JPH06200451A - 耐摩耗性筬羽及びその製造方法 - Google Patents
耐摩耗性筬羽及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH06200451A JPH06200451A JP35855192A JP35855192A JPH06200451A JP H06200451 A JPH06200451 A JP H06200451A JP 35855192 A JP35855192 A JP 35855192A JP 35855192 A JP35855192 A JP 35855192A JP H06200451 A JPH06200451 A JP H06200451A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reed
- coating
- vapor deposition
- resistant
- abrasion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Looms (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐摩耗性・耐食性に優れたTiNやTiCな
どの皮膜を有し、低製造コストの耐摩耗性筬羽、及びそ
の皮膜の経済的な蒸着方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 薄い板片の形をした織機用の筬羽1であっ
て、その板片の先端面3及びその周辺の側面7が他の部
分よりも厚目に耐摩耗性蒸着被覆されていることを特徴
とする。蒸着被覆の方法の一例として、PVD法により
筬羽先端面3をターゲットに対面させて膜付けする。そ
の際、筬羽1をある程度密に多数並べて処理できるの
で、膜付けの生産性が高くなる、。そのため筬羽の製造
コストが安くなる。
どの皮膜を有し、低製造コストの耐摩耗性筬羽、及びそ
の皮膜の経済的な蒸着方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 薄い板片の形をした織機用の筬羽1であっ
て、その板片の先端面3及びその周辺の側面7が他の部
分よりも厚目に耐摩耗性蒸着被覆されていることを特徴
とする。蒸着被覆の方法の一例として、PVD法により
筬羽先端面3をターゲットに対面させて膜付けする。そ
の際、筬羽1をある程度密に多数並べて処理できるの
で、膜付けの生産性が高くなる、。そのため筬羽の製造
コストが安くなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、織機用の筬羽及びその
製造方法に関し、特には、エアージェットあるいはウォ
ータージェットルーム用に好適な耐摩耗性及び耐食性に
優れる筬羽、並びに耐摩耗性付与のための表面処理方法
に関する。
製造方法に関し、特には、エアージェットあるいはウォ
ータージェットルーム用に好適な耐摩耗性及び耐食性に
優れる筬羽、並びに耐摩耗性付与のための表面処理方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】筬羽は、織機及び整経機に用いられる筬
を構成する薄い刃状の部材で、この筬羽を櫛歯状に多数
並べ長方形の枠に固定したものが筬と呼ばれる。筬は、
各筬羽の間を通った経糸の位置を整え緯糸を押しつめて
布の織り目を整える働きをする。一般に筬羽はステンレ
ス鋼などの鉄系材料からなる板材で形成されるが、経糸
と直接接触するため摩耗が生じやすい。筬羽が摩耗する
と、摩耗部と接触した糸が毛羽立つため、できあがった
布の風合いを低下させる。また、横糸の飛走不良や糸切
れの原因にもなるので、品質悪化や、織機運転効率の低
下などを招く。また最近では織物に硬質の新素材繊維も
用いられるようになってきたため、筬羽の使用される環
境はいっそう厳しくなってきている。
を構成する薄い刃状の部材で、この筬羽を櫛歯状に多数
並べ長方形の枠に固定したものが筬と呼ばれる。筬は、
各筬羽の間を通った経糸の位置を整え緯糸を押しつめて
布の織り目を整える働きをする。一般に筬羽はステンレ
ス鋼などの鉄系材料からなる板材で形成されるが、経糸
と直接接触するため摩耗が生じやすい。筬羽が摩耗する
と、摩耗部と接触した糸が毛羽立つため、できあがった
布の風合いを低下させる。また、横糸の飛走不良や糸切
れの原因にもなるので、品質悪化や、織機運転効率の低
