトラッキング情報とが重畳した信号からト
ラッキング情報のみを取り出して、トラッキング制御情
報（たとえば、プローブの記録ビット列からのずれ方向
およびずれ量）を検出することができるため、記録媒体
にトラッッキング用の加工を施すことなく、また、ウォ
ブリングなどの制御を行うことなく、精度よくトラッキ
ング制御を行いながら記録情報を読み出すことができ
る。
【図１】本発明の記録再生装置の第１の実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】記録情報とともにトラッキング情報を重畳させ
て記録ビット列を、図１に示した記録媒体上に形成する
方法を模式的に示す図である。
て記録ビット列を、図１に示した記録媒体上に形成する
方法を模式的に示す図である。
【図３】図１に示した記録再生装置の再生動作を説明す
るための図であり、（Ａ）はトンネル電圧の波形を示す
図、（Ｂ）は記録信号の波形を示す図、（Ｃ）はトラッ
キング信号の波形を示す図である。
るための図であり、（Ａ）はトンネル電圧の波形を示す
図、（Ｂ）は記録信号の波形を示す図、（Ｃ）はトラッ
キング信号の波形を示す図である。
【図４】本発明の記録再生装置の第２の実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図５】本発明の記録再生装置の第３の実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図６】図５に示した記録再生装置において記録媒体上
に形成された記録ビット列を模式的に示す図であり、
（Ａ）は形成された記録ビット列の一例を示す図、
（Ｂ）はトラッキング情報のための時間領域と記録情報
のための時間領域とを示す図である。
に形成された記録ビット列を模式的に示す図であり、
（Ａ）は形成された記録ビット列の一例を示す図、
（Ｂ）はトラッキング情報のための時間領域と記録情報
のための時間領域とを示す図である。
１，４１，101 基板 ２，４２，102 記録媒体 １０，５０，110 記録再生装置 １１，５１，111 プローブ １２，５２，112 片持ち梁 １３，５３，113 Ｚ方向走査機構 １４，５４，114 電流電圧変換回路 １５，115 ローパスフィルター １６，116 Ｚ方向制御回路 １７，５７，117 ＸＹ走査駆動機構 １８，５８，118 ＸＹ走査制御回路 １９，５９，119 マイクロコンピュータ ２０，６０，120 バイアス回路 ２１，６１，121 パルス発生回路 ２２，６２，122 基準信号発生回路 ２３，６３ ハイパスフィルター ２４，124 再生信号復調回路 ２５，６５ バンドパスフィルター ２６，６６，126 変調回路 ２７，６７，127 第１の同調検波回路 ２８，６８，128 第２の同調検波回路 ２９，６９，129 コンパレータ ７０ レーザ ７１ 光検出器 ７２ 位置検出回路 131 同期信号発生回路 132 第１の移相器 133 第２の移相器 141 同期パルス分離回路 142 第３の移相器 143 第１の復調パルス発生回路 144 第４の移相器 145 第２の復調パルス発生回路 Ｊt トンネル電流 Ｖt トンネル電圧 ＢI 記録情報のみを示す記録ビット ＢIT 記録情報とトラッキング情報とが重畳された記
録ビット Ｔ トラッキング信号 ＳR 記録信号 ＳP 再生信号 Ｒ 基準信号 Ｘ，Ｙ，Ｚ 軸
録ビット Ｔ トラッキング信号 ＳR 記録信号 ＳP 再生信号 Ｒ 基準信号 Ｘ，Ｙ，Ｚ 軸
フロントページの続き (72)発明者 河田 春紀 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (12)
- 【請求項１】 非記録状態以外に１種類以上の状態変化
が形成可能な記録媒体に沿ってプローブを相対的に走査
させながら、記録情報にトラッキング情報を重畳させた
信号に応じたパルス電圧を該プローブと該記録媒体との
間に印加することにより、該記録媒体上に記録ビット列
を形成して、該記録媒体に前記記録情報および前記トラ
ッキング情報を記録し、 前記記録ビット列が形成された前記記録媒体に沿って前
記プローブを相対的に走査させながら、該プローブと該
記録媒体との間に流れるトンネル電流を検出し、 該検出したトンネル電流から前記トラッキング情報を再
生し、 該再生したトラッキング情報から前記プローブのトラッ
キング制御に必要なトラッキング制御情報を検出して、
該検出したトラッキング制御情報に応じて前記プローブ
の再生時の走査を制御する記録再生方法。 - 【請求項２】 前記記録情報と前記トラッキング情報と
を時分割で重畳させたことを特徴とする請求項１記載の
記録再生方法。 - 【請求項３】 前記記録媒体上の互いに隣接するトラッ
ク間で、前記トラッキング情報を異ならせたことを特徴
とする請求項１または請求項２記載の記録再生方法。 - 【請求項４】 非記録状態以外に１種類以上の状態変化
が形成可能な記録媒体に沿ってプローブを相対的に走査
させながら、記録情報にトラッキング情報を重畳させた
信号に応じたパルス電圧を該プローブと該記録媒体との
間に印加することにより、該記録媒体上に記録ビット列
を形成して、該記録媒体に前記記録情報および前記トラ
ッキング情報を記録し、 前記記録ビット列が形成された前記記録媒体に沿って前
記プローブを相対的に走査させながら、該プローブと該
記録媒体との間に働く力を力−変位変換により変位とし
て検出し、 該検出した変位から前記トラッキング情報を再生し、 該再生したトラッキング情報から前記プローブのトラッ
キング制御に必要なトラッキング制御情報を検出して、
該検出したトラッキング制御情報に応じて前記プローブ
の再生時の走査を制御する記録再生方法。 - 【請求項５】 前記記録情報と前記トラッキング情報と
を時分割で重畳させたことを特徴とする請求項４記載の
記録再生方法。 - 【請求項６】 前記記録媒体上の互いに隣接するトラッ
ク間で、前記トラッキング情報を異ならせたことを特徴
