JPH06196610A - サブパッケージおよびサブパッケージを用いた半導体装置の実装方法 - Google Patents

サブパッケージおよびサブパッケージを用いた半導体装置の実装方法

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JPH06196610A
JPH06196610A JP4343718A JP34371892A JPH06196610A JP H06196610 A JPH06196610 A JP H06196610A JP 4343718 A JP4343718 A JP 4343718A JP 34371892 A JP34371892 A JP 34371892A JP H06196610 A JPH06196610 A JP H06196610A
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lead
groove
semiconductor device
subpackage
package
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JP4343718A
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Takumi Matsuura
巧 松浦
Tetsuji Obara
哲治 小原
Hideyuki Hosoe
英之 細江
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Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
    • H05K3/301Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors by means of a mounting structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • HELECTRICITY
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    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
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    • HELECTRICITY
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  • Casings For Electric Apparatus (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面実装型半導体装置におけるリード変形に
よる実装不良の低減。 【構成】 実装において、半導体装置10にサブパッケ
ージ1を取り付けてリフローを行う。サブパッケージ1
は絶縁性のプラスチックによって形成された下部が開口
した矩形箱体となっている。矩形の枠部3の下端面には
アウターリード14の先端の実装端13上に溝底面が載
る溝4が設けられている。これにより、サブパッケージ
1の自重が各リード12(実装端13)に加わり、リー
ド先端は浮き上がることなく配線基板30上のランド3
1に半田25で固定される。また、前記溝4はテーパ状
の溝となり、リード12を溝底面に案内する構造となっ
ている。これにより、テーパによって曲がったリードを
修正しながら溝4に収容するため、実装歩留りが向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、サブパッケージおよび
サブパッケージを用いた半導体装置の実装方法、特に表
面実装型半導体装置の実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電子機器は、機能面から高密度実装化
が、実装面から軽量化,小型化,薄型化が要請されてい
る。このため、電子機器に組み込まれる電子部品の多く
は、表面実装が可能な構造に移行してきている。また、
電子部品の製造コストの低減のために、パッケージ形態
は材料が安くかつ生産性が良好な樹脂(レジン)による
レジンパッケージが多用されている。表面実装について
は、たとえば、日経BP社発行「日経エレクトロニク
ス」1990年3月19日号(495号)、P119〜
P136に記載されている。この文献には、多端子・狭
ピッチLSIのパッケージ形態として、プラスチックQ
FP (Quad Flat Package)やプラスチックSOP(Small