下などを招く。また最近では織物に硬質の新素材繊維も
用いられるようになってきたため、筬羽の使用される環
境はいっそう厳しくなってきている。
【0003】筬羽の摩耗を防止する一つの方法として、
筬羽表面に平滑な硬質材の表面層を形成する方法があ
る。形成される表面層に要求される特性としては以下が
あげられる。1)経糸の摩擦に十分耐える耐摩耗性を有
すること。2)表面が平滑であること。3)筬羽が経糸
の動きに追従してしなるので、このしなりによって表面
層が母材から剥離しないよう、強い密着性を有するこ
と。4)筬羽間の間隔が狭いので表面層の厚さが比較的
薄いこと。5)水や油剤等への耐食性を有すること。
筬羽表面に平滑な硬質材の表面層を形成する方法があ
る。形成される表面層に要求される特性としては以下が
あげられる。1)経糸の摩擦に十分耐える耐摩耗性を有
すること。2)表面が平滑であること。3)筬羽が経糸
の動きに追従してしなるので、このしなりによって表面
層が母材から剥離しないよう、強い密着性を有するこ
と。4)筬羽間の間隔が狭いので表面層の厚さが比較的
薄いこと。5)水や油剤等への耐食性を有すること。
【0004】筬羽の表面に表面層を形成する方法として
は、硬質クロムメッキ法や、特開平1−283380に
記載されている酸化クロムを形成する方法などがある。
またPVD法(物理蒸着法)やCVD法(化学蒸着法)
などによるセラミックスコーティングも試みられてい
る。
は、硬質クロムメッキ法や、特開平1−283380に
記載されている酸化クロムを形成する方法などがある。
またPVD法(物理蒸着法)やCVD法(化学蒸着法)
などによるセラミックスコーティングも試みられてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来最も広く用いられ
ている硬質クロムメッキ法では、比較的高い耐摩耗性の
皮膜が得られるが、膜の耐薬剤性が不十分で、糸の抱合
力を高めるために糸に染め込ませてある油剤に侵される
ことがある。またこの硬質クロムめっきを含む他の従来
技術において、コストに問題があり実用化にいたってい
ないものも多い。たとえば従来のPVD法やCVD法な
どの蒸着法によるセラミックスコーティングでは、得ら
れる表面層の耐摩耗性、耐食性などの特性は十分優れて
はいるけれども、筬羽が比較的小さい部品であるため、
筬羽一枚毎に均一かつ大量に処理することが難しかっ
た。そのため、経済性に問題点があり、蒸着法セラミッ
クスコーティングは実用化にいたっていない。
ている硬質クロムメッキ法では、比較的高い耐摩耗性の
皮膜が得られるが、膜の耐薬剤性が不十分で、糸の抱合
力を高めるために糸に染め込ませてある油剤に侵される
ことがある。またこの硬質クロムめっきを含む他の従来
技術において、コストに問題があり実用化にいたってい
ないものも多い。たとえば従来のPVD法やCVD法な
どの蒸着法によるセラミックスコーティングでは、得ら
れる表面層の耐摩耗性、耐食性などの特性は十分優れて
はいるけれども、筬羽が比較的小さい部品であるため、
筬羽一枚毎に均一かつ大量に処理することが難しかっ
た。そのため、経済性に問題点があり、蒸着法セラミッ
クスコーティングは実用化にいたっていない。
【0006】本発明は、耐摩耗性・耐食性に優れたTi
NやTiCなどの皮膜を有する低製造コストの耐摩耗性
筬羽、及びその皮膜の経済的な蒸着方法を提供すること
を目的とする。
NやTiCなどの皮膜を有する低製造コストの耐摩耗性
筬羽、及びその皮膜の経済的な蒸着方法を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の発明者らは、筬
羽の摩耗現象を詳細に検討した結果、経糸との摩擦で発
生する筬羽の摩耗は筬羽と経糸が接触角をもって接触す
るため、摩耗箇所が筬羽の端部近傍といった一部分に集
中することを発見した。すなわち、コーティングを必要
とするのは筬羽の端部近傍のみであって、その部分の耐
摩耗性を向上させることによって筬羽全体の耐摩耗性を
向上させた場合と同等の性能を筬羽は有することを見い
だして本発明の着想を得るに至った。
羽の摩耗現象を詳細に検討した結果、経糸との摩擦で発
生する筬羽の摩耗は筬羽と経糸が接触角をもって接触す
るため、摩耗箇所が筬羽の端部近傍といった一部分に集
中することを発見した。すなわち、コーティングを必要
とするのは筬羽の端部近傍のみであって、その部分の耐
