JPH06196543A - 試料の搬送装置 - Google Patents
試料の搬送装置Info
- Publication number
- JPH06196543A JPH06196543A JP34489192A JP34489192A JPH06196543A JP H06196543 A JPH06196543 A JP H06196543A JP 34489192 A JP34489192 A JP 34489192A JP 34489192 A JP34489192 A JP 34489192A JP H06196543 A JPH06196543 A JP H06196543A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の搬送過程による試料のずれ及び搬送装
置の振動に拘らず、試料を確実に所定位置に配置し得る
搬送装置を提供すること。 【構成】 搬送装置は、その上面外周部に三角柱状をし
た同寸の４本のピン1a,1b,1c,1d を備えており、ピン1
a,1b,1c,1d は試料Ｓを搬入するポケット30の外縁部か
ら載置台にわたって開口された穴30b,30b,30b,30b から
突出している。これらのピン1a,1b,1c,1d の上面は外側
の側面から中心方向へ斜面部2a,2b,2c,2dが削成され、
斜面部2a,2b,2c,2d の下端から中心方向へ平坦部3a,3b,
3c,3d が形成されており、また試料が搬送されて来る方
向に対向する２本のピン1b,1c の間は十分広くとられて
いる。そして搬送過程で生じたずれを試料Ｓが当接した
斜面部に沿って平坦部3a,3b,3c,3d に案内して解消し、
また水平方向の移動を斜面部2a,2b,2c,2d が拘束する。
置の振動に拘らず、試料を確実に所定位置に配置し得る
搬送装置を提供すること。 【構成】 搬送装置は、その上面外周部に三角柱状をし
た同寸の４本のピン1a,1b,1c,1d を備えており、ピン1
a,1b,1c,1d は試料Ｓを搬入するポケット30の外縁部か
ら載置台にわたって開口された穴30b,30b,30b,30b から
突出している。これらのピン1a,1b,1c,1d の上面は外側
の側面から中心方向へ斜面部2a,2b,2c,2dが削成され、
斜面部2a,2b,2c,2d の下端から中心方向へ平坦部3a,3b,
3c,3d が形成されており、また試料が搬送されて来る方
向に対向する２本のピン1b,1c の間は十分広くとられて
いる。そして搬送過程で生じたずれを試料Ｓが当接した
斜面部に沿って平坦部3a,3b,3c,3d に案内して解消し、
また水平方向の移動を斜面部2a,2b,2c,2d が拘束する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置において
ウェハ等の試料を搬送する装置に関する。
ウェハ等の試料を搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェハ等の平板状の試料を試料室に搬送
し、該試料室内で試料表面に薄膜を成長し、或いは試料
表面にエッチングを施して半導体装置を製造する半導体
製造装置には、試料の搬送系と試料室の載置台との間で
試料を授受するために、試料を上下に搬送する装置が載
置台に配設されている。
し、該試料室内で試料表面に薄膜を成長し、或いは試料
表面にエッチングを施して半導体装置を製造する半導体
製造装置には、試料の搬送系と試料室の載置台との間で
試料を授受するために、試料を上下に搬送する装置が載
置台に配設されている。
【０００３】図５はバッチ式半導体製造装置の平面断面
図であり、図中21は複数の円板状の試料Ｓを上下に積層
して収納したカセットである。カセット21は半導体製造
装置の外部台座40の端部に着脱可能に設置されおり、カ
セット21と減圧室であるロードロック室23との間には試
料Ｓを搬送するアウターアーム22が配設されている。ア
ウターアーム22はアームハウス22a の先端に表面が平面
状で先端がフック状のヘラ部22b を軸支して構成されて
おり、アウターアーム22は図示しない吸引装置よる吸引
により試料Ｓをヘラ部上に固定しつつ一端部から他端部
に回転して、試料Ｓをカセット21からロードロック室23
へ或いはロードロック室23からカセット21へ搬送する。
図であり、図中21は複数の円板状の試料Ｓを上下に積層
して収納したカセットである。カセット21は半導体製造
装置の外部台座40の端部に着脱可能に設置されおり、カ
セット21と減圧室であるロードロック室23との間には試
料Ｓを搬送するアウターアーム22が配設されている。ア
ウターアーム22はアームハウス22a の先端に表面が平面
状で先端がフック状のヘラ部22b を軸支して構成されて
おり、アウターアーム22は図示しない吸引装置よる吸引
により試料Ｓをヘラ部上に固定しつつ一端部から他端部
に回転して、試料Ｓをカセット21からロードロック室23
へ或いはロードロック室23からカセット21へ搬送する。
【０００４】アウターアーム22にてカセット21からロー