Outline Package) 等のプラスチック・フラット・パッ
ケージ、テープキャリアパッケージ(TCP:Tape Car
rier Package)としてのTAB(Tape Automated Bondi
ng)、テープキャリアパッケージ(TCP)としてのト
ランスファモールドによるモールドTABがあり、これ
らLSIパッケージにおけるアウターリードの狭ピッチ
化は、0.3mm〜0.2mmに移行しつつある旨記載
されている。また、この文献には、「アウターリードの
曲がりや、アウターリードの浮きによるプリント配線基
板へのアウターリードの接続不良を防ぐため、LSIメ
ーカーはアウターリードを切り離さずに出荷し、ユーザ
ーが搭載直前にアウターリードを成形し、直にマウント
する。」旨記載されている。
【0003】一方、工業調査会発行「電子材料」198
4年9月号、昭和59年9月1日発行、64頁には、一
般のフラット・パッケージにおける端子形状の種類とし
て、(a)J型リード(Rolled-under) 、(b)ガルウ
ィング (Gull-wing)、(c)バットリード (Butt-lea
d)、(d)ラットリード (Flat lead)がある旨記載され
ている。
【0004】一方、日本電気文化センター発行「NEC
技報」1987年9月号(第40巻)、昭和62年10
月5日発行、P96〜P99には、QFP実装システム
について記載されている。このシステムでは、画像認識
を用いて各部を認識し、QFPの全リード曲がりチェッ
ク,QFPの位置ズレ補正,基板の位置ズレ補正を行っ
てQFPの搭載を行う構成となっている。また、工業調
査会発行「電子材料」1991年4月号、平成3年4月
1日発行、P34〜P37には、0.5mmリードピッ
チ対応表面実装機が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記文献にも記載され
ているように、表面実装型半導体装置の多ピン化に伴
い、アウターリード寸法やリードピッチはより小さくな
る傾向にある。このため、アウターリードの変形による
リード間ショートやアウターリードの浮きによる断線不
良が発生し易い。また、実装後アウターリードが他のも
のと接触したりすると、リード先端が配線基板のランド
から剥離したり、あるいは曲がって隣のリードに接触す
る等の不良も発生する。
【0006】本発明の目的は、半導体装置の実装時、配
線基板のランドにリードを確実に接触させる働きをする
サブパッケージおよびこのサブパッケージを用いた実装
技術を提供することにある。
【0007】本発明の他の目的は、実装後の半導体装置
のリードを保護するサブパッケージを提供することにあ
る。本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面からあきらかになる
であろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。すなわち、本発明のサブパッケージ
は、表面実装型半導体装置のパッケージの周囲を囲む枠
部を有する下部が開口した箱体からなるとともに、前記
枠部の下端面には半導体装置のパッケージから突出する
各リードをそれぞれ案内する溝が設けられている。この
溝は溝底に向かって溝幅が徐々に狭まるテーパ状となる
とともに、前記溝底面がリード上面に載る構造となって
いる。また、このサブパッケージは絶縁性のプラスチッ
クによって形成されている。このようなサブパッケージ
を用いて行う表面実装型半導体装置の実装方法において
は、配線基板のランド上にリード(アウターリード)の
先端を重ねた半導体装置に対して、前記サブパッケージ
が被うように取り付けられる。この際、半導体装置の各
リードはサブパッケージの各溝内に入り、かつリードに
は溝底面が接触してサブパッケージの負荷(自重)が加
えられる。この結果、各リードはランドに押し付けられ
る。そして、この状態でリフローが行われ、前記ランド
および/またはリードにあらかじめ塗布してある接合材
(半田)を溶かしてリードをランドに接続する。
【0009】本発明の他の実施例では、サブパッケージ
の溝底面はリードには載らないように深くなっている。
そして、このサブパッケージは実装後の半導体装置を被
うように取り付けられてリードを保護するようになって
いる。
【0010】
【作用】上記した手段によれば、本発明のサブパッケー
ジは、表面実装型半導体装置のパッケージを被うように
して溝内にリードを案内し、かつ溝底面がリード上面に
載る構造となっていることから、半導体装置の実装時に
使用すれば、溝内にそれぞれ各リードを案内するととも
に、リードにサブパッケージの自重を加えるため、反り
返っているリードは配線基板のランドに確実に接触す
る。また、ある程度曲がっているリードも溝がテーパ状
となっていることから、サブパッケージがリードに対し
て下降動作する際、修正されて溝内に入りランド上に載
るように正しく位置決めされる。したがって、リードの
ランドに対する接続は確実に行われることになり、実装
歩留りが向上する。
【0011】本発明の他の実施例である溝底面がリード
上面に接触せず、リードおよびパッケージを保護するサ
ブパッケージの場合は、実装後の半導体装置に取り付け
ることによって、サブパッケージでリードを保護するこ
とから、リードに直接外力が加わり難くなり、リード曲
がりによる隣のリードとの接触によるショート不良やリ
ードがランドから剥離するリード剥離不良が発生しなく
なる。なお、リードに溝底面が接触する前記サブパッケ
ージも、実装後の半導体装置に取り付けてリードおよび
パッケージの保護が行える。
【0012】
【実施例】以下図面を参照して本発明の一実施例につい
て説明する。図1は本発明の一実施例によるサブパッケ
ージを用いて表面実装型半導体装置の実装を行う状態を
示す断面図、図2は同じくサブパッケージを半導体装置
に取り付けた状態を示す斜視図、図3は同じく実装時に
おけるランド,リードおよびサブパッケージの溝との位
置関係を示す一部の拡大断面図、図4は本発明の半導体
装置の実装方法における配線基板,半導体装置およびサ
ブパッケージの積層順序を示す断面図、図5は本発明に
よって実装された半導体装置を示す断面図である。
【0013】この実施例では、図1に示すように、パッ
ケージ11の周縁から突出するリード12がガルウィン
グ構造となる表面実装型の半導体装置10に対して使用
するサブパッケージ1について説明する。本発明のサブ
パッケージ1は、図1および図2に示すように、下面が
開口した偏平矩形箱構造となっている。このサブパッケ
ージ1は絶縁性材質、たとえばプラスチックで形成され
ている。サブパッケージ1は、図に示すように、矩形の
天井板部2と、この天井板部2の下面周縁に沿って突出
する矩形枠状の枠部3とからなっている。また、このサ
ブパッケージ1の枠部3の下端面には、このサブパッケ
ージ1が使用される対象である半導体装置10のリード
12に対応して溝4が設けられている。
【0014】前記サブパッケージ1は、半導体装置10
に取り付けた際、半導体装置10のパッケージ11を上
から被うとともに、前記各溝4内に半導体装置10の各
リード12におけるアウターリード14の先端の実装端
13を収容するような寸法に形成されている。また、前
記溝4の深さは、図3に示すように、リード12の厚さ
よりも小さくなり、配線基板30のランド31上にリー
ド12の平坦な実装端13が載った状態において、サブ
パッケージ1の枠部3の下端面が、配線基板30やラン
ド31に接触しないように構成されている。これは、前
記溝4内にリード12を収容した際、溝4の溝底面がリ
ード12上面に載るため、サブパッケージ1の自重(負
荷)をリード12に加え、リード12が浮くことなくラ
ンド31に接触させるためである。
【0015】また、前記溝4の溝幅はリード12の幅よ
りもわずかに広くなっているとともに、溝底に向かうに
つれて溝幅が徐々に狭くなるテーパ状となっている。こ
れは、パッケージ11の周縁から突出するリード12
(アウターリード14)が途中から曲がっていても、溝
4の最大幅以内にリード12が位置していれば、このテ
ーパ部分でリード12の曲がりを修正しながらリード1
2の先端の接続部13をランド31上に正しく位置させ
るような働きをさせるためである。
【0016】一方、図2に示すように、半導体装置10
は外観的には矩形のプラスチックからなるパッケージ1
1と、このパッケージ11の周縁から突出する複数のリ
ード12(アウターリード14)とからなっている。こ
の半導体装置10はアウターリード14の形状がガルウ
ィング構造となり、図4に示すように、アウターリード
14の先端は平坦な実装端13となっている。前記パッ
ケージ11の内部には、タブ15と呼称される支持板が
配設されているとともに、このタブ15上には半導体チ
ップ16が接合材17を介して接続されている。また、
この半導体チップ16の上面の図示しない電極と、パッ
ケージ11内に延在するリード12、すなわちインナー
リード19の内端部分は、導電性のワイヤ20を介して
電気的に接続されている。
【0017】つぎに、このようなサブパッケージ1を使
用して行う本発明の半導体装置の実装方法について説明
する。図4に示すように、配線基板30を用意した後、
配線基板30の上方から矢印の方向に半導体装置10を
降下させて配線基板30に半導体装置10を重ねるとと