摩耗性を向上させることによって筬羽全体の耐摩耗性を
向上させた場合と同等の性能を筬羽は有することを見い
だして本発明の着想を得るに至った。
【0008】本発明の耐摩耗性筬羽は、薄い板片の形を
した織機用の筬羽であって、その板片の先端面及びその
周辺の側面が他の部分よりも厚目に耐摩耗性蒸着被覆さ
れていることを特徴とする。上記「他の部分」は、上記
先端面等よりも薄目に耐摩耗性蒸着被覆されていてもよ
いし、摩耗が問題にならない部分はそのような被覆がさ
れていなくてもよい。
した織機用の筬羽であって、その板片の先端面及びその
周辺の側面が他の部分よりも厚目に耐摩耗性蒸着被覆さ
れていることを特徴とする。上記「他の部分」は、上記
先端面等よりも薄目に耐摩耗性蒸着被覆されていてもよ
いし、摩耗が問題にならない部分はそのような被覆がさ
れていなくてもよい。
【0009】また、本発明の耐摩耗性筬羽の製造方法
は、上記先端面を蒸着源に対面させて耐摩耗性被覆を蒸
着被覆することを特徴とする。
は、上記先端面を蒸着源に対面させて耐摩耗性被覆を蒸
着被覆することを特徴とする。
【0010】本発明の筬羽に耐摩耗性被膜を付ける方法
は、真空蒸着法、化学蒸着法(CVD)、物理蒸着法
(PVD)等の蒸着法である。耐摩耗性物質(セラミッ
クス等)を密着性良くコーティングするのに適した方法
だからである。それらの中で特に好ましいのは、イオン
プレーティングやスパッタリング等のPVD法である。
PVD法は、コーティングに方向性があり、蒸着源に対
し陰になる部分がコーティングされにくいといった欠点
を有するため、PVD皮膜を有する筬羽は実用化されな
かった。しかし、本発明はこの欠点を積極的に利用し生
産性の高い筬羽のセラミックスコーティング法を提供す
るものである。
は、真空蒸着法、化学蒸着法(CVD)、物理蒸着法
(PVD)等の蒸着法である。耐摩耗性物質(セラミッ
クス等)を密着性良くコーティングするのに適した方法
だからである。それらの中で特に好ましいのは、イオン
プレーティングやスパッタリング等のPVD法である。
PVD法は、コーティングに方向性があり、蒸着源に対
し陰になる部分がコーティングされにくいといった欠点
を有するため、PVD皮膜を有する筬羽は実用化されな
かった。しかし、本発明はこの欠点を積極的に利用し生
産性の高い筬羽のセラミックスコーティング法を提供す
るものである。
【0011】PVD法の具体的な手法としては、限定さ
れるものではないが、特に反応性イオンプレーティング
が好ましい。コーティング速度が速く密着性も高いから
である。またCVD法で膜付けする場合には、表面層の
成長方向に対し筬羽をほぼ垂直に、つまり筬羽先端面に
反応ガスが最先に到達するように配置する。CVD法の
具体的手法としては、筬羽の母材の弾性を劣化させるよ
うな高温(700〜1200℃)処理を必要としない方
法、例えばプラズマCVDが好ましい。
れるものではないが、特に反応性イオンプレーティング
が好ましい。コーティング速度が速く密着性も高いから
である。またCVD法で膜付けする場合には、表面層の
成長方向に対し筬羽をほぼ垂直に、つまり筬羽先端面に
反応ガスが最先に到達するように配置する。CVD法の
具体的手法としては、筬羽の母材の弾性を劣化させるよ
うな高温(700〜1200℃)処理を必要としない方
法、例えばプラズマCVDが好ましい。
【0012】筬羽をコーティングする物質は、PVD法
等でコーティングできて、耐摩耗性と耐食性に優れる物
質であれば、特に限定されるものではない。経済性、コ
ーティング技術の難易度の点からは、TiNやTiCな
どが好ましい。
等でコーティングできて、耐摩耗性と耐食性に優れる物
質であれば、特に限定されるものではない。経済性、コ
ーティング技術の難易度の点からは、TiNやTiCな
どが好ましい。
【0013】コーティングの際に、筬羽は蒸着源に対し
垂直に配置されている等、筬羽先端面が蒸着源に対面し
ていれば、蒸着膜は先端面やその周辺の側面に厚目に付
く。PVD法などの蒸着法で、コーティングの均一性を
向上させるため用いる被コーティング物の回転、平行移
動などがあっても問題はなく、むしろ行われる方が望ま
しい。また筬羽が蒸着源に対し垂直からずれるような傾
斜運動であっても垂直な位置を中心とした周期的な運動
であれば問題ない。筬羽の配置は、筬羽の端面のみでな
く端部近傍のコーティングを可能にするためには、筬羽
間の距離を0.4mm程度以上とすることが好ましい。さ