ドロック室23へ試料Ｓが全て搬送されると、ロードロッ
ク室23が密閉減圧される。ロードロック室23が所定圧力
まで減圧されると、該圧力に維持されているトランスフ
ァチャンバ25のインナゲート26及び試料室28の試料室ゲ
ート27が開き、アームハウス24a の先端に表面が平面状
で先端がＵ状のヘラ部24b を軸支して構成されたインナ
ーアーム24にて、前記アウターアーム22と同様にロード
ロック室23から試料室28へ試料Ｓが搬送される。
ドロック室23へ試料Ｓが全て搬送されると、ロードロッ
ク室23が密閉減圧される。ロードロック室23が所定圧力
まで減圧されると、該圧力に維持されているトランスフ
ァチャンバ25のインナゲート26及び試料室28の試料室ゲ
ート27が開き、アームハウス24a の先端に表面が平面状
で先端がＵ状のヘラ部24b を軸支して構成されたインナ
ーアーム24にて、前記アウターアーム22と同様にロード
ロック室23から試料室28へ試料Ｓが搬送される。
【０００５】図６は図５のバッチ式半導体製造装置の一
部破断部分斜視図である。試料室28には載置台29が回転
可能に配設されており、載置台29には試料Ｓを保持する
円形凹状のポケット30が、試料Ｓの直径より僅かに大き
い直径となるようにその周方向に複数形成されている。
そしてポケット30の底面の所定位置に裏面に達する４つ
の穴30a,30a,30a,30a が開口されている。一方前述の如
く前記試料室ゲート27に最も近い載置台29のポケット30
の下方には、上端に前記穴30a,30a,30a,30a を貫通し試
料Ｓを載置する支持棒である４本のピン11,11,11,11 を
備えた搬送装置５が配設されおり、搬送装置５が上昇し
て前記ポケット30の上方に搬送された試料Ｓをピン11,1
1,11,11 上に載置する。試料Ｓがピン11,11,11,11 上に
載置され、インナーアーム24が次の試料Ｓを搬送するめ
トランスファチャンバ25に戻ると、搬送装置５が下降し
て試料Ｓがポケット30内に搬入され、載置台29が回転す
る。そして全てのポケット30内に試料Ｓが搬入される
と、試料室ゲート27が閉じられて試料Ｓに処理が施され
る。
部破断部分斜視図である。試料室28には載置台29が回転
可能に配設されており、載置台29には試料Ｓを保持する
円形凹状のポケット30が、試料Ｓの直径より僅かに大き
い直径となるようにその周方向に複数形成されている。
そしてポケット30の底面の所定位置に裏面に達する４つ
の穴30a,30a,30a,30a が開口されている。一方前述の如
く前記試料室ゲート27に最も近い載置台29のポケット30
の下方には、上端に前記穴30a,30a,30a,30a を貫通し試
料Ｓを載置する支持棒である４本のピン11,11,11,11 を
備えた搬送装置５が配設されおり、搬送装置５が上昇し
て前記ポケット30の上方に搬送された試料Ｓをピン11,1
1,11,11 上に載置する。試料Ｓがピン11,11,11,11 上に
載置され、インナーアーム24が次の試料Ｓを搬送するめ
トランスファチャンバ25に戻ると、搬送装置５が下降し
て試料Ｓがポケット30内に搬入され、載置台29が回転す
る。そして全てのポケット30内に試料Ｓが搬入される
と、試料室ゲート27が閉じられて試料Ｓに処理が施され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来の搬送装置においては、試料は上面が平面で同寸の円
柱である４本のピンの上に載置されているだけであるの
で、試料が試料室まで搬送される間に生じる試料のずれ
及び搬送装置の下降の際に生じる微小な振動による試料
の中心軸とポケットの中心軸とのずれを解消することが
できない。そのためこのずれが大きい場合は試料を完全
にポケット内に搬入することができず、試料はポケット
の淵にその周縁部の一部を載せた状態となり、成膜処理
にあっては試料裏面への反応ガスの回り込みによる試料
表面の膜質低下、またエッチング処理にあっては所要の
形状が得られない等の問題があった。本発明はかかる事
情に鑑みてなされたもであって、その目的とするところ
は搬送過程による試料のずれ及び搬送装置の振動に拘ら
ず、試料を所定位置に確実に配置し得る搬送装置を提供
するにある。
来の搬送装置においては、試料は上面が平面で同寸の円
柱である４本のピンの上に載置されているだけであるの
で、試料が試料室まで搬送される間に生じる試料のずれ
及び搬送装置の下降の際に生じる微小な振動による試料
の中心軸とポケットの中心軸とのずれを解消することが
できない。そのためこのずれが大きい場合は試料を完全
にポケット内に搬入することができず、試料はポケット
の淵にその周縁部の一部を載せた状態となり、成膜処理
にあっては試料裏面への反応ガスの回り込みによる試料
表面の膜質低下、またエッチング処理にあっては所要の
形状が得られない等の問題があった。本発明はかかる事
情に鑑みてなされたもであって、その目的とするところ
は搬送過程による試料のずれ及び搬送装置の振動に拘ら
ず、試料を所定位置に確実に配置し得る搬送装置を提供
するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る試料の搬送
装置にあっては、その上端に突設した複数の支持棒の上
端に平板状の試料を載置して該試料を搬送する搬送装置
において、前記支持棒の先端は前記試料を載置する平坦
部と、載置された試料に面し該試料から遠ざかる方向
へ、前記平坦部から上方に傾斜する斜面部とを具備して
いることを特徴とする。
装置にあっては、その上端に突設した複数の支持棒の上
端に平板状の試料を載置して該試料を搬送する搬送装置
において、前記支持棒の先端は前記試料を載置する平坦
部と、載置された試料に面し該試料から遠ざかる方向
へ、前記平坦部から上方に傾斜する斜面部とを具備して
いることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の試料の搬送装置は、搬送過程にて試料
にずれが生じていない場合、試料を搬送装置の支持棒上
端の平坦部上に載置するが、試料にずれが生じている場
合、試料を前記平坦部に連接する斜面部に当接し、該試
料を斜面部に沿って平坦部上に案内してずれを解消し、
また前記斜面部が搬送装置の振動による試料の水平方向
の動きを拘束するため、平坦部上での試料の中心軸とポ
ケットの中心軸とのずれを最小限にする。
にずれが生じていない場合、試料を搬送装置の支持棒上
端の平坦部上に載置するが、試料にずれが生じている場
合、試料を前記平坦部に連接する斜面部に当接し、該試
料を斜面部に沿って平坦部上に案内してずれを解消し、
また前記斜面部が搬送装置の振動による試料の水平方向
の動きを拘束するため、平坦部上での試料の中心軸とポ
ケットの中心軸とのずれを最小限にする。
【０００９】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づい
て具体的に説明する。本発明装置は図５に示すバッチ式
半導体製造装置に用いられるものであり、図中28は試料
室である。試料室28に配設された載置台29には，ポケッ
ト30がその周方向に形成されており、試料室ゲート27に
最も近いポケット30の下方に本発明の搬送装置が配設さ
れている。
て具体的に説明する。本発明装置は図５に示すバッチ式
半導体製造装置に用いられるものであり、図中28は試料
室である。試料室28に配設された載置台29には，ポケッ
ト30がその周方向に形成されており、試料室ゲート27に
最も近いポケット30の下方に本発明の搬送装置が配設さ
れている。
【００１０】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の一例であ
る搬送装置の上端部を示す立面図及び平面図である。搬
送装置は、その上面外周部に三角柱状をした同寸の４本
のピン1a,1b,1c,1d を備えており、搬送装置の上面の中
心Ｏは試料を搬入するポケット30（図５参照）の中心と
一致するようになされている。そしてこれらのピン1a,1
b,1c,1d は三角形をなす底面の頂点Ｔがそれぞれ搬送装
置の上面の中心Ｏ方向となるようになされており、試料
が搬送されて来る試料室ゲート27（図５参照）に対向す
る２本のピン1b,1c の間はインナーアーム24に接触しな
いように十分広くとられている。
る搬送装置の上端部を示す立面図及び平面図である。搬
送装置は、その上面外周部に三角柱状をした同寸の４本
のピン1a,1b,1c,1d を備えており、搬送装置の上面の中
心Ｏは試料を搬入するポケット30（図５参照）の中心と
一致するようになされている。そしてこれらのピン1a,1
b,1c,1d は三角形をなす底面の頂点Ｔがそれぞれ搬送装
置の上面の中心Ｏ方向となるようになされており、試料
が搬送されて来る試料室ゲート27（図５参照）に対向す
る２本のピン1b,1c の間はインナーアーム24に接触しな
いように十分広くとられている。
【００１１】図２はピン1aの上端部の拡大図であり図中
（ａ）は斜視図，（ｂ）は平面図，（ｃ）は側面図であ
る。ピン1aの上面は、前記頂点Ｔを含む嶺Ｒに対向する
側面から嶺Ｒ方向へ斜面部2aが削成されており、この斜
面2aの下端から嶺Ｒにわたって水平な平坦部3aが形成さ
れている。なお平坦部3aの幅Ｗ3 は、搬送装置の上面の
中心から斜面部2aの下端までの距離が試料の半径より若
干大きくなるように、また斜面部2aの幅Ｗ2 は、試料の
搬送による試料の中心と前記ポケットの中心とのずれの
過去値より経験的に定める。
（ａ）は斜視図，（ｂ）は平面図，（ｃ）は側面図であ
る。ピン1aの上面は、前記頂点Ｔを含む嶺Ｒに対向する
側面から嶺Ｒ方向へ斜面部2aが削成されており、この斜
面2aの下端から嶺Ｒにわたって水平な平坦部3aが形成さ
れている。なお平坦部3aの幅Ｗ3 は、搬送装置の上面の
中心から斜面部2aの下端までの距離が試料の半径より若
干大きくなるように、また斜面部2aの幅Ｗ2 は、試料の
搬送による試料の中心と前記ポケットの中心とのずれの
過去値より経験的に定める。
【００１２】図３は本発明に係る搬送装置に試料を載置