もに、上方からサブパッケージ1を矢印の方向に降下さ
せてサブパッケージ1を半導体装置10に取り付ける。
半導体装置10は、アウターリード14の先端の実装端
13が、配線基板30のランド31上に載るように位置
決めされて重ねられる。また、サブパッケージ1は、図
2に示すように、半導体装置10の各アウターリード1
4の実装端13が溝4内に収容されるように重ねられ
る。このサブパッケージ1の取り付け時、アウターリー
ド14が曲がっていても、溝4の最大幅以内に位置して
いれば前記溝4のテーパ部分に案内されることから修正
され、図3に示すように、アウターリード14の実装端
13(リード12)の上面が確実に溝底に接触するよう
に収容される。また、実装端13(リード12)の上面
に溝4の溝底面が載るため、サブパッケージ1の自重
(負荷)がリード12に加わり、アウターリード14の
先端の実装端13(リード12)が浮くことなくランド
31に接触する(図1参照)。
【0018】つぎに、サブパッケージ1を取り付けた状
態でリフローを行い、特に図示はしてなかったが、前記
ランド31および/またはアウターリード14(実装端
13)にあらかじめ塗布してある半田(接合材)を溶か
し、図1に示すように、リード12の実装端13をラン
ド31に半田25で接続する。実装後、前記サブパッケ
ージ1を取り除けば、図5に示すように、半導体装置1
0の実装が完了する。なお、図1に示すように、実装後
もサブパッケージ1を半導体装置10に取り付けておけ
ば、アウターリード14の先端の実装端13を除く半導
体装置部分をサブパッケージ1が被うため、塵埃の付着
を防止できるとともに、リード12が外力によって損傷
することを防止できる。すなわち、リード12に直接外
力が加わり難くなり、リード曲がりによる隣のリードと
の接触によるショート不良やリード12がランド31か
ら剥離するリード剥離不良が発生しなくなる。
【0019】
【発明の効果】(1)本発明のサブパッケージにあって
は、半導体装置の実装時、配線基板上に位置決め載置さ
れた半導体装置に取り付けられた際、半導体装置のリー
ド先端の実装端を案内する構造となっていることから、
リードの実装端は確実にランド上に重なる。したがっ
て、この状態でリフローを行う本発明の半導体装置の製
造方法によれば、リードが隣のリードに接触するような
ショート不良を発生することなく半導体装置の実装が行
えるという効果が得られる。
【0020】(2)本発明のサブパッケージにあって
は、半導体装置の実装時、配線基板上に位置決め載置さ
れた半導体装置に取り付けられた際、半導体装置のリー
ド先端の実装端を案内するとともに、リード先端の実装
端を配線基板のランドに押し付ける。したがって、この
状態でリフローを行う本発明の半導体装置の製造方法に
よれば、リードがランドから剥離するようなリード剥離
不良を発生させることなく半導体装置の実装が行えると
いう効果が得られる。
【0021】(3)本発明のサブパッケージにあって
は、配線基板に実装された半導体装置に取り付ければ、
アウターリードの先端の実装端を除く半導体装置部分を
被うため、塵埃の付着を防止できるとともに、リードが
外力によって損傷することを防止することができるとい
う効果が得られる。すなわち、本発明のサブパッケージ
は、その使用によって、リード曲がりによるショート不
良やリード剥離不良の発生を抑止でき、実装の信頼性向
上を達成できるという効果が得られる。
【0022】(4)本発明のサブパッケージは、半導体
装置の実装後そのまま半導体装置に取り付けておいて
も、サブパッケージ全体が絶縁体で形成されていること
から、各リードは電気的独立が維持されることになり、
電気特性検査がそのまま行えるという効果が得られる。
【0023】(5)上記(1)〜(4)により、本発明
によれば、半導体装置の実装の歩留りを向上させること
ができるとともに、実装後の半導体装置のリード損傷を
防止できるサブパッケージを提供することができるとい
う相乗効果が得られる。
【0024】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない、たとえば、
前記実施例においては、サブパッケージをプラスチック
で形成したが、導電性の金属で形成しても、半導体装置
の電気特性検査を除く使用に対しては、特に支障を来す
ものではなく、前記実施例同様な効果が得られる。
【0025】図6は本発明の他の実施例によるサブパッ
ケージを示す斜視図である。この実施例のサブパッケー
ジ1は、矩形状の枠部3のみで構成される枠体となって
いる。そして、この枠部3の下端面には、半導体装置の
各リードに対応する溝4が設けられている。この構造の
サブパッケージ1は、半導体装置の実装時のリード案