らに筬羽間の距離を大きく配置すればコーティングされ
る面積を広げること可能である。しかし生産効率よく処
理を行うためには、なるべく筬羽間の距離を小さく配置
した方がよい。望ましくは、筬羽間の距離を0.4〜
1.0mmで行うと、筬羽の端面から2〜3mm程度がコー
ティングされるので実用的である。
垂直に配置されている等、筬羽先端面が蒸着源に対面し
ていれば、蒸着膜は先端面やその周辺の側面に厚目に付
く。PVD法などの蒸着法で、コーティングの均一性を
向上させるため用いる被コーティング物の回転、平行移
動などがあっても問題はなく、むしろ行われる方が望ま
しい。また筬羽が蒸着源に対し垂直からずれるような傾
斜運動であっても垂直な位置を中心とした周期的な運動
であれば問題ない。筬羽の配置は、筬羽の端面のみでな
く端部近傍のコーティングを可能にするためには、筬羽
間の距離を0.4mm程度以上とすることが好ましい。さ
らに筬羽間の距離を大きく配置すればコーティングされ
る面積を広げること可能である。しかし生産効率よく処
理を行うためには、なるべく筬羽間の距離を小さく配置
した方がよい。望ましくは、筬羽間の距離を0.4〜
1.0mmで行うと、筬羽の端面から2〜3mm程度がコー
ティングされるので実用的である。
【0014】蒸着源に対し垂直に配置されてコーティン
グされた筬羽は、端面が最も厚く、コーティングされ
る。また、側面も端面から数〜十数mmに渡ってコーティ
ングされる。コーティングされる面積は筬羽間の距離や
コーティングの手法、物質又は、条件によって異なる。
コーティング装置の構造などによって一様ではないが、
コーティング手法、コーティング物質が同じであれば、
コーティング中の圧力が高いほど、また筬羽間の距離が
大きいほど、コーティング面積は広くなる。ただしコー
ティング中の圧力などのコーティング条件の影響は比較
的少なく、主には筬羽間の距離に支配される。
グされた筬羽は、端面が最も厚く、コーティングされ
る。また、側面も端面から数〜十数mmに渡ってコーティ
ングされる。コーティングされる面積は筬羽間の距離や
コーティングの手法、物質又は、条件によって異なる。
コーティング装置の構造などによって一様ではないが、
コーティング手法、コーティング物質が同じであれば、
コーティング中の圧力が高いほど、また筬羽間の距離が
大きいほど、コーティング面積は広くなる。ただしコー
ティング中の圧力などのコーティング条件の影響は比較
的少なく、主には筬羽間の距離に支配される。
【0015】同一の条件でコーティングを行えば筬羽上
にコーティングされた表面層は他の被コーティング部品
にコーティングした場合得られるものと同様の物質が得
られる。そのため得られる表面層が経糸との摩耗に耐え
る十分な耐摩耗性を有していればコーティング条件は他
の部品に行う場合の条件をそのまま利用することができ
る。また、筬羽表面の汚れや酸化皮膜を除去するイオン
ボンバードなどの前処理や密着性強化のために予備コー
ティングなどを行っても良い。
にコーティングされた表面層は他の被コーティング部品
にコーティングした場合得られるものと同様の物質が得
られる。そのため得られる表面層が経糸との摩耗に耐え
る十分な耐摩耗性を有していればコーティング条件は他
の部品に行う場合の条件をそのまま利用することができ
る。また、筬羽表面の汚れや酸化皮膜を除去するイオン
ボンバードなどの前処理や密着性強化のために予備コー
ティングなどを行っても良い。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例を図や実験結果を参照
しつつ説明する。図1は、本発明の一実施例に係るウォ
ータージェット用筬羽を示す斜視図である。筬羽1は細
長くて薄い板片(ブレード状)の形をしている。筬羽1
の先端面3及び先端周辺側面7の表面は耐摩耗性の皮膜
5で覆われている。この実施例の筬羽の寸法は、厚さ
0.23mm、幅4mm、長さ105mmである。本体の材質
はステンレス鋼(SUS304)である。この筬羽に、
後述の条件でTiNのスパッタリング皮膜を付けた。
しつつ説明する。図1は、本発明の一実施例に係るウォ
ータージェット用筬羽を示す斜視図である。筬羽1は細
長くて薄い板片(ブレード状)の形をしている。筬羽1
の先端面3及び先端周辺側面7の表面は耐摩耗性の皮膜
5で覆われている。この実施例の筬羽の寸法は、厚さ
0.23mm、幅4mm、長さ105mmである。本体の材質