した状態を示す斜視図であり、図中30は図５において載
置台29に形成されたポケットである。ポケット30の外縁
部から載置台にわたって開口された穴30b,30b,30b,30b
よりピン1a,1b,1c,1d が上昇し、試料Ｓをその平坦部3
a,3b,3c,3d 上に載置する。このときピン1a,1b,1c,1dの
上端に前述した如き斜面部2a,2b,2c,2d が形成されてい
るため、搬送過程におけるずれが生じている場合でも試
料Ｓは斜面部に当接し、その当接した斜面部に沿って平
坦部上に載置される。また平坦部3a,3b,3c,3d 上に載置
された試料Ｓは、搬送装置の下降による振動が発生して
も水平方向の動きは斜面部2a,2b,2c,2dによって拘束さ
れるため、試料Ｓはポケット30内に確実に搬入される。
した状態を示す斜視図であり、図中30は図５において載
置台29に形成されたポケットである。ポケット30の外縁
部から載置台にわたって開口された穴30b,30b,30b,30b
よりピン1a,1b,1c,1d が上昇し、試料Ｓをその平坦部3
a,3b,3c,3d 上に載置する。このときピン1a,1b,1c,1dの
上端に前述した如き斜面部2a,2b,2c,2d が形成されてい
るため、搬送過程におけるずれが生じている場合でも試
料Ｓは斜面部に当接し、その当接した斜面部に沿って平
坦部上に載置される。また平坦部3a,3b,3c,3d 上に載置
された試料Ｓは、搬送装置の下降による振動が発生して
も水平方向の動きは斜面部2a,2b,2c,2dによって拘束さ
れるため、試料Ｓはポケット30内に確実に搬入される。
【００１３】次に本発明装置及び従来装置により比較試
験を行った結果について説明する。図４は以下の寸法の
ピンを備えた本発明に係る昇降装置にて６インチのウェ
ハ（１５０．０±０．５ｍｍ）を直径１５４．０ｍｍの
ポケットに搬入したときのポケットの中心軸からウェハ
の中心軸までのずれを測定した結果を示すグラフであ
り、図中Ｋ線はウェハを完全にポケット内に搬入し得る
許容範囲である。 ピンの寸法： 幅 １０．０ｍｍ 斜面部の幅 ３．０ｍｍ 傾斜部の高さ １０．０ｍｍ 平坦部の幅 ６．０ｍｍ 中心から斜面部下端までの距離 ７６．０ｍｍ 図４から明らかな如く本発明装置では、前記中心軸のず
れは平均して小さく、また行った試験の全てにおいてウ
ェハを完全にポケット内に搬入することができた。
験を行った結果について説明する。図４は以下の寸法の
ピンを備えた本発明に係る昇降装置にて６インチのウェ
ハ（１５０．０±０．５ｍｍ）を直径１５４．０ｍｍの
ポケットに搬入したときのポケットの中心軸からウェハ
の中心軸までのずれを測定した結果を示すグラフであ
り、図中Ｋ線はウェハを完全にポケット内に搬入し得る
許容範囲である。 ピンの寸法： 幅 １０．０ｍｍ 斜面部の幅 ３．０ｍｍ 傾斜部の高さ １０．０ｍｍ 平坦部の幅 ６．０ｍｍ 中心から斜面部下端までの距離 ７６．０ｍｍ 図４から明らかな如く本発明装置では、前記中心軸のず
れは平均して小さく、また行った試験の全てにおいてウ
ェハを完全にポケット内に搬入することができた。
【００１４】図７は従来装置により前記ウェハを前記ポ
ケットに搬入したときのポケットの中心軸からウェハの
中心軸までのずれを測定した結果を示すグラフである。
図７より明らかな如く従来装置では、前記中心軸のずれ
は平均して大きく、かつ全試験の２０％はそのずれがＫ
線を越えたため、ウェハを完全にポケット内に搬入する
ことはできなかった。また図７より、従来のウェハのず
れが最大でも３ｍｍ程度であることから、本実施例にお
いては斜面部の幅を３ｍｍとして、中心からのずれが４
ｍｍ程度までであればウェハのずれを解消できるように
している。
ケットに搬入したときのポケットの中心軸からウェハの
中心軸までのずれを測定した結果を示すグラフである。
図７より明らかな如く従来装置では、前記中心軸のずれ
は平均して大きく、かつ全試験の２０％はそのずれがＫ
線を越えたため、ウェハを完全にポケット内に搬入する
ことはできなかった。また図７より、従来のウェハのず
れが最大でも３ｍｍ程度であることから、本実施例にお
いては斜面部の幅を３ｍｍとして、中心からのずれが４
ｍｍ程度までであればウェハのずれを解消できるように
している。
【００１５】なお本実施例において搬送装置のピンの形
状を平面視が三角形としたが、本発明はこれに限らず、
平面視が多角形或いは扇形等としてよいことはいうまで
もない。またピンの本数を４本としたが本発明はこれに
限らず、２本以上であればよい。ピンが２本の場合、斜
面部及び平坦部の周方向の面積を適切に広くすれば実質
的に本実施例と同様の作用を有する。
状を平面視が三角形としたが、本発明はこれに限らず、
平面視が多角形或いは扇形等としてよいことはいうまで
もない。またピンの本数を４本としたが本発明はこれに
限らず、２本以上であればよい。ピンが２本の場合、斜
面部及び平坦部の周方向の面積を適切に広くすれば実質
的に本実施例と同様の作用を有する。