内,リードへの負荷を加えることができ、前記実施例同
様にリードショート不良やリード剥離不良を起こすこと
なく実装が行える。また、このサブパッケージ1は半導
体装置のパッケージの汚れ防止はできないが、実装後の
リード保護が可能であり、リード損傷を防ぐことができ
る。
【0026】図7は本発明の他の実施例によるサブパッ
ケージの一部を示す断面図である。この図はサブパッケ
ージ1の一部と、配線基板30,ランド31,リード1
2が示されている。この実施例のサブパッケージ1にお
いては、枠部3の下端面に設ける溝4は、リード12の
厚さおよび配線基板30上のランド31の厚さの和以上
の深さとなっている。したがって、このサブパッケージ
1は、溝底面がリード12の上面に接触せず、単にリー
ド12をガイドする構造となり、半導体装置の実装後、
半導体装置に取り付けられて、パッケージおよびリード
を被う。したがって、パッケージやリードの汚染を防ぐ
カバーとして作用するとともに、リード損傷防止のカバ
ーの役割を果たす。
【0027】図8は本発明の他の実施例によるサブパッ
ケージの溝部分を示す斜視図である。この実施例のサブ
パッケージ1は、枠部3が厚くなり、アウターリード1
4の付け根まで延在するようになっている。そして、枠
部3の下端面に設けられる溝4においては、外側部分が
浅溝35となり、内側部分が深溝36となっている。前
記浅溝35の部分では、前記実施例同様にアウターリー
ド14の実装端13を規定通りに位置決めしかつサブパ
ッケージ1の自重を実装端13に加えるようになってい
る。また、深溝36の溝底はアウターリード14の付け
根部分が当たらないように深くなっている。また、この
深溝36においては、溝入口のテーパ部分の溝幅は前記
浅溝35に比較して幅広となり、サブパッケージ1が下
降した際、この幅広のテーパ部分にアウターリード14
の付け根部分が確実に入るように配慮されている。この
溝構造は、アウターリード14が外力によって横方向に
曲がっていても、パッケージ11から突出するアウター
リード14の付け根部分の相互の位置関係は、パッケー
ジ11によって規定されていることから、このアウター
リード14の付け根部分を最初に溝4内に入れ、サブパ
ッケージ1の下降によって深溝36のテーパ部分でアウ
ターリード14の曲がりを修正し、最終的に浅溝35で
アウターリード14の実装端13の位置決めを行うとの
考えに基づくものである。
【0028】したがって、サブパッケージ1を半導体装
置10に取り付ける際、サブパッケージ1を位置決めし
て降下させた場合、アウターリード14のパッケージ1
1から突出する付け根部分が溝4の深溝36に入る。深
溝36の溝入口部分は幅広となっていることから、確実
に溝4内にアウターリード14の付け根部分が捉えられ
る。そして、サブパッケージ1の降下に伴ってアウター
リード14の付け根部分は、テーパ部分を通って深溝3
6の奥の細溝部37に入るが、アウターリード14の付
け根部分が曲がっていた場合、深溝36のテーパ面でし
ごかれてアウターリード14の付け根部分は細溝部37
に向かって動く。また、前記細溝部37は、所定の長さ
(深さ)を有することから、アウターリード14はこの
細溝部37に強制されて延在することになり、アウター
リード14全体は曲がりが修正されて直立する。この結
果、サブパッケージ1のさらなる降下に伴って、アウタ
ーリード14の先端の実装端13は確実に溝4、すなわ
ち、浅溝35内に入り、サブパッケージ1の自重によっ
て加圧されることになる。この結果、この実施例のサブ
パッケージ1を用いて行う半導体装置の実装において
は、実装端13にはサブパッケージ1の自重が加わり、
実装端13は配線基板30のランド31に押し付けられ
ることになり、アウターリード14の先端の実装端13
はランド31上に正確に固定されることになる。なお、
図8において、図が不明瞭となることから、一部の断面
ではハッチングを省略してある。
【0029】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるガルウ
ィング構造の半導体装置の実装技術に適用した場合につ
いて説明したが、それに限定されるものではない。たと
えば、図9はバットリード構造の半導体装置10の実装
に本発明のサブパッケージ1を適用した例を示す断面図
である。また、図10はJ型リード構造の半導体装置1
0の実装に本発明のサブパッケージ1を適用した例を示
す断面図である。これらの実施例において、サブパッケ
ージ1の溝4の溝底面が、パッケージ11から突出する
リード12の付け根部分に載る構造となっている。これ
によって、半導体装置10の実装時、リード12にサブ
パッケージ1の自重を加えることによって、リード12