はステンレス鋼(SUS304)である。この筬羽に、
後述の条件でTiNのスパッタリング皮膜を付けた。
【0017】図2は、本発明の一実施例に係る筬羽のP
VDコーティングを行っている状態を示す図である。筬
羽1は、固定用治具11に所定の間隔Lで櫛状に取り付
けられている。この時、筬羽1の先端面3はターゲット
13と対面している。別の表現をすれば、筬羽1はター
ゲット13の表面に対して垂直の壁をなすように配置さ
れている。筬羽1やターゲット13はスパッタリング装
置のチャンバー10内に収められている。チャンバー1
0内は真空ポンプ(図示せず)によって真空に引かれて
いる。スパッタリングの放電用ガスとしてのAr、反応
用ガスとしてのN2 等は、適当な圧力、流量でチャンバ
ー内に供給される。
VDコーティングを行っている状態を示す図である。筬
羽1は、固定用治具11に所定の間隔Lで櫛状に取り付
けられている。この時、筬羽1の先端面3はターゲット
13と対面している。別の表現をすれば、筬羽1はター
ゲット13の表面に対して垂直の壁をなすように配置さ
れている。筬羽1やターゲット13はスパッタリング装
置のチャンバー10内に収められている。チャンバー1
0内は真空ポンプ(図示せず)によって真空に引かれて
いる。スパッタリングの放電用ガスとしてのAr、反応
用ガスとしてのN2 等は、適当な圧力、流量でチャンバ
ー内に供給される。
【0018】高周波マグネトロンカソードタイプのスパ
ッタリング装置内に上述のセッティングをして、反応性
スパッタリング法によりTiNコーティングを行った。
ターゲット13を純Ti板として、ターゲット電力密度
を5W/cm2 、チャンバー内圧力(コーティング中)8
m Torr、Arガス/N2 ガス比1/0.18の条件下で
膜付けした。全体の膜付け面積は約100cm2 であっ
た。筬羽1の取り付け間隔Lを0.4、0.8、1.2
mmと変化させて膜付きの状態を観測した。
ッタリング装置内に上述のセッティングをして、反応性
スパッタリング法によりTiNコーティングを行った。
ターゲット13を純Ti板として、ターゲット電力密度
を5W/cm2 、チャンバー内圧力(コーティング中)8
m Torr、Arガス/N2 ガス比1/0.18の条件下で
膜付けした。全体の膜付け面積は約100cm2 であっ
た。筬羽1の取り付け間隔Lを0.4、0.8、1.2
mmと変化させて膜付きの状態を観測した。
【0019】図3は、コーティング中の筬羽間の間隔
(横軸)と筬羽側面に形成された被膜の幅(縦軸)との
関係を表すグラフである。被膜の幅は、目視(色の変
化)によって測定した。筬羽間の距離が狭いと、筬羽側
面の奥までスパッタされたTi原子が届かず、側面の被
膜巾が狭い。間隔が1.2mmになると、筬羽の側面のほ
ぼ全幅にコーティングが及んでいる。
(横軸)と筬羽側面に形成された被膜の幅(縦軸)との
関係を表すグラフである。被膜の幅は、目視(色の変
化)によって測定した。筬羽間の距離が狭いと、筬羽側
面の奥までスパッタされたTi原子が届かず、側面の被
膜巾が狭い。間隔が1.2mmになると、筬羽の側面のほ
ぼ全幅にコーティングが及んでいる。
【0020】図4は、筬羽間隔が0.8mm(△印)のと
きと、1.2mm(○印)のときのTiN被膜厚を筬羽先
端からの距離によってプロットした図である。いずれも
先端では約2μm の膜厚であるが、先端から遠ざかるに
つれて減少する。この実施例では、両者とも耐摩耗成績
は良好であったので、先端面から0.5mm内が、膜厚1
μm 以上でコーティングされておればよいということで
あった。TiN被膜の硬度は、端面の最も膜厚の厚い部
分でビッカース硬さ(Hv)2300であった。
きと、1.2mm(○印)のときのTiN被膜厚を筬羽先
端からの距離によってプロットした図である。いずれも
先端では約2μm の膜厚であるが、先端から遠ざかるに
つれて減少する。この実施例では、両者とも耐摩耗成績
は良好であったので、先端面から0.5mm内が、膜厚1
μm 以上でコーティングされておればよいということで
あった。TiN被膜の硬度は、端面の最も膜厚の厚い部
分でビッカース硬さ(Hv)2300であった。
【0021】これらのコーティングされた筬羽と、コー
ティングされていないステンレス鋼製筬羽を用いて幅1
000mmの筬を組立て、実際に製織を行い、両者の摩耗
量を比較した。製織は、織機回転数800rpm で、糸に
加工ポリエステル50D−24F無糊を用いて20時間
行なった。表1に製織後の最も摩耗した部分の摩耗深さ
を示す。この結果から明らかなように、本発明により製
造された筬羽は従来のステンレス製に比べ摩耗量が非常
に少なく耐摩耗性に優れている。
ティングされていないステンレス鋼製筬羽を用いて幅1
000mmの筬を組立て、実際に製織を行い、両者の摩耗
量を比較した。製織は、織機回転数800rpm で、糸に
加工ポリエステル50D−24F無糊を用いて20時間
行なった。表1に製織後の最も摩耗した部分の摩耗深さ
を示す。この結果から明らかなように、本発明により製
造された筬羽は従来のステンレス製に比べ摩耗量が非常
に少なく耐摩耗性に優れている。
【0022】
【表1】
【0023】従来の処理のように筬羽全体をコーティン
グしようとする場合、筬羽同士が重ならないように水平
に配置してつまりターゲット表面に、筬羽側面を向け
て、処理すると、本実施例で用いた装置では、1バッチ
当り最大26枚しか処理できない。しかし、本発明の方
法の筬羽間距離0.8mmの場合、一回の処理で101枚
の筬羽の処理が可能であり、およそ4倍の処理能力を有
し経済性に優れることが明らかとなった。
グしようとする場合、筬羽同士が重ならないように水平
に配置してつまりターゲット表面に、筬羽側面を向け
て、処理すると、本実施例で用いた装置では、1バッチ
当り最大26枚しか処理できない。しかし、本発明の方
法の筬羽間距離0.8mmの場合、一回の処理で101枚
の筬羽の処理が可能であり、およそ4倍の処理能力を有
し経済性に優れることが明らかとなった。
【0024】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように筬羽及び
その製造方法は以下の効果を発揮する。 耐摩耗性が要求される先端面及びその周辺の側面に耐
摩耗被膜を有するので筬羽の寿命が長くなる。また、織
機のトラブル防止、製品の高品質化も可能である。
その製造方法は以下の効果を発揮する。 耐摩耗性が要求される先端面及びその周辺の側面に耐
摩耗被膜を有するので筬羽の寿命が長くなる。また、織
機のトラブル防止、製品の高品質化も可能である。
【0025】耐摩耗性が必要な部分のみをコーティン
グしていて、付き回りの悪いPVD法でも、密に並べた
筬羽の端面側からコーティングできるので、1バッチ当
りの膜付け処理量を従来よりも数段増やすことができ
る。その結果膜付けの生産性が上がり、価格的に適用困
難であったPVD法によるコーティングを、筬羽の耐摩
耗コーティングとして使用できる。
グしていて、付き回りの悪いPVD法でも、密に並べた
筬羽の端面側からコーティングできるので、1バッチ当
りの膜付け処理量を従来よりも数段増やすことができ
る。その結果膜付けの生産性が上がり、価格的に適用困
難であったPVD法によるコーティングを、筬羽の耐摩
耗コーティングとして使用できる。
【図1】本発明の一実施例に係るウォータージェット用
筬羽を示す斜視図である。
筬羽を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施例に係る筬羽の表面にPVDコ
ーティングを行っている状態を示す図である。
ーティングを行っている状態を示す図である。
【図3】コーティング中の筬羽間の間隔(横軸)と筬羽
側面に形成された被膜の幅(縦軸)との関係を表すグラ
フである。
側面に形成された被膜の幅(縦軸)との関係を表すグラ
フである。
【図4】筬羽間隔が0.8mm(×印)のときと、1.2
mm(○印)のときのTiN被膜厚を、筬羽先端からの距
離によってプロットした図である。
mm(○印)のときのTiN被膜厚を、筬羽先端からの距
離によってプロットした図である。
1 筬羽 3 先端面 5 被膜 7 先端周辺側面 10 チャンバー 11 固定用治具 13 ターゲット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡登 信義 神奈川県川崎市川崎区小島町4番2号 日 本冶金工業株式会社研究開発本部技術研究 所内 (72)発明者 神谷 剛志 神奈川県川崎市川崎区小島町4番2号 日 本冶金工業株式会社研究開発本部技術研究 所内
Claims (4)
- 【請求項1】 薄い板片の形をした織機用の筬羽であっ
て、その板片の先端面及びその周辺の側面が他の部分よ
りも厚目に耐摩耗性蒸着被覆されていることを特徴とす
る耐摩耗性筬羽。 - 【請求項2】 上記蒸着被覆の方法が物理蒸着法(PV
D)である請求項1記載の耐摩耗性筬羽。 - 【請求項3】 上記先端面を蒸着源に対面させて耐摩耗
性被膜を蒸着被覆する請求項1又は2記載の耐摩耗性筬
羽の製造方法。 - 【請求項4】 上記蒸着被覆の方法が化学蒸着法(CV
D)であり、上記先端面が反応ガス流に最初に触れるよ
うな姿勢で処理される請求項1記載の耐摩耗性筬羽の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35855192A JPH06200451A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 耐摩耗性筬羽及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35855192A JPH06200451A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 耐摩耗性筬羽及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06200451A true JPH06200451A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18459906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35855192A Pending JPH06200451A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 耐摩耗性筬羽及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06200451A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5758696A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-02 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Fe-Cr-Ni alloy for wear-resistant loom parts |
| KR100423697B1 (ko) * | 2001-10-06 | 2004-03-18 | 한국리드(주) | 직기용 바디의 제조방법 |
| DE102007060491A1 (de) | 2007-12-05 | 2009-06-10 | Picanol N.V. | Beschichtetes Webelement und Verfahren zur Herstellung |
| JP2017523305A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-08-17 | アシュ.エー.エフ | カムシャフトのカムのノーズをdlcでコーティングする方法、その方法で得られたカムシャフト、及びその方法を実施する設備 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP35855192A patent/JPH06200451A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5758696A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-02 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Fe-Cr-Ni alloy for wear-resistant loom parts |
| KR100423697B1 (ko) * | 2001-10-06 | 2004-03-18 | 한국리드(주) | 직기용 바디의 제조방법 |
| DE102007060491A1 (de) | 2007-12-05 | 2009-06-10 | Picanol N.V. | Beschichtetes Webelement und Verfahren zur Herstellung |
| JP2017523305A (ja) * | 2014-06-18 | 2017-08-17 | アシュ.エー.エフ | カムシャフトのカムのノーズをdlcでコーティングする方法、その方法で得られたカムシャフト、及びその方法を実施する設備 |
| US10683777B2 (en) | 2014-06-18 | 2020-06-16 | H.E.F. | Method for coating the nose of the cams of a camshaft with DLC, camshaft obtained in this way and facility for implementing said method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4480010A (en) | Method and coating materials by ion plating | |
| Musil et al. | Reactive sputtering of TiN films at large substrate to target distances | |
| EP0305573B1 (en) | Continuous composite coating apparatus for coating strip | |
| CA1156968A (en) | Deposited films with improved microstructures and methods for making | |
| US6503373B2 (en) | Method of applying a coating by physical vapor deposition | |
| MY130996A (en) | Method of fabricating a coated process chamber component | |
| US6171659B1 (en) | Process for the formation of a coating on a substrate and device for the use this process | |
| JPH0588310B2 (ja) | ||
| US6001432A (en) | Apparatus for forming films on a substrate | |
| JPH06200451A (ja) | 耐摩耗性筬羽及びその製造方法 | |
| US5154816A (en) | Process for depositing an anti-wear coating on titanium based substrates | |
| US4999259A (en) | Chrome-coated stainless steel having good atmospheric corrosion resistance | |
| JP2021527168A (ja) | 基板コーティング用真空蒸着設備及び方法 | |
| TW574407B (en) | Magnetron oscillatory scanning-type sputtering device | |
| KR20080099418A (ko) | 마그네트론 롤 스퍼터링을 이용한 유연성 폴리머 기판상의금속박막 증착방법 | |
| KR100762198B1 (ko) | 고경도,고윤활성 피복재 및 그 피복방법 | |
| US20250230538A1 (en) | Method for forming hard and ultra-smooth a-c by sputtering | |
| WO1991019031A1 (fr) | Piece acive pour machines a tricoter, a tisser et a coudre | |
| JPH02149661A (ja) | 薄膜形成方法およびその装置 | |
| JPH06158331A (ja) | 被膜形成装置 | |
| EP0415206A2 (en) | Production method of metal foil and metal foil produced by the method | |
| JPH0372073A (ja) | 密着性の優れたセラミック被覆長尺物の製造方法 | |
| JPH0361755B2 (ja) | ||
| KR900005841B1 (ko) | 진공도금과 습식도금 연속도금방법에 의한 고경도 도금방법 및 도금체 | |
| JPH0995763A (ja) | 耐摩耗性皮膜形成方法 |