【００１６】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明にあっては、試
料を確実にポケット内に搬入するこができるため、成膜
及びエッチング等の処理の再現性及び製品の歩留まりが
向上する等、本発明は優れた効果を奏する。
料を確実にポケット内に搬入するこができるため、成膜
及びエッチング等の処理の再現性及び製品の歩留まりが
向上する等、本発明は優れた効果を奏する。
【図１】本発明の一例である搬送装置の上端部を示す立
面図及び平面図である。
面図及び平面図である。
【図２】ピン上端部の拡大図である。
【図３】本発明に係る搬送装置に試料を載置した状態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図４】本発明に係る搬送装置にてウェハをポケットに
搬入したときのポケットの中心軸からウェハの中心軸ま
でのずれを測定した結果を示すグラフである。
搬入したときのポケットの中心軸からウェハの中心軸ま
でのずれを測定した結果を示すグラフである。
【図５】バッチ式半導体製造装置の平面断面図である。
【図６】図５のバッチ式半導体製造装置の一部破断部分
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来の搬送装置によりウェハをポケットに搬入
したときのポケットの中心軸からウェハの中心軸までの
ずれを測定した結果を示すグラフである。
したときのポケットの中心軸からウェハの中心軸までの
ずれを測定した結果を示すグラフである。
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ ピン ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 斜面部 ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ 平坦部 ５ 昇降装置 ３０ ポケット ３０b 穴 Ｓ 試料
Claims (1)
- 【請求項１】 その上端に突設した複数の支持棒の上端
に平板状の試料を載置して該試料を搬送する搬送装置に
おいて、 前記支持棒の先端は前記試料を載置する平坦部と、載置
された試料に面し該試料から遠ざかる方向へ、前記平坦
部から上方に傾斜する斜面部とを具備していることを特
徴とする試料の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34489192A JPH06196543A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 試料の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34489192A JPH06196543A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 試料の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196543A true JPH06196543A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18372798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34489192A Pending JPH06196543A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | 試料の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06196543A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002319613A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Topcon Corp | ウェーハ保持装置 |
| JP2012156418A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Lintec Corp | 板状部材の支持装置 |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP34489192A patent/JPH06196543A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002319613A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Topcon Corp | ウェーハ保持装置 |
| JP2012156418A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Lintec Corp | 板状部材の支持装置 |
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