の先端部分をランド31に確実に接触させ、半田25に
よってリード12の先端部分をランド31に確実に接続
することができる。また、バットリードおよびJ型リー
ドの半導体装置に対しても、図7に示すような溝底面が
リード上面に接触しないカバー構造のサブパッケージを
使用することができる。また、本発明はTCP(Tape C
arrier Package)やモールドTCPの実装技術にも同様
に適用でき同様な効果が得られる。本発明は少なくとも
表面実装型の半導体装置の実装技術には適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるサブパッケージを用い
て表面実装型半導体装置の実装を行う状態を示す断面図
である。
【図2】本発明の一実施例によるサブパッケージを半導
体装置に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図3】本発明の一実施例によるサブパッケージを用い
る実装におけるランド,リードおよびサブパッケージの
溝との位置関係を示す一部の拡大断面図である。
【図4】本発明の半導体装置の実装方法における配線基
板,半導体装置およびサブパッケージの積層順序を示す
断面図である。
【図5】本発明によって実装された半導体装置を示す断
面図である。
【図6】本発明の他の実施例によるサブパッケージを示
す斜視図である。
【図7】本発明の他の実施例によるサブパッケージを用
いる実装におけるランド,リードおよびサブパッケージ
の溝との位置関係を示す一部の拡大断面図である。
【図8】本発明の他の実施例によるサブパッケージの溝
部分を示す斜視図である。
【図9】バットリード構造の半導体装置の実装に本発明
のサブパッケージを適用した例を示す断面図である。
【図10】J型リード構造の半導体装置の実装に本発明
のサブパッケージを適用した例を示す断面図である。
【符号の説明】
1…サブパッケージ、2…天井板部、3…枠部、4…
溝、10…半導体装置、11…パッケージ、12…リー
ド、13…実装端、14…アウターリード、15…タ
ブ、16…半導体チップ、17…接合材、19…インナ
ーリード、20…ワイヤ、25…半田、30…配線基
板、31…ランド、35…浅溝、36…深溝、37…細
溝部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小原 哲治 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日 立超エル・エス・アイ・エンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 細江 英之 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パッケージと、このパッケージの周囲か
    ら突出するリードとを有する半導体装置用のサブパッケ
    ージであって、前記パッケージの周囲を囲む枠部を有す
    る枠体または箱体からなり、かつ前記枠部の下端面には
    前記各リードをそれぞれ案内する溝が設けられているこ
    とを特徴とするサブパッケージ。
  2. 【請求項2】 前記溝は溝底に向かって溝幅が徐々に狭
    まるテーパ状となるとともに、前記溝底面がリード上面
    に載る構造となっていることを特徴とする請求項1記載
    のサブパッケージ。
  3. 【請求項3】 前記枠部は絶縁性材料で形成されている
    ことを特徴とする請求項1または請求項2記載のサブパ
    ッケージ。
  4. 【請求項4】 半導体装置のリードの先端を配線基板の
    ランド上に重ね、前記ランドおよび/またはリードにあ
    らかじめ塗布してある接合材を溶かしてリードをランド
    に接続する半導体装置の実装方法であって、前記半導体
    装置のリード先端を前記ランドに重ね合わせた後、前記
    半導体装置のパッケージの周囲を囲む枠部を有する枠体
    または箱体からなりかつ前記枠部の下端面に前記各リー
    ドをそれぞれ案内する溝を有するサブパッケージを前記
    半導体装置に位置決めして取り付けて前記溝底面で各リ
    ードに負荷を加え、その後前記接合材を溶かして前記リ
    ードをランドに固定することを特徴とする半導体装置の
    実装方法。
JP4343718A 1992-12-24 1992-12-24 サブパッケージおよびサブパッケージを用いた半導体装置の実装方法 Withdrawn JPH06196610A (ja)

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