JPH0620032A - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はパターン検査装置の改善に関し、重
み辞書パターンに係わり重み係数を一律に固定すること
なく、選択された類似辞書パターン毎にその重み係数を
算出して、それを総不一致量に反映させることにより、
高精度かつ高信頼度のパターン検査をすることを目的と
する。 【構成】 被検査対象１４の画像を取得して画像取得デ
ータＤINを出力する画像取得手段１１と、被検査対象１
４の判定基準となる辞書データＤｒ，重み辞書データＤ
Pt及び重み係数Ｋを出力する辞書情報供給手段１２と、
辞書データＤｒ，重み辞書データＤPtと被検査対象１４
の被検査領域に係る画像取得データＤINとの比較判定を
する比較判定手段１３とを具備し、辞書情報供給手段１
２に重み係数演算手段12Ａが設けられ、該演算手段12Ａ
が類似した辞書パターンＰR1，ＰR2間に係る重みパター
ン数Ｎと、その一致，不一致を判定する判定基準値Ｓと
に基づいて重み係数Ｋ＝Ｓ／Ｎを演算することを含み構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】〔目次〕 産業上の利用分野 従来の技術（図７） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１，２） 作用 実施例（図３〜６） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、パターン検査装置及び
パターン検査方法に関するものであり、更に詳しく言え
ば、辞書パターンに基づいて被検査対象のパターンマッ
チング処理をする装置及び方法に関するものである。

【０００３】近年、半導体集積回路装置やキーボード等
の実装検査時に、被検査パターンと辞書パターンとを比
較して双方の相違点を認識するパターン検査装置が使用
されている。

【０００４】これによれば、太辞書パターン，細辞書パ
ターンの他に、重み係数を一定値に固定した重み辞書パ
ターンが用いられ、また、そのパターンマッチング処理
の際に、重み係数を一定に固定した重み辞書パターンと
被検査パターンとが比較される。

【０００５】このため、被検査パターンの中に互いに類
似する被認識対象を含むパターンを識別する場合であっ
て、その辞書パターンが類似する場合に、そのパターン
マッチング処理の際に誤判定を招くことがある。

【０００６】そこで、重み辞書パターンに係わり重み係
数を一律に固定することなく、選択された類似辞書パタ
ーン毎にその重み係数を算出して、それを総不一致量に
反映させることにより、高精度かつ高信頼度のパターン
検査をすることができる装置及び方法が望まれている。

【０００７】

【従来の技術】図７は、従来例に係るパターン検査装置
の構成図を示している。例えば、被検査対象１４のパタ
ーン検査をする装置は、図７において、画像処理システ
ム１，辞書パターン供給システム２及びパターン比較判
定回路３から成る。なお、辞書パターン供給システム２
は、辞書メモリ回路２Ａ，類似辞書選択回路２Ｂ，第
１，第２の選択辞書メモリ回路２Ｃ，２Ｄ，辞書パター
ンマッチング回路２Ｅ及び辞書変換回路２Ｆから成る。

【０００８】当該装置の機能は、画像処理システム１に
より被検査対象１４の画像が取得されると、その検査領
域に係る画像データＤINがパターン比較判定回路３に出
力される。また、辞書データＤｒやその重み辞書データ
Ｄｔが辞書パターン供給システム２からパターン比較判
定回路３に出力される。これにより、パターン比較判定
回路３では、被検査対象１４の検査領域に係る画像デー
タＤINと、辞書データＤｒや重み辞書データＤｔとが比
較され、その比較結果データＤOUT が出力される。

【０００９】なお、辞書パターンに係る辞書データＤｒ
は辞書メモリ回路２Ａから読み出され、その重み辞書パ
ターンに係る重み辞書データＤｔが辞書変換回路２Ｆか
ら辞書メモリ回路２Ａに転送される。

【００１０】すなわち、辞書メモリ回路２Ａから類似辞
書選択回路２Ｂを介して類似した辞書データＤr1やＤr2
が選択されると、その一方の辞書データＤr1が第１の選
択辞書メモリ回路２Ｃに一時記憶され、その他方の辞書
データＤr2が第２の選択辞書メモリ回路２Ｄに一時記憶
される。