とする請求項４または請求項５記載の記録再生方法。 - 【請求項７】 プローブと、 該プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状態変化
が形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させるプロ
ーブ走査手段と、 記録情報にトラッキング情報を重畳させた信号に応じた
パルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との間に印加
することにより、該記録媒体上に記録ビット列を形成し
て、該記録媒体に前記記録情報および前記トラッキング
情報を記録する情報記録手段と、 前記プローブと前記記録媒体との間に流れるトンネル電
流を検出するトンネル電流検出手段と、 該トンネル電流検出手段で検出された前記トンネル電流
から前記記録媒体に記録された前記トラッキング情報を
再生し、該再生したトラッキング情報から前記プローブ
のトラッキング制御に必要なトラッキング制御情報を検
出するトラッキング制御情報検出手段と、 該トラッキング制御情報検出手段により検出された前記
トラッキング制御情報に応じて前記プローブ走査手段を
制御する走査制御手段とを含む記録再生装置。 - 【請求項８】 前記情報記録手段が、前記記録情報と前
記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号に応じ
たパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との間に印
加する請求項７記載の記録再生装置。 - 【請求項９】 前記記録媒体上の互いに隣接するトラッ
ク間で、前記トラッキング情報を異ならせた請求項７ま
たは請求項８記載の記録再生装置。 - 【請求項１０】 プローブと、 該プローブを、非記録状態以外に１種類以上の状態変化
が形成可能な記録媒体に沿って相対的に走査させるプロ
ーブ走査手段と、 記録情報にトラッキング情報を重畳させた信号に応じた
パルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との間に印加
することにより、該記録媒体上に記録ビット列を形成し
て、該記録媒体に前記記録情報および前記トラッキング
情報を記録する情報記録手段と、 前記プローブと前記記録媒体との間に働く力を力−変位
変換により変位として検出する変位検出手段と、 該変位検出手段で検出された前記変位から前記記録媒体
に記録された前記トラッキング情報を再生し、該再生し
たトラッキング情報から前記プローブのトラッキング制
御に必要なトラッキング制御情報を検出するトラッキン
グ制御情報検出手段と、 該トラッキング制御情報検出手段により検出された前記
トラッキング制御情報に応じて前記プローブ走査手段を
制御する走査制御手段とを含む記録再生装置。 - 【請求項１１】 前記情報記録手段が、前記記録情報と
前記トラッキング情報とを時分割で重畳させた信号に応
じたパルス電圧を前記プローブと前記記録媒体との間に
印加する請求項１０記載の記録再生装置。 - 【請求項１２】 前記記録媒体上の互いに隣接するトラ
ック間で、前記トラッキング情報を異ならせた請求項１
０または請求項１１記載の記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04343756A JP3121159B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 記録再生方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04343756A JP3121159B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 記録再生方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06195775A true JPH06195775A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3121159B2 JP3121159B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=18364001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04343756A Expired - Fee Related JP3121159B2 (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 記録再生方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3121159B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6303708B1 (en) | 1995-03-17 | 2001-10-16 | General Electric Company | Functional poly(phenylene ether)/poly(arylene sulfide)/epoxy function alpha olefin elastomer/elastomeric block copolymer/metal salt compositions and process for making thereof |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP04343756A patent/JP3121159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3121159B2 (ja) | 2000-12-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |