JPH06198255A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 被洗浄物１が収納される洗浄容器２と、洗浄
容器内を真空とするための真空排気手段３と、洗浄液を
洗浄容器に循環供給するための循環供給手段４と、洗浄
容器内の雰囲気ガスを強制循環させるための循環ファン
２０を具備する。 【効果】 洗浄液を被洗浄物に吹き掛けることで優れた
洗浄効果が得られ、真空乾燥を行うことで短時間で乾燥
させることができる。洗浄液として灯油あるいは軟質油
から精製した炭化水素系の溶剤を用いれば、環境汚染の
懸念がなく取り扱いが容易で安価でもある。洗浄や液切
りの際に循環ファンを運転すれば洗浄効果をより高め液
切り時間を短縮できる。洗浄液を蒸留手段により清浄化
して仕上げ洗浄を行なうことでより高清浄度に洗浄でき
る。循環ファンは被洗浄物を予熱するための加熱源を兼
ねるものとすれば格別の加熱手段を設けずとも被洗浄物
を加熱することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば各種金属部品
を熱処理するに先立ってその表面に付着している切削油
等の汚れ成分を除去する場合に採用して好適な洗浄装置
および洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の洗浄を行う場合には、汚れの主
成分である炭化水素系の油脂を溶解させて除去するべ
く、たとえばトリクロールエチレン等の塩素化炭化水素
系の溶剤を用いることが従来一般的であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、上記
のような溶剤は環境汚染を引起こす懸念があるという指
摘があり、このため、そのような溶剤を取り扱ったり処
理するに際しては環境汚染防止の観点から種々の対策が
不可欠であって、設備費や運転費の増大を招いているば
かりか、そのような溶剤自体が使用できなくなる懸念も
生じてきている。

【０００４】本発明は上記事情に鑑み、環境を汚染する
恐れのある溶剤を用いずとも優れた洗浄効果が得られる
洗浄装置および洗浄方法を提供することを目的としてい
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の洗浄装置は、被
洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可能な洗
浄容器と、その洗浄容器内を真空とするための真空排気
手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給するとともに洗浄
容器から回収して再び供給する洗浄液の循環供給手段
と、洗浄容器内の雰囲気ガスを強制循環させるための循
環ファンとを具備したことを特徴とするものである。

【０００６】洗浄液としては灯油あるいは軟質油から精
製した炭化水素系の溶剤を用いることが良い。また、洗
浄容器内には循環供給手段により供給される洗浄液を被
洗浄物に対して吹き掛けるための洗浄ノズルを設けるこ
とが良い。さらに、循環ファンは、洗浄に先立って被洗
浄物を予熱するべく雰囲気ガスを循環させることでその
温度を高めるための加熱源を兼ねるものとすることが考
えられる。また、洗浄液を蒸留して清浄化するための蒸
留手段を前記循環供給手段に並列に備えることが考えら
れる。

【０００７】さらに、本発明の洗浄方法は、請求項１な
いし５のいずれかに記載の洗浄装置により洗浄を行なう
に際し、前記循環ファンを運転しつつ洗浄液を被洗浄物
に吹き掛けた後、前記循環ファンを運転しつつ被洗浄物
に付着している洗浄液を滴下させて液切りを行なうこと
を特徴とするものである。また、請求項５に記載の洗浄
装置により洗浄を行なうに際しては、前記循環供給手段
により洗浄液を循環供給することで予備洗浄を行なった
後、前記蒸留手段により清浄化した洗浄液を用いて仕上
げ洗浄を行なうことが良い。

【０００８】

【作用】本発明では、洗浄液を洗浄ノズルから被洗浄物
に吹き掛けることにより、被洗浄物に付着している汚れ
成分を洗い流したり溶解させて洗浄する。洗浄後には洗
浄容器内を真空とすることにより被洗浄物に付着してい
る残留洗浄液を速やかに蒸発させて真空乾燥させる。洗
浄液としては、油脂等の汚れ成分を溶解し得るとともに
環境を汚染する恐れのないもの、たとえば灯油や軟質油
から精製した炭化水素系の溶剤を用いる。

【０００９】また、循環ファンに供給した電気エネルギ
は、雰囲気ガスを循環させるための仕事に費やされた
後、最終的には雰囲気ガス自体の温度を高めるために費
やされるから、雰囲気ガスを循環させることのみで雰囲
気ガスの温度を上昇させることができることになり、し
たがって、その循環ファンを洗浄に先立って被洗浄物を
予熱するための加熱源を兼用させ得る。

【００１０】さらに、洗浄ノズルから洗浄液を被洗浄物
に対して吹き掛ける際には、循環ファンを駆動すること
により雰囲気ガス流によって洗浄液を被洗浄物の全体に
わたって吹き掛け、洗浄後における被洗浄物の液切りの
際にも循環ファンを駆動して雰囲気ガスを循環させ、そ
の雰囲気ガス流により液切りを促進させる。また、洗浄
液を蒸留手段により蒸留して清浄化し、それを仕上げ洗
浄に用いる。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例である洗浄装置の系
統図、図２はその洗浄装置における洗浄容器の断面図で
ある。本実施例の洗浄装置は、金属部品等を熱処理する
に先立ってその表面に付着している切屑や切削油等を洗
浄するためのものであり、被洗浄物１が収納される洗浄
容器２、洗浄容器２内を真空とするための真空排気手段
３、洗浄液を循環させて洗浄容器２に供給するための循
環供給手段４、洗浄液の一部を蒸留することによって洗
浄液中の汚れ成分を除去する清浄化処理を行うための蒸
留手段６とを主要構成要素とし、洗浄液としては切削油
を溶解させ得る灯油を用いるものとされている。

【００１２】洗浄容器２は横置き円筒状の真空容器であ
って、その内部に被洗浄物１がバスケット１１に収納さ
れて配置されるようになっている。また、この洗浄装置
では洗浄液として可燃性を有する灯油を用いることか
ら、後述する予熱工程および洗浄工程の際に洗浄液の万
一の発火を防ぐために、洗浄容器２内が窒素ガス等の不
活性ガスに置換されるようになっている。そして、この
洗浄容器２には、内部の雰囲気ガスを洗浄容器２内にお
いて強制循環させるとともに予熱のための加熱源を兼ね
る循環ファン２０が備えられている。

【００１３】その循環ファン２０は図２に示すようにラ
ジアルファン型式のもので、洗浄容器２の頂部に膨出す
る形態で設けられたケーシング２１内にインペラ２２が
配置され、そのインペラ２２を洗浄容器２の外部に設け
たファンモータ２３によって動力伝達機構２４を介して
回転させるように構成されている。符号２５はケーシン
グ２１の上面を貫通しているインペラ２２の回転軸、２
６はその回転軸２５を支持するとともに貫通部を真空シ
ールするための軸受ユニット、２７，２８は動力伝達機
構２４を構成しているプーリおよびＶベルトである。

【００１４】また、上記のケーシング２１の下部は、外
周側が吹き出しダクト２９ａとされ中心側が吸込みダク
ト２９ｂとされている二重構造のダクト部２９とされて
いる。このダクト部２９の下端部は洗浄容器２内に突出
しており、外周側の吹き出しダクト２９ａの下端部はベ
ルマウス状に形成され、中心側の吸込みダクト２９ｂの
下端部には吸込み口２９ｃが設けられている。さらに、
ケーシング２１内のインペラ２２の直下の位置には環状
のガイド板３０が設けられているとともに、その中心部
には短管状の吸込みダクト３１が接続され、その吸込み
ダクト３１と上記吸込みダクト２９ｂとの間にはバイパ
ス路３２となる間隙が確保されている。

【００１５】上記のように構成されている循環ファン２
０を作動させると、雰囲気ガスは図中の矢印で示すよう
にインペラ２２によってケーシング２１内からダクト部
２９の外周側の吹き出しダクト２９ａに吐出され、その
一部はそのまま吹き出しダクト２９ａを通って洗浄容器
２内に吹き出され、かつ、洗浄容器２に吹き出された雰
囲気ガスはダクト部２９の中心側の吸込み口２９ｃに吸
引されて吸込みダクト２９ｂを通ってケーシング２１内
に吸い込まれるが、インペラ２２により吐出された雰囲
気ガスの大部分は洗浄容器２に吹き出されることなくバ
イパス路３２を通って直ちにインペラ２２に再び吸込ま
れることになる。この場合、バイパスする雰囲気ガス
は、ガイド板３０、バイパス路３２、吸込みダクト３１
により形成されるバイパス経路を通過する際に所定の通
過抵抗を受けることになるが、その通過抵抗は、洗浄容
器２に吹き出されてそこから戻ってくる雰囲気ガスが受
ける通過抵抗よりは十分に小さくなるように設定されて
おり、かつ、それらの通風抵抗の比率を適宜設定するこ
とによって、バイパス路３２を通過させる雰囲気ガス量
と洗浄容器２に吹き出す雰囲気ガス量の比率が決定され
ることになる。

【００１６】以上で説明した循環ファン２０は、上記の
ようにして雰囲気ガスを洗浄容器２内において循環させ
るのみならず、被洗浄物１を洗浄に先立って予熱するべ
く雰囲気ガスを加熱するための加熱源を兼ねるものであ
る。すなわち、循環ファン２０のファンモータ２３に供
給される電気エネルギはこの循環ファン２０により機械
的なエネルギに変換されて雰囲気ガスを循環させるとい
う仕事に費やされるのであるが、そのエネルギはエネル
ギ保存則によりロス分を除いて最終的には熱エネルギに
変換されてしまい、雰囲気ガス自体の温度を上昇させる
ために費やされることになる。つまり、循環ファン２０
に所定の動力（電気エネルギ）を供給して雰囲気ガスを
洗浄容器２内において強制循環させることのみで、電気
ヒータのような格別な加熱装置を設けずとも雰囲気ガス
の温度を所定温度にまで上昇させることができるのであ
り、そのようにして加熱した雰囲気ガスによって被洗浄
物１を予熱することができるのである。

【００１７】そこで、本実施例においては、ファンモー
タ２３の容量を、洗浄容器２内における所要循環風量や
通過抵抗により決定される所要静圧により決定するので
はなく、雰囲気ガスを所要温度（たとえば４０〜６０℃
程度）にまで加熱するために必要なエネルギが得られる
ように決定している。そして、そのようにしてファンモ
ータ２３の容量を決定すると循環ファン２０の送風量が
過大になってしまうので、このため、循環ファン２０の
送風量のうちの余剰な分を洗浄容器２に送風することな
くバイパス路２３を通してバイパスさせてしまい、洗浄
容器２に吹き出す雰囲気ガスの流速を適度な値（たとえ
ば５ｍ／s程度）に抑制するようにしているのである。

【００１８】一方、前記真空排気手段３は洗浄後に洗浄
容器２内を真空とすることで真空乾燥を行うためのもの
で、真空ポンプ４１、凝縮器４２、真空弁４３および真
空排気管４４から構成されている。凝縮器４２は排気中
に含まれる洗浄液の蒸気を冷却することにより液化し、
液化した洗浄液を回収管４５を通して回収タンク５４
（後述）に回収するためのものである。符号４６は回収
管４５の途中に設けられた閉止弁である。なお、真空ポ
ンプ４１としては最も一般的な油回転ポンプを用いれば
良いが、要求される真空度によってはルーツポンプ等の
他の型式の真空ポンプを適宜採用すれば良い。

【００１９】また、前記循環供給手段４は、洗浄液を被
洗浄物１に吹き掛けるべく洗浄容器２内のワークゾーン
の周囲に設けられている洗浄ノズル５１、洗浄液を洗浄
ノズル５１に圧送するための供給ポンプ５３、洗浄容器
２の底部から回収した洗浄液を貯溜する回収タンク５
４、および循環経路を構成している供給管５６、回収管
５７、返送管５８と、それらの途中に設けられている閉
止弁５９、フィルター６０、閉止弁６１、閉止弁６２、
逆止弁６３からなる。さらに、回収タンク５４には、洗
浄液（灯油）の万一の発火を防止するべく窒素ガス供給
管６７を通して窒素ガスが導入されるようになってい
て、回収タンク５４内は所定圧力（大気圧程度）の窒素
ガスに置換されるようになっている。符号６８は減圧
弁、６９は安全弁である。

【００２０】さらに、前記蒸留手段６は上記循環供給手
段４に対して並列に設けられていて、回収タンク５４に
回収された洗浄液の一部を蒸留して上記洗浄ノズル５１
に供給するためのものである。この蒸留手段６は、回収
タンク５４から導かれた洗浄液を加熱して蒸発させるた
めの蒸留器７１、蒸留器７１で蒸発させた洗浄液の蒸気
を冷却して液化させるための凝縮器７２、液化した洗浄
液を溜める供給タンク５２からなる。供給タンク５２に
は窒素ガス供給管６７を通して窒素ガスが導入されるよ
うになっていて、洗浄ノズル５１に洗浄液を圧送すると
きは閉止弁５５を閉じて供給タンク５２内は所定圧力
（大気圧程度）の窒素ガスが充満するようになってい
る。符号７５は上記返送管５８の途中から分岐されてい
て洗浄液を回収タンク５４から蒸留器７１に導入するた
めの導入管、７６，７７はその途中に設けられている閉
止弁とニードル弁、７８は蒸留器７１と凝縮器７２を接
続している蒸気管、７９は供給タンク５２と供給ポンプ
５３を接続している返送管、８０はその途中の上記ポン
プ７４の入側に設けられている逆止弁、８１は供給ポン
プ５３の入側に設けられている閉止弁である。

【００２１】蒸留器７１には、その底部に洗浄液を加熱
して蒸発させるための加熱器８２と、蒸発残留物である
汚れ成分を排出するための排出管８３および排出弁８４
とが備えられている。また、本実施例における蒸留手段
６は、蒸留を低温で行うべく真空雰囲気下で蒸留および
液化を行うものとされ、そのための真空排気手段が凝縮
器７２に付設されている。この真空排気手段は真空ポン
プ９１、排気管９２、その途中に設けられた真空弁９３
からなり、上記導入管７５の途中の閉止弁７６から蒸留
器７１、蒸気管７８、凝縮器７２、液溜まり７３、返送
管７９の途中の逆止弁８０までの範囲をたとえば３０〜
６０Ｔｏｒｒ程度の真空に保持するようにされている。

【００２２】上記構成の洗浄装置による洗浄作業手順を
説明する。まず、被洗浄物１をバスケット１１に収納
し、そのバスケット１１を洗浄容器２内に収納したら、
真空排気手段３により洗浄容器２内を一旦真空とした
後、窒素ガスを大気圧になるまで導入して洗浄容器２内
を窒素ガスに置換する。また、各タンク５２，５４内も
ガス置換しておく。

【００２３】次に、洗浄効果を向上させるとともに真空
乾燥時間の短縮を目的として被洗浄物１の予熱を行う。
すなわち、上述したように循環ファン２０を作動させて
雰囲気ガス（本実施例においては窒素ガス）を洗浄容器
２内において強制循環させることにより、循環ファン２
０に供給した電気エネルギによって雰囲気ガスの温度を
上昇させ、その温度の上昇した雰囲気ガスを被洗浄物１
に吹き付けることで被洗浄物１を所定の予熱温度たとえ
ば６０℃程度にまで高めるのである。

【００２４】被洗浄物１が予熱温度に達したら洗浄工程
に移行するが、洗浄工程は予備洗浄と仕上げ洗浄の２工
程に分けて行なう。すなわち、供給ポンプ５３を運転し
て回収タンク５４に貯溜しておいた洗浄液を洗浄ノズル
５１に圧送して被洗浄物１に吹き掛け、被洗浄物１に付
着していた切屑の如き固形物を洗い落とすとともに、切
削油のような油脂分は洗浄液に溶解させてしまう。そし
て、被洗浄物１に吹き掛けた洗浄液を洗浄容器２の底部
から回収管５７を通して再び回収タンク５４に回収す
る。その際、洗浄液中の固形物はフィルタ６０により除
去されてしまう。また、この際、循環ファン２０は停止
させることなく連続的に運転しておいて洗浄容器２内に
雰囲気ガス流を形成しておくと良い。そうすることによ
り、洗浄ノズル５１から吹き出された洗浄液が雰囲気ガ
ス流にのって被洗浄物１の内部や裏側にまで入り込んで
いき、被洗浄物１の全体にわたって洗浄液を吹き掛ける
ことができる。

【００２５】洗浄液の吹き掛け時間は被洗浄物１の量や
汚れの程度を考慮して予め設定し、被洗浄物１が多量で
あったり、あるいはその形状が複雑であって汚れが落ち
にくいような場合には、吹き掛け時間を長く設定する。
以上の予備洗浄が終了したら、次いで仕上げ洗浄に移行
する。すなわち、閉止弁８１を開いて閉止弁６２を閉
じ、供給タンク５２内の洗浄液の全部または一部を被洗
浄物１に吹き掛ける。この仕上げ洗浄工程は、予備洗浄
工程に引続いて行なっても良いが、若干の時間をおいて
おＫなっても良い。

【００２６】洗浄工程が終了したら、所定の液切り時間
を確保した後、真空排気工程に移行する。すなわち、供
給ポンプ５３を停止するとともに閉止弁５９を閉じて洗
浄液の供給を停止し、被洗浄物１に付着している洗浄液
が滴下して回収タンク５４に回収されるまでその状態を
所定時間維持する。この際、循環ファン２０は停止させ
ずにそのまま運転しておくと、洗浄容器２内において循
環している雰囲気ガス流により被洗浄物１に付着してい
る洗浄液の滴下が促進され、液切りに要する時間を短縮
することができる。液切りが完了したら閉止弁６１を閉
じ、循環ファン２０を停止させ、続いて真空排気手段３
により洗浄容器２内から排気を行って洗浄容器２内を所
定の真空度とし、その状態を所定時間維持する。する
と、洗浄容器２内における洗浄液の蒸発温度は常圧下に
おける蒸発温度より大きく低下して、予熱されて高温と
なっている被洗浄物１に付着している残留洗浄液は速や
かに蒸発して排気され、被洗浄物１は短時間で乾燥して
しまう。この際、排気中に含まれる洗浄液の蒸気は凝縮
器４２により再液化させられ、回収管４５を通して回収
タンク５４に戻される。

【００２７】また、洗浄工程が終了したら上記の真空排
気工程と並行して蒸留工程を行なう。蒸留工程は被洗浄
物１を洗浄することで汚れた洗浄液の一部を蒸留して清
浄化するために行うもので、洗浄工程終了時に回収タン
ク５４に溜まっている洗浄液の一部を蒸留器７１に導
き、そこで加熱することにより洗浄液を蒸発させ、その
蒸気を凝縮器７２により再液化させて供給タンク５２に
溜め、十分に清浄化した洗浄液を適量供給タンク５２に
貯溜しておくものである。洗浄液中に含まれていた切削
油等の汚れ成分は蒸発残留物として蒸留器７１に残され
るから、これは排出弁８４を開いて排出し、適宜処理す
れば良い。なお、上述したように、蒸留工程を低温下で
行うべく蒸留器７１内や凝縮器７２内は真空ポンプ９１
によって真空に維持しておく。また、蒸留器７１内が真
空とされているので、回収タンク５４から蒸留器７１へ
の洗浄液の導入は閉止弁７６、ニードル弁７７を開くこ
とのみで真空吸引により行われる。

【００２８】ここで、蒸留するべき洗浄液の量、すなわ
ち洗浄工程終了時に回収タンク５４に溜まっている洗浄
液の量は、洗浄液の全体量、洗浄液中の汚れ成分（切削
油等）の許容濃度、被洗浄物１の汚れの程度、蒸留によ
って得られる洗浄液の清浄度、等を考慮して適宜設定す
るのであるが、たとえば洗浄液の全量の半分程度とする
と良い。つまり、洗浄工程終了時に洗浄液のほぼ半分程
度は回収タンク５４に残しておき、他の半分程度を蒸留
器７１に送る。そして、蒸留器７１により蒸留して十分
に清浄化したうえで供給タンク５２に戻す。予備洗浄に
使用する回収タンク５４内の洗浄液は毎工程完了時に蒸
留した液と混合する。このため、洗浄液全体が洗浄前の
当初の清浄度に戻る。すなわち、予備洗浄後の清浄度は
常に許容範囲の一定濃度に自動的に保たれる。

【００２９】以上で説明したように、上記の洗浄装置で
は、洗浄液として灯油を用いるので、汚れの主成分であ
る切削油等の油脂分を溶解させ得て優れた洗浄効果が得
られることはもとより、灯油は環境汚染の懸念がないの
で格別な環境汚染防止対策が不要であり、しかも、取り
扱いが容易で安価でもあるから、特殊な溶剤を用いて洗
浄を行う従来の場合に比して設備費や運転費の点で格段
に有利である。このことは、灯油のみならず、たとえば
軽油や、軟質油から精製した炭化水素系の溶剤を用いる
場合にも同様である。

【００３０】そして、特に上記の装置では、雰囲気ガス
を強制循環させるための循環ファン２０を有しているの
で、その循環ファン２０を運転しながら洗浄を行うこと
により、洗浄ノズル５１から吹き出した洗浄液を雰囲気
ガス流により被洗浄物１の全体にわたって吹き掛けるこ
とができるので優れた洗浄効果が得られるとともに、循
環ファン２０を運転しながら液切りを行うことにより液
切り時間を短縮することもできるという利点がある。ま
た、洗浄液を蒸留器７１により蒸留して清浄化し、その
洗浄液を用いて仕上げ洗浄を行なうようにしているの
で、十分に高清浄度にまで洗浄することができる。さら
に、循環ファン２０を被洗浄物１を予熱するための加熱
源として利用するようにしているので、電気ヒータ等の
格別の加熱手段を設けずとも雰囲気ガスおよび被洗浄物
１を効率的に予熱することができるとともに構造の簡略
化が実現されている。

【００３１】なお、上記実施例では、洗浄容器２内を窒
素ガス等の不活性ガスに置換するようにしたのでその不
活性ガスを雰囲気ガスとして循環させるようにしたが、
空気雰囲気のままで洗浄を行う場合は、洗浄容器２内の
空気を雰囲気ガスとしてそれを循環させれば良い。ま
た、循環ファン２０の型式、その設置位置や設置台数、
洗浄容器２内に形成する雰囲気ガス流の向き等は上記実
施例に限定されることなく適宜変更して良く、たとえ
ば、循環ファン２０を洗浄容器２の側部に横向きに設け
て雰囲気ガスを横向きに吹き出すようにしたり、循環フ
ァン２０を洗浄容器２の底部に上向きに設けて雰囲気ガ
スを上方に吹き出すようにしたり、あるいは、循環ファ
ン２０を洗浄容器２から離れた位置に設けてそれらをダ
クトにより接続するようにしても良い。さらに、洗浄容
器２内に雰囲気ガスの風向きを調節するための風向板を
設けておいて、たとえば洗浄工程の際と液切り工程の際
とでは雰囲気ガス流の向きを変更するようにしたり、被
洗浄物１の形状や寸法、量に応じて雰囲気ガス流の向き
を変更するようにしても良い。

【００３２】さらに、上記実施例では、循環ファン２０
を予熱のための加熱源を兼ねるものとしたためにその送
風量が過大となってしまい、したがって、送風量の一部
をバイパスさせるためのバイパス路３２を確保したので
あるが、予熱容量や循環風量によってはバイパス路３２
を省略して全送風量を洗浄容器２に吹き出すようにする
ことも可能である。また、循環ファン２０は予熱のため
の加熱源を兼ねるものとしたが、電気ヒータ等の他の加
熱源を予熱源として別途に併用するように構成しても良
い。

【００３３】

【発明の効果】以上で説明したように、本発明によれ
ば、被洗浄物が収納されるとともに内部を真空に保持可
能な洗浄容器と、その洗浄容器内を真空とするための真
空排気手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給するととも
に洗浄容器から回収して再び供給する洗浄液の循環供給
手段と、洗浄容器内の雰囲気ガスを強制循環させるため
の循環ファンとを具備したので、洗浄液を被洗浄物に吹
き掛けて洗浄を行うことで優れた洗浄効果が得られるこ
とはもとより、洗浄後には真空乾燥を行うことで短時間
で乾燥させることができるから効率的な洗浄を行い得る
という利点がある。そして、洗浄液として灯油あるいは
軟質油から精製した炭化水素系の溶剤を用いれば、環境
汚染の懸念がないので格別な環境汚染防止対策が不要で
あり、しかも、取り扱いが容易で安価でもあるから、特
殊な溶剤を用いて洗浄を行う従来の場合に比して設備費
や運転費の点で格段に有利となる。また、洗浄容器内に
洗浄液の洗浄ノズルを設けておき、その洗浄ノズルから
洗浄液を被洗浄物に対して吹き掛けつつ循環ファンを運
転して洗浄を行うようにすれば、洗浄液を被洗浄物の全
体に吹き掛けることができて洗浄効果をより一層高める
ことができる。また、循環ファンを運転しつつ液切りを
行うようにすれば、被洗浄物に付着している洗浄液が雰
囲気ガス流により吹飛ばされるので液切り時間を短縮さ
せることができる。また、蒸留手段により洗浄液を清浄
化してそれを仕上げ洗浄に用いれば、より高清浄度にま
で洗浄することができる。さらに、循環ファンを被洗浄
物を予熱するための加熱源を兼ねるものとすれば、格別
の加熱手段を設けずとも雰囲気ガスおよび被洗浄物を効
率的に加熱することができる、という利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である洗浄装置の系統図であ
る。

【図２】同装置における洗浄容器および循環ファンの断
面図である。

【符号の説明】

１ 被洗浄物 ２ 洗浄容器 ３ 真空排気手段 ４ 循環供給手段 ６ 蒸留手段 ２０ 循環ファン ５１ 洗浄ノズル。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物が収納されるとともに内部を真
   空に保持可能な洗浄容器と、その洗浄容器内を真空とす
   るための真空排気手段と、洗浄液を前記洗浄容器に供給
   するとともに洗浄容器から回収して再び供給する洗浄液
   の循環供給手段と、洗浄容器内の雰囲気ガスを強制循環
   させるための循環ファンとを具備してなることを特徴と
   する洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記洗浄液として灯油あるいは軟質油か
   ら精製した炭化水素系の溶剤を用いることを特徴とする
   請求項１に記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄容器内には、前記循環供給手段
   により供給される洗浄液を被洗浄物に対して吹き掛ける
   ための洗浄ノズルが設けられていることを特徴とする請
   求項１または２に記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記循環ファンは、洗浄に先立って被洗
   浄物を予熱するべく雰囲気ガスを循環させることでその
   温度を高めるための加熱源を兼ねるものとされているこ
   とを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の洗
   浄装置。
5. 【請求項５】 洗浄液を蒸留して清浄化するための蒸留
   手段が前記循環供給手段に並列に備えられていることを
   特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載に洗浄装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の洗
   浄装置により洗浄を行なう方法であって、前記循環ファ
   ンを運転しつつ洗浄液を被洗浄物に吹き掛けた後、前記
   循環ファンを運転しつつ被洗浄物に付着している洗浄液
   を滴下させて液切りを行なうことを特徴とする洗浄方
   法。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の洗浄装置により洗浄を
   行なう方法であって、前記循環供給手段により洗浄液を
   循環供給することで予備洗浄を行なった後、前記蒸留手
   段により清浄化した洗浄液を用いて仕上げ洗浄を行なう
   ことを特徴とする洗浄方法。