【００１１】また、辞書パターンマッチング回路２Ｅで
は類似する辞書データＤr1，Ｄr2に基づいて両辞書パタ
ーン間の不一致数Ｎが検出され、それが辞書変換回路２
Ｆに出力される。これにより、辞書変換回路２Ｆでは不
一致数Ｎが重み辞書パターンに係る重みデータＤｔに変
換され、該データＤｔが辞書メモリ回路２Ａに出力され
る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例によ
れば類似した辞書データＤr1やＤr2に基づいて抽出され
た重み辞書パターンの重み係数Ｋが一定値に固定され、
また、パターン比較判定回路３では、被検査対象１４の
検査領域に係る画像データＤINと、辞書データＤｒや重
み係数Ｋを一定に固定した重み辞書データＤｔとが比較
される。

【００１３】このため、被検査パターンの中に互いに類
似する被認識対象を含むパターンを識別する場合であっ
て、その辞書パターンが類似する場合に、パターン比較
判定回路３において誤判定を招く恐れがある。

【００１４】すなわち、被検査パターンの中に、互いに
類似する被認識対象，例えば、ローマ字の「Ｏ」と
「Ｃ」，「Ｅ」と「Ｆ」，「Ｉ」と「Ｌ」等を含むパタ
ーンを識別する場合であって、辞書パターンと被検査パ
ターンとをマッチング処理した場合には、その太辞書パ
ターンや細辞書パターン等との不一致量が小さくても、
重み辞書パターンの不一致量が大きくなることから、総
不一致量ｕが大きくなる。

【００１５】これにより、パターン比較判定回路３によ
り、判定レベルＳと総不一致量ｕが比較され、その結
果，ｕ＞Ｓとなり、当該被検査パターンの「Ｏ」と
「Ｃ」，「Ｅ」と「Ｆ」，「Ｉ」と「Ｌ」等の「不一
致」を正確に判定することができる。

【００１６】しかし、被検査パターンの中に、互いに類
似する被認識対象，例えば、単位記号「Å」やローマ字
の「Ａ」を含む相違点の識別が困難なパターン検査をす
る場合には、そのマッチング処理に基づく太辞書パター
ン，細辞書パターンや重み辞書パターンの不一致量が共
に小さくなることから、総不一致量ｕが小さくなり、誤
判定の原因となる。

【００１７】例えば、パターン比較判定回路３におい
て、判定レベルＳと総不一致量ｕとを比較した結果，ｕ
≦Ｓとなることから、本来，被検査パターンに係る単位
記号「Å」がローマ字の「Ａ」と異なるにも係わらず、
当該被検査パターンの単位記号「Å」やローマ字の
「Ａ」を「一致」と誤って判定をすることがある。

【００１８】これにより、精度良いパターン検査の妨げ
となったり、パターン検査の信頼性の低下を招くという
問題がある。本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創
作されたものであり、重み辞書パターンに係わり重み係
数を一律に固定することなく、選択された類似辞書パタ
ーン毎にその重み係数を算出して、それを総不一致量に
反映させることにより、高精度かつ高信頼度のパターン
検査をすることが可能となるパターン検査装置及びパタ
ーン検査方法の提供を目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】図１は、本発明に係るパ
ターン検査装置の原理図であり、図２は本発明に係るパ
ターン検査方法の原理図をそれぞれ示している。

【００２０】本発明のパターン検査装置は、図１に示す
ように、被検査対象１４の画像を取得して画像取得デー
タＤINを出力する画像取得手段１１と、前記被検査対象
１４の判定基準となる辞書データＤｒ，重み辞書データ
ＤPt及び重み係数Ｋを出力する辞書情報供給手段１２
と、前記辞書データＤｒ，重み辞書データＤPtと被検査
対象１４の被検査領域に係る画像取得データＤINとの比
較判定をする比較判定手段１３とを具備し、前記辞書情
報供給手段１２に重み係数Ｋを算出する重み係数演算手
段12Ａが設けられることを特徴とする。

【００２１】なお、本発明のパターン検査装置におい
て、前記重み係数演算手段12Ａが類似した辞書パターン
ＰR1，ＰR2間の不一致を示す重みパターン数Ｎと、前記
類似した辞書パターンＰR1，ＰR2の一致，不一致を判定
する判定基準値Ｓとに基づいて重み係数Ｋ＝Ｓ／Ｎを演
算することを特徴とする。

【００２２】また、本発明のパターン検査方法は、図２
の処理フローチャートに示すように、まず、ステップＰ
１で被検査対象１４の判定基準となる類似した辞書パタ
ーンＰR1，ＰR2の選択処理をし、次いで、ステップＰ２
で前記類似した辞書パターンＰR1，ＰR2から重み辞書パ
ターンＰｔの抽出処理をし、さらに、ステップＰ３で前
記重み辞書パターンＰｔ毎に重み係数Ｋの算出処理を
し、その後、ステップＰ４で前記類似した辞書パターン
ＰR1，ＰR2，重み辞書パターンＰｔ及び重み係数Ｋに基
づいて前記被検査対象１４のパターンマッチング処理を
することを特徴とし、上記目的を達成する。

【００２３】

【作 用】本発明のパターン検査装置によれば、図１に
示すように画像取得手段１１，辞書情報供給手段１２及
び比較判定手段１３が具備され、該辞書情報供給手段１
２に重み係数Ｋを算出する重み係数演算手段12Ａが設け
られる。

【００２４】例えば、被検査対象１４のパターン検査に
係わり、重み係数演算手段12Ａにより、類似した辞書パ
ターンＰR1，ＰR2間の不一致を示す重みパターン数Ｎ
と、両辞書パターンＰR1，ＰR2の一致，不一致を判定す
る判定基準値Ｓとに基づいて重み係数Ｋ＝Ｓ／Ｎが演算
される。

【００２５】このため、被検査対象１４の画像が画像取
得手段１１により取得され、その検査領域に係る画像取
得データＤINが比較判定手段１３に出力されると、その
判定基準となる辞書データＤｒ，重み辞書データＤPt及
び重み係数Ｋが辞書情報供給手段１２から当該判定手段
１３に出力される。

【００２６】また、比較判定手段１３では辞書データＤ
ｒ，重み辞書データＤPtと被検査対象１４の被検査領域
に係る画像取得データＤINとが比較判定される。この際
に、重み辞書パターンＰｔに係る不一致量ｔを重み係数
Ｋにより補正することが可能となる。

【００２７】これにより、重み辞書パターンに係わり重
み係数Ｋを従来例のように一律に固定することなく、類
似辞書パターン毎に算出された重み係数Ｋを総不一致量
ｕに反映させることにより、当該被検査パターンに合致
した高精度かつ高信頼度のパターン検査をすることが可
能となる。

【００２８】また、本発明のパターン検査方法によれ
ば、図２の処理フローチャートに示すように、ステップ
Ｐ１で被検査対象１４の判定基準となる類似した辞書パ
ターンＰR1，ＰR2が選択されると、ステップＰ２で両辞
書パターンＰR1，ＰR2から重み辞書パターンＰｔが抽出
され、その後、ステップＰ３で重み辞書パターンＰｔ毎
に重み係数Ｋの算出処理をしている。

【００２９】このため、被検査パターンの中に互いに類
似する被認識対象を含むパターンを識別する場合であっ
て、その辞書パターンが類似する場合にも、ステップＰ
４で類似した辞書パターンＰR1，ＰR2，重み辞書パター
ンＰｔ及び重み係数Ｋに基づいて被検査対象１４を精度
良く比較判定処理を行うことが可能となる。

【００３０】これにより、比較判定手段１３において従
来例のような誤判定を極力低減することが可能となる。
このことで、パターンマッチング処理をするパターン検
査装置の信頼性の向上を図ることが可能となる。

【００３１】

【実施例】次に、図を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明をする。図３〜６は、本発明の実施例に係るパ
ターン検査装置及びパターン検査方法を説明する図であ
り、図３は、本発明の実施例に係るパターン検査装置の
構成図を示している。

【００３２】例えば、半導体集積回路装置やキーボード
の実装検査等に適用可能なパターン検査装置は、図３に
おいて、画像取得システム２１，辞書情報供給システム
２２及びパターン比較判定回路２３から成る。

【００３３】すなわち、画像取得システム２１は画像取
得手段１１の一実施例であり、被検査対象１４の画像を
取得して画像取得データＤINを出力するものである。例
えば、画像取得システム２１は撮像系21Ａ，Ａ／Ｄ変換
回路21Ｂ，フレーメモリ回路21Ｃ及び２値化変換回路21
Ｄから成る。

【００３４】撮像系21Ａは被検査対象１４の一例となる
半導体集積回路装置やキーボード等の画像を取得して画
像取得信号ＳｇをＡ／Ｄ変換回路21Ｂに出力するもので
ある。Ａ／Ｄ変換回路21Ｂはその画像取得信号Ｓｇをア
ナログ／デジタル変換をした画像データＤINをフレーム
メモリ回路21Ｃに出力するものである。フレーメモリ回
路21Ｃはそれを一時格納するものであり、２値化変換回
路21Ｄは画像データＤINの中の被検査領域に係る画素デ
ータ（以下被検査データｄinともいう）ａを閾値レベル
Ｌに基づいて「０」又は「１」の二値化データｂに変換
をするものである。例えば、ａ＜Ｌであればｂ＝０とな
り、またａ≧Ｌであれば、ｂ＝１となる。

【００３５】辞書情報供給システム２２は辞書情報供給
手段１２の一実施例であり、被検査対象１４の判定基準
となる辞書データＤｒ，重み辞書データＤPt及び重み係
数Ｋを出力するものである。例えば、辞書情報供給シス
テム２２は辞書メモリ回路22Ａ，類似辞書選択回路22
Ｂ，第１，第２の選択辞書メモリ回路22Ｃ，22Ｄ，辞書
パターンマッチング回路22Ｅ，辞書変換回路22Ｆ及び重
み係数計算回路22Ｇから成る。

【００３６】辞書メモリ回路22Ａは被検査対象１４の判
定基準となる太辞書パターン，細辞書パターン等の辞書
データＤｒや、その一致・不一致を判定する判定レベル
Ｓ，辞書のサイズ／面積等のデータを格納するものであ
る。

【００３７】類似辞書選択回路22Ｂは、辞書パターンの
中から互いに類似する辞書パターンＰR1，ＰR2に係る類
似辞書データＤr1，Ｄr2を選択して、それを第１，第２
の選択辞書メモリ回路22Ｃ，22Ｄに転送するものであ
る。第１，第２の選択辞書メモリ回路22Ｃ，22は類似辞
書データＤr1，Ｄr2をそれぞれ個別に記憶するものであ
る。

【００３８】辞書パターンマッチング回路22Ｅは類似辞
書データＤr1，Ｄr2を比較して、その辞書パターンＰR
1，ＰR2間の不一致を示す重みパターン数Ｎを抽出し、
それを辞書変換回路22Ｆに出力するものである。また、
辞書変換回路22Ｆは重みパターン数Ｎを重み辞書パター
ンＰｔに係る重み辞書データＤPtに変換をして、それを
辞書メモリ回路22Ａに出力するものである。これまで
は、従来例と同様な構成であるが次の点で異なる。

【００３９】すなわち、重み係数計算回路22Ｇは重み係
数演算手段12Ａの一実施例であり、重み係数Ｋを算出す
るものである。例えば、重み係数計算回路22Ａは類似し
た辞書パターンＰR1，ＰR2間の不一致を示す重みパター
ン数Ｎと類似した辞書パターンＰR1，ＰR2の一致，不一
致を判定する判定基準値Ｓとに基づいて重み係数Ｋ＝Ｓ
／Ｎを演算する。

【００４０】なお、パターン比較判定回路２３は比較判
定手段１３の一実施例であり、辞書データＤｒ，重み辞
書データＤPtと被検査対象１４に係る被検査データｄin
との比較判定をするものである。例えば、パターン比較
判定回路２３はパターンマッチング回路23Ａ，判定回路
23Ｂ及び結果出力回路23Ｃから成る。

【００４１】パターンマッチング回路23Ａは被検査デー
タｄinと太辞書パターンに係る辞書データｄ１とを比較
した太辞書パターン不一致量Ｗ，該データｄinと細辞書
パターンに係る辞書データｄ２とを比較した細辞書パタ
ーン不一致量ｈや該データｄinと重み辞書パターンＰｔ
に係る重み辞書データＤPtとを比較した重みパターン不
一致量ｔと抽出し、その総不一致量ｕとして、ｕ＝（Ｗ
＋ｈ＋ｔ×Ｋ）を判定回路23Ｂに出力するものである。
ここで、Ｋは重み係数であり、重み係数計算回路22Ｇに
より算出された重み係数Ｋ＝Ｓ／Ｎである。

【００４２】判定回路23Ｂは判定レベルＳに基づいて一
致・不一致を判定するものである。例えば、総不一致量
ｕと判定レベルＳとが比較され、それが評価される。ま
た、結果出力回路23Ｃは、その評価結果を出力するもの
である。すなわち、総不一致量ｕと判定レベルＳとの関
係がｕ≦Ｓであれば、一致を出力し、反対に、総不一致
量ｕと判定レベルＳとの関係がｕ＞Ｓであれば、不一致
を出力する。

【００４３】このようにして、本発明の実施例に係るパ
ターン検査装置によれば、図３に示すように画像取得シ
ステム２１，辞書情報供給システム２２，パターン比較
判定回路２３が具備され、該辞書情報供給システム２２
に重み係数Ｋを算出する重み係数計算回路22Ａが設けら
れる。

【００４４】例えば、被検査対象１４のパターン検査に
係わり、重み係数計算回路12Ａにより、類似した辞書パ
ターンＰR1，ＰR2間の不一致を示す重みパターン数Ｎ
と、両辞書パターンＰR1，ＰR2の一致，不一致を判定す
る判定基準値Ｓとに基づいて重み係数Ｋ＝Ｓ／Ｎが演算
される。

【００４５】このため、被検査対象１４の画像が画像取
得システム２１により取得され、その被検査データｄin
がパターン比較判定回路２３に出力されると、その判定
基準となる辞書データＤｒ，重み辞書データＤPt及び重
み係数Ｋが辞書情報供給システム２２から当該比較判定
回路２３に出力される。

【００４６】また、パターン比較判定回路２３では辞書
データＤｒ，重み辞書データＤPtと被検査対象１４の被
検査データｄinとが比較判定される。この際に、重み辞
書パターンＰｔに係る不一致量ｔを重み係数Ｋにより補
正することが可能となる。例えば、被検査データｄinと
重み辞書パターンＰｔに係る重み辞書データＤPtとを比
較した重みパターン不一致量ｔに重み係数Ｋを積算す
る。

【００４７】これにより、重み辞書パターンＰｔに係わ
り重み係数Ｋを従来例のように一律に固定することな
く、類似辞書パターン毎に算出された重み係数Ｋを総不
一致量ｕに反映させることにより、当該被検査パターン
に合致した高精度かつ高信頼度のパターン検査をするこ
とが可能となる。

【００４８】次に、本発明の実施例に係るパターン検査
方法について当該装置の動作を補足しながら説明をす
る。図４は本発明の第２の実施例に係るパターン検査処
理のフローチャートであり、図５，６はその補足説明図
を示している。例えば、図５に示すようにローマ字
「Ｃ」なる被試験物パターンＰG1や図６に示すような単
位記号「Å」なる被試験物パターンＰG2を辞書パターン
Ｐr1, Ｐr2に基づいて検査をする場合、図４において、
まず、ステップＰ１で被試験物パターンＰG1，ＰG2に係
る画像の取得処理をする。

【００４９】この際に、ローマ字「Ｃ」や単位記号
「Å」等の被試験物パターンＰG1の画像が撮像系21Ａに
より取得されて、その画像取得信号ＳｇがＡ／Ｄ変換回
路21Ｂによりアナログ／デジタル変換される。また、そ
の画像データＤINがフレームメモリ回路21Ｃに一時格納
され、その被検査データｄinが２値化変換回路21Ｄによ
り二値化される。例えば、被検査領域に係る画素データ
ａが閾値レベルＬに基づいて「０」又は「１」の二値化
データｂに変換される。

【００５０】ここで、被試験物パターンＰG1のパターン
マッチング処理を先にするものとすれば、ステップＰ２
で被試験物パターンＰG1に係る判定基準となる類似した
辞書パターンＰR1，ＰR2の選択処理をする。この際に、
辞書情報供給システム２２の辞書メモリ回路22Ａから類
似辞書選択回路22Ｂにより、辞書パターンＰＲの中から
互いに類似する辞書パターンＰR1，ＰR2に係る類似辞書
データＤr1，Ｄr2が選択される。

【００５１】例えば、図５（ａ）に示すような被試験物
パターンＰG1の判定基準となるローマ字「Ｃ」や「Ｏ」
の太辞書パターンＰd11 ，細辞書パターンＰd21 等の辞
書データＤｒや、その一致・不一致を判定する判定レベ
ルＳ，辞書のサイズ／面積等のデータが読み出され、そ
れが第１，第２の選択辞書メモリ回路22Ｃ，22Ｄにそれ
ぞれ個別に記憶される。

【００５２】次いで、ステップＰ３でローマ字「Ｃ」や
「Ｏ」等の類似した辞書パターンＰR1，ＰR2から重み辞
書パターンＰｔの抽出処理をする。ここで、辞書パター
ンマッチング回路22Ｅにより、類似辞書データＤr1，Ｄ
r2が比較され、その辞書パターンＰR1，ＰR2間の不一致
を示す重みパターン数Ｎが抽出され、それが辞書変換回
路22Ｆに出力される。

【００５３】また、辞書変換回路22Ｆでは重みパターン
数Ｎが重み辞書パターンＰｔに係る重み辞書データＤPt
に変換されて、それが辞書メモリ回路22Ａに出力され
る。さらに、ステップＰ４で重み辞書パターンＰｔ毎に
重み係数Ｋの算出処理をする。この際に、重み係数計算
回路22Ｇにより重み係数Ｋが算出される。例えば、重み
係数計算回路22Ａでは類似した辞書パターンＰR1，ＰR2
間の不一致を示す重みパターン数Ｎと類似した辞書パタ
ーンＰR1，ＰR2の一致，不一致を判定する判定基準値Ｓ
とに基づいて重み係数Ｋ１＝Ｓ／Ｎが演算される。

【００５４】その後、ステップＰ５で類似した辞書パタ
ーンＰR1，ＰR2，重み辞書パターンＰｔ及び重み係数Ｋ
に基づいて被検査対象１４のパターンマッチング処理を
する。ここで、パターン比較判定回路２３のパターンマ
ッチング回路23Ａにより、被検査データｄinと太辞書パ
ターンに係る辞書データｄ１とが比較され、図５（ｂ９
に示すように、太辞書パターン不一致量Ｗ１が抽出され
る。また、該データｄinと細辞書パターンに係る辞書デ
ータｄ２とが比較され、細辞書パターン不一致量ｈが抽
出される。さらに、該データｄinと重み辞書パターンＰ
ｔに係る重み辞書データＤPtとが比較され、重みパター
ン不一致量ｔ１が抽出され、その総不一致量ｕとして、
ｕ＝（Ｗ１＋ｈ＋ｔ１×Ｋ１）が判定回路23Ｂに出力さ
れる。

【００５５】また、判定回路23Ｂでは判定レベルＳに基
づいて一致・不一致が判定される。例えば、総不一致量
ｕと判定レベルＳとが比較され、結果出力回路23Ｃから
その評価結果が出力される。ここで、総不一致量ｕと判
定レベルＳとの関係がｕ≦Ｓであれば、被試験物パター
ンＰG1に係るローマ字「Ｃ」とその辞書パターンＰｒに
係るローマ字「Ｃ」との一致が検出され、反対に、総不
一致量ｕと判定レベルＳとの関係がｕ＞Ｓであれば、被
試験物パターンＰG1に係るローマ字「Ｃ」とその辞書パ
ターンＰｒに係るローマ字「Ｏ」との不一致が検出され
る。

【００５６】そして、ステップＰ６で当該被検査対象１
４のパターンマッチング処理が全部終了したか否かの判
断をする。この際に、それが全部終了した場合（ＹES）
には、パターン検査に係る制御を終了する。また、それ
が全部終了しない場合（ＮＯ）には、ステップＰ２に戻
って被試験物パターンＰG2に係る判定基準となる類似し
た辞書パターンＰR1，ＰR2の選択処理をする。

【００５７】なお、本発明の実施例では、単位記号
「Å」なる被試験物パターンＰG2のパターン検査をすべ
く、辞書情報供給システム２２の辞書メモリ回路22Ａか
ら類似辞書選択回路22Ｂにより、辞書パターンＰＲの中
から互いに類似する辞書パターンＰR1，ＰR2に係る類似
辞書データＤr1，Ｄr2が選択される。

【００５８】例えば、図６（ａ）に示すような被試験物
パターンＰG2の判定基準となる単位記号「Å」やローマ
字の「Ａ」の太辞書パターンＰd12 ，細辞書パターンＰ
d22等の辞書データＤｒや、その一致・不一致を判定す
る判定レベルＳ，辞書のサイズ／面積等のデータが読み
出され、それが第１，第２の選択辞書メモリ回路22Ｃ，
22Ｄにそれぞれ個別に記憶され、ステップＰ４でその重
み係数Ｋ２が算出され、以下ステップＰ５，Ｐ６に基づ
いて、その被試験物パターンＰG2に係る単位記号「Å」
のパターン検査が実行される。

【００５９】このようにして、本発明の実施例に係るパ
ターン検査方法によれば、図４のフローチャートに示す
ように、ステップＰ２で被試験物パターンＰG1，ＰG2の
判定基準となる類似した辞書パターンＰR1，ＰR2が選択
されると、ステップＰ３で両辞書パターンＰR1，ＰR2か
ら重み辞書パターンＰｔが抽出され、その後、ステップ
Ｐ４で重み辞書パターンＰｔ毎に重み係数Ｋ１の算出処
理をしている。

【００６０】このため、被試験物パターンＰG1，ＰG2の
中に互いに類似する被認識対象，例えば、ローマ字
「Ｏ」や「Ｃ」，単位記号「Å」やローマ字の「Ａ」を
含むパターンを識別する場合であって、その辞書パター
ンＰR1，ＰR2が類似する場合にも、ステップＰ５で類似
した辞書パターンＰR1，ＰR2，重み辞書パターンＰｔ及
び重み係数Ｋ１，Ｋ２に基づいて被試験物パターンＰG
1，ＰG2を精度良く比較判定処理を行うことが可能とな
る。

【００６１】すなわち、被試験物パターンＰG1，ＰG2の
中に、互いに類似する被認識対象，例えば、ローマ字の
「Ｏ」と「Ｃ」，「Ｅ」と「Ｆ」，「Ｉ」と「Ｌ」等を
含むパターンを識別する場合であって、辞書パターンＰ
R1，ＰR2と被試験物パターンＰG1，ＰG2とをマッチング
処理した場合には、その太辞書パターンＰd11 や細辞書
パターンＰd21 等との不一致量が小さくても、重み係数
Ｋ１に基づいて重み辞書パターンＰｔに係る不一致量ｔ
１が大きくなることから、総不一致量ｕが大きくなる。

【００６２】これにより、パターン比較判定回路２３に
より、判定レベルＳと総不一致量ｕが比較され、その結
果，ｕ＞Ｓとなり、当該被試験物パターンの「Ｏ」と
「Ｃ」，「Ｅ」と「Ｆ」，「Ｉ」と「Ｌ」等の「不一
致」を正確に判定することが可能となる。

【００６３】また、被試験物パターンＰG1，ＰG2の中
に、互いに類似する被認識対象，例えば、単位記号
「Å」やローマ字の「Ａ」を含む相違点の識別が困難な
パターン検査をする場合であって、図６（ｂ）に示すよ
うに、そのマッチング処理に基づく太辞書パターンＰd1
2 ，細辞書パターンＰd22 の不一致量ｈ１が共に小さく
なっても、重み係数Ｋ２に基づいて重み辞書パターンＰ
ｔに係る不一致量ｔ２が従来例と異なり大きくなるの
で、その総不一致量ｕが大きくなる。

【００６４】例えば、パターン比較判定回路２３におい
て、判定レベルＳと総不一致量ｕとを比較した結果，従
来例のようにｕ≦Ｓとならずｕ＞Ｓとなることから、本
来，被試験物パターンに係る単位記号「Å」がローマ字
の「Ａ」と異なる場合にも、当該被試験物パターンの単
位記号「Å」やローマ字の「Ａ」を「不一致」として判
定をすることが可能となる。

【００６５】これにより、パターン比較判定回路２３に
おいて従来例のような誤判定を極力低減することが可能
となる。このことで、パターンマッチング処理をするパ
ターン検査装置の信頼性の向上を図ることが可能とな
る。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のパターン
検査装置によれば画像取得手段，辞書情報供給手段及び
比較判定手段が具備され、該辞書情報供給手段に重み係
数を算出する重み係数演算手段が設けられる。

【００６７】このため、類似した辞書パターン間の重み
パターン数と、両辞書パターンの判定基準値とに基づい
て重み係数演算手段により重み係数が演算されると、パ
ターンマッチング処理の際に、重み辞書パターンに係る
不一致量を重み係数により補正することが可能となる。
このことで、重み辞書パターンに係わり重み係数を従来
例のように一律に固定することなく、類似辞書パターン
毎に算出された重み係数を総不一致量に反映させること
が可能となる。

【００６８】また、本発明のパターン検査方法によれ
ば、被検査対象の判定基準となる類似した辞書パターン
が選択されると、両辞書パターンから重み辞書パターン
が抽出され、その後、重み辞書パターン毎に重み係数の
算出処理をしている。

【００６９】このため、辞書パターン毎に異なった重み
係数が得られるので、被検査パターンの中に互いに類似
する被認識対象を含むパターンを識別する場合であっ
て、その辞書パターンが類似する場合にも、類似した辞
書パターン，重み辞書パターン及び重み係数に基づい
て、被検査対象を精度良く比較判定処理を行うことが可
能となる。このことで、従来例のような誤判定を極力低
減することが可能となる。

【００７０】これにより、当該被検査パターンに合致し
た高精度かつ高信頼度のパターンマッチング処理をする
ことが可能となる。このことで、信頼性の良いパターン
検査装置の提供に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るパターン検査装置の原理図であ
る。

【図２】本発明に係るパターン検査方法の原理図であ
る。

【図３】本発明の実施例に係るパターン検査装置の構成
図である。

【図４】本発明の実施例に係るパターン検査の処理フロ
ーチャートである。

【図５】本発明の実施例に係るフローチャートの補足説
明図（その１）である。

【図６】本発明の実施例に係るフローチャートの補足説
明図（その２）である。

【図７】従来例に係るパターン検査装置の構成図であ
る。

【符号の説明】

１１…画像取得手段、 １２…辞書情報供給手段、 １３…比較判定手段、 12Ａ…重み係数演算手段、 ＤIN…画像取得データ、 Ｄｒ…辞書データ、 ＤPt…重み辞書データ、 Ｋ…重み係数、 ＰR1，ＰR2…類似した辞書パターン、 Ｐｔ…重み辞書パターン。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査対象（１４）の画像を取得して画
   像取得データ（ＤIN）を出力する画像取得手段（１１）
   と、前記被検査対象（１４）の判定基準となる辞書デー
   タ（Ｄｒ），重み辞書データ（ＤPt）及び重み係数
   （Ｋ）を出力する辞書情報供給手段（１２）と、前記辞
   書データ（Ｄｒ），重み辞書データ（ＤPt）と被検査対
   象（１４）の被検査領域に係る画像取得データ（ＤIN）
   との比較判定をする比較判定手段（１３）とを具備し、
   前記辞書情報供給手段（１２）に重み係数（Ｋ）を算出
   する重み係数演算手段（12Ａ）が設けられることを特徴
   とするパターン検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のパターン検査装置におい
   て、前記重み係数演算手段（12Ａ）が類似した辞書パタ
   ーン（ＰR1，ＰR2）間の不一致を示す重みパターン数
   （Ｎ）と、前記類似した辞書パターン（ＰR1，ＰR2）の
   一致，不一致を判定する判定基準値（Ｓ）とに基づいて
   重み係数（Ｋ＝Ｓ／Ｎ）を演算することを特徴とするパ
   ターン検査装置。
3. 【請求項３】 被検査対象（１４）の判定基準となる類
   似した辞書パターン（ＰR1，ＰR2）の選択処理をし、前
   記類似した辞書パターン（ＰR1，ＰR2）から重み辞書パ
   ターン（Ｐｔ）の抽出処理をし、前記重み辞書パターン
   （Ｐｔ）毎に重み係数（Ｋ）の算出処理をし、前記類似
   した辞書パターン（ＰR1，ＰR2），重み辞書パターン
   （Ｐｔ）及び重み係数（Ｋ）に基づいて前記被検査対象
   （１４）のパターンマッチング処理をすることを特徴と
   するパターン検査